JP2824421B2 - マガジン内のマガジン棚と、同マガジン棚内に格納されたウェハ状物体とに使用するインデックス装置 - Google Patents

マガジン内のマガジン棚と、同マガジン棚内に格納されたウェハ状物体とに使用するインデックス装置

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JP2824421B2 JP8184500A JP18450096A JP2824421B2 JP 2824421 B2 JP2824421 B2 JP 2824421B2 JP 8184500 A JP8184500 A JP 8184500A JP 18450096 A JP18450096 A JP 18450096A JP 2824421 B2 JP2824421 B2 JP 2824421B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はマガジン内のマガジ
ン棚と、同マガジン棚内に格納されたウェハ状物体、特
に半導体ウェハ及びテンプレート、即ちマスクとに使用
するインデックス装置（Indexer）であって、マガジン
と、取出し及び装填のための第１の取扱い面とは、ウェ
ハ状物体を加工するために上下方向における相対位置の
調整が可能であり、同位置の調整は基準面に対するウェ
ハ状物体及びマガジン棚の位置を検出する光電子センサ
装置を使用して行われ、基準面が第１の取扱い面に対し
て一定の関係にあるインデックス装置に関する。この種
の装置は集積回路の製造、特に半導体ウェハ及びマスク
等のウェハ状物体の取扱いに使用可能である。この例は
ドイツ特許第４３０６９５７Ｃ１号に開示されている。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】集積回
路の製造において、半導体ウェハ及びマスク等のウェハ
状物体は異なる加工ステージ間において各加工装置への
搬送を要する。このような搬送はスタンダード・メカニ
カル・インターフェース・ボックス（ＳＭＩＦボック
ス）と称される標準化された搬送コンテナ内において行
われる。ウェハ状物体を棚内に有するマガジンは適切な
方法により搬送コンテナの基部へ固定される。マガジン
を加工装置内へ装填すべく、同マガジンは適切な装置を
使用して搬送コンテナから取り出される。次いで、ウェ
ハ状物体が取出し及び装填メカニズムを使用してマガジ
ンから取出される。ウェハ状物体の加工終了後、同ウェ
ハ状物体はマガジン棚へ戻される。次いで、マガジンは
搬送コンテナ内へ戻される。
【０００３】ウェハ状物体を検出すべく同ウェハ状物体
の裏面に作用する衝撃圧センサ（Staudrucksensoren）
またはレフレックス・カプラ（Reflexkopplern）の使用
に関する問題点としては、マガジンを所定の順序で取扱
う必要性が挙げられる。この場合、任意の物体をマガジ
ンから取出すことはできない。寧ろ、必要とされるセン
サ装置と、同センサ装置に関連して行われる半導体ウェ
ハの取出し及び装填に起因して、装填マガジンは下から
上へ順次空にする必要があり、さらに分配マガジンは上
から下へ順次装填する必要がある。従って、所定のレベ
ルへのウェハ状物体の配置は厳守されない。このような
技術的解決策は検査を目的とする従来の無作為標本の取
出しと、前記の搬送コンテナとには使用できない。
【０００４】米国特許第４，８９５，４８６号は、キャ
リア（即ち、マガジン）内におけるウェハ状物体の存在
と、同キャリア内におけるウェハ状物体の基準面に対す
る位置とを監視装置を使用して確定することを開示して
いる。この場合、物体の存在を示す第１の信号は物体の
位置を示す第２の信号と組合わされる。第１の信号は物
体を配置する空間を監視する光電子センサによって形成
される。第２の信号はキャリアを上下に移動させる駆動
装置に接続された位置エンコーダを通じて形成される。
基準面と、物体の静止可能位置とを決定すべくキャリア
内の空間は垂直方向に複数のセグメントへ分割されてい
る。基準面として機能する１つのセグメントと、ウェハ
状物体を伴わない複数のセグメントとに加え、物体の配
置が可能なウィンドウ・セグメント（Window-Segment
e）が形成されている。キャリアのインデックス動作（I
ndexierung）は、キャリア内の基準面を測定技術を用い
て検出した後、使用したキャリアの構造データに基づい
てウィンドウ・セグメントの位置を確定し、かつその位
置をコンピュータ内へ格納することによって行われる。
【０００５】キャリア内の物体の数量と、キャリア内の
基準面に対する物体の配置位置とは前記の解決策を用い
て確定し得る。しかし、キャリア、即ち取出し及び装填
メカニズムは物体を同キャリアから取出すために、キャ
リアの棚のグリッド寸法（Rastermass）内へ配置する必
要がある。この際、各種のキャリア・ジオメトリー及び
公差を許容できない場合、誤差を排除できない。特に、
空のキャリアに対する任意の装填を行う際に問題が生じ
る。
【０００６】更に、キャリアを上方へ垂直に移動させる
際、別の光電子センサを使用することにより、キャリア
内における物体の正しい位置が監視可能となる。これは
キャリアを搬送コンテナ内へ戻す際、キャリアから突出
する物体の損傷を防止するために行われる。取扱いシス
テムの欠陥または誤った操作により物体がキャリアから
突出していることが検出された場合、マガジンの搬送は
中止される。そして、エラーを排除するために手動操作
をオペレーションの一部へ介入させる必要が生じる。突
出する物体の検出は実用面における重要性を有する。し
かし、必要とされる手動操作の介入は装置エンクロージ
ャ内におけるクリーン・ルーム条件と、幾つかのケース
において加工装置の気候条件とを阻害することにより連
続加工に不必要な遅延を招来する。これは装置の故障を
引き起こし得る。
【０００７】ドイツ特許第４３０６９５７Ｃ１号に開示
された解決策は、基準面に対するウェハ状物体及びマガ
ジン棚の位置を発信器及び受信器からなる光電子センサ
によって形成された測定光束を用いて検出することによ
り、前記の全ての要求を満たしている。基準面は取出し
及び装填のための取扱い面に対して一定の構造的関係を
有する。また、マガジンは取出し及び装填のための取扱
い面に対して測定可能な形態で垂直方向に調整可能であ
り、同調整はマガジン受取り装置によりマガジン・エレ
ベータを介して行われる。
【０００８】この解決策の問題点としては、２つの互い
に対向する側部への自由なアクセスが可能なマガジンの
みを使用し得る点が挙げられる。即ち、このインデック
ス装置は１つの取出し及び装填用側部のみを開放し得る
マガジンには使用できない。別の問題点としては、マガ
ジン・サイズ、即ちマガジン・フォーマットの違いを直
接識別できない点が挙げられる。
【０００９】本発明は前述した事情に鑑みてなされたも
のであって、その目的は１つの取出し及び装填用側部に
のみ開口を有するマガジンを含むマガジン内の任意の平
面に対する正確なアクセスを各種の標準化されたマガジ
ン及びウェハ・フォーマットの識別が可能な汎用インデ
ックス動作により保証するマガジン内のマガジン棚と、
同マガジン棚内に格納されたウェハ状物体とに使用する
インデックス装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、マガジ
ン内のマガジン棚と、同マガジン棚内に格納されたウェ
ハ状物体とに使用するインデックス装置であって、マガ
ジンと、取出し及び装填のための第１の取扱い面とは、
ウェハ状物体を加工するために上下方向における相対位
置の調整が可能であり、同位置の調整は基準面に対する
ウェハ状物体及びマガジン棚の位置を検出する光電子セ
ンサ装置を使用して行われ、基準面は第１の取扱い面に
対して一定の関係にあるインデックス装置において、光
電子センサ装置の少なくとも一部は、前記マガジンの移
動方向に直交する水平面内にて前記ウェハ状物体のエッ
ジ及びマガジン棚への距離を測定するための距離測定シ
ステムとして形成されているインデックス装置によって
実現される。
【００１１】ウェハ状物体が前方へ向けて一方のエッジ
から他方のエッジにかけて不透明な場合、センサ装置全
体を距離測定システムとして形成可能である。この際、
距離測定システムはウェハ状物体及びマガジン棚の各エ
ッジにおいて散乱した放射線を検出する。
【００１２】また、距離測定システムはマガジンの開放
側部に配置された発信器及び受信器を有する。この結
果、発信器から出射し、かつその中心光線が基準面内に
位置する測定光束は基準面に対するマガジンの垂直方向
の調整によってウェハ状物体と、同ウェハ状物体を収容
する棚形成突起とを連続的に検出する。ウェハ状物体及
び突起は発信器からの距離が互いに異なるため相互の識
別が可能である。
【００１３】垂直方向の調整が行われることにより、マ
ガジン棚と、同マガジン棚内に格納されたウェハ状物体
との画像は出力信号の振幅変調によって形成される。こ
れは移動方向に直交する方向に延びる基準面内における
発信器及び反射物の間の距離を変更することによって実
現される。発信器及び入射点の間の距離に基づいて形成
される受信信号は電子増幅器によってアナログ信号へ変
換される。
【００１４】水平面内に自身の測定光束が位置するセン
サ・システムは垂直方向の位置を確定する。更に、同セ
ンサ・システムは水平面内の座標を確定することによ
り、問題のアイテムがウェハ状物体のためのマガジン棚
であるか、またはウェハ状物体自身であるかを確定す
る。
【００１５】前方へ向けて一方のエッジから他方のエッ
ジにかけて透明であるウェハ状物体の場合、後方へ向か
って散乱した光線は特定の条件下においてのみ測定可能
である。
【００１６】従って、光電子センサ装置はマガジンの開
放側部の基準面内に配置された発信器及び受信器を有す
る距離測定システムと、マガジンの開放側部に対向する
側部に配置された別の受信器とを有する。発信器から出
射した測定光束は垂直入射光線に対して傾斜する方向へ
基準面内を物体及び突起へ案内される。
【００１７】距離測定システムは棚形成突起を検出すべ
く使用される。別の受信器を使用することにより、物体
の存在によって形成される平行平面板効果を同物体の検
出に使用し得る。前記の別の受信器はマガジン棚内に物
体が存在しない際に測定光束が入射する位置と、物体の
存在によってオフセットした測定光束の入射位置とのう
ちのいづれか一方へ配置可能である。
【００１８】マガジンの開放側部に配置された発信器及
び受信器を有する距離測定システムと、同開放側部に配
置された別の発信器と、マガジンの開放側部に対向する
側部に配置された別の受信器とを有する光電子センサ装
置は、前方へ向けて一方のエッジから他方のエッジにか
けて透明な物体の検出に適する。
【００１９】前記の光電子センサ装置において、別の発
信器から出射した測定光束は垂直入射光線に対して傾斜
する方向へ基準面内を物体へ案内される。距離測定シス
テムは棚形成突起の検出に使用される。別の受信器は前
記の要領にて使用される。
【００２０】距離測定システムの受信器及び発信器は構
造ユニット（Baueinheit）内において効果的に組み合わ
されている。本発明に基づく技術的解決策により、マガ
ジン棚と、同マガジン棚内に格納されたウェハ状物体と
を測定技術を用いて検出するために、インデックス動作
を行うマガジン内において実際に発生する比率が確定さ
れる。従って、マガジン内に異なる棚間隔及び異なる基
準面を有する複数のマガジン間における任意の形態での
ウェハ状物体の再仕分けまたは再配置を可能にすべく同
ウェハ状物体の取出し及び格納を行い得る。必要に応じ
て空のマガジンをウェハ状物体で満たし得る。本発明の
技術的解決策は装填及び取出し開口を有する側部を除く
他の全ての側部が閉鎖されているマガジンまたはマガジ
ン状コンテナの使用を可能にする。
【００２１】現時点においてグローバル・スタンダード
によって保証されるマガジンの適切なデザインを仮定し
た場合、アナログ信号の値のみを使用して異なるマガジ
ン・フォーマットを確定し得る。距離に基づいて確定さ
れたアナログ信号値を使用することにより、ウェハ状物
体の位置は基準面に対して平行をなす全ての平面内にお
いて査定し得る。この査定は複数のウェハ・サイズの識
別と、取扱いプロセス後または同取扱いプロセス前に行
われるウェハ状物体の正確に位置決めされた装填の監視
とに使用可能である。
【００２２】格納が適切な位置において実施されない場
合、マガジンから突出するウェハ状物体を位置決めすべ
く第１の取扱い面に対して平行をなす第２の取扱い面内
に戻し装置を配置し得る。ウェハ戻し装置の動作は前方
へ向けて一方のエッジから他方のエッジにかけて不透明
なウェハ状物体の場合、距離測定システムのセンサ信号
の値に基づいて行われる。また、前方へ向けて一方のエ
ッジから他方のエッジにかけて透明なウェハ状物体の場
合、別のセンサ・システムをマガジンから突出する物体
の検出に使用可能である。ウェハ戻し装置はセンサ信号
に基づいて外部からの介入を伴うことなく物体をマガジ
ン棚内へ案内する。手動操作の介入を伴うことなく、マ
ガジンを搬送コンテナ内へ搬送することが保証され、か
つ突出する物体に対する損傷を防止し得る。
【００２３】
【発明の実施の形態】図１はウェハ状物体の取扱い装置
の一部を示す。同取扱い装置はその内部に軸駆動装置１
によりｚ方向（取扱い装置の支持面に直交する方向）へ
の上下動が可能なマガジン・シート２を有する。軸１は
ステップ・モータ３によって駆動される。角度測定シス
テム４がステップ・モータ３に対して取付けられてい
る。この結果、上昇時または下降時における移動距離は
軸のピッチから確定し得る。
【００２４】ステップ・モータ３は自身を制御する電子
制御装置、角度測定システム４、制御コンピュータ（図
示略）、軸１及びマガジン・シート２とともにマガジン
・エレベータの位置調整装置を形成している。
【００２５】取出し及び装填装置５はハンドリング・ア
ーム６及び光電子センサを有する。ハンドリング・アー
ム６は取扱い面Ｈ−Ｈ内において動作する。更に、ハン
ドリング・アーム６はマガジン・エレベータとともに共
有フレーム９に固定されている。光電子センサ装置はハ
ウジング内に発信器７（図２参照）及び受信器８を有す
る。発信器７から出射するとともに基準面Ｅ−Ｅ内に自
身の中心光線が位置する測定光束１０は、マガジン１１
内のマガジン棚と、同マガジン棚に収容されたウェハ状
物体１２とのインデックス動作を行うべく使用される。
平面Ｅ−Ｅ及び取扱い面Ｈ−Ｈの間の距離は軸駆動装置
１の動作範囲内において選択可能である。
【００２６】図２において、発信器７及び受信器８は互
いに隣接して配置されている。測定光束１０は壁１４，
１５上の棚形成突起１３と、装填されたウェハ状物体と
しての半導体ウェハ１６の正面エッジとへそれぞれ入射
する。光束１０が複数の突起１３のうちの１つと、装填
された半導体ウェハ１６の正面エッジとのうちのいづれ
か一方において拡散反射することにより、距離を示すア
ナログ信号が受信器８において形成される。突起１３を
半導体ウェハ１６から明確に識別すべく両者の距離を示
すアナログ信号の値は互いに異なる。図２に示すマガジ
ン１１における斜めの照射は拡散反射に対して好ましい
条件を形成する。
【００２７】図３に示すマスク・マガジンにおいて、発
信器１８から出射した測定光束１７は壁１９，２０に対
して平行に延びるとともに、棚形成突起２１上へ案内さ
れ、さらには必要に応じて棚内に配置されたマスク２２
上へも案内される。マスクは棚２１の支持体２３上へ配
置され、かつ側方停止部２４により滑動が阻止されてい
る。
【００２８】発信器１８及び突起２１間の距離と、発信
器１８及びマスク２２間の距離とは互いに異なる。この
ため、これに対応して異なるアナログ信号値がマスク・
マガジン内に位置する受信器２５上で形成される。従っ
て、突起２１及びマスク２２は前記のアナログ信号の値
に基づいて識別し得る。
【００２９】図４及び図５に示すように、検出対象物が
前方へ向けて一方のエッジから他方のエッジにかけて透
明な場合（即ち、透明な側面を有するマスクの場合）、
測定光束１７，２９が垂直入射光線（senkrechten Stra
hlungseinfall）に対して鋭角をなす入射角度で基準面
内をマスク２２及びウェブ２１へ向けて伝搬されるよう
同測定光束１７，２９を案内することが望ましい。
【００３０】図４に示す構造は空間的に敏感な測定を行
う別の受信器（einen weiteren ortsempfindlich messe
nden Empfaenger）２６をマガジンの開放側部に対向す
る側部に有する。マスク２２がマガジン棚内に配置され
ている場合、平行平面板効果（Planplatteneffekt）に
より、測定光束１７は屈折率に基づいてマスク２２への
自身の入射波からオフセットして出射する。
【００３１】構造に関する更に好ましい別の態様では、
前記の別の受信器２６はマガジン棚内にマスク２２が存
在しない際に測定光束が入射する位置へ配置されてい
る。マスク２２がマガジン棚内に配置されている場合、
受信器２６は信号を全く受信しない。逆に、オフセット
した測定光束の入射位置へ別の受信器をさらに配置して
もよい。
【００３２】図５では、別の発信器２７及び別の受信器
２８が測定光束２９とともに提供されている。測定光束
２９は垂直入射光線に対して傾斜して延びている。オペ
レーションは図４の構造におけるオペレーションと同様
に行われる。前記のいづれの場合にも、距離測定システ
ムは棚形成突起２１を検出すべく使用される。更に、別
の受信器２６，２８はマスク２２を検出すべく使用され
る。
【００３３】マスク・マガジン内のマガジン棚の間隔
は、その製造プロセスに起因して僅かな公差を有するの
みである。この事実は標準化されたマガジンが半導体製
造装置に多く使用されているという事実とともに、マガ
ジン棚の位置を間接的に決定することと、空のマガジン
のマガジン・フォーマットを識別することを可能にす
る。
【００３４】図６〜図８は異なるマガジン・フォーマッ
トを確定する手順を示す。図６及び図７は５インチ・マ
ガジン及び６インチ・マガジンをそれぞれ示す。各符号
は図３に示す符号に対応している。図８は加工装置内に
おけるそれぞれの位置に一致する位置へ上下に重ねて配
置した２つのマガジンを示す。
【００３５】図３に示すセンサ装置に対応する固定セン
サ装置を使用することにより、測定光束１７は突起２１
の垂直移動に基づいて実線で示す５インチ・マスク・マ
ガジン内のウェブ３０と、破線で示す６インチ・マスク
・マガジン内の支持体２３とをスキャンする。５インチ
・マスク・マガジン内の支持体の位置は同支持体及びウ
ェブ３０間の一定の幾何学的関係に基づいて確定し得
る。スキャンニング中に形成される５インチ・マスク・
マガジン及び６インチ・マスク・マガジンの一般的な信
号波形を符号３１及び符号３２によってそれぞれ示す。
【００３６】スキャンニングはマガジンの垂直方向への
移動が行われる際に、測定光束１７を用いて行われる。
この場合、センサ信号のアナログ値と、マガジン・エレ
ベータの位置調整装置を介して確定された垂直方向の位
置の値とが格納される。データ量を削減すべくアナログ
信号に対する閾値ｓｗ１及びｓｗ２を設定し得る。
【００３７】マガジン棚及びマスクはウェブ３０及び支
持体２３の間の距離に対応する選択可能な補正値と、閾
値に対する格納された垂直方向の位置の値のリンク付け
とを使用することにより、取扱い面Ｈ−Ｈに対して正確
に位置決めし得る。
【００３８】半導体マガジンに関する図９の構造から明
らかなように、距離測定システムの利用は、基準面に対
して平行に延びる各平面内における距離に基づいて確定
されたアナログ信号の値を使用することにより、前方へ
向けて一方のエッジから他方のエッジまで不透明なウェ
ハ状物体の位置の正しさを試験することにも適する。
【００３９】ウェハ状物体が正しく装填されていない場
合、第１の取扱い面Ｅ−Ｅに対して平行をなす第２の取
扱い面内に位置する戻し装置３３は突出した半導体ウェ
ハ１６をマガジン内へ押し戻すべく使用される。従っ
て、マガジン１１の搬送は妨害されたり、手動操作を介
入させる必要なく遂行可能である。
【００４０】戻し装置３３はリンク・メカニズム、即ち
レバー・メカニズム３４を有する。レバー・メカニズム
３４は電動モータによって駆動される。レバー・メカニ
ズム３４は駆動装置（図示略）が回動した際に９０度回
動する。メカニズム３４のレバーの反転位置は同レバー
が半導体ウェハ１６をマガジン１１内へ押し込んだ後、
初期位置へ戻るよう設定されており、これはリミット・
スイッチによって監視されている。
【００４１】物体が一方のエッジから他方のエッジまで
透明である場合、破線で示す別のセンサが使用可能であ
り、同センサは発信器３５及び受信器３６を有する。セ
ンサ信号は戻し装置３３の動作を制御する。
【００４２】ステップ・モータ３、角度測定システム
４、発信器７，１８，２７，３５、受信器８，２５，２
６，３６、別のセンサ３７、レバー・メカニズム３３及
びリミット・スイッチは本発明を実現すべく制御コンピ
ュータに接続されている。そして、別のセンサ３７はフ
レーム９に対して固定されている。アナログ・デジタル
変換器はセンサ及び制御コンピュータ間に接続されてい
る。
【００４３】取扱い面Ｈ−Ｈ及び基準面Ｅ−Ｅから所定
の距離離間した位置へ配置された別のセンサ３７に対し
てマガジン・シート２を位置決めし、次いで角度測定シ
ステムのカウンタをゼロへリセットした後、マガジン１
１は防塵搬送コンテナ（図示略）から自身の基部を介し
て自動的に取り出される。次いで、マガジン１１はマガ
ジン棚と、同マガジン棚に格納されたウェハ状物体１
２，２２とのインデックス動作を行うべくマガジン・シ
ート２上へ配置される。次いで、マガジン・シート２は
データ量を削減するために効果的に決定された閾値ｓｗ
１，ｓｗ２のうちの閾値ｓｗ２を越えるまで下降、即ち
負のｚ方向へ移動される。この結果、基準面Ｅ−Ｅから
マガジン１１の基部までの距離が検出される。
【００４４】マガジン１１が上下に配置された自身の複
数の棚の方向へ測定面Ｅ−Ｅを通って移動する際、振幅
変調されたセンサ出力信号が経路の関数として受信器
８，２５，２６，２８において形成される。センサ出力
信号はマガジン棚及び物体１２，２２の画像を示す。ま
た、前記の画像は一定の幾何学的関係に基づいてセンサ
出力信号から形成し得る。センサ出力信号はアナログか
らデジタルへ変換された後、制御コンピュータにより角
度測定システム４の測定信号と組み合わされ、かつ格納
される。
【００４５】マガジン１１、即ちウェハ・マガジンから
の物体１２，２２の取出しと、空のマガジン棚内への物
体１２，２２の配置とのうちのいづれか一方を実施すべ
く、測定面Ｅ−Ｅ及び第１の取扱い面Ｈ−Ｈの間の距離
の値がカウンタの読み取り値に対して加算される。次い
で、マガジン１１、即ちウェハ・マガジンはマガジン・
エレベータにより対応するｚ位置へ移動される。この結
果、マガジン内の任意の平面に対する正確なアクセスが
保証され、同平面内に位置するウェハ状物体の取出し
と、同平面内へのウェハ状物体の装填とを円滑に行い得
る。
【００４６】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
１つの取出し及び装填用側部にのみ開口を有するマガジ
ンを含むマガジン内の任意の平面に対する正確なアクセ
スを各種の標準化されたマガジン及びウェハ・フォーマ
ットの識別が可能な汎用インデックス動作により保証し
得るという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図１】取扱い装置の一部縦断面図。
【図２】ウェハ・マガジンのセンサ装置を示す平面図。
【図３】マスク・マガジンのための第１のセンサ装置を
示す平面図。
【図４】５インチ・マスク・マガジン用の第２のセンサ
装置の平面図。
【図５】６インチ・マスク・マガジン用の第３のセンサ
装置の平面図。
【図６】第１の小さいフォーマットを有する物体のため
のマガジンの壁の一部縦断面図。
【図７】第２の大きいフォーマットを有する物体のため
のマガジンの壁の一部縦断面図。
【図８】図６及び図７に示す両壁部分を上下に重ねた一
部縦断面図と、その光電子走査画像。
【図９】ウェハ戻し装置のマガジンの平面図。
【符号の説明】
７，１８，２７…発信器、８，２５，２６，２８…受信
器、１０，１７，２９…測定光束、１１，１１’…マガ
ジン、１２，１６，２２…ウェハ状物体、１３，２１…
棚形成突起、Ｅ−Ｅ…基準面、Ｈ−Ｈ…第１の取扱い
面、３３…戻し装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特表 平７−506940（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/68

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 マガジン内のマガジン棚と、同マガジン
    棚内に格納されたウェハ状物体とに使用するインデック
    ス装置であって、前記マガジンと、取出し及び装填のた
    めの第１の取扱い面とは、前記ウェハ状物体を加工する
    ために上下方向における相対位置の調整が可能であり、
    同位置の調整は基準面に対するウェハ状物体及びマガジ
    ン棚の位置を検出する光電子センサ装置を使用して行わ
    れ、前記基準面は第１の取扱い面に対して一定の関係に
    あるインデックス装置において、前記光電子センサ装置
    の少なくとも一部は、前記マガジンの移動方向に直交す
    る水平面内にて前記ウェハ状物体のエッジ及びマガジン
    棚への距離を測定するための距離測定システムとして形
    成されているインデックス装置。
  2. 【請求項２】 全体が距離測定システムとして形成され
    た前記センサ装置はマガジン（１１，１１’）の開放側
    部に配置された発信器（７，１８）及び受信器（８，２
    ５）を有し、発信器（７，１８）から出射し、かつその
    中心光線が基準面（Ｅ−Ｅ）内に位置する測定光束（１
    ０，１７）は基準面（Ｅ−Ｅ）に対するマガジン（１
    １，１１’）の上下方向の調整によってウェハ状物体
    （１２，１６，２２）及び棚形成突起（１３，２１）を
    連続的に検出し、前記物体（１２，１６，２２）及び突
    起（１３，２１）は発信器（７，１８）からの距離が互
    いに異なるため相互の識別が可能である請求項１に記載
    のインデックス装置。
  3. 【請求項３】 前記光電子センサ装置はマガジン（１
    １’）の開放側部の基準面（Ｅ−Ｅ）内に配置された発
    信器（１８）及び受信器（２５）を有する距離測定シス
    テムと、前記マガジン（１１’）の開放側部に対向する
    側部に配置された別の受信器（２６）とを有し、前記距
    離測定システムは棚形成突起（２１）を検出すべく使用
    され、前記別の受信器（２６）は物体（２２）の存在を
    検出すべく使用される請求項１に記載のインデックス装
    置。
  4. 【請求項４】 前記光電子センサ装置はマガジン（１
    １’）の開放側部に配置された発信器（１８）及び受信
    器（２５）を有する距離測定システムと、同開放側部に
    配置された別の発信器（２７）と、マガジン（１１’）
    の開放側部に対向する側部に配置された別の受信器（２
    ８）とを有し、前記距離測定システムは棚形成突起（２
    １）を検出すべく使用され、前記別の受信器（２８）は
    物体（２２）の存在を検出すべく使用される請求項１に
    記載のインデックス装置。
  5. 【請求項５】 前記別の受信器（２６，２８）は物体
    （２２）が存在しない際にマガジン（１１’）内を変更
    されることなく真っ直ぐ伝搬される測定光束（１７，２
    ９）を検出すべく提供されている請求項３または４に記
    載のインデックス装置。
  6. 【請求項６】 前記別の受信器（２６，２８）は物体
    （２２）の平行平面板効果によりオフセットされた測定
    光束（１７，２９）を検出すべく提供されており、前記
    物体（２２）は前方へ向けて一方のエッジから他方のエ
    ッジにかけて透明である請求項３または４に記載のイン
    デックス装置。
  7. 【請求項７】 前記距離測定システムの発信器（７，１
    ８）及び受信器（８，２５）は構造ユニット内において
    組み付けられている請求項２乃至６のうちのいづれか一
    項に記載のインデックス装置。
  8. 【請求項８】 前記第１の取扱い面（Ｈ−Ｈ）に対して
    平行をなす第２の取扱い面内に配置された戻し装置（３
    ３）を有し、前記戻し装置（３３）はマガジン（１１，
    １１’）から突出するウェハ状物体（１２，１６，２
    ２）の位置決めを行い、同ウェハ状物体（１２，１６，
    ２２）が前方へ向けて一方のエッジから他方のエッジに
    かけて不透明であるときは、戻し装置（３３）は距離測
    定システムのセンサ信号の数値に基づいて起動される請
    求項１乃至７のうちのいづれか一項に記載のインデック
    ス装置。
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