JPS6382248A - 薄板状物品の搬出または搬入装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はウェハ等の搬出搬入装置に関し、特に半導体装
置製造用のシリコンウェハ等の薄板状被搬送物品を、そ
れらを多段収納したキャリアから少なくとも一枚ずつ搬
出し、あるいは逆にキャリア内へ搬入する取り出しアー
ムを備えた形式の搬出搬入装置に関する゛。

［従来の技術］ ＬＳＩなどの半導体装置の製造に際して、例えば露光装
置へのシリコンウェハの供給はウェハを多段状に間隙を
あけて収納したキャリアによって行なわれていることは
周知の通りである。このキャリア内からウェハを一枚ず
つ取り出して露光装置へ送り込む方式としてはベルトに
よる搬送が一般的であるが、ベルト搬送方式においてキ
ャリア内のウェハをランダムに取り出すにはキャリア後
方からウェハを押し出す必要があり、キャリアとしてそ
の後方が開放されていないボックス形キャリアではラン
ダムな取り出しが不可能であった。

一方、取り出しアームをキャリア内に挿込んでウェハを
取り出す方式の場合は、キャリア前面からのみの取り出
しとなるので、ボックス形キャリアであってもランダム
な取り出しが可能であるが、キャリア内でのウェハの多
段積重の間隙が一般には３／１６インチ（約４．８ｍａ
＋　）　　と狭く、この狭い間隙内に取り出しアームを
挿込まなければならないため、アームにウェハセンサを
取付けていないのが通常であり、従ってキャリア内のウ
ェハの有無の検出ができなかったため、アームに無駄な
動作が生じる欠点があった。

［発明が解決しようとする問題点コ 本発明の課題は、キャリア内のウニへ間隙のような狭い
間隙にアームを挿込んでその搬出搬入を行なうものにお
いてウェハ等の被搬送物品の存否を検知する機能を与え
ることによりボックス形キャリアによるランダムな搬出
搬入をアームの無駄な動作なしに達成できるようにした
ウェハ等の搬出搬入装置を提供することである。

［問題点を解決するための手段］ 本発明によるウェハ等の搬出搬入装置では、前、述の課
題を達成するために、取り出しアームの基部から先端方
向に向う検知光路上の光が遮断されるか否かで前記取り
出しアームの物品載置部上方の被搬送物品の有無を検知
するウェハセンサを取り付はアームに配設しである。

本発明のひとつの実施態様においては、前記取り出しア
ームの物品載置面と交差するように検知光を照射する発
光手段と、この発光手段から照射されてアームの物品載
置面と交差した後の検知光を検出する受光手段とを、前
記取り出しアームの基部側に配設してあり、さらに好ま
しくは取り出しアームの先端部近傍に基部側に向けた反
射部を設け、アーム基部側から発光手段によって物品載
置面を横切って前記反射部に光を照射し、その反射部で
の反射光を基部側にて受光手段で受光検知する。

［作用］ 本発明のウェハ等の搬出搬入装置では、取り出しアーム
の基部側にウェハセンサを配置してアーム先端方向の物
品載置面上方の被搬送物品の有無を検出するものであり
、取り出しアームの挿入対象部位の厚さ寸法を大きくせ
ずにウェハセンサをアーム自体に取り付けてキャリア内
での被搬送物品の検出を搬出搬入動作中に同時に行なっ
てアームの無駄な動きをなくし、搬出搬入時間の短縮も
実現するものである。

［実施例］ 本発明の好ましい実施例を図面と共に説明すれば以下の
通りである。

第１図はボックス形ウェハキャリア１の中の多段収納ウ
ェハ２を取り出しアーム５によって取り出す場合の実施
例の側断面、また第３図はこの実施例のＡ−Ａ断面より
見た上面を示しており、キャリア１の前面開口の前で上
下に移動可能な取り出しアーム５は、所望のウェハ２の
下の間隙内に先端から進入し、次いで、上昇してウェハ
２をそのウェハ載置面５ａ上にすくいあげ、そして後退
することでウェハ２をキャリア１内から取り出す。ウェ
ハをキャリア内に収納する場合はこの逆の動作をする。

第１．３図の取り出しアーム５の右側には不図示のアー
ム駆動機構がある。

さて、取り出しアーム５はその基部５ｂに発光器３と受
光器４とを上下に間隙をあけて備えており、またアーム
先端にはアーム基部側に向いた反射面７が形成され、受
光器３からの光が載置面５ａと交差する光路６を通って
反射面７に当り、そこで反射されて受光器４に入射でき
るようになっている。

第１図の状態では載置面５ａ上に何もないから、発光器
３からの光は反射面７で反射されて受光器４に入射し、
受光器４はこれによって「ウニハ無し」の信号を出力す
る。

アーム５がキャリア１内のウェハ間隙に進入した状態が
第２図に示されている。またそのＢ−Ｂ断面より見た上
面図が第４図である。この状態では、アーム５が進入し
た間隙の直上のウェハを取り出そうとしており、発光器
３からの光はそのウェハによって遮光されて反射面７に
到達せず、従って受光器４に入射しなくなる。このとき
受光器４は入射が断たれたことに応じて「ウェハ有り」
の信号を出力する。

取り出しアーム５はキャリア１内で「ウェハ有り」の信
号が発せられたときはそのまま所定ストロークだけ上昇
して直上のウェハをすくい上げ、次いで後退してウェハ
を載置面５ａ上に載せたままキャリア外に引き出し、露
光装置内等への搬送系に受は渡す。

もしキャリア内で「ウェハ無し」の信号が発せられた場
合は、キャリア内で取り出しアームをそのまま前記所定
ストロークを超えて上昇させ、上方のウェハによって発
光器３からの光が遮断されて「ウェハ有り」の信号が生
じたところで前記取り出し動作を行なえばよく、キャリ
ア内での動きのみで対処可能である。

なお、本実施例ではウニへの搬送系に適用した場合を述
べたが、本発明はこれ以外にも開口部が一面しかない箱
体内で同一ピッチで多段に収納されている薄板状物品の
搬出搬入に広く適用可能である。

［発明の効果］ 以上に述べたように、本発明によれば、ボックス形キャ
リアによるウェハのランダムな搬出搬入が可能となり、
いわゆる歯抜は状態の多段収納であっても、ウェハの有
無の確認をいちいちキャリア外で行なう必要がなく、取
り出しアームをキャリア内に挿し込んだままで上方へア
ームを穆勤させることで取り出し速度の向上が達成でき
るものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を概念的に示す説明図、第２
図はアームをキャリア内に進入させた状態の同様の説明
図、第３図は第１図のＡ−Ａ断面より見た上面図、第４
図は第２図のＢ−Ｂ断面より見た上面図である。 １：キャリア、２：ウェハ、− ３：受光器、４：受光器、 ５：取り出しアーム、５ａ：ウェハ蔵置面、５ｂ：基部
、６：検知光路、７：反射面、８：穴。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ウェハ等の薄板状被搬送物品を多段収納したキャリ
   アから少なくとも一枚ずつ前記物品を搬出し、あるいは
   前記物品をキャリア内へ搬入するための取り出しアーム
   、前記取り出しアームに配設されており、前記取り出し
   アームの基部側から先端方向に向う検知光路を持ち、該
   検知光路上の光が遮断されるか否かで前記取り出しアー
   ムの物品載置部上方の被搬送物品の有無を検知するウェ
   ハセンサを有することを特徴とするウェハ等の搬出搬入
   装置。 ２、前記取り出しアームの物品載置面と交差するように
   検知光を照射する発光手段と、該発光手段から照射され
   てアームの物品載置面と交差した後の検知光を検出する
   受光手段とが前記取り出しアームの基部側に配設されて
   いることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のウ
   ェハ等の搬出搬入装置。 ３、取り出しアームの先端部近傍に基部側に向いた反射
   部が設けられ、発光手段が基部側からアームの物品載置
   面を横切って前記反射部に検知光を照射し、その反射部
   での反射光を基部側にて受光手段で検知するようにした
   特許請求の範囲第２項に記載のウェハ等の搬出搬入装置
   。