JPS6241129A - ウエハ位置検出装置及び方法 - Google Patents
ウエハ位置検出装置及び方法Info
- Publication number
- JPS6241129A JPS6241129A JP18101585A JP18101585A JPS6241129A JP S6241129 A JPS6241129 A JP S6241129A JP 18101585 A JP18101585 A JP 18101585A JP 18101585 A JP18101585 A JP 18101585A JP S6241129 A JPS6241129 A JP S6241129A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- light
- position detecting
- aligning device
- mounting block
- Prior art date
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- Pending
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- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の属する分野］
本発明は、測定装置、検査装置または露光装Ｎ等の半導
体製造装置に用いられるウェハ等の薄板状物体の位置検
出装置及び方法に関し、特にウェハをウェハカセット内
外に出し入れする際に必要なデータとなるウェハカセッ
ト内でのウェハの位置を検出するための装置及び方法に
関する。
体製造装置に用いられるウェハ等の薄板状物体の位置検
出装置及び方法に関し、特にウェハをウェハカセット内
外に出し入れする際に必要なデータとなるウェハカセッ
ト内でのウェハの位置を検出するための装置及び方法に
関する。
［従来の技術］
従来、半導体製造装置におけるウェハの搬送はゴムベル
ト方式により一つのウェハカセットから取り出したウェ
ハをウェハチャック等に載置し、各種処理した後、別の
ウェハカセットに収納していた。しかし、近年省スペー
ス化、すなわち装置の小形化を計るため、各種処理した
ウェハを元のカセットにもどすウェハ搬送装置が考えら
れている。
ト方式により一つのウェハカセットから取り出したウェ
ハをウェハチャック等に載置し、各種処理した後、別の
ウェハカセットに収納していた。しかし、近年省スペー
ス化、すなわち装置の小形化を計るため、各種処理した
ウェハを元のカセットにもどすウェハ搬送装置が考えら
れている。
このように一つのウェハカセットを供給用および回収用
として共用するウェハ搬送装置にあっては、任意の位置
のウェハを取り出すためにウェハの位置を正確に検知す
る必要がある。このような機能を果す装置の一例として
、ウェハカセットの前方にレーザ装置および受光検出器
を配置し、また後方に反射鏡を配置したウェハ位置検出
装置がある。この装置では、レーザ光を一旦つエバカセ
ット内を通過させ、反射鏡にて反射し再びウェハカセッ
ト内を通って前面の受光検出器へ入射してくる時の光量
によりウェハの有無及び位置を検知することを原理とし
ているため、レーザ光の光軸合せが非常に困難となった
り、これに起因してウェハの位置検出を誤るおそれがあ
ったり、さらには装置が複雑になり、コストアップする
などの欠点があった。
として共用するウェハ搬送装置にあっては、任意の位置
のウェハを取り出すためにウェハの位置を正確に検知す
る必要がある。このような機能を果す装置の一例として
、ウェハカセットの前方にレーザ装置および受光検出器
を配置し、また後方に反射鏡を配置したウェハ位置検出
装置がある。この装置では、レーザ光を一旦つエバカセ
ット内を通過させ、反射鏡にて反射し再びウェハカセッ
ト内を通って前面の受光検出器へ入射してくる時の光量
によりウェハの有無及び位置を検知することを原理とし
ているため、レーザ光の光軸合せが非常に困難となった
り、これに起因してウェハの位置検出を誤るおそれがあ
ったり、さらには装置が複雑になり、コストアップする
などの欠点があった。
［発明の目的］
本発明は、上記従来例の欠点に鑑みてなされたもので、
レーザ光を用いたウェハ位置検出に代る手段による機械
簡略で、ウェハ位置検出率のより確実なウェハ位置検出
装置を提供することを目的とする。
レーザ光を用いたウェハ位置検出に代る手段による機械
簡略で、ウェハ位置検出率のより確実なウェハ位置検出
装置を提供することを目的とする。
［実施例］
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の一実施例に係るウェハ搬送装置の機略
構成を示す。また、第２図は第１図の装置の側面図を示
す。図において、１はウェハ、２はウェハカセット、３
はウェハカセットを載置するための載置台で、４は整列
装置、５は整列装置４を上下させるためのボールネジ部
材、６は整列装置４の回転を防ぐガイド部材、７はボー
ルネジ部材５を回転させるためのボールネジ回転用モー
タである。なお、整列装置４、ボールネジ部材５、ガイ
ド部材６およびボールネジ回転用モータ７は、ウェハカ
セット２に対してウェハ１を取り出しおよび挿入するた
めのウェハ挿脱口と反対の側に配設されている。
構成を示す。また、第２図は第１図の装置の側面図を示
す。図において、１はウェハ、２はウェハカセット、３
はウェハカセットを載置するための載置台で、４は整列
装置、５は整列装置４を上下させるためのボールネジ部
材、６は整列装置４の回転を防ぐガイド部材、７はボー
ルネジ部材５を回転させるためのボールネジ回転用モー
タである。なお、整列装置４、ボールネジ部材５、ガイ
ド部材６およびボールネジ回転用モータ７は、ウェハカ
セット２に対してウェハ１を取り出しおよび挿入するた
めのウェハ挿脱口と反対の側に配設されている。
１０はウェハを挿脱するためのパンタグラフハンド、１
１はパンタグラフハンド１０を上下動させるためのパン
タグラフハンド上下機構、１２はパンタグラフハンド上
下機構１１４駆妨する。上下駆動モータである。
１はパンタグラフハンド１０を上下動させるためのパン
タグラフハンド上下機構、１２はパンタグラフハンド上
下機構１１４駆妨する。上下駆動モータである。
第３図は上記整列装置４郡分の拡大正面図である。同図
において、８は整列装＠４に取り付けられた発光ダイオ
ード９は発光ダイオード８の光を受光するための受光検
出器である。これらの発光ダイオード８と受光検出器９
とは位置検出用センサを構成している。
において、８は整列装＠４に取り付けられた発光ダイオ
ード９は発光ダイオード８の光を受光するための受光検
出器である。これらの発光ダイオード８と受光検出器９
とは位置検出用センサを構成している。
次に、第１図の装置を用いてウェハの位置検出を行なう
方法を説明する。先ず、ボールネジ回転用モータ７を回
転させて整列装＠４をウェハカセット載置台３の下方へ
移動させ、複数枚のウェハ１を収納したウェハカセット
２を載置台３へ載置する。
方法を説明する。先ず、ボールネジ回転用モータ７を回
転させて整列装＠４をウェハカセット載置台３の下方へ
移動させ、複数枚のウェハ１を収納したウェハカセット
２を載置台３へ載置する。
次にボールネジ回転用モータ７を回転させて整列装＠４
を上昇させる。そして該整列装置４が載置台３へさしか
かった直後（発光ダイオード８からの出射光が載置台３
を照射し、その反射光が受光検出器９に入射した時）の
位置を基準位置とする。
を上昇させる。そして該整列装置４が載置台３へさしか
かった直後（発光ダイオード８からの出射光が載置台３
を照射し、その反射光が受光検出器９に入射した時）の
位置を基準位置とする。
さらに整列装置４を上昇させるとウェハカセット２内の
ウェハ１が整列装置４に接触し、前へ押し出される。さ
らに該整列装置４が上昇すると発光ダイオード８からの
出射光がウェハ１の端面で反射し、受光検出器９へ入射
する。この時の基準位置からの距離をボールネジ回転用
モータ７の回転数で割り出し、不図示のＲＡＭ （メモ
リ）等へ記憶させる。
ウェハ１が整列装置４に接触し、前へ押し出される。さ
らに該整列装置４が上昇すると発光ダイオード８からの
出射光がウェハ１の端面で反射し、受光検出器９へ入射
する。この時の基準位置からの距離をボールネジ回転用
モータ７の回転数で割り出し、不図示のＲＡＭ （メモ
リ）等へ記憶させる。
以後同様に、整列装置４を上昇させれば、順次ウェハ１
の位置を検出できる。
の位置を検出できる。
以上のデータを元にすれば、ウェハカセット２内の任意
のウェハ１を取り出し、または一旦取り出したウェハを
任意の位置に収納することが可能となる。
のウェハ１を取り出し、または一旦取り出したウェハを
任意の位置に収納することが可能となる。
第４図は、本発明の整列装置４の変形例を示す。
同図の整列台は、ウェハに当接して該ウェハを整列され
るためのテーバ面を位置検出用センサの上下に対称的に
設けたものである。このように構成すれば、前述の実施
例のように整列装置４が上昇するときだけでなく、該整
列装＠４が下降するときにもウェハの整列および位置検
出を行なうことが可能となり、スルーブツトの向上とな
る。
るためのテーバ面を位置検出用センサの上下に対称的に
設けたものである。このように構成すれば、前述の実施
例のように整列装置４が上昇するときだけでなく、該整
列装＠４が下降するときにもウェハの整列および位置検
出を行なうことが可能となり、スルーブツトの向上とな
る。
また、位置検出用センサは、光センサの他にも、超音波
センサ等が使用可能である。
センサ等が使用可能である。
［発明の効果１
以上説明したように本発明によれば、整列装置によりウ
ェハ位置検出時は常にウェハと位置検出用センサとの距
離を一定にするため、ウェハカセット内におけるウェハ
のオリエンテーションフラットの位置に無関係に、確実
なウェハの位置検出が可能となる。
ェハ位置検出時は常にウェハと位置検出用センサとの距
離を一定にするため、ウェハカセット内におけるウェハ
のオリエンテーションフラットの位置に無関係に、確実
なウェハの位置検出が可能となる。
また、ウェハ端面と位置検出用センυの距離が近いため
、光軸合せ等が簡単である。
、光軸合せ等が簡単である。
さらに、レーザ装置や反ｒＪＪ鏡等を用いないため装置
を簡略化すると同時に小形化することができる。
を簡略化すると同時に小形化することができる。
第１図は、本発明に係るウェハ位置検出装置を適用した
ウェハ搬送装置の慨観図、 第２図は、第１図の装置の側面図、 第３図は、第１図における整列装置および位置検出用セ
ン号部分の拡大図、 第４図は、第３図の整列装置の変形例を示す図である。 １：ウェハ、２：ウェハカセット、３：載置台、４：整
列装置、５：ボールネジ部材、６：ガイド部材、７：ボ
ールネジ回転用モータ、８：発光ダイオード、９：受光
検出器。
ウェハ搬送装置の慨観図、 第２図は、第１図の装置の側面図、 第３図は、第１図における整列装置および位置検出用セ
ン号部分の拡大図、 第４図は、第３図の整列装置の変形例を示す図である。 １：ウェハ、２：ウェハカセット、３：載置台、４：整
列装置、５：ボールネジ部材、６：ガイド部材、７：ボ
ールネジ回転用モータ、８：発光ダイオード、９：受光
検出器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ウェハカセット内の各ウェハの位置を検出するセン
サと、 これらの各ウェハの配列状態を一定にする整列装置と を有することを特徴とするウェハ位置検出装置。 ２、前記センサおよび整列装置が、前記ウェハカセット
のウェハ挿脱口と反対の側に配設されている特許請求の
範囲第１項記載のウェハ位置検出装置。 ３、前記センサと前記整列装置を近接配置した特許請求
の範囲第１項または第２項記載のウェハ位置検出装置。 ４、前記センサが光検出手段を用いたセンサである特許
請求の範囲第１項、第２項または第３項のいずれかに記
載のウェハ位置検出装置。 ５、ウェハカセット内の各ウェハの位置を検出する前に
各ウェハを整列させることを特徴とするウェハ位置検出
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18101585A JPS6241129A (ja) | 1985-08-20 | 1985-08-20 | ウエハ位置検出装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18101585A JPS6241129A (ja) | 1985-08-20 | 1985-08-20 | ウエハ位置検出装置及び方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6241129A true JPS6241129A (ja) | 1987-02-23 |
Family
ID=16093257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18101585A Pending JPS6241129A (ja) | 1985-08-20 | 1985-08-20 | ウエハ位置検出装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6241129A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5178638A (en) * | 1990-07-20 | 1993-01-12 | Tokyo Electron Limited | Pressure-reduced chamber system having a filter means |
| US5271702A (en) * | 1992-02-03 | 1993-12-21 | Environmental Research Institute Of Michigan | Robotic substrate manipulator |
| CN109817509A (zh) * | 2017-11-20 | 2019-05-28 | 顶程国际股份有限公司 | 晶圆侦测装置及晶圆清洗机 |
-
1985
- 1985-08-20 JP JP18101585A patent/JPS6241129A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5178638A (en) * | 1990-07-20 | 1993-01-12 | Tokyo Electron Limited | Pressure-reduced chamber system having a filter means |
| US5271702A (en) * | 1992-02-03 | 1993-12-21 | Environmental Research Institute Of Michigan | Robotic substrate manipulator |
| CN109817509A (zh) * | 2017-11-20 | 2019-05-28 | 顶程国际股份有限公司 | 晶圆侦测装置及晶圆清洗机 |
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