JPH04236448A - ウェーハ用搬送アーム装置 - Google Patents
ウェーハ用搬送アーム装置Info
- Publication number
- JPH04236448A JPH04236448A JP3004870A JP487091A JPH04236448A JP H04236448 A JPH04236448 A JP H04236448A JP 3004870 A JP3004870 A JP 3004870A JP 487091 A JP487091 A JP 487091A JP H04236448 A JPH04236448 A JP H04236448A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- transfer arm
- arm
- pair
- holding container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 19
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 59
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Controlling Sheets Or Webs (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体基板用搬送アーム
装置に関し、特に半導体用基板を保持容器から取り出し
て搬送したり、処理済半導体用基板を搬送して保持容器
に収容し、半導体基板の取り出し、収容のために保持容
器内の半導体使用基板の有無等の状態を調べることがで
きるウェーハ用搬送アーム装置に関する。
装置に関し、特に半導体用基板を保持容器から取り出し
て搬送したり、処理済半導体用基板を搬送して保持容器
に収容し、半導体基板の取り出し、収容のために保持容
器内の半導体使用基板の有無等の状態を調べることがで
きるウェーハ用搬送アーム装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術としては、例えば、特公昭６
２−１７５３６５号公報に示されているように半導体基
板用搬送アーム装置がある。
２−１７５３６５号公報に示されているように半導体基
板用搬送アーム装置がある。
【０００３】図４は従来の半導体基板用搬送アーム装置
の一列を示す構成図である。
の一列を示す構成図である。
【０００４】図４に示す半導体基板用搬送アームは、複
数のウェーハ１ａ 〜１ｅ を１枚ずつ収容する複数の
棚２ａ 〜２ｅ を有するウェーハキャリア２を載置す
る昇降台３と、昇降台３を上下するウェーハキャリア上
下機構９と、ウェーハキャリア２内のウェーハ１ａ 〜
１ｅ と平行に移動する取り出し機構５と、棚２ａ 〜
２ｅ にウェーハ１ａ 〜１ｅ を出し入れする搬送ア
ーム４と、搬送アーム４に上下に位置を異にして設けら
れ搬送アーム４のウェーハ載置面に沿って平行な光ビー
ムをウェーハキャリア２内に投射する２個の半導体レー
ザ１３，１４と、ウェーハキャリア２に対して半導体レ
ーザ１３，１４とは反対側の装置本体固定部に設けられ
た光電変換素子１５ａ 〜１５ｄ とを備えている。
数のウェーハ１ａ 〜１ｅ を１枚ずつ収容する複数の
棚２ａ 〜２ｅ を有するウェーハキャリア２を載置す
る昇降台３と、昇降台３を上下するウェーハキャリア上
下機構９と、ウェーハキャリア２内のウェーハ１ａ 〜
１ｅ と平行に移動する取り出し機構５と、棚２ａ 〜
２ｅ にウェーハ１ａ 〜１ｅ を出し入れする搬送ア
ーム４と、搬送アーム４に上下に位置を異にして設けら
れ搬送アーム４のウェーハ載置面に沿って平行な光ビー
ムをウェーハキャリア２内に投射する２個の半導体レー
ザ１３，１４と、ウェーハキャリア２に対して半導体レ
ーザ１３，１４とは反対側の装置本体固定部に設けられ
た光電変換素子１５ａ 〜１５ｄ とを備えている。
【０００５】ここで、ウェーハキャリア２を上下機構９
により上下へ送り、半導体レーザ１３，１４の状態を受
光素子１５ａ ，１５ｂ ，１５ｃ ，１５ｄ でスキ
ャンしてウェーハキャリア２内の棚上のウェーハの様子
を検出する。
により上下へ送り、半導体レーザ１３，１４の状態を受
光素子１５ａ ，１５ｂ ，１５ｃ ，１５ｄ でスキ
ャンしてウェーハキャリア２内の棚上のウェーハの様子
を検出する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の半導体
基板用搬送アームは、上下に平行な４本のレーザ光束を
ウェーハに対して投光するものとなっているため、ウェ
ーハキャリア内にウェーハが棚の段違いに斜めに置かれ
た場合に対処が難しいという欠点があった。
基板用搬送アームは、上下に平行な４本のレーザ光束を
ウェーハに対して投光するものとなっているため、ウェ
ーハキャリア内にウェーハが棚の段違いに斜めに置かれ
た場合に対処が難しいという欠点があった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数のウェー
ハを所定の間隙をもって互いに重ねるように収容する保
持容器と、この保持容器を載置して昇降させる昇降台と
、前記保持容器に前記ウェーハを任意に一枚ずつ出し入
れする搬送アームとを備えたウェーハ用搬送アーム装置
において、前記搬送アームの両側面から前記保持容器の
前記搬送アームとは逆の側へ向け、かつ前記搬送アーム
の搬送位置のウェーハの裏面側から表面側へ一対の光ビ
ームを投光する手段と、前記一対の光ビームを前記保持
容器の前記搬送アームとは逆の面で入射し互いに前記搬
送アームに対し逆の側面へ光軸を移した後に前記搬送ア
ームへ向け、かつ前記搬送アームの前記搬送位置のウェ
ーハの裏面側から表面側へ光ビームを反射する反射光学
素子と、該反射光学素子からの一対の反射光ビームを受
光する一対の受光素子とを含んで構成される。
ハを所定の間隙をもって互いに重ねるように収容する保
持容器と、この保持容器を載置して昇降させる昇降台と
、前記保持容器に前記ウェーハを任意に一枚ずつ出し入
れする搬送アームとを備えたウェーハ用搬送アーム装置
において、前記搬送アームの両側面から前記保持容器の
前記搬送アームとは逆の側へ向け、かつ前記搬送アーム
の搬送位置のウェーハの裏面側から表面側へ一対の光ビ
ームを投光する手段と、前記一対の光ビームを前記保持
容器の前記搬送アームとは逆の面で入射し互いに前記搬
送アームに対し逆の側面へ光軸を移した後に前記搬送ア
ームへ向け、かつ前記搬送アームの前記搬送位置のウェ
ーハの裏面側から表面側へ光ビームを反射する反射光学
素子と、該反射光学素子からの一対の反射光ビームを受
光する一対の受光素子とを含んで構成される。
【０００８】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【０００９】図１は、本発明の一実施例を示す斜視図で
ある。
ある。
【００１０】図１に示す半導体基板用搬送アーム装置は
、複数のウェーハ１を収容する複数の棚を持つウェーハ
キャリア２を置く昇降台３と、ウェーハキャリア２内の
ウェーハ１と平行に移動する取り出し機構５を持つ搬送
アーム４と、搬送アーム４の両側においてウェーハキャ
リア２の奥へ向け、かつ搬送アーム４の搬送位置のウェ
ーハの裏面側から表面側に斜めにレーザを投光するレー
ザ源６ａ ，６ｂ と、レーザ源６ａ ，６ｂ からの
レーザ光がウェーハキャリア２を貫通後にそのレーザ光
を反射させて搬送アーム４の逆側でウェーハの裏側に位
置させてから搬送アーム４へ向け、かつ搬送アーム４の
搬送位置のウェーハの裏面側から表面側にレーザ光を反
射する反射光学素子８と、搬送アーム４の両側において
反射光学素子８からの反射レーザ光を受光する受光素子
７ａ ，７ｂ とを含んで構成される。
、複数のウェーハ１を収容する複数の棚を持つウェーハ
キャリア２を置く昇降台３と、ウェーハキャリア２内の
ウェーハ１と平行に移動する取り出し機構５を持つ搬送
アーム４と、搬送アーム４の両側においてウェーハキャ
リア２の奥へ向け、かつ搬送アーム４の搬送位置のウェ
ーハの裏面側から表面側に斜めにレーザを投光するレー
ザ源６ａ ，６ｂ と、レーザ源６ａ ，６ｂ からの
レーザ光がウェーハキャリア２を貫通後にそのレーザ光
を反射させて搬送アーム４の逆側でウェーハの裏側に位
置させてから搬送アーム４へ向け、かつ搬送アーム４の
搬送位置のウェーハの裏面側から表面側にレーザ光を反
射する反射光学素子８と、搬送アーム４の両側において
反射光学素子８からの反射レーザ光を受光する受光素子
７ａ ，７ｂ とを含んで構成される。
【００１１】２図に、レーザ源６ａ からの光路の平面
図を示す。
図を示す。
【００１２】レーザ源６ａ からのレーザはウェーハ１
を裏面から表面へ横切り、反射光学素子８で、搬送アー
ム４の逆側へ向けられ再びウェーハ１を裏面から表面へ
横切り受光素子７ａ へ戻る光路を持つ。レーザ源６ｂ
からの光路は、搬送アーム４に対して逆向きになるよ
うに受光素子７ｂ へ戻る光路を持つように設置されて
いる。
を裏面から表面へ横切り、反射光学素子８で、搬送アー
ム４の逆側へ向けられ再びウェーハ１を裏面から表面へ
横切り受光素子７ａ へ戻る光路を持つ。レーザ源６ｂ
からの光路は、搬送アーム４に対して逆向きになるよ
うに受光素子７ｂ へ戻る光路を持つように設置されて
いる。
【００１３】図３（ａ）は正常な棚位置にウェーハ１が
置かれている時のレーザ光の光路を示す側面図、図３（
ｂ），（ｃ）はウェーハ１が斜めに棚に置かれている時
のレーザ光の光路を示す側面図である。
置かれている時のレーザ光の光路を示す側面図、図３（
ｂ），（ｃ）はウェーハ１が斜めに棚に置かれている時
のレーザ光の光路を示す側面図である。
【００１４】ここで図３（ａ），（ｂ），（ｃ）中の点
ａ，ｃは反射光学素子８の入射光位置，点ｂ，ｄは反射
光の出射光位置を示している。正常にウェーハキャリア
２内の棚へウェーハ１ｂ が置かれている場合に受光素
子７ａ ，７ｂ の出力は共にオフとなる。また、図３
（ｂ）に示すように右に傾いて斜めにウェーハ１ｂが置
かれている場合は受光素子７ａ がオフ，受光素子７ｂ
がオンとなる。図３（ｃ）に示すように逆に斜めに置
かれている場合には受光素子７ａ はオン、受光素子７
ｂはオフとなる。また、搬送位置にウェーハが無い場合
には、受光素子７ａ ，７ｂ が共にオンとなる。この
ように受光素子７ａ ，７ｂ の受光の判定より、搬送
アーム４の取り出し位置に正常にウェーハが有るかの判
定が可能である。
ａ，ｃは反射光学素子８の入射光位置，点ｂ，ｄは反射
光の出射光位置を示している。正常にウェーハキャリア
２内の棚へウェーハ１ｂ が置かれている場合に受光素
子７ａ ，７ｂ の出力は共にオフとなる。また、図３
（ｂ）に示すように右に傾いて斜めにウェーハ１ｂが置
かれている場合は受光素子７ａ がオフ，受光素子７ｂ
がオンとなる。図３（ｃ）に示すように逆に斜めに置
かれている場合には受光素子７ａ はオン、受光素子７
ｂはオフとなる。また、搬送位置にウェーハが無い場合
には、受光素子７ａ ，７ｂ が共にオンとなる。この
ように受光素子７ａ ，７ｂ の受光の判定より、搬送
アーム４の取り出し位置に正常にウェーハが有るかの判
定が可能である。
【００１５】
【発明の効果】本発明の半導体基板用搬送アームは、ウ
ェーハの両側から表裏を横切るように一対の光ビームを
保持容器のウェーハ搬送用アームの側から奥へ向け投光
したのち、一対の光ビームの位置を互いに交換してウェ
ーハの両側から表裏を横切るように反射させることによ
り、ウェーハキャリア内の棚に段違いにウェーハが置か
れた場合にも検出・対処できるという効果がある。
ェーハの両側から表裏を横切るように一対の光ビームを
保持容器のウェーハ搬送用アームの側から奥へ向け投光
したのち、一対の光ビームの位置を互いに交換してウェ
ーハの両側から表裏を横切るように反射させることによ
り、ウェーハキャリア内の棚に段違いにウェーハが置か
れた場合にも検出・対処できるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す斜視図である。
【図２】図１のレーザ源６ａ のレーザ光の光路を示す
平面図である。
平面図である。
【図３】図１に示す実施例の光路を示す側面図である。
【図４】従来のウェーハ用搬送アーム装置の構成図であ
る。
る。
１，１ａ ，１ｂ ，１ｃ ，１ｄ ，１ｅ
ウェーハ２ ウェーハキャリア ２ａ ，２ｂ ，２ｃ ，２ｄ ，２ｅ ウェー
ハ棚３ 昇降台 ４ 搬送アーム ５ 取り出し機構 ６ａ ，６ｂ レーザ光源 ７ａ ，７ｂ 受光素子 ８ 反射光学素子 ９ ウェーハキャリア上下機構 １０ 固定部 １３，１４ 半導体レーザ
ウェーハ２ ウェーハキャリア ２ａ ，２ｂ ，２ｃ ，２ｄ ，２ｅ ウェー
ハ棚３ 昇降台 ４ 搬送アーム ５ 取り出し機構 ６ａ ，６ｂ レーザ光源 ７ａ ，７ｂ 受光素子 ８ 反射光学素子 ９ ウェーハキャリア上下機構 １０ 固定部 １３，１４ 半導体レーザ
Claims (1)
- 【請求項１】 複数のウェーハを所定の間隙をもって
互いに重ねるように収容する保持容器と、この保持容器
を載置して昇降させる昇降台と、前記保持容器に前記ウ
ェーハを任意に一枚ずつ出し入れする搬送アームとを備
えたウェーハ用搬送アーム装置において、前記搬送アー
ムの両側面から前記保持容器の前記搬送アームとは逆の
側へ向け、かつ前記搬送アームの搬送位置のウェーハの
裏面側から表面側へ一対の光ビームを投光する手段と、
前記一対の光ビームを前記保持容器の前記搬送アームと
は逆の面で入射し互いに前記搬送アームに対し逆の側面
へ光軸を移した後に前記搬送アームへ向け、かつ前記搬
送アームの前記搬送位置のウェーハの裏面側から表面側
へ光ビームを反射する反射光学素子と、該反射光学素子
からの一対の反射光ビームを受光する一対の受光素子と
を含むことを特徴とする半導体基板用搬送アーム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3004870A JPH04236448A (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | ウェーハ用搬送アーム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3004870A JPH04236448A (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | ウェーハ用搬送アーム装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04236448A true JPH04236448A (ja) | 1992-08-25 |
Family
ID=11595713
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3004870A Pending JPH04236448A (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | ウェーハ用搬送アーム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04236448A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1471565A3 (en) * | 2003-04-21 | 2006-02-01 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Mapping device for semiconductor wafers |
-
1991
- 1991-01-21 JP JP3004870A patent/JPH04236448A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1471565A3 (en) * | 2003-04-21 | 2006-02-01 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Mapping device for semiconductor wafers |
| US7043335B2 (en) | 2003-04-21 | 2006-05-09 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Mapping device |
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