CN107516641A - 机械手臂的监控系统及监控方法 - Google Patents

机械手臂的监控系统及监控方法 Download PDF

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CN107516641A CN201610428174.7A CN201610428174A CN107516641A CN 107516641 A CN107516641 A CN 107516641A CN 201610428174 A CN201610428174 A CN 201610428174A CN 107516641 A CN107516641 A CN 107516641A
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Abstract

本发明提供一种机械手臂的监控系统及监控方法，其中，所述监控系统包括：感应单元以及数据处理单元，所述感应单元用于获取机械手盘的位置信息，并将所述位置信息发送至数据处理单元，所述数据处理单元用于根据其所接收到的位置信息判断所述机械手盘的位置是否存在偏差。通过本发明提供的机械手臂的监控系统及监控方法，可在不影响机械手臂的生产作业的基础上，仍能对机械手臂的精度进行监控，一方面可确保基板的取放安装，另一方面也可及时的发现异常，进而避免异常的扩大化。

Description

机械手臂的监控系统及监控方法
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种机械手臂的监控系统及监控方法。
背景技术
随着机械化程度的不断发展，机械手臂逐步代替人工执行着各种动作，从而可实现自动化的生产。并且，相对于人工操作，采用机械手臂进行操作具有更高的精度，因此，对于一些要求高精度的场合而言，机械手臂更是不二的选择。然而，随着机械手臂的长时间使用，很容易出现机械老化或部件损坏的问题，从而对机械手臂的精度造成影响，进而可能导致所述机械手臂在作业过程中撞伤其他工件的问题，因此，机械手臂的精度确认至关重要。
发明内容
本发明的目的在于提供一种机械手臂的监控系统及监控方法，以对机械手臂的定位精度进行监控，从而可及时发现异常，避免由于机械手臂的精度异常而导致问题的扩大化。
为解决上述技术问题，本发明提供一种机械手臂的监控系统，所述机械手臂包括一用于承载基板的机械手盘，其中，所述监控系统包括：一感应单元以及一数据处理单元，其中，
所述感应单元用于获取所述机械手盘的位置信息，并将所述位置信息发送至数据处理单元；
所述数据处理单元用于根据其所接收到的位置信息判断所述机械手盘的位置是否存在偏差。
可选的，所述感应单元以检测所述机械手盘至一基准位置的距离作为所述机械手盘的位置信息。
可选的，所述感应单元为一激光感应装置，所述激光感应装置设置于所述基准位置上，其包括：一发射器、一接收器以及一信号处理器，所述发射器用于发送光信号于机械手盘上，所述接收器用于接收经由机械手盘反射回的光信号并将接收到的光信号发送至信号处理器，所述信号处理器根据接收到的光信号获取机械手盘的位置信息。
可选的，所述感应单元用于检测所述机械手盘是否在其感应区域内，并将检测结构发送至数据处理单。
可选的，所述感应单元为一光纤传感器，其包括：一发射部件和一接收部件，所述发射部件用于发射光线，所述接收部件用于检测是否接收到光线。
可选的，所述监控系统中还包括一通讯单元，所述通讯单元用于将数据处理单元得出的判断结果发送至机械手臂，使所述机械手臂根据所述判断结果执行相应的动作。
可选的，所述机械手臂还包括一用于驱动所述机械手盘移动的驱动装置。
可选的，当所述机械手盘的位置存在偏差时，通过所述驱动装置使机械手盘停止执行基板的取放动作。
可选的，所述机械手臂还包括一警报装置，当所述机械手盘的位置存在偏差时，所述警报装置发出警报。
可选的，当所述机械手盘的位置存在偏差时，所述驱动装置驱动机械手盘移动至预定位置。
另外，本发明的又一目的在于，提供一种机械手臂的监控方法，包括：
提供一机械手臂，所述机械手臂包括一用于承载基板的机械手盘；
利用一感应单元获取所述机械手盘的位置信息，并将所述机械手盘的位置信息传送至一数据处理单元；
利用所述数据处理单元判断所述机械手盘的位置是否存在偏差。
可选的，所述感应单元获取机械手盘的位置信息的步骤包括：
选取一基准位置；
利用所述感应单元检测所述基准位置至机械手盘的距离。
可选的，所述数据处理单元判断机械手盘是否存在位置偏差的步骤包括：
于所述数据处理单元中输入机械手盘的预定位置信息，并将接收到的机械手盘的位置信息与预定位置信息进行比对，以获得一偏差值；
将偏差值与偏差阈值进行比对，以判断所述机械手盘的位置是否存在偏差。
可选的，所述感应单元获取机械手盘的位置信息的步骤包括：
确认所述感应单元的感应区域；
利用所述感应单元检测在其感应区域内是否存在有机械手盘。
可选的，所述监控方法还包括：
利用一通讯单元将所述数据处理单元得出的判断结果发送至机械手臂；
所述机械手臂根据判断结果执行相应的动作。
可选的，所述机械手臂还包括一驱动所述机械手盘移动的驱动装置，当所述机械手盘的位置存在偏差时，通过所述驱动装置使机械手盘停止执行基板的取放动作。
可选的，所述机械手臂还包括一驱动所述机械手盘移动的驱动装置，当所述机械手盘的位置存在偏差时，所述驱动装置驱动机械手盘移动至预定位置。
本发明提供的机械手臂的监控系统及监控方法中，利用一感应装置检测机械手盘的位置，进而可确认机械手臂的定位精度。其中，由于感应装置在作业过程中并不会对其周边的部件造成影响，因此，所述感应装置在检测机械手盘的位置时，也同样不会影响到机械手臂的生产运行，从而可实现在机械手臂正常作业的情况下，仍可能够对机械手臂的精度进行监控，同时确保了机械手盘可更安全的取放基板。
进一步的，所述机械手臂还可根据检测结构执行相应的动作，一方面保障了基板的安全取放；另一方面当异常发生时，可及时的发现异常，并执行相应的补救措施，避免异常的扩大化。
附图说明
图1为本发明实施例一中机械手臂的监控系统的原理示意图；
图2为本发明实施例一中机械手臂的监控系统的结构示意图；
图3为本发明实施例一中机械手臂的监控系统的感应单元的检测原理图；
图4为本发明实施例二的机械手臂的监控系统的结构示意图；
图5为本发明实施例三中机械手臂的监控方法的流程示意图；
图6a为本发明实施例三中机械手臂的监控方法中的一种机械手盘的位置偏差的判断方法的流程示意图；
图6b为本发明实施例三中机械手臂的监控方法中的另一种机械手盘的位置偏差的判断方法的流程示意图。
具体实施方式
如背景技术所述，机械手臂的高精度要求至关重要，当机械手臂的定位精度存在偏差时，则在采用所述机械手臂执行动作时，极易发生其撞伤其他部件或刮伤基板的问题。因此，为确保机械手臂的精度，通常需定期对机械手臂进行校准。然而，机械手臂的校准周期较长，在这段时间周期内根本无法预知机械手臂的精度状况，因此当机械手臂出现异常时，仍然不能避免其会对其他工件造成影响；并且，在对机械手臂的校准过程中，需停止机械手臂的生产运行以便于执行校准动作，而这期间必然会影响到产品的生产效率。显然，采用定期校准的方式不但无法完全反应机械手臂的精度状况，并且也需花费较大的成本。
基于此，本申请的发明人提供了一种机械手臂的监控系统及监控方法，根据本发明提供的监控系统及监控方法，可对机械手臂中的机械手盘的位置进行监测。其可在不影响机械手臂生产运行的情况下，仍能对机械手臂的定位精度进行监控，从而可及时发现异常，避免异常的扩大化。其中，所述机械手臂的监控系统包括：一感应单元以及一数据处理单元，其中，
所述感应单元用于获取所述机械手盘的位置信息，并将所述位置信息发送至数据处理单元；
所述数据处理单元用于根据其所接收到的位置信息判断所述机械手盘的位置是否存在偏差。
在本发明提供的监控系统中，机械手臂在执行动作的同时，仍可对机械手臂的定位精度进行监测，其一方面保证了用于承载基板的机械手盘的位置精确，从而可更安全的取放基板，另一方面实现在不影响产品的生产节奏的情况下，实现对机械手盘的检测。
进一步的，所述感应单元可实时对机械手盘的位置进行监控，因此当机械手臂存在异常时，所述监控系统可及时监测到，并将该异常信号反馈回机械手臂，使机械手臂可及时做出相应的动作，从而可及时对机械手臂的异常进行处理，避免机械手臂在精度异常的状况下作业，而导致撞伤其他部件或刮伤基板的问题，进而造成更大的损失。
以下结合附图和具体实施例对本发明提出的机械手臂的监控系统及监控方法作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
<实施例一>
图1为本发明实施例一中机械手臂的监控系统的原理示意图，图2为本发明实施例一中机械手臂的监控系统的结构示意图，结合图1及图2所示，机械手臂100具有一机械手盘110，所述机械手盘110用于承载基板。显然，当机械手臂100的精度出现异常时，则相应的即会对所述机械手盘110的位置产生影响，进而当机械手盘110在取放基板时，极易刮伤基板，因此本发明利用一监控系统对所述机械手盘110的位置进行监控，进而可反应出所述机械手臂100的定位精度。在本实施例的监控系统中，通过一感应单元200获取所述机械手盘110的位置信息，并将所述位置信息发送至一数据处理单元300；进而所述数据处理单元300可根据其所接收到的位置信息判断所述机械手盘110的位置是否存在偏差。需注意的是，所述机械手盘110的位置信息可以是机械手盘110的高度位置(即图2中Y方向的位置)，或机械手盘110沿水平方向的位置(即图2中X方向或Z方向的位置)，或机械手盘110以Y方向为轴线旋转的旋转位置(即图2中RZ方向的位置)或其组合等。为便于理解，本实施例中以监控机械手盘110的高度位置为例进行详细说明。
继续参考图2所示，所述机械手臂100还包括用于驱动所述机械手盘110移动的驱动装置120。进一步的，所述机械手盘110与驱动装置120之间还连接有第一臂段151、第二臂段152、第一活动节141、第二活动节142以及第三活动节143。其中，所述第一臂段151的一端通过所述第一活动节141与所述驱动装置120连接，所述第一臂段151的另一端通过第二活动节142与第二臂段152的一端连接，所述第二臂段152的另一端通过第三活动节143与所述机械手盘110连接。即，所述驱动装置120是通过驱动第一活动节141、第二活动节142以及第三活动节143，进而带动所述机械手盘110移动。即本实施例中，通过采用多个臂段以及活动节相连的方式带动所述机械手盘110移动，如此，可在确保所述机械手臂100具有较小体积的基础上，增大机械手盘110的移动范围，从而可灵活的取放位于不同位置的基板。
进一步的，本实施例中获取机械手盘110的位置信息的方式是通过利用所述感应单元200检测所述机械手盘110至一基准位置的距离，并以检测到的距离作为所述机械手盘的位置信息，然后再将所述位置信息发送至数据处理单元300。由于本实施例是以监控所述机械手盘110的高度为例，因此，可通过感应装置200检测所述机械手盘110与所述基准位置的高度差H以获取机械手盘110的位置信息。其中，所述感应装置200可采用激光传感器，并将所述激光传感器安装于所述机械手盘110的下方，从而可检测所述机械手盘110与激光传感器之间高度差H，并以此反映所述机械手盘110的高度位置，此时，所述激光传感器的安装位置即可设定为基准位置。由于激光传感器是利用激光技术进行检测，其不但能够实现无接触测量，并且具有较高的检测精度，通常其检测精度在0.01mm范围内，同时还可实现实时在线检测的目的。因此，利用激光传感器，不但可以在作业过程中实时对机械手臂的定位精度进行监控，而不会影响产品的生产节奏，同时还保证了机械手臂在对每一片基板进行取放时的定位精度，避免对基板造成刮伤。
图3为本发明实施例一中机械手臂的监控系统的感应单元的检测原理图，如图3所示，激光感应装置包括一发射器210、一接收器220以及一信号处理器230，所述发射器210用于发送光信号于机械手盘110上，所述接收器220用于接收经由机械手盘110反射回的光信号并将接收到的光信号发送至信号处理器230，进而所述信号处理器230可根据接收到的光信号获取机械手盘110的位置信息。其中，所述激光感应装置是采用激光三角法测量原理进行检测，如图3所示，当机械手盘110位于不同的高度位置时，则被机械手盘110反射回的光也相应的具有不同的反射角度，从而所述接收器220也于不同的位置上捕捉到不同反射角度的光线，数据处理器230即可根据捕捉到的光线的位置计算出所述机械手盘110与感应单元300之间的距离，即高度差H。
在所述感应单元200检测出机械手盘110的高度位置后，将所获取的高度差H的信号发送至数据处理单元300。所述数据处理单元300根据接收到的位置信息进而判断所述机械手盘110的位置是否存在偏差。其中，所述数据处理单元的判断原理可参考如下：
首先，于所述数据处理单元300中输入机械手盘110的预定位置信息(即本实施例中的预定高度差Ht)；
接着，将接收到的机械手盘110的位置信息(即当前高度差Hp)与预定位置信息(即预定高度差Ht)进行比对，以获得一偏差值Dp，(即Dp＝|Ht‐Hp|)；
然后，在将所述偏差值Dp与偏差阈值Dt进行比对，所述偏差阈值Dt即为所述机械手盘可允许产生的最大偏差值，其例如为0.01mm；若所述偏差值Dp小于偏差阈值Dt，则判断为机械手盘110不存在位置偏差，若所述偏差值Dp大于偏差阈值Dt，则判断为机械手盘110存在位置偏差。
此外，在本实施例所提供的监控系统中，在完成机械手盘110的位置偏差的判断后，还包括将所述判断结果发送至机械手臂100，以使机械手臂100可根据判断结果执行相应的动作，从而使所述监控系统形成一闭合反馈系统。具体的，所述监控系统中具有一通讯单元400，所述通讯单元400即用于将数据处理单元300得出的判断结果发送至机械手臂100。本实施例中，所述通讯单元400将判断结果发送于机械手臂100中的驱动装置120，并使所述驱动装置120根据机械手盘110的位置信息驱动所述机械手盘110移动或停止驱动所述机械手盘110移动。即，当机械手盘110的位置不存在偏差时，则说明所述机械手臂100的精度无异常，可继续使用所述机械手臂100进行生产作业，此时，驱动装置120以正常的作业流程继续驱动所述机械手盘110移动以完成基板的取放过程；若所述机械手盘110的位置存在偏差，此时，可通过驱动装置120使机械手盘110停止对基板的取放过程，以避免机械手盘110在位置存在偏差的情况下运动而撞伤其他工件的问题，进而可避免问题的扩大化。
优选的方案中，所述机械手臂100还包括一报警装置130，其中所述通讯单元400在将数据处理单元300得出的判断结果发送于驱动装置120时，也还可以同时将判断结果发送于所述报警装置130。即，当所述机械手盘110的位置存在偏差时，则所述警报装置130相应的发出警报，进而可通知相应的人员对此异常进行处理。在实际生产过程中，通过采用警报告知相应的人员进行确认的形式，不但可以对机械手臂100本身的异常进行确认及改善，并且还可对在线作业的产品同时进行确认，避免受影响的产品未及时发现而继续对其加工制造，造成成本的浪费。其中，所述警报装置例如可以是蜂鸣器等。
当然，当所述机械手盘110存在位置偏差时，除了通过警报以告知相应的人员进行处理之外，还可通过优化监控系统，使所述机械手臂100可自行进行位置调整，以实现自校准的功能。具体的，当所述机械手盘110存在位置偏差时，则所述数据处理单元300除了得出判断结果之外，还可根据判断结果生成一位置调整信息，并将所述位置调整信息通过通讯单元400发送于驱动装置120，进而所述驱动装置120可根据所述位置调整信息将机械手盘110移动至预定位置。从而实现机械手臂的自校准过程，节省人力。
此外，需注意的是，本实施例中是以监控机械手盘的高度位置为例进行详细说明。然而，本发明提供的监控系统同样可适用于对机械手盘于其他方向上的位置进行监控。例如，需对机械手盘110于图2中的X方向的位置进行监控时，则可将所述感应装置200安装于机械手盘110的一侧，从而可监测机械手盘110的一侧至感应装置200的距离，进而可判断所述机械手盘110的位置是否存在偏差。又或者，需对机械手盘110在多个方向上的位置进行监控时，则可相应的增加多个感应装置以实现监控过程。
<实施例二>
图4为本发明实施例二的机械手臂的监控系统的结构示意图，如图4并结合图1所示，与实施例一的区别在于，本实施例中，感应单元200’是用于检测在其感应区域内是否存在机械手盘110，其中，所述感应单元200’的感应区域即为机械手盘110的预定位置的区域。即，当所述感应单元200’未检测到机械手盘110时，则说明机械手盘110的位置存在偏差；当所述感应单元200’检测到机械手盘110时，则说明机械手盘110不存在位置偏差，机械手臂的精度无异常，可继续进行生产作业。
具体的，所述感应单元200’可采用一光纤传感器，其包括一发射部件210’以及一接收部件220’，所述发射部件210’用于发射光线，所述接收部件220’用于检测是否接收到所述光线。本实施例中，仍以监控机械手盘110的高度位置为例，因此，所述发射部件210’可安装于所述机械手盘110预定的高度位置的区域，并把所述接收部件220’安装于机械手臂110上。当所述接收部件220’接收到发射部件210’发射的光线时，则说明机械手盘110位于预定的高度位置，此时，机械手盘110可继续完成基板的取放过程；而当所述接收部件220’未接收到光线时，则说明机械手盘110与预定位置存在偏差，此时，机械手盘110停止对基板进行取放，并需对机械手臂100的定位精度进行确认。
本实施例中，直接把感应单元200’安装于机械手盘110的预定位置，从而可直接判断机械手盘110在预定位置是否存在偏差。因此，本实施例的方案尤其适用于当采用机械手臂100于一固定终端取放基板时的情况，即，将所述感应单元200’设置于机械手盘110在取放基板时的最佳位置的区域中，从而可实时监控所述机械手盘110在取放每一片基板时位置状况，确保机械手盘110是在最佳的取放位置对基板进行取放过程，进而可保障基板的取放安全。
<实施例三>
此外，根据以上所述的机械手臂的监控系统，本发明还提供一种机械手臂的监控方法。图5为本发明实施例一中机械手臂的监控方法的流程示意图，参考图5并结合图1所示，所述监控方法包括：
S10，提供一机械手臂，所述机械手臂包括一机械手盘；
S20，利用一感应单元获取所述机械手盘的位置信息，并将所述机械手盘的位置信息传送至一数据处理单元；
S30，利用所述数据处理单元判断所述机械手盘的位置是否存在偏差。
其中，在步骤S20‐S30中，可参考图6a所示的一种机械手盘的位置偏差的判断方法。即，步骤S20中，所述感应单元获取机械手盘的位置信息的方法可参考如下步骤：
S21，选取一基准位置；
S22，利用所述感应单元检测所述基准位置至机械手盘的距离。
当采用上述方法获取机械手盘的位置信息时，相应的，步骤S30中所述数据处理单元在判断机械手盘是否存在位置偏差时，则可采用如下步骤：
S31，将接收到的机械手盘的位置信息与一预定位置信息进行比对，以获得一偏差值；
S32，将偏差值与偏差阈值进行比对，确认偏差值是否小于偏差阈值，其中，所述偏差阈值即为所述机械手盘可允许参数的最大偏差值；
若偏差值小于偏差阈值时，则如步骤S33所示，即判定为机械手盘不存在位置偏差；若偏差值大于偏差阈值时，则如步骤S34所示，即判定为机械手盘存在位置偏差。
此外，在步骤S20‐S30中，还可采用如图6b所示的另一种机械手盘的位置偏差的判断方法。具体步骤S20包括：
S21’，确认所述感应单元的感应区域；
S22’，利用所述感应单元确认在其感应区域内是否可检测到所述机械手盘。
相应的，步骤S30包括：
S31’，接收感应单元发送的检测结果，并根据检测结果判断所述机械手盘是否存在位置偏差；
若感应单元的感应区域内有检测到机械手盘时，则如步骤S32’所示，即判定为机械手盘不存在位置偏差；若感应单元的感应区域内未检测到机械手盘时，则如步骤S33’所示，即判定为机械手盘存在位置偏差。
优选的，所述监控方法还包括：
S40，利用一通讯单元将所述数据处理单元得出的判断结果发送至机械手臂。
从而，所述机械手臂可根据判断结果执行相应的动作。具体的，所述机械手臂还包括一驱动所述机械手盘移动的驱动装置。当所述机械手盘的位置不存在偏差时，则所述机械手臂执行步骤S51所示的动作，即所述驱动装置继续驱动机械手盘移动以完成基板的取放过程；而当所述机械手盘的位置存在偏差时，则则所述机械手臂执行步骤S52所示的动作，即所述驱动装置停止驱动机械手盘执行取放基板的动作，以避免位置存在偏差的机械手盘继续移动而刮伤基板。
显然，还可以通过对所述监控系统进行优化，使其机械手臂可实现自校准的功能。即本实施例中，当机械手盘的位置存在偏差时，除了执行步骤S52所示的立即停止机械手臂对基板的取放动作之外，还包括：步骤S53，即利用驱动装置是机械手盘移动至预定位置。
综上所述，在本发明提供的机械手臂的监控系统及监控方法中，利用一感应装置实时检测机械手盘的位置，从而可在不影响机械手臂取放基板的作业过程的基础上，仍能够实现对机械手臂的定位精度进行监测的目的，并同时保证了用于承载基板的机械手盘的位置精确，进而可更安全的取放基板。也就是说，采用本发明提供的机械手臂的监控系统及监控方法，即可保证产品的正常生产节奏，同时也可实现对机械手臂的精度进行实时监测。
进一步的，所述机械手臂还可根据检测结构执行相应的动作，一方面保障基板的安全取放；另一方面在针对存在异常的状况下，还可执行相应的补救措施，避免异常的扩大化。
本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的系统而言，由于与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。
上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (17)

1.一种机械手臂的监控系统，所述机械手臂包括一用于承载基板的机械手盘，其特征在于，所述监控系统包括：一感应单元以及一数据处理单元，其中，
所述感应单元用于获取所述机械手盘的位置信息，并将所述位置信息发送至数据处理单元；
所述数据处理单元用于根据其所接收到的位置信息判断所述机械手盘的位置是否存在偏差。
2.如权利要求1所述的机械手臂的监控系统，其特征在于，所述感应单元以检测所述机械手盘至一基准位置的距离作为所述机械手盘的位置信息。
3.如权利要求2所述的机械手臂的监控系统，其特征在于，所述感应单元为一激光感应装置，所述激光感应装置设置于所述基准位置上，其包括：一发射器、一接收器以及一信号处理器，所述发射器用于发送光信号于机械手盘上，所述接收器用于接收经由机械手盘反射回的光信号并将接收到的光信号发送至信号处理器，所述信号处理器根据接收到的光信号获取机械手盘的位置信息。
4.如权利要求1所述的机械手臂的监控系统，其特征在于，所述感应单元用于检测所述机械手盘是否在其感应区域内，并将检测结构发送至数据处理单元。
5.如权利要求4所述的机械手臂的监控系统，其特征在于，所述感应单元为一光纤传感器，其包括：一发射部件和一接收部件，所述发射部件用于发射光线，所述接收部件用于检测是否接收到光线。
6.如权利要求1所述的机械手臂的监控系统，其特征在于，所述监控系统中还包括一通讯单元，所述通讯单元用于将数据处理单元得出的判断结果发送至机械手臂，使所述机械手臂根据所述判断结果执行相应的动作。
7.如权利要求6所述的机械手臂的监控系统，其特征在于，所述机械手臂还包括一用于驱动所述机械手盘移动的驱动装置。
8.如权利要求7所述的机械手臂的监控系统，其特征在于，当所述机械手盘的位置存在偏差时，通过所述驱动装置使机械手盘停止执行基板的取放动作。
9.如权利要求8所述的机械手臂的监控系统，其特征在于，所述机械手臂还包括一警报装置，当所述机械手盘的位置存在偏差时，所述警报装置发出警报。
10.如权利要求7所述的机械手臂的监控系统，其特征在于，当所述机械手盘的位置存在偏差时，所述驱动装置驱动机械手盘移动至预定位置。
11.一种机械手臂的监控方法，其特征在于，包括：
提供一机械手臂，所述机械手臂包括一用于承载基板的机械手盘；
利用一感应单元获取所述机械手盘的位置信息，并将所述机械手盘的位置信息传送至一数据处理单元；
利用所述数据处理单元判断所述机械手盘的位置是否存在偏差。
12.如权利要求11所述的机械手臂的监控方法，其特征在于，所述感应单元获取机械手盘的位置信息的步骤包括：
选取一基准位置；
利用所述感应单元检测所述基准位置至机械手盘的距离。
13.如权利要求12所述的机械手臂的监控方法，其特征在于，所述数据处理单元判断机械手盘是否存在位置偏差的步骤包括：
将接收到的机械手盘的位置信息与一预定位置信息进行比对，以获得一偏差值；
将偏差值与偏差阈值进行比对，以判断所述机械手盘的位置是否存在偏差。
14.如权利要求11所述的机械手臂的自校准方法，其特征在于，所述感应单元获取机械手盘的位置信息的步骤包括：
确认所述感应单元的感应区域；
利用所述感应单元确认在其感应区域内是否可检测到所述机械手盘。
15.如权利要求11所述的机械手臂的监控方法，其特征在于，所述监控方法还包括：
利用一通讯单元将所述数据处理单元得出的判断结果发送至机械手臂；
所述机械手臂根据判断结果执行相应的动作。
16.如权利要求15所述的机械手臂的监控方法，其特征在于，所述机械手臂还包括一驱动所述机械手盘移动的驱动装置，当所述机械手盘的位置存在偏差时，通过所述驱动装置使机械手盘停止执行基板的取放动作。
17.如权利要求15所述的机械手臂的监控方法，其特征在于，所述机械手臂还包括一驱动所述机械手盘移动的驱动装置，当所述机械手盘的位置存在偏差时，所述驱动装置驱动机械手盘移动至预定位置。
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