JPH09186217A

JPH09186217A - ウエハ搬入搬出装置

Info

Publication number: JPH09186217A
Application number: JP1709196A
Authority: JP
Inventors: Takahiro Akamatsu; 孝弘赤松
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1996-01-05
Filing date: 1996-01-05
Publication date: 1997-07-15

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】ウエハ搬入搬出装置において、各発光素子の
取付け誤差や経時変化にかかわらず、常に正確なウエハ
の収納姿勢状態を算出できるようにする。【解決手段】複数枚のウエハを所定間隔を隔てて平行
に保持するキャリアと、ウエハの搬入搬出手段と、１対
以上の発光素子および受光素子と、キャリアと光ビーム
とを並進的に相対移動させる手段と、キャリアに対する
光ビームの傾きを検出する遮光部材と、遮光部材のエッ
ジを光ビームが相対移動により横切る際の受光素子の出
力に基づいて光ビームの傾きを得るとともに、キャリア
に保持されたウエハを光ビームが相対移動により横切る
際の受光素子の出力および光ビームの傾きからキャリア
に保持されたウエハの姿勢を判断する演算手段とを具備
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置等
において、ウエハ等の基板を複数収容するキャリアか
ら、基板を一枚ずつ搬出したり搬入するための板状体の
搬送方法およびその装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体露光装置や検査装置などの
半導体製造装置において多段のウエハ収納溝を有するウ
エハキャリアにウエハを挿入し、あるいはそこからウエ
ハを取り出すためのウエハ搬入搬出装置として、特開平
５−３６８１２号公報に記載されたものがある。以下に
特開平５−３６８１２号公報に記載されている先願例の
構成を図８および図９を用いて説明する。但し、同図に
おいて、１（Ａ、Ｂ、Ｃ）はウエハ、２はウエハ１を収
納するキャリア、７はキャリア２を載せるキャリア載置
台、３はウエハ１を搬入搬出するためのハンド、４ａ，
４ｂは半導体レーザなどの発光素子、５ａ，５ｂはフォ
トセンサなどの受光素子、６ａ，６ｂ，８ａ，８ｂはピ
ンホールである。

【０００３】図８および図９に示すように、先願例で
は、キャリア内でウエハが傾いて収納されている場合で
あっても、ウエハを搬入搬出するハンド挿入位置でのウ
エハ間隔を正確に検出し、ウエハを確実に取り出し可能
とするために、キャリアの両側に配置した２対の発光素
子４ａ，４ｂおよび受光素子５ａ，５ｂからなる光学的
ウエハ検出手段と、該ウエハ検出手段からの出力により
ウエハ１の収納姿勢状態を計算し判断する演算手段とを
設け、前記２対のウエハ検出手段の各発光素子からの光
ビーム方向が基準面に対し異なる角度となるように該検
出手段を配置していた。また、ウエハ１と搬入搬出ハン
ド３との相対距離を測定する必要性から、ウエハ１をキ
ャリア台７に対して水平に置き、キャリア台を上から下
に駆動させた時に光ビーム１１ａ，１１ｂが遮光される
位置よりウエハ１と搬入搬出ハンド３との相対距離を予
め測定していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では、前記２対のウエハ検出手段の各発光素子から
の光ビーム１１ａ，１１ｂ方向の基準面に対する角度
は、ウエハ検出手段からの出力によりウエハの収納姿勢
状態を計算する演算手段に設定されている角度データと
同じになるように各発光素子４ａ，４ｂを正確に取り付
ける必要があった。しかし、取り付け角度誤差をなくす
には困難を要し、さらに経時変化によって各発光素子の
取り付け角度が変化することにより角度誤差が発生する
ことが考えられる。

【０００５】すなわち、従来例では図９に示す受光素子
５ａ，５ｂの出力より求められる遮光幅、例えば（Ａａ
２−Ａａ１）、（Ａｂ２−Ａｂ１）を直接用いてウエハ
の傾き方向を判定していた。２対の光ビームの角度が同
一であると、遮光幅が同じ場合はウエハは水平に置かれ
ていると判断する。しかし、２対の光ビームの角度が異
なっていると、遮光幅が同じでもウエハは傾いている。
したがってウエハの姿勢の判断を誤ってしまう。このよ
うにウエハの収納姿勢状態の計算結果に誤差を生じるこ
とで最悪の場合、ウエハと搬入搬出ハンドとが干渉する
という欠点があった。

【０００６】また、各発光素子の取り付け角度誤差を吸
収するため、あらかじめウエハをキャリア載置台７に対
して所定の間隔で水平に置き、キャリア載置台７を上か
ら下に駆動して、各発光素子からの光ビーム１１ａ，１
１ｂをウエハが遮光する位置からウエハと搬入搬出ハン
ドとの相対位置関係をもとめていた。しかし、光ビーム
の角度に誤差があるため、ウエハの直径が変わるごと
に、この相対位置関係を求め直す必要があるという欠点
があった。

【０００７】そこで、本発明の第１の目的は、ウエハ搬
入搬出装置において、各発光素子の取付け誤差や経時変
化にかかわらず、常に正確なウエハの収納姿勢状態を算
出できるようにすることにある。

【０００８】また、本発明の第２の目的は、ウエハ搬入
搬出装置において、ウエハの直径が変わっても直径デー
タを設定することにより、再度この相対位置関係を求め
直す必要をなくすことにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明のウエハ搬入搬出装置は、複数枚のウエハを所定
間隔を隔てて平行に保持するキャリアと、このキャリア
に対してウエハを搬入および搬出する搬入搬出手段と、
前記キャリアの一方の側から光ビームを照射してこれを
他方の側から受光する１対以上の発光素子および受光素
子と、前記キャリアと前記光ビームとを並進的に相対移
動させる手段と、前記キャリアに対して位置的に固定さ
れ、前記キャリアに対する前記光ビームの傾きを検出す
るために設けられた遮光部材と、前記遮光部材のエッジ
を前記光ビームが前記相対移動により横切る際の前記受
光素子の出力に基づいて前記光ビームの傾きを得るとと
もに、前記キャリアに保持されたウエハを前記光ビーム
が前記相対移動により横切る際の前記受光素子の出力お
よび前記光ビームの傾きから前記キャリアに保持された
ウエハの姿勢を判断する演算手段とを具備することを特
徴とする。

【００１０】また、本発明のウエハ搬入搬出方法は、複
数枚のウエハを所定間隔を隔てて平行に保持するキャリ
アと光ビームとを並進的に相対移動させる工程と、前記
キャリアに対して位置的に固定され、前記キャリアに対
する前記光ビームの傾きを検出するために設けられた遮
光部材のエッジを前記光ビームが前記相対移動により横
切る際に前記光ビームを観察することにより前記遮光部
材の前記キャリアを基準とする位置を検出する工程と、
前記光ビームが各ウエハを前記相対移動により横切る際
に前記光ビームを観察することにより各ウエハの前記キ
ャリアを基準とする位置を検出する工程と、前記遮光部
材の位置に基づいて前記光ビームの傾きを得る工程と、
この光ビームの傾きおよび前記各ウエハの位置に基づい
て各ウエハの姿勢を判断する工程とを具備することを特
徴とする。

【００１１】

【作用】この構成において、キャリア内のウエハ収納位
置や姿勢を検出するための光ビームの傾きを得、これを
考慮して各ウエハの位置や姿勢が得られる。したがっ
て、発光素子の取付け位置の誤差や経時変化にかかわら
ず、常に正確な光ビームの傾きに基づいた各ウエハの位
置や姿勢が得られる。これにより、キャリアからウエハ
を搬出する際には、ウエハ搬送ハンドがウエハに対して
最適な位置に挿入される。また、ウエハ搬入搬出手段と
キャリアに正しい姿勢で保持されたウエハとの位置関係
を一度測定して得ておけば、そのウエハと異なるサイズ
のウエハについてのウエハ搬入搬送手段との同様の位置
関係は、これらウエハのサイズと前記光ビームの傾きと
に基づいて、計算により得られる。したがって、ウエハ
のサイズが変わった場合でも、ウエハ搬入搬送手段との
位置関係を測定し直す必要がない。

【００１２】

【発明の実施の態様】本発明のより具体的な態様におい
ては、前記遮光部材のエッジは前記光ビーム上の異なる
２点において前記光ビームを横切る２つのエッジ部分を
有し、これらエッジ部分は前記キャリアを載せるキャリ
ア載置台の両端に位置しもしくは十分離れている。ま
た、前記光ビームの傾きを得るために用いられる前記受
光素子の出力は、前記光ビームが遮光される際のもの、
または遮光が解除される際のもののいずれかに統一され
ている。これにより、光ビームの傾きの計測精度が担保
される。

【００１３】また、前記演算手段は、前記光ビームが前
記相対移動により前記キャリアに保持されている各ウエ
ハを横切る際の前記受光素子の出力および前記光ビーム
の傾きに基づいて前記各ウエハの前記キャリア上の位置
を得る際、それに先立って毎回前記光ビームの傾きの測
定を行う。これにより、光ビームの傾きの経時変化によ
るウエハ位置の測定誤差が、最小限に抑えられる。

【００１４】また、前記演算手段は、前記相対移動によ
り前記光ビームが前記キャリアに保持されているウエハ
によって遮光されている間の前記相対移動の距離を、前
記キャリアの正位置に保持された仮想ウエハによって前
記相対移動により前記光ビームが遮光されている間の前
記相対移動の距離によって正規化した値を用いて、前記
ウエハの姿勢判断を行う。これにより、ウエハの姿勢の
傾き方向が正しく判断される。

【００１５】

【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。

【００１６】図１は本発明の特徴を最もよく表す図面で
あり、同図において、１（Ａ、Ｂ、Ｃ）はウエハ、２は
ウエハ１を収納するキャリア、７はキャリア２を載せる
キャリア載置台、３はウエハ１を搬入搬出するためのハ
ンド、４ａ、４ｂは半導体レーザなどの発光素子、５
ａ、５ｂはフォトセンサなどの受光素子、６ａ、６ｂ、
８ａおよび８ｂはピンホール、９ｂ、１０ｂは発光素子
４ａ、４ｂからの光ビーム１１ａ、１１ｂの基準面に対
する角度を計測するための、遮光器としての薄板状のナ
イフエッジである。

【００１７】発光素子４ａからの光ビーム１１ａはキャ
リア載置台７（基準面）に対し概略傾き＋θａ、発光素
子４ｂからの光ビーム１１ｂはキャリア載置台７（基準
面）に対し概略傾き−θｂ（時計方向を＋）に配置され
る。傾きθは、０．５°近傍の値が望ましい。

【００１８】ウエハ１の収納高さ位置の測定のため、キ
ャリア載置台７を上から下に駆動すると、図２（Ａ）に
示す信号が受光素子５ａ，５ｂより得られる。これよ
り、まず光ビームの傾きθａ，θｂを求める。すなわ
ち、図３に示すように、キャリア載置台７を上から下に
駆動し、ナイフエッジ９ｂの下端が光ビーム１１ｂを遮
ると（同図（Ａ））受光素子５ｂの出力は０となる（図
２のＮｂ１の位置）。さらにキャリア載置台７が下に移
動すると（同図（Ｂ））光ビーム１１ｂは再び透過とな
り（図２のＮｂ２の位置）、つぎに図３（Ｃ）の位置に
達すると、ナイフエッジ１０ｂにより再び遮光される
（図２のＮｂ３の位置）。この受光素子５ｂの出力を所
定のスライスレベルで二値化すると、ナイフエッジ９ｂ
および１０ｂの位置Ｎｂ１、Ｎｂ２およびＮｂ３が求め
られる。利用するナイフエッジの位置は、全ての位置が
透過から遮光へ、または遮光から透過への切り換わりと
いうように統一されている方が位置計測精度が向上する
ため望ましい。ナイフエッジ９ｂの下端とキャリア載置
台７の上面間の距離をｆ₁ 、ナイフエッジ１０ｂの下端
とキャリア載置台７の上面間の距離をｆ₂ とし、ナイフ
エッジ９ｂ，１０ｂ間の距離をｄとする。ｄの距離はな
るべく長い方が傾き計測誤差が少なくなるのでキャリア
載置台７の両端等にナイフエッジを取り付けることが望
ましい。光ビーム１１ｂの傾きθｂは、数１式で求めら
れる。

【００１９】

【数１】同様に光ビーム１１ａについてもナイフエッジ９ｂ，１
０ｂの取り付け位置を入れ換えたものを適用すれば、傾
きθａは数２式で求められる。

【００２０】

【数２】

【００２１】次にウエハ１の収納姿勢を求める手順につ
いて説明する。図１に示すように、キャリア２に収納さ
れているウエハ１の姿勢はウエハＢのように（Ｐ）側が
下がっている場合もあれば、ウエハＣのように（Ｐ）側
が上がっている場合もある。このような種々の姿勢を持
ったウエハ１に対して、たとえば（Ｐ）側のウエハ下面
と搬入搬出ハンド３との隙間を一定として搬入搬出ハン
ド３を挿入する場合、ウエハ１の姿勢がどのようになっ
ているかを正確に知る必要がある。そのために傾きの異
なった光ビームを２本用いて姿勢を判定している。光ビ
ームの傾きの絶対値θａ，θｂが同じであるとすると、
図６（ａ）に示すように、ウエハ１が水平に置かれてい
る場合は、光ビーム１１ａ，１１ｂの遮光幅ＳａＡ，Ｓ
ｂＡは等しい。同図（ｂ）に示すように、（Ｐ）側が下
がっている場合は、遮光幅ＳａＢの方がＳｂＢより大き
い。同図（ｃ）に示すように、（Ｐ）側が上がっている
場合は、遮光幅ＳｂＣの方がＳａＣより大きい。したが
って、光ビーム１１ａ，１１ｂの遮光幅を比較すること
によりウエハ１の姿勢を判定できる。しかし、光ビーム
の傾きの絶対値θａ，θｂが異なっていると単純に比較
しても正しい結果は得られない。そこで以下に述べる手
順によって正しい結果が得られるようにする。

【００２２】キャリア載置台７に対して水平に置かれた
仮想ウエハ１を上から下に駆動した時に光ビーム１１
ａ，１１ｂが仮想ウエハ１によって遮光される基準遮光
幅Ｓａ，Ｓｂを計算する。この基準遮光幅Ｓａ，Ｓｂか
らはウエハ１の厚み寸法は除かれており、図４に示すよ
うに、ウエハ１の厚みをＷｔ、光ビーム位置での仮想ウ
エハ１の幅をｄ₁ とすると、数３式により求められる。

【００２３】

【数３】

【００２４】次に図２のような受光素子５ａ，５ｂの出
力信号により実際のウエハの遮光幅、たとえば（Ａａ２
−Ａａ１）、（Ａｂ２−Ａｂ１）などを計算し、もし、
光ビームの傾きの絶対値θａ，θｂが等しければこの遮
光幅を直接比較し、値の大きい方がその光ビームに対し
角度を持っていることになる。しかし、実際においては
二つの光ビームの傾きθａ，θｂは異なっていることが
多く、したがってこの遮光幅の比較において単に受光素
子５ａ，５ｂより得られた幅を用いるのではなく、前記
基準遮光幅Ｓａ，Ｓｂにより正規化した値を用いて比較
する。これをウエハＡ、Ｂ、Ｃを例にとって説明する。（１）ウエハＡは、数４式により水平であると判断す
る。

【００２５】

【数４】（２）ウエハＢは、数５式により（Ｐ）側に下がってい
ると判断する。

【００２６】

【数５】（３）ウエハＣは、数６式により（Ｑ）側に下がってい
ると判断する。

【００２７】

【数６】以上の手順によりウエハ１の傾き方向が正しく判断され
ることになる。

【００２８】次にウエハ検知手段の光ビーム１１ａ，１
１ｂとウエハ搬入搬出ハンド３との相対位置関係を求め
る手順を図５を用いて説明する。まず、図５においてウ
エハ１をキャリア載置台７に水平に置く。ウエハ１とキ
ャリア載置台７の上面との間隔は、例えばキャリア２の
最下段の棚にウエハ１を収納した時の間隔と同等とす
る。そしてキャリア載置台７を上から下へ駆動した時に
光ビーム１１ｂが遮光された位置から搬入搬出ハンド３
との隙間Ｔｃを保つ位置までの距離ｈｃを求める。

【００２９】この距離ｈｃはウエハ１を搬入搬出ハンド
３で搬出する場合に用いる。すなわち、図１のウエハＡ
がキャリア２の最下段の棚に位置するウエハだとすると
ｈｃ＋Ａａ１だけキャリア載置台７を駆動すると、ウエ
ハＡの下面と搬入搬出ハンド３の上面との隙間Ｔｃを保
持した位置関係に移動する。この状態でウエハ１を取り
出すために搬入搬出ハンド３をキャリア２内に挿入する
が、この場合ウエハ１と干渉することはない。

【００３０】一度この距離ｈｃを求めた後、ウエハ１の
直径が変更になった場合は、以下に述べる手順で距離ｈ
ｃを補正して用いる。距離ｈｃを求めた時のウエハ１の
直径をｄ₁ とする。新しく使用するウエハ１の直径をｄ
₃ とすると、この直径ｄ₃ なるウエハ１を上から下へ駆
動した場合の受光素子５ｂの出力は図２のＡ′ｂ１，
Ａ′ｂ２，Ｂ′ｂ１，Ｂ′ｂ２等となる。この場合、ウ
エハ１の検出位置はウエハ１の直径がｄ₁ からｄ₃ に変
化することにより（Ａ′ｂ１−Ａｂ１）だけ実際の位置
よりずれている。このずれ量は光ビーム１１ｂの傾きよ
り算出できる。すなわち、数７式により求められる。

【００３１】

【数７】したがって、ウエハ１の直径がｄ₁ からｄ₂ に変わった
場合、ウエハ直径データｄ₁ をｄ₂ に再設定し、距離ｈ
ｃを下記式８のように補正する。

【００３２】

【数８】この補正により、ウエハ１の直径が変化したとしてもウ
エハ１と搬入搬出ハンド３との相対位置関係は正しく保
たれる。

【００３３】次にウエハ１を搬送する時の動作を図７の
フローチャートを用いて説明する。まず、ウエハ１が収
納されたキャリア２が搭載されたキャリア載置台７を上
下に駆動し、光ビーム１１ａ，１１ｂの出力より各ナイ
フエッジ９ｂ、１０ｂとウエハ１の位置情報をサンプリ
ングする（ステップ１２）。次にナイフエッジの位置情
報より光ビーム１１ａ，１１ｂの傾きを計算する（ステ
ップ１３）。次に光ビーム１１ａ，１１ｂの傾きと、設
定されたウエハ１の直径データより、基準遮光幅Ｓａ，
Ｓｂおよび搬入搬出ハンド３の挿入位置までの駆動量ｈ
ｃを計算する（ステップ１４）。次に各ウエハ１に対す
る搬入搬出ハンド３の挿入位置までの駆動量を計算する
（ステップ１５）。次に搬送しようとするウエハ１のハ
ンド挿入位置へキャリア載置台７を駆動する（ステップ
１６）。次に搬入搬出ハンド３をキャリア２内に挿入
後、上昇させウエハ１を吸着する（ステップ１７）。次
にキャリア２からウエハ１を取り出して次の処理工程に
搬送する（ステップ１８）。なお、上記の実施例におい
て、キャリア載置台７を駆動して固定された光ビーム１
１ａ，１１ｂの信号を取り込んでいたが、両者は相対的
に移動すればよいので、キャリア載置台７を固定にして
光ビーム１１ａ，１１ｂを駆動してもかまわない。ま
た、光ビームは１本以上であれば光ビームの数だけナイ
フエッジを用意すれば同様に光ビームの傾きを求めるこ
とが可能である。また、ナイフエッジ９ｂおよび１０ｂ
は薄板状でなくても、たとえばブロック状のものでも同
様な効果が得られる。また、光ビーム１１ａ，１１ｂは
＋θａ，−θｂなる角度を持っているが、水平な光ビー
ムに適用しても同様な効果が得られることはいうまでも
ない。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
光ビームの基準面に対する取り付け角度を適宣計測する
ことにより、光ビームの角度に誤差や経時変化があって
も、常に正しいウエハの姿勢を求めることが可能とな
る。さらに、一度だけウエハと搬入搬出ハンドとの相対
位置関係を求めれば、ウエハの直径が変わってもウエハ
の直径データを設定すれば、再度この相対位置関係を求
め直す必要がないという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係わるウエハ搬入搬出装
置の概略構成図。

【図２】図１の装置における、ウエハ位置と受光素子
の出力との関係を示すグラフ。

【図３】図１の装置における、ナイフエッジと光ビー
ムの関係を示す概念図。

【図４】図１の装置における、ウエハと光ビームの位
置関係を示す概念図。

【図５】図１の装置における、ウエハと搬入搬出ハン
ドの位置関係を示す概念図。

【図６】図１の装置における、ウエハの姿勢と光ビー
ムの遮光幅との関係を示す概念図。

【図７】図１の装置における、ウエハの収納姿勢を求
め、ウエハを搬送するフローチャート。

【図８】従来のウエハ搬入搬出装置の概略構成図。

【図９】図８の装置における、従来技術のウエハ位置
と受光素子出力との関係を示すグラフ。

【符号の説明】

１：ウエハ、２：キャリア、３：搬入搬出ハンド、４
ａ，４ｂ：発光素子、５ａ，５ｂ：受光素子、６ａ，６
ｂ：発光側ピンホール、７：キャリア載置台、８ａ，８
ｂ：受光側ピンホール、９ｂ，１０ｂ：ナイフエッジ、
１１ａ，１１ｂ：光ビーム、１２：ナイフエッジとウエ
ハの位置情報サンプリング工程、１３：光ビームの傾き
を計算する演算工程、１４〜１５：ウエハの収納姿勢状
態を計算し判断する演算工程、１６〜１８：ウエハ搬送
工程。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数枚のウエハを所定間隔を隔てて平行
に保持するキャリアと、このキャリアに対してウエハを搬入および搬出する搬入
搬出手段と、前記キャリアの一方の側から光ビームを照射してこれを
他方の側から受光する１対以上の発光素子および受光素
子と、前記キャリアと前記光ビームとを並進的に相対移動させ
る手段と、前記キャリアに対して位置的に固定され、前記キャリア
に対する前記光ビームの傾きを検出するために設けられ
た遮光部材と、前記遮光部材のエッジを前記光ビームが前記相対移動に
より横切る際の前記受光素子の出力に基づいて前記光ビ
ームの傾きを得るとともに、前記キャリアに保持された
ウエハを前記光ビームが前記相対移動により横切る際の
前記受光素子の出力および前記光ビームの傾きから前記
キャリアに保持されたウエハの姿勢を判断する演算手段
とを具備することを特徴とするウエハ搬入搬出装置。
【請求項２】前記キャリアを載せるキャリア載置台を
有し、前記遮光部材のエッジは前記光ビーム上の異なる
２点において前記光ビームを横切る２つのエッジ部分を
有し、これらエッジ部分は前記キャリア載置台の両端に
位置しもしくは十分離れていることを特徴とする請求項
１記載のウエハ搬入搬出装置。
【請求項３】前記光ビームの傾きを得るために用いら
れる前記受光素子の出力は、前記光ビームが遮光される
際のもの、または遮光が解除される際のもののいずれか
に統一されていることを特徴とする請求項１または２記
載のウエハ搬入搬出装置。
【請求項４】前記演算手段は前記光ビームが前記相対
移動により前記キャリアに保持されている各ウエハを横
切る際の前記受光素子の出力および前記光ビームの傾き
に基づいて前記各ウエハの前記キャリア上の位置を得る
とともに、それに先立って毎回前記光ビームの傾きの測
定を行うものであることを特徴とする請求項１〜３記載
のウエハ搬入搬出装置。
【請求項５】前記演算手段は、前記相対移動により前
記光ビームが前記キャリアに保持されているウエハによ
って遮光されている間の前記相対移動の距離を、前記キ
ャリアの正位置に保持された仮想ウエハによって前記相
対移動により前記光ビームが遮光されている間の前記相
対移動の距離によって正規化した値を用いて、前記ウエ
ハの姿勢判断を行うものであることを特徴とする請求項
１〜４記載のウエハ搬入搬出装置。
【請求項６】複数枚のウエハを所定間隔を隔てて平行
に保持するキャリアと光ビームとを並進的に相対移動さ
せる工程と、前記キャリアに対して位置的に固定され、前記キャリア
に対する前記光ビームの傾きを検出するために設けられ
た遮光部材のエッジを前記光ビームが前記相対移動によ
り横切る際に前記光ビームを観察することにより前記遮
光部材の前記キャリアを基準とする位置を検出する工程
と、前記光ビームが各ウエハを前記相対移動により横切る際
に前記光ビームを観察することにより各ウエハの前記キ
ャリアを基準とする位置を検出する工程と、前記遮光部材の位置に基づいて前記光ビームの傾きを得
る工程と、この光ビームの傾きおよび前記各ウエハの位置に基づい
て各ウエハの姿勢を判断する工程とを具備することを特
徴とするウエハ搬入搬出方法。