JP5949741B2 - ロボットシステム及び検出方法 - Google Patents
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Description
2 基板搬送部
3 基板供給部
4 基板処理部
20 ロボット
21 ハンド
22 アーム部
26 アライメント装置
26a 載置台
30 フープ
50 制御部
60 検出部
Claims (6)
- 基板を載置台に搬送するアームと、
前記アームの先端部に設けられ、搬送時に前記基板を保持するハンドと、
前記ハンドに設けられ、水平面について第1の位置または第2の位置になるように位置付けられた前記ハンドを高さ方向に移動させることによって、前記第1の位置及び前記第2の位置でそれぞれ前記基板を検出する検出部と、
前記検出部が前記第1の位置で検出した前記基板の高さと、前記第2の位置で検出した前記基板の高さに基づき、前記載置台での前記基板の載置状態に関連付ける情報を取得する取得部と
を備えることを特徴とするロボットシステム。 - 前記検出部は、
前記基板の収容容器での収容状態を検出する検出部であることを特徴とする請求項1に記載のロボットシステム。 - 前記載置台を回転させて前記基板の位置決めを行うアライメント装置をさらに備えることを特徴とする請求項1または2に記載のロボットシステム。
- 前記アライメント装置は、
前記検出部が検出した前記基板の載置状態に基づいて前記基板のエッジ位置を補正し、前記基板の位置決めを行うことを特徴とする請求項3に記載のロボットシステム。 - 前記アライメント装置は、
前記基板に形成された欠けを検出する第2検出部と、
前記検出部が検出した前記基板の載置状態に基づいて前記第2検出部が検出した欠けが予め前記基板に形成されたノッチか否か判定する判定部と
を有することを特徴とする請求項3または4に記載のロボットシステム。 - アームの先端部に設けられたハンドによって保持された基板を載置台に搬送する搬送工程と、
水平面について第1の位置または第2の位置になるように位置付けられた前記ハンドを高さ方向に移動させることによって、前記ハンドに設けられた検出部が前記第1の位置及び前記第2の位置でそれぞれ前記基板を検出する検出工程と、
前記第1の位置で検出した前記基板の高さと、前記第2の位置で検出した前記基板の高さに基づき、前記載置台での前記基板の載置状態に関連付ける情報を取得する取得工程と
を含むことを特徴とする検出方法。
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