JPH0771929A - ウェーハ位置検知方法及び縦型拡散・ｃｖｄ装置 - Google Patents
ウェーハ位置検知方法及び縦型拡散・ｃｖｄ装置Info
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- JPH0771929A JPH0771929A JP21880793A JP21880793A JPH0771929A JP H0771929 A JPH0771929 A JP H0771929A JP 21880793 A JP21880793 A JP 21880793A JP 21880793 A JP21880793 A JP 21880793A JP H0771929 A JPH0771929 A JP H0771929A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウェーハの位置修正を速やかに簡単にしかも
正確に行い、ウェーハをパーティクルを発生することな
く確実に移替える。 【構成】 カセット２とボート９の間で複数段に載置さ
れているウェーハ３をツィーザ４により保持して搬送す
るウェーハ搬送機５に、ウェーハ検知センサ１４を取付
け、ウェーハ搬送機５を上下動可能にならしめる。
正確に行い、ウェーハをパーティクルを発生することな
く確実に移替える。 【構成】 カセット２とボート９の間で複数段に載置さ
れているウェーハ３をツィーザ４により保持して搬送す
るウェーハ搬送機５に、ウェーハ検知センサ１４を取付
け、ウェーハ搬送機５を上下動可能にならしめる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はカセット及びボート上に
多段に載置されているウェーハの位置を検知する方法及
びカセットからボートにウェーハを搬送し、該ボートを
反応管内に搬入してウェーハを加熱処理し、反応管内よ
りボートを搬出して処理済みウェーハをボートからウェ
ーハカセットに搬送する縦型拡散・ＣＶＤ装置に関す
る。
多段に載置されているウェーハの位置を検知する方法及
びカセットからボートにウェーハを搬送し、該ボートを
反応管内に搬入してウェーハを加熱処理し、反応管内よ
りボートを搬出して処理済みウェーハをボートからウェ
ーハカセットに搬送する縦型拡散・ＣＶＤ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の縦型拡散・ＣＶＤ装置を図１を参
照して説明する。カセット収納ラック１内のカセット２
から複数段に載置されているウェーハ３をカセット２に
向かって動かしたチャック部６のツィーザ４により保持
してウェーハ搬送機５を回転し、シールキャップ７上に
載せられた石英キャップ８上のボート９に移替え、シー
ルキャップ７をボート昇降機（図示せず）により上昇し
てボート９を反応管１０内に搬入し、ウェーハ３をヒー
タ１１により加熱し、ガス導入口１２より反応ガス又は
不活性ガスを導入し、ガス排気口１３から排気する。
照して説明する。カセット収納ラック１内のカセット２
から複数段に載置されているウェーハ３をカセット２に
向かって動かしたチャック部６のツィーザ４により保持
してウェーハ搬送機５を回転し、シールキャップ７上に
載せられた石英キャップ８上のボート９に移替え、シー
ルキャップ７をボート昇降機（図示せず）により上昇し
てボート９を反応管１０内に搬入し、ウェーハ３をヒー
タ１１により加熱し、ガス導入口１２より反応ガス又は
不活性ガスを導入し、ガス排気口１３から排気する。
【０００３】ウェーハ３の加熱処理（不純物拡散処理、
アニール処理、熱酸化処理、化学気相成長反応）が終了
すると、反応管１０内を不活性ガス雰囲気に置換しシー
ルキャップ７をボート昇降機により下降してボート９を
反応管１０より搬出し、ボート９に載置されているウェ
ーハ３の温度が１００℃以下に下がったところで、ボー
ト９から複数段に載置されているウェーハ３をボート９
に向かって動かしたチャック部６のツィーザ４により保
持してウェーハ搬送機５を回転しカセット収納ラック１
内のカセット２に移替えることになる。
アニール処理、熱酸化処理、化学気相成長反応）が終了
すると、反応管１０内を不活性ガス雰囲気に置換しシー
ルキャップ７をボート昇降機により下降してボート９を
反応管１０より搬出し、ボート９に載置されているウェ
ーハ３の温度が１００℃以下に下がったところで、ボー
ト９から複数段に載置されているウェーハ３をボート９
に向かって動かしたチャック部６のツィーザ４により保
持してウェーハ搬送機５を回転しカセット収納ラック１
内のカセット２に移替えることになる。
【０００４】このような装置においてカセット収納ラッ
ク１にカセット２を搬送するときに搬送機の動作誤差に
よりカセット２が揺れてウェーハ３が多少位置ずれする
ことがある。又、ボート９上のウェーハ３はウェーハの
加熱処理中に位置ずれすることがある。更にチャック部
６にウェーハ３をすくい上げて保持する、石英製又は表
面がテフロン（商標名）コーティングされているツィー
ザ４を取付けるのは作業者であるため、ツィーザ４を直
角になるように取付けるが、ツィーザ４が傾いて取付け
られていても作業者が気付かない場合がある。
ク１にカセット２を搬送するときに搬送機の動作誤差に
よりカセット２が揺れてウェーハ３が多少位置ずれする
ことがある。又、ボート９上のウェーハ３はウェーハの
加熱処理中に位置ずれすることがある。更にチャック部
６にウェーハ３をすくい上げて保持する、石英製又は表
面がテフロン（商標名）コーティングされているツィー
ザ４を取付けるのは作業者であるため、ツィーザ４を直
角になるように取付けるが、ツィーザ４が傾いて取付け
られていても作業者が気付かない場合がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来、カセット２又は
ボート９上のウェーハ３の位置ずれは目視により判断し
ていたので、位置修正に熟練及び多大の時間と労力を要
し、かつ位置修正を正確に行うことができないため、ウ
ェーハ３を確実に移替えることができず、ウェーハ３が
ボート９やカセット２に接触することに起因してパーテ
ィクルが発生するという課題がある。又、ツィーザ４が
傾いて取付けられている場合も、ウェーハ３を保持して
移替えることができなくなるという課題がある。
ボート９上のウェーハ３の位置ずれは目視により判断し
ていたので、位置修正に熟練及び多大の時間と労力を要
し、かつ位置修正を正確に行うことができないため、ウ
ェーハ３を確実に移替えることができず、ウェーハ３が
ボート９やカセット２に接触することに起因してパーテ
ィクルが発生するという課題がある。又、ツィーザ４が
傾いて取付けられている場合も、ウェーハ３を保持して
移替えることができなくなるという課題がある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明方法は上記の課題
を解決するため、図１に示すようにカセット２とボート
９の間で複数段に載置されているウェーハ３をツィーザ
４により保持して搬送するウェーハ搬送機５に距離測定
可能なウェーハ検知センサ１４を取付け、このウェーハ
搬送機５を上方又は下方に移動することによりウェーハ
３の上下の間隔ｄ及び／又は前後の寸法差ａを測定する
ことを特徴とする。本発明装置は同じ課題を解決するた
め、第２図に示すようにカセット２と、反応管１０内に
搬入出されるボート９の間で複数段に載置されているウ
ェーハ３をツィーザ４により保持して搬送するウェーハ
搬送機５と、反応管１０内にボート９を搬入出するボー
ト昇降機を備えた縦型拡散・ＣＶＤ装置において、カセ
ット２及びボート９上のウェーハ３の端面を検知するウ
ェーハ検知センサ１４を上下動可能にならしめたウェー
ハ搬送機５に取付け、このウェーハ検知センサ１４の出
力に位置検出装置１６を接続してなる。又、本発明装置
は同じ課題を解決するため、図４に示すようにカセット
２と、反応管１０内に搬入出されるボート９の間で複数
段に載置されているウェーハ３をツィーザ４により保持
して搬送するウェーハ搬送機５と、反応管１０内にボー
ト９を搬入出するボート昇降機を備えた縦型拡散・ＣＶ
Ｄ装置において、上下動可能にならしめたウェーハ搬送
機５のツィーザ４の傾き量ｑ又は図５に示すようにピッ
チＰを検出するセンサ１５を有する組立精度の自己自動
検査システムを具備してなる。
を解決するため、図１に示すようにカセット２とボート
９の間で複数段に載置されているウェーハ３をツィーザ
４により保持して搬送するウェーハ搬送機５に距離測定
可能なウェーハ検知センサ１４を取付け、このウェーハ
搬送機５を上方又は下方に移動することによりウェーハ
３の上下の間隔ｄ及び／又は前後の寸法差ａを測定する
ことを特徴とする。本発明装置は同じ課題を解決するた
め、第２図に示すようにカセット２と、反応管１０内に
搬入出されるボート９の間で複数段に載置されているウ
ェーハ３をツィーザ４により保持して搬送するウェーハ
搬送機５と、反応管１０内にボート９を搬入出するボー
ト昇降機を備えた縦型拡散・ＣＶＤ装置において、カセ
ット２及びボート９上のウェーハ３の端面を検知するウ
ェーハ検知センサ１４を上下動可能にならしめたウェー
ハ搬送機５に取付け、このウェーハ検知センサ１４の出
力に位置検出装置１６を接続してなる。又、本発明装置
は同じ課題を解決するため、図４に示すようにカセット
２と、反応管１０内に搬入出されるボート９の間で複数
段に載置されているウェーハ３をツィーザ４により保持
して搬送するウェーハ搬送機５と、反応管１０内にボー
ト９を搬入出するボート昇降機を備えた縦型拡散・ＣＶ
Ｄ装置において、上下動可能にならしめたウェーハ搬送
機５のツィーザ４の傾き量ｑ又は図５に示すようにピッ
チＰを検出するセンサ１５を有する組立精度の自己自動
検査システムを具備してなる。
【０００７】
【作用】カセット２又はボート９上のウェーハ３にウェ
ーハ検知センサ１４を対向させ、ウェーハ搬送機５を上
方又は下方に移動させることによりカセット２又はボー
ト９上に複数段に載置されたウェーハ３の上下の位置、
上下の間隔ｄ、ウェーハ３までの距離ａ1 ，ａ2 及び前
後の寸法差ａがウェーハ検知センサ１４により自動的に
測定されることになる。これによりカセット２はボート
９上のウェーハ３の位置ずれが目視によらずウェーハ検
知センサ１４により自動的に検知されるので、位置修正
を速やかに簡単にしかも正確に行うことができ、ウェー
ハ３をパーティクルを発生することなく確実に移替える
ことができることになる。又、チャック部６にツィーザ
４のピッチＰを自動的に変える自動ピッチ調節機構を備
えている場合、ウェーハ検知センサ１４によりウェーハ
３の間隔ｄを測定できるため、ツィーザ４のピッチをウ
ェーハ間隔に自動的に調節することができる。又、セン
サ１５によりツィーザ４の傾き量ｑ又はピッチＰが検出
され、この検出信号を基に自己自動検査システム（図示
せず）により組立精度の自己自動検査が行われことにな
る。
ーハ検知センサ１４を対向させ、ウェーハ搬送機５を上
方又は下方に移動させることによりカセット２又はボー
ト９上に複数段に載置されたウェーハ３の上下の位置、
上下の間隔ｄ、ウェーハ３までの距離ａ1 ，ａ2 及び前
後の寸法差ａがウェーハ検知センサ１４により自動的に
測定されることになる。これによりカセット２はボート
９上のウェーハ３の位置ずれが目視によらずウェーハ検
知センサ１４により自動的に検知されるので、位置修正
を速やかに簡単にしかも正確に行うことができ、ウェー
ハ３をパーティクルを発生することなく確実に移替える
ことができることになる。又、チャック部６にツィーザ
４のピッチＰを自動的に変える自動ピッチ調節機構を備
えている場合、ウェーハ検知センサ１４によりウェーハ
３の間隔ｄを測定できるため、ツィーザ４のピッチをウ
ェーハ間隔に自動的に調節することができる。又、セン
サ１５によりツィーザ４の傾き量ｑ又はピッチＰが検出
され、この検出信号を基に自己自動検査システム（図示
せず）により組立精度の自己自動検査が行われことにな
る。
【０００８】
【実施例】図１は本発明方法及び装置の第１実施例の構
成を示す説明図である。図１において１はカセット収納
ラックで、該ラック１内に複数個のカセット２が収納さ
れている。９はボート、５はチャック部６の複数枚、例
えば３枚のツィーザ４によりカセット２から３枚のウェ
ーハ３を保持して回転しボート９に移替えるウェーハ搬
送機である。ボート９は石英キャップ８上に載置され、
この石英キャップ８はボート昇降機（図示せず）に昇降
されるシールキャップ７上に設置されている。１０はウ
ェーハの熱処理を行う反応管、１１はヒータ、１２，１
３はそれぞれ反応ガス又は不活性ガスを導入するガス導
入口及び排気するガス排気口である。
成を示す説明図である。図１において１はカセット収納
ラックで、該ラック１内に複数個のカセット２が収納さ
れている。９はボート、５はチャック部６の複数枚、例
えば３枚のツィーザ４によりカセット２から３枚のウェ
ーハ３を保持して回転しボート９に移替えるウェーハ搬
送機である。ボート９は石英キャップ８上に載置され、
この石英キャップ８はボート昇降機（図示せず）に昇降
されるシールキャップ７上に設置されている。１０はウ
ェーハの熱処理を行う反応管、１１はヒータ、１２，１
３はそれぞれ反応ガス又は不活性ガスを導入するガス導
入口及び排気するガス排気口である。
【０００９】このような縦型拡散・ＣＶＤ装置において
ウェーハ搬送機５のチャック部６上に距離測定可能なウ
ェーハ検知センサ１４が取付けられ、ウェーハ搬送機５
は上下方向に移動できる構成になっている。カセット２
又はボート９上のウェーハ３にウェーハ検知センサ１４
を対向させ、ウェーハ搬送機５を上方又は下方に移動さ
せることによりカセット２又はボート９上に複数段に載
置されたウェーハ３の上下の位置、上下の間隔ｄ、ウェ
ーハ３までの距離ａ1 ，ａ2 及び前後の寸法差ａがウェ
ーハ検知センサ１４により自動的に測定されることにな
る。この場合、ウェーハ３の前後の寸法差ａはウェーハ
端面迄の距離を検出することによりウェーハ搬送機５の
端面からウェーハ３の端面までの距離ａ1 とａ2 の差と
して得られる。更にウェーハ検知センサ１４によりウェ
ーハ３までの距離ａ1 ，ａ2 を測定してウェーハ搬送機
５のｘ軸方向の移動距離を（ウェーハまでの距離）＋
（ツィーザのウェーハ保持のための長さ）とすれば、ウ
ェーハ全てにおいてツィーザ４のウェーハを保持する長
さが一様になり、ツィーザ４の基部から保持しているウ
ェーハの先端までの長さも一様になり、ボート９にウェ
ーハ３を載置するときボート９へウェーハ３を一様な奥
行きに載置することができるようになる。また、自動的
にこれらの距離を合わせられるので、ウェーハ搬送機５
のティーチング時間が大幅に減少する。
ウェーハ搬送機５のチャック部６上に距離測定可能なウ
ェーハ検知センサ１４が取付けられ、ウェーハ搬送機５
は上下方向に移動できる構成になっている。カセット２
又はボート９上のウェーハ３にウェーハ検知センサ１４
を対向させ、ウェーハ搬送機５を上方又は下方に移動さ
せることによりカセット２又はボート９上に複数段に載
置されたウェーハ３の上下の位置、上下の間隔ｄ、ウェ
ーハ３までの距離ａ1 ，ａ2 及び前後の寸法差ａがウェ
ーハ検知センサ１４により自動的に測定されることにな
る。この場合、ウェーハ３の前後の寸法差ａはウェーハ
端面迄の距離を検出することによりウェーハ搬送機５の
端面からウェーハ３の端面までの距離ａ1 とａ2 の差と
して得られる。更にウェーハ検知センサ１４によりウェ
ーハ３までの距離ａ1 ，ａ2 を測定してウェーハ搬送機
５のｘ軸方向の移動距離を（ウェーハまでの距離）＋
（ツィーザのウェーハ保持のための長さ）とすれば、ウ
ェーハ全てにおいてツィーザ４のウェーハを保持する長
さが一様になり、ツィーザ４の基部から保持しているウ
ェーハの先端までの長さも一様になり、ボート９にウェ
ーハ３を載置するときボート９へウェーハ３を一様な奥
行きに載置することができるようになる。また、自動的
にこれらの距離を合わせられるので、ウェーハ搬送機５
のティーチング時間が大幅に減少する。
【００１０】これよりカセット２又はボート９上のウェ
ーハ３の上下方向及び前後方向の位置ずれが目視によら
ずウェーハ検知センサ１４により自動的に検知されるの
で、位置修正を速やかに簡単にしかも正確に行うことが
でき、ウェーハ３をパーティクルを発生することなく確
実に移替えることができることになる。又、ウェーハ検
知センサ１４の出力を利用して位置修正（補正）の自動
化も達成可能である。又、チャック部６にツィーザ４の
ピッチＰを自動的に変える自動ピッチ調節機構を備えて
いる場合、ウェーハ検知センサ１４によりウェーハ３の
間隔ｄを測定できるため、ツィーザ４のピッチをウェー
ハ間隔に自動的に調節することができる。ウェーハの前
後の寸法差ａを測定することにより機械組立精度の自己
自動検査も行うことが可能である。
ーハ３の上下方向及び前後方向の位置ずれが目視によら
ずウェーハ検知センサ１４により自動的に検知されるの
で、位置修正を速やかに簡単にしかも正確に行うことが
でき、ウェーハ３をパーティクルを発生することなく確
実に移替えることができることになる。又、ウェーハ検
知センサ１４の出力を利用して位置修正（補正）の自動
化も達成可能である。又、チャック部６にツィーザ４の
ピッチＰを自動的に変える自動ピッチ調節機構を備えて
いる場合、ウェーハ検知センサ１４によりウェーハ３の
間隔ｄを測定できるため、ツィーザ４のピッチをウェー
ハ間隔に自動的に調節することができる。ウェーハの前
後の寸法差ａを測定することにより機械組立精度の自己
自動検査も行うことが可能である。
【００１１】図２は本発明装置の第２実施例の１部の構
成を示す説明図である。この第２実施例は、図１に示す
縦型拡散・ＣＶＤ装置において、カセット２上及びボー
ト９上のウェーハ３の端面を検知するウェーハ検知セン
サ１４を上下動可能にならしめたウェーハ搬送機５のチ
ャック部６上に取付け、ウェーハ検知センサ１４の出力
に位置検出装置１６を接続してなる。上記構成の第２実
施例においてカセット２又はボート９上のウェーハ３に
ウェーハ検知センサ１４を対向させ、ウェーハ搬送機５
を上方又は下方に移動させることによりカセット２又は
ボート９上のウェーハ３の端面がウェーハ検知センサ１
４により検知され、この検知信号が位置検出装置１６に
入力されてカセット２又はボート９上のウェーハ３の位
置が自動的に算出される。このようにカセット２及びボ
ート９上のウェーハ３の位置を自動的に算出できるの
で、人手がかからず、位置修正又は位置調節を迅速にし
かも正確に行うことができる。ウェーハ３が大きく位置
ずれしている場合はエラーとして作業者に報知すること
ができる。又、ウェーハの位置データを基にボート９の
定位置の自己自動検査を行うことができる。
成を示す説明図である。この第２実施例は、図１に示す
縦型拡散・ＣＶＤ装置において、カセット２上及びボー
ト９上のウェーハ３の端面を検知するウェーハ検知セン
サ１４を上下動可能にならしめたウェーハ搬送機５のチ
ャック部６上に取付け、ウェーハ検知センサ１４の出力
に位置検出装置１６を接続してなる。上記構成の第２実
施例においてカセット２又はボート９上のウェーハ３に
ウェーハ検知センサ１４を対向させ、ウェーハ搬送機５
を上方又は下方に移動させることによりカセット２又は
ボート９上のウェーハ３の端面がウェーハ検知センサ１
４により検知され、この検知信号が位置検出装置１６に
入力されてカセット２又はボート９上のウェーハ３の位
置が自動的に算出される。このようにカセット２及びボ
ート９上のウェーハ３の位置を自動的に算出できるの
で、人手がかからず、位置修正又は位置調節を迅速にし
かも正確に行うことができる。ウェーハ３が大きく位置
ずれしている場合はエラーとして作業者に報知すること
ができる。又、ウェーハの位置データを基にボート９の
定位置の自己自動検査を行うことができる。
【００１２】図３は本発明装置の第３実施例の１部の構
成を示す説明図である。この第３実施例は図２に示す縦
型拡散・ＣＶＤ装置において、チャック部６のツィーザ
４の向きを変えるモータ１７にエンコーダ１８を連結
し、このエンコーダ１８の出力と位置検出装置１６の出
力をモータ１７のコントローラ１９の入力に接続してな
る。上記構成の第３実施例において、カセット２上のウ
ェーハ３にウェーハ検知センサ１４を対向させ、カセッ
ト２上のウェーハ３の端面がウェーハ検知センサ１４に
より検知され、この検知信号が位置検出装置１６に入力
されてカセット２上のウェーハ３の位置が自動的に算出
される。カセット２上のウェーハ３の端面を検知した
後、ウェーハ搬送機５をモータ１７により回転してウェ
ーハ検知センサ１４をボート９上のウェーハ３に対向さ
せ、ボート９上のウェーハ３の端面がウェーハ検知セン
サ１４により検知され、この検知信号が位置検出装置１
６に入力されてボート９上のウェーハ３の位置が自動的
に算出される。
成を示す説明図である。この第３実施例は図２に示す縦
型拡散・ＣＶＤ装置において、チャック部６のツィーザ
４の向きを変えるモータ１７にエンコーダ１８を連結
し、このエンコーダ１８の出力と位置検出装置１６の出
力をモータ１７のコントローラ１９の入力に接続してな
る。上記構成の第３実施例において、カセット２上のウ
ェーハ３にウェーハ検知センサ１４を対向させ、カセッ
ト２上のウェーハ３の端面がウェーハ検知センサ１４に
より検知され、この検知信号が位置検出装置１６に入力
されてカセット２上のウェーハ３の位置が自動的に算出
される。カセット２上のウェーハ３の端面を検知した
後、ウェーハ搬送機５をモータ１７により回転してウェ
ーハ検知センサ１４をボート９上のウェーハ３に対向さ
せ、ボート９上のウェーハ３の端面がウェーハ検知セン
サ１４により検知され、この検知信号が位置検出装置１
６に入力されてボート９上のウェーハ３の位置が自動的
に算出される。
【００１３】モータ１７の回転量がエンコーダ１８によ
り検出され、この回転量信号（エンコーダ値）と位置検
出装置１６の出力信号がコントローラ１９に入力され、
モータ１７が制御されてボート９上のウェーハ３の位置
が自動調節される。ボート９上のウェーハ３の端面を検
知した後、ウェーハ搬送機５をモータ１７により回転し
てウェーハ検知センサ１４をカセット２上のウェーハ３
に対向させ、カセット２上のウェーハ３の端面がウェー
ハ検知センサ１４により検知され、上記と同様にカセッ
ト２上のウェーハ３の位置が自動調節される。又、カセ
ット２及びボート９上のウェーハ３の検知データを基に
組立精度の自己自動検査を行うことができる。
り検出され、この回転量信号（エンコーダ値）と位置検
出装置１６の出力信号がコントローラ１９に入力され、
モータ１７が制御されてボート９上のウェーハ３の位置
が自動調節される。ボート９上のウェーハ３の端面を検
知した後、ウェーハ搬送機５をモータ１７により回転し
てウェーハ検知センサ１４をカセット２上のウェーハ３
に対向させ、カセット２上のウェーハ３の端面がウェー
ハ検知センサ１４により検知され、上記と同様にカセッ
ト２上のウェーハ３の位置が自動調節される。又、カセ
ット２及びボート９上のウェーハ３の検知データを基に
組立精度の自己自動検査を行うことができる。
【００１４】図４（Ａ）は第４実施例におけるウェーハ
搬送機のチャック部とそのツィーザの傾き量を検知する
センサの正面図、図４（Ｂ）は同じくセンサにより検出
するツィーザの基部と先端部の２位置を示す平面図、図
４（Ｃ）は同じくツィーザが下方に傾いている場合を示
す側面図である。この第４実施例は、図２に示す縦型拡
散・ＣＶＤ装置において、上下動可能にならしめたウェ
ーハ搬送機５のチャック部６のツィーザ４の基部４Ａと
先端部４Ｂをそれぞれ検出しツィーザ４の傾き量ｑを検
出する２つのセンサ１５を有する組立精度の自己検査シ
ステム（図示せず）を具備してなる。上記構成の第４実
施例においてチャック部６にツィーザ４を人手により目
視で直角に取り付けるのであるが、必ずしも直角に取り
付けられていない。チャック部６に取付けたツィーザの
基部４Ａと先端部４Ｂがそれぞれ図示された２つのセン
サ１５によりウェーハ搬送機５を上方又は下方に移動さ
せて検出され比較されてツィーザ４の傾き量ｑが検出さ
れ、自己検査システムにより組立精度の自己自動検査が
行われることになる。又ツィーザ４の傾き量ｑが設定範
囲外の時はエラーとして作業者にブザー等で知らせるこ
とになる。センサ１つで、チャック部６を前後してツィ
ーザ４の基部４Ａと先端部４Ｂをそれぞれ検出し、ツィ
ーザ４の傾き量ｑを検出するようにしてもよい。
搬送機のチャック部とそのツィーザの傾き量を検知する
センサの正面図、図４（Ｂ）は同じくセンサにより検出
するツィーザの基部と先端部の２位置を示す平面図、図
４（Ｃ）は同じくツィーザが下方に傾いている場合を示
す側面図である。この第４実施例は、図２に示す縦型拡
散・ＣＶＤ装置において、上下動可能にならしめたウェ
ーハ搬送機５のチャック部６のツィーザ４の基部４Ａと
先端部４Ｂをそれぞれ検出しツィーザ４の傾き量ｑを検
出する２つのセンサ１５を有する組立精度の自己検査シ
ステム（図示せず）を具備してなる。上記構成の第４実
施例においてチャック部６にツィーザ４を人手により目
視で直角に取り付けるのであるが、必ずしも直角に取り
付けられていない。チャック部６に取付けたツィーザの
基部４Ａと先端部４Ｂがそれぞれ図示された２つのセン
サ１５によりウェーハ搬送機５を上方又は下方に移動さ
せて検出され比較されてツィーザ４の傾き量ｑが検出さ
れ、自己検査システムにより組立精度の自己自動検査が
行われることになる。又ツィーザ４の傾き量ｑが設定範
囲外の時はエラーとして作業者にブザー等で知らせるこ
とになる。センサ１つで、チャック部６を前後してツィ
ーザ４の基部４Ａと先端部４Ｂをそれぞれ検出し、ツィ
ーザ４の傾き量ｑを検出するようにしてもよい。
【００１５】図５（Ａ）は第５実施例におけるウェーハ
搬送機のチャック部とそのツィーザのピッチを検知する
センサの正面図、図５（Ｂ）は同じくその側面図であ
る。この第５実施例は、図２に示す縦型拡散・ＣＶＤ装
置において、上下動可能にならしめたウェーハ搬送機５
のチャック部６のツィーザ４のピッチＰを検出するセン
サ１５を有する組立精度の自己検査システム（図示せ
ず）を具備してなる。上記構成の第５実施例においてチ
ャック部６にツィーザ４を人手により目視で等ピッチに
取付けるのであるが、必ずしも等ピッチに取付いていな
い。チャック部６に取付けたツィーザ４は、固定された
センサ１５により検出され、ウェーハ搬送機５を上方又
は下方に移動させてツィーザ４のピッチＰがセンサ１５
により検出され、自己検査システムにより組立精度の自
己自動検査が行われることになる。
搬送機のチャック部とそのツィーザのピッチを検知する
センサの正面図、図５（Ｂ）は同じくその側面図であ
る。この第５実施例は、図２に示す縦型拡散・ＣＶＤ装
置において、上下動可能にならしめたウェーハ搬送機５
のチャック部６のツィーザ４のピッチＰを検出するセン
サ１５を有する組立精度の自己検査システム（図示せ
ず）を具備してなる。上記構成の第５実施例においてチ
ャック部６にツィーザ４を人手により目視で等ピッチに
取付けるのであるが、必ずしも等ピッチに取付いていな
い。チャック部６に取付けたツィーザ４は、固定された
センサ１５により検出され、ウェーハ搬送機５を上方又
は下方に移動させてツィーザ４のピッチＰがセンサ１５
により検出され、自己検査システムにより組立精度の自
己自動検査が行われることになる。
【００１６】このようにウェーハ搬送機５のチャック部
６のツィーザ４の傾き量ｑ又はピッチＰをセンサ１５に
より検出することによりツィーザ４の取付けの是非を判
断することができ、ツィーザ４を確かに取付けてウェー
ハ３の移替えを失敗することなく行うことができる。
６のツィーザ４の傾き量ｑ又はピッチＰをセンサ１５に
より検出することによりツィーザ４の取付けの是非を判
断することができ、ツィーザ４を確かに取付けてウェー
ハ３の移替えを失敗することなく行うことができる。
【００１７】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、カセット
２とボート９の間で複数段に載置されているウェーハ３
をツィーザ４により保持して搬送するウェーハ搬送機５
に、ウェーハ検知センサ１４を取付け、ウェーハ搬送機
５を上下動可能にならしめたので、カセット２又はボー
ト９上のウェーハ３の上下の間隔ｄ、前後の寸法差ａ又
はウェーハ３の端面をウェーハ検知センサ１４により測
定することによりカセット２又はボート９上のウェーハ
３の位置ずれを目視によらず検知でき、位置修正を速や
かに簡単にしかも正確に行うことができるばかりでな
く、ウェーハ３をパーティクルを発生することなく確実
に移替えることができる。
２とボート９の間で複数段に載置されているウェーハ３
をツィーザ４により保持して搬送するウェーハ搬送機５
に、ウェーハ検知センサ１４を取付け、ウェーハ搬送機
５を上下動可能にならしめたので、カセット２又はボー
ト９上のウェーハ３の上下の間隔ｄ、前後の寸法差ａ又
はウェーハ３の端面をウェーハ検知センサ１４により測
定することによりカセット２又はボート９上のウェーハ
３の位置ずれを目視によらず検知でき、位置修正を速や
かに簡単にしかも正確に行うことができるばかりでな
く、ウェーハ３をパーティクルを発生することなく確実
に移替えることができる。
【図１】本発明方法及び装置の第１実施例の構成を示す
説明図である。
説明図である。
【図２】本発明装置の第２実施例の１部の構成を示す説
明図である。
明図である。
【図３】本発明装置の第３実施例の１部の構成を示す説
明図である。
明図である。
【図４】（Ａ）は第４実施例におけるウェーハ搬送機の
チャック部とそのツィーザの傾き量を検知するセンサの
正面図である （Ｂ）は同じくセンサにより検出するツィーザの基部と
先端部の２位置を示す平面図である。（Ｃ）は同じくツ
ィーザが下方に傾いている場合を示す側面図である。
チャック部とそのツィーザの傾き量を検知するセンサの
正面図である （Ｂ）は同じくセンサにより検出するツィーザの基部と
先端部の２位置を示す平面図である。（Ｃ）は同じくツ
ィーザが下方に傾いている場合を示す側面図である。
【図５】（Ａ）は第５実施例におけるウェーハ搬送機の
チャック部とそのツィーザのピッチを検知するセンサの
正面図である。（Ｂ）は同じくその側面図である。
チャック部とそのツィーザのピッチを検知するセンサの
正面図である。（Ｂ）は同じくその側面図である。
１ カセット収納ラック ２ カセット ３ ウェーハ ４ ホールド部 ４Ａ 基部 ４Ｂ 先端部 ５ ウェーハ搬送機 ６ チャック部 ７ シールキャップ ８ 石英キャップ ９ ボート １０ 反応管 １１ ヒータ １２ ガス導入口 １３ ガス排気口 １４ ウェーハ検知センサ １５ センサ １６ 位置検出装置 １７ 回転駆動源（モータ） １８ 回転量検出装置（エンコーダ） １９ コントローラ
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｌ
Claims (7)
- 【請求項１】 カセット（２）とボート（９）の間で複
数段に載置されているウェーハ（３）をツィーザ（４）
により保持して搬送するウェーハ搬送機（５）に、ウェ
ーハ検知センサ（１４）を取付け、このウェーハ搬送機
（５）を上方又は下方に移動することによりウェーハ
（３）の上下の間隔（ｄ）を測定することを特徴とする
ウェーハ位置検知方法。 - 【請求項２】 カセット（２）とボート（９）の間で複
数段に載置されているウェーハ（３）をツィーザ（４）
により保持して搬送するウェーハ搬送機（５）に距離測
定可能なウェーハ検知センサ（１４）を取付け、このウ
ェーハ搬送機（５）を上方又は下方に移動することによ
りウェーハ（３）の前後の寸法差（ａ）を測定すること
を特徴とするウェーハ位置検知方法。 - 【請求項３】 ウェーハ検知センサ（１４）によりウェ
ーハ（３）の上下の間隔（ｄ）を測定し、ウェーハ
（３）を保持する複数枚のツィーザ（４）のピッチ
（Ｐ）を該測定信号によりウェーハの間隔（ｄ）に自動
調節する自動ピッチ調節機構を具備してなる縦型拡散・
ＣＶＤ装置。 - 【請求項４】 カセット（２）と、反応管（１０）内に
搬入出されるボート（９）の間で複数段に載置されてい
るウェーハ（３）をツィーザ（４）により保持して搬送
するウェーハ搬送機（５）と、反応管（１０）内にボー
ト（９）を搬入出するボート昇降機を備えた縦型拡散・
ＣＶＤ装置において、カセット（２）及びボート（９）
上のウェーハ（３）の端面を検知するウェーハ検知セン
サ（１４）を上下動可能にならしめたウェーハ搬送機
（５）に取付け、このウェーハ検知センサ（１４）の出
力に位置検出装置（１６）を接続してなる縦型拡散・Ｃ
ＶＤ装置。 - 【請求項５】 カセット（２）とボート（９）の間でウ
ェーハ搬送機（５）を回転してツィーザ（４）の向きを
変える回転駆動源（１７）に回転量検出装置（１８）を
設け、この回転量検出装置（１８）の出力と位置検出装
置（１６）の出力を回転駆動源（１７）のコントローラ
（１９）の入力に接続してなる請求項４の縦型拡散・Ｃ
ＶＤ装置。 - 【請求項６】 カセット（２）と、反応管（１０）内に
搬入出されるボート（９）の間で複数段に載置されてい
るウェーハ（３）をツィーザ（４）により保持して搬送
するウェーハ搬送機（５）と、反応管（１０）内にボー
ト（９）を搬入出するボート昇降機を備えた縦型拡散・
ＣＶＤ装置において、上下動可能にならしめたウェーハ
搬送機（５）のツィーザ（４）の傾き量（ｑ）を検出す
るセンサ（１５）を有する組立精度の自己自動検査シス
テムを具備してなる縦型拡散・ＣＶＤ装置。 - 【請求項７】 カセット（２）と、反応管（１０）内に
搬入出されるボート（９）の間で複数段に載置されてい
るウェーハ（３）をツィーザ（４）により保持して搬送
するウェーハ搬送機（５）と、反応管（１０）内にボー
ト（９）を搬入出するボート上下動機構を備えた縦型拡
散・ＣＶＤ装置において、上下動可能にならしめたウェ
ーハ搬送機（５）のツィーザのピッチ（Ｐ）を検出する
センサ（１５）を有する組立精度の自己自動検査システ
ムを具備してなる縦型拡散・ＣＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21880793A JPH0771929A (ja) | 1993-09-02 | 1993-09-02 | ウェーハ位置検知方法及び縦型拡散・ｃｖｄ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21880793A JPH0771929A (ja) | 1993-09-02 | 1993-09-02 | ウェーハ位置検知方法及び縦型拡散・ｃｖｄ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0771929A true JPH0771929A (ja) | 1995-03-17 |
Family
ID=16725658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21880793A Pending JPH0771929A (ja) | 1993-09-02 | 1993-09-02 | ウェーハ位置検知方法及び縦型拡散・ｃｖｄ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0771929A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11176909A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-07-02 | Samsung Electron Co Ltd | 半導体ボート移送用自動水平調節エレベーター装置 |
| EP1047115A2 (en) * | 1999-04-19 | 2000-10-25 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for aligning a cassette |
| US6419439B2 (en) * | 1995-09-27 | 2002-07-16 | Jenoptik Aktiengesellschaft | Indexer for magazine shelves of a magazine and wafer-shaped objects contained therein |
-
1993
- 1993-09-02 JP JP21880793A patent/JPH0771929A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6419439B2 (en) * | 1995-09-27 | 2002-07-16 | Jenoptik Aktiengesellschaft | Indexer for magazine shelves of a magazine and wafer-shaped objects contained therein |
| JPH11176909A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-07-02 | Samsung Electron Co Ltd | 半導体ボート移送用自動水平調節エレベーター装置 |
| EP1047115A2 (en) * | 1999-04-19 | 2000-10-25 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for aligning a cassette |
| EP1047115A3 (en) * | 1999-04-19 | 2003-06-11 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for aligning a cassette |
| US6925356B2 (en) | 1999-04-19 | 2005-08-02 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for aligning a cassette |
| US7158857B2 (en) | 1999-04-19 | 2007-01-02 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for aligning a cassette |
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