TWI659813B - 機械手臂的監控系統及其監控方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種機械手臂的監控系統及監控方法，其中，所述監控系統包括：感應單元以及資料處理單元，所述感應單元用於獲取機械手盤的位置資訊，並將所述位置資訊發送至資料處理單元，所述資料處理單元用於根據其所接收到的位置資訊判斷所述機械手盤的位置是否存在偏差。透過本發明提供的機械手臂的監控系統及監控方法，可在不影響機械手臂的生產作業的基礎上，仍能對機械手臂的精度進行監控，一方面可確保基板的取放安裝，另一方面也可及時的發現異常，進而避免異常的擴大化。

Description

機械手臂的監控系統及其監控方法

本發明涉及半導體技術領域，特別涉及一種機械手臂的監控系統及監控方法

隨著機械化程度的不斷發展，機械手臂逐步代替人工執行著各種動作，從而可實現自動化的生產。並且，相對於人工作業，採用機械手臂進行操作具有更高的精度，因此，對於一些要求高精度的場合而言，機械手臂更是不二的選擇。然而，隨著機械手臂的長時間使用，很容易出現機械老化或部件損壞的問題，從而對機械手臂的精度造成影響，進而可能導致所述機械手臂在作業過程中撞傷其他工件的問題，因此，機械手臂的精度確認至關重要。

本發明的目的在於提供一種機械手臂的監控系統及監控方法，以對機械手臂的定位精度進行監控，從而可及時發現異常，避免由於機械手臂的精度異常而導致問題的擴大化。

為解決上述技術問題，本發明提供一種機械手臂的監控系統，所述機械手臂包括一用於承載基板的機械手盤，其中，所述監控系統 包括：一感應單元以及一資料處理單元，其中，所述感應單元用於獲取所述機械手盤的位置資訊，並將所述位置資訊發送至資料處理單元；所述資料處理單元用於根據其所接收到的位置資訊判斷所述機械手盤的位置是否存在偏差。

可選的，所述感應單元以檢測所述機械手盤至一基準位置的距離作為所述機械手盤的位置資訊。

可選的，所述感應單元為一鐳射感應裝置，所述鐳射感應裝置設置於所述基準位置上，其包括：一發射器、一接收器以及一信號處理器，所述發射器用於發送光信號於機械手盤上，所述接收器用於接收經由機械手盤反射回的光信號並將接收到的光信號發送至信號處理器，所述信號處理器根據接收到的光信號獲取機械手盤的位置資訊。

可選的，所述感應單元用於檢測所述機械手盤是否在其感應區域內，並將檢測結構發送至資料處理單。

可選的，所述感應單元為一光纖傳感器，其包括：一發射部件和一接收部件，所述發射部件用於發射光線，所述接收部件用於檢測是否接收到光線。

可選的，所述監控系統中還包括一通訊單元，所述通訊單元用於將資料處理單元得出的判斷結果發送至機械手臂，使所述機械手臂根據所述判斷結果執行相應的動作。

可選的，所述機械手臂還包括一用於驅動所述機械手盤移動的驅動裝置。

可選的，當所述機械手盤的位置存在偏差時，透過所述驅動裝置使機械手盤停止執行基板的取放動作。

可選的，所述機械手臂還包括一警報裝置，當所述機械手盤的位置存在偏差時，所述警報裝置發出警報。

可選的，當所述機械手盤的位置存在偏差時，所述驅動裝置驅動機械手盤移動至預定位置。

另外，本發明的又一目的在於，提供一種機械手臂的監控方法，包括：提供一機械手臂，所述機械手臂包括一用於承載基板的機械手盤；利用一感應單元獲取所述機械手盤的位置資訊，並將所述機械手盤的位置資訊傳送至一資料處理單元；利用所述資料處理單元判斷所述機械手盤的位置是否存在偏差。

可選的，所述感應單元獲取機械手盤的位置資訊的步驟包括：選取一基準位置；利用所述感應單元檢測所述基準位置至機械手盤的距離。

可選的，所述資料處理單元判斷機械手盤是否存在位置偏差的步驟包括：於所述資料處理單元中輸入機械手盤的預定位置資訊，並將接收到的機械手盤的位置資訊與預定位置資訊進行比對，以獲得一偏差值；將偏差值與偏差閾值進行比對，以判斷所述機械手盤的位置是否存在偏差。

可選的，所述感應單元獲取機械手盤的位置資訊的步驟包括：確認所述感應單元的感應區域；利用所述感應單元檢測在其感應區域內是否存在有機械手盤。

可選的，所述監控方法還包括：利用一通訊單元將所述資料 處理單元得出的判斷結果發送至機械手臂；所述機械手臂根據判斷結果執行相應的動作。

可選的，所述機械手臂還包括一驅動所述機械手盤移動的驅動裝置，當所述機械手盤的位置存在偏差時，透過所述驅動裝置使機械手盤停止執行基板的取放動作。

可選的，所述機械手臂還包括一驅動所述機械手盤移動的驅動裝置，當所述機械手盤的位置存在偏差時，所述驅動裝置驅動機械手盤移動至預定位置。

本發明提供的機械手臂的監控系統及監控方法中，利用一感應裝置檢測機械手盤的位置，進而可確認機械手臂的定位精度。其中，由於感應裝置在作業過程中並不會對其周邊的部件造成影響，因此，所述感應裝置在檢測機械手盤的位置時，也同樣不會影響到機械手臂的生產運行，從而可實現在機械手臂正常作業的情況下，仍可能夠對機械手臂的精度進行監控，同時確保了機械手盤可更安全的取放基板。

進一步的，所述機械手臂還可根據檢測結構執行相應的動作，一方面保障了基板的安全取放；另一方面當異常發生時，可及時的發現異常，並執行相應的補救措施，避免異常的擴大化。

100‧‧‧機械手臂

110‧‧‧機械手盤

120‧‧‧驅動裝置

130‧‧‧警報裝置

141‧‧‧第一活動節

142‧‧‧第二活動節

143‧‧‧第三活動節

151‧‧‧第一臂段

152‧‧‧第二臂段

200‧‧‧感應單元

210‧‧‧發射器

220‧‧‧接收器

230‧‧‧信號處理器

300‧‧‧資料處理單元

400‧‧‧通訊單元

200’‧‧‧感應單元

210’‧‧‧發射部件

220’‧‧‧接收部件

圖1為本發明實施例一中機械手臂的監控系統的原理示意圖；圖2為本發明實施例一中機械手臂的監控系統的結構示意圖； 圖3為本發明實施例一中機械手臂的監控系統的感應單元的檢測原理圖；圖4為本發明實施例二的機械手臂的監控系統的結構示意圖；圖5為本發明實施例三中機械手臂的監控方法的流程示意圖；圖6a為本發明實施例三中機械手臂的監控方法中的一種機械手盤的位置偏差的判斷方法的流程示意圖；圖6b為本發明實施例三中機械手臂的監控方法中的另一種機械手盤的位置偏差的判斷方法的流程示意圖。

如背景技術所述，機械手臂的高精度要求至關重要，當機械手臂的定位精度存在偏差時，則在採用所述機械手臂執行動作時，極易發生其撞傷其他部件或刮傷基板的問題。因此，為確保機械手臂的精度，通常需定期對機械手臂進行校準。然而，機械手臂的校準週期較長，在這段時間週期內根本無法預知機械手臂的精度狀況，因此當機械手臂出現異常時，仍然不能避免其會對其他工件造成影響；並且，在對機械手臂的校準過程中，需停止機械手臂的生產運行以便於執行校準動作，而這期間必然會影響到產品的生產效率。顯然，採用定期校準的方式不但無法完全反應機械手臂的精度狀況，並且也需花費較大的成本。

基於此，本申請的發明人提供了一種機械手臂的監控系統及監控方法，根據本發明提供的監控系統及監控方法，可對機械手臂中的機 械手盤的位置進行監測。其可在不影響機械手臂生產運行的情況下，仍能對機械手臂的定位精度進行監控，從而可及時發現異常，避免異常的擴大化。其中，所述機械手臂的監控系統包括：一感應單元以及一資料處理單元，其中，所述感應單元用於獲取所述機械手盤的位置資訊，並將所述位置資訊發送至資料處理單元；所述資料處理單元用於根據其所接收到的位置資訊判斷所述機械手盤的位置是否存在偏差。

在本發明提供的監控系統中，機械手臂在執行動作的同時，仍可對機械手臂的定位精度進行監測，其一方面保證了用於承載基板的機械手盤的位置精確，從而可更安全的取放基板，另一方面實現在不影響產品的生產節奏的情況下，實現對機械手盤的檢測。

進一步的，所述感應單元可即時對機械手盤的位置進行監控，因此當機械手臂存在異常時，所述監控系統可及時監測到，並將該異常信號回饋回機械手臂，使機械手臂可及時做出相應的動作，從而可及時對機械手臂的異常進行處理，避免機械手臂在精度異常的狀況下作業，而導致撞傷其他部件或刮傷基板的問題，進而造成更大的損失。

以下結合附圖和具體實施例對本發明提出的機械手臂的監控系統及監控方法作進一步詳細說明。根據下面說明和請求項，本發明的優點和特徵將更清楚。需說明的是，附圖均採用非常簡化的形式且均使用非精准的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發明實施例的目的。

圖1為本發明實施例一中機械手臂的監控系統的原理示意圖，圖2為本發明實施例一中機械手臂的監控系統的結構示意圖，結合圖1及圖2所示，機械手臂100具有一機械手盤110，所述機械手盤110用於承載 基板。顯然，當機械手臂100的精度出現異常時，則相應的即會對所述機械手盤110的位置產生影響，進而當機械手盤110在取放基板時，極易刮傷基板，因此本發明利用一監控系統對所述機械手盤110的位置進行監控，進而可反應出所述機械手臂100的定位精度。在本實施例的監控系統中，透過一感應單元200獲取所述機械手盤110的位置資訊，並將所述位置資訊發送至一資料處理單元300；進而所述資料處理單元300可根據其所接收到的位置資訊判斷所述機械手盤110的位置是否存在偏差。需注意的是，所述機械手盤110的位置資訊可以是機械手盤110的高度位置(即圖2中Y方向的位置)，或機械手盤110沿水準方向的位置(即圖2中X方向或Z方向的位置)，或機械手盤110以Y方向為軸線旋轉的旋轉位置(即圖2中RZ方向的位置)或其組合等。為便於理解，本實施例中以監控機械手盤110的高度位置為例進行詳細說明。

繼續參考圖2所示，所述機械手臂100還包括用於驅動所述機械手盤110移動的驅動裝置120。進一步的，所述機械手盤110與驅動裝置120之間還連接有第一臂段151、第二臂段152、第一活動節141、第二活動節142以及第三活動節143。其中，所述第一臂段151的一端透過所述第一活動節141與所述驅動裝置120連接，所述第一臂段151的另一端透過第二活動節142與第二臂段152的一端連接，所述第二臂段152的另一端透過第三活動節143與所述機械手盤110連接。即，所述驅動裝置120是透過驅動第一活動節141、第二活動節142以及第三活動節143，進而帶動所述機械手盤110移動。即本實施例中，透過採用多個臂段以及活動節相連的方式帶動所述機械手盤110移動，如此，可在確保所述機械手臂100具有較小體積的基礎上，增 大機械手盤110的移動範圍，從而可靈活的取放位於不同位置的基板。

進一步的，本實施例中獲取機械手盤110的位置資訊的方式是透過利用所述感應單元200檢測所述機械手盤110至一基準位置的距離，並以檢測到的距離作為所述機械手盤的位置資訊，然後再將所述位置資訊發送至資料處理單元300。由於本實施例是以監控所述機械手盤110的高度為例，因此，可透過感應單元200檢測所述機械手盤110與所述基準位置的高度差H以獲取機械手盤110的位置資訊。其中，所述感應單元200可採用鐳射感測器，並將所述鐳射感測器安裝於所述機械手盤110的下方，從而可檢測所述機械手盤110與鐳射感測器之間高度差H，並以此反映所述機械手盤110的高度位置，此時，所述鐳射感測器的安裝位置即可設定為基準位置。由於鐳射感測器是利用雷射技術進行檢測，其不但能夠實現無接觸測量，並且具有較高的檢測精度，通常其檢測精度在0.01mm範圍內，同時還可實現即時線上檢測的目的。因此，利用鐳射感測器，不但可以在作業過程中即時對機械手臂的定位精度進行監控，而不會影響產品的生產節奏，同時還保證了機械手臂在對每一片基板進行取放時的定位精度，避免對基板造成刮傷。

圖3為本發明實施例一中機械手臂的監控系統的感應單元的檢測原理圖，如圖3所示，鐳射感應裝置包括一發射器210、一接收器220以及一信號處理器230，所述發射器210用於發送光信號於機械手盤110上，所述接收器220用於接收經由機械手盤110反射回的光信號並將接收到的光信號發送至信號處理器230，進而所述信號處理器230可根據接收到的光信號獲取機械手盤110的位置資訊。其中，所述鐳射感應裝置是採用鐳射三角法 測量原理進行檢測，如圖3所示，當機械手盤110位於不同的高度位置時，則被機械手盤110反射回的光也相應的具有不同的反射角度，從而所述接收器220也於不同的位置上捕捉到不同反射角度的光線，資料處理器230即可根據捕捉到的光線的位置計算出所述機械手盤110與感應單元200之間的距離，即高度差H。

在所述感應單元200檢測出機械手盤110的高度位置後，將所獲取的高度差H的信號發送至資料處理單元300。所述資料處理單元300根據接收到的位置資訊進而判斷所述機械手盤110的位置是否存在偏差。其中，所述資料處理單元的判斷原理可參考如下：首先，於所述資料處理單元300中輸入機械手盤110的預定位置資訊(即本實施例中的預定高度差H_t)；接著，將接收到的機械手盤110的位置資訊(即當前高度差H_p)與預定位置資訊(即預定高度差H_t)進行比對，以獲得一偏差值D_p，(即D_p=｜H_t-H_p｜)；然後，在將所述偏差值D_p與偏差閾值D_t進行比對，所述偏差閾值D_t即為所述機械手盤可允許產生的最大偏差值，其例如為0.01mm；若所述偏差值D_p小於偏差閾值D_t，則判斷為機械手盤110不存在位置偏差，若所述偏差值D_p大於偏差閾值D_t，則判斷為機械手盤110存在位置偏差。

此外，在本實施例所提供的監控系統中，在完成機械手盤110的位置偏差的判斷後，還包括將所述判斷結果發送至機械手臂100，以使機械手臂100可根據判斷結果執行相應的動作，從而使所述監控系統形成一閉合回饋系統。具體的，所述監控系統中具有一通訊單元400，所述通訊單元 400即用於將資料處理單元300得出的判斷結果發送至機械手臂100。本實施例中，所述通訊單元400將判斷結果發送於機械手臂100中的驅動裝置120，並使所述驅動裝置120根據機械手盤110的位置資訊驅動所述機械手盤110移動或停止驅動所述機械手盤110移動。即當機械手盤110的位置不存在偏差時，則說明所述機械手臂100的精度無異常，可繼續使用所述機械手臂100進行生產作業，此時，驅動裝置120以正常的作業流程繼續驅動所述機械手盤110移動以完成基板的取放過程；若所述機械手盤110的位置存在偏差，此時，可透過驅動裝置120使機械手盤110停止對基板的取放過程，以避免機械手盤110在位置存在偏差的情況下運動而撞傷其他工件的問題，進而可避免問題的擴大化。

優選的方案中，所述機械手臂100還包括一警報裝置130，其中所述通訊單元400在將資料處理單元300得出的判斷結果發送於驅動裝置120時，也還可以同時將判斷結果發送於所述警報裝置130。即，當所述機械手盤110的位置存在偏差時，則所述警報裝置130相應的發出警報，進而可通知相應的人員對此異常進行處理。在實際生產過程中，透過採用警報告知相應的人員進行確認的形式，不但可以對機械手臂100本身的異常進行確認及改善，並且還可對線上作業的產品同時進行確認，避免受影響的產品未及時發現而繼續對其加工製造，造成成本的浪費。其中，所述警報裝置例如可以是蜂鳴器等。

當然，當所述機械手盤110存在位置偏差時，除了透過警報以告知相應的人員進行處理之外，還可透過優化監控系統，使所述機械手臂100可自行進行位置調整，以實現自校準的功能。具體的，當所述機械手 盤110存在位置偏差時，則所述資料處理單元300除了得出判斷結果之外，還可根據判斷結果生成一位置調整資訊，並將所述位置調整資訊透過通訊單元400發送於驅動裝置120，進而所述驅動裝置120可根據所述位置調整資訊將機械手盤110移動至預定位置。從而實現機械手臂的自校準過程，節省人力。

此外，需注意的是，本實施例中是以監控機械手盤的高度位置為例進行詳細說明。然而，本發明提供的監控系統同樣可適用於對機械手盤於其他方向上的位置進行監控。例如，需對機械手盤110於圖2中的X方向的位置進行監控時，則可將所述感應單元200安裝於機械手盤110的一側，從而可監測機械手盤110的一側至感應單元200的距離，進而可判斷所述機械手盤110的位置是否存在偏差。又或者，需對機械手盤110在多個方向上的位置進行監控時，則可相應的增加多個感應裝置以實現監控過程。

圖4為本發明實施例二的機械手臂的監控系統的結構示意圖，如圖4並結合圖1所示，與實施例一的區別在於，本實施例中，感應單元200’是用於檢測在其感應區域內是否存在機械手盤110，其中，所述感應單元200’的感應區域即為機械手盤110的預定位置的區域。即，當所述感應單元200’未檢測到機械手盤110時，則說明機械手盤110的位置存在偏差；當所述感應單元200’檢測到機械手盤110時，則說明機械手盤110不存在位置偏差，機械手臂的精度無異常，可繼續進行生產作業。

具體的，所述感應單元200’可採用一光纖傳感器，其包括一發射部件210’以及一接收部件220’，所述發射部件210’用於發射光線，所述接收部件220’用於檢測是否接收到所述光線。本實施例中，仍以監控機械手 盤110的高度位置為例，因此，所述發射部件210’可安裝於所述機械手盤110預定的高度位置的區域，並把所述接收部件220’安裝於機械手臂100上。當所述接收部件220’接收到發射部件210’發射的光線時，則說明機械手盤110位於預定的高度位置，此時，機械手盤110可繼續完成基板的取放過程；而當所述接收部件220’未接收到光線時，則說明機械手盤110與預定位置存在偏差，此時，機械手盤110停止對基板進行取放，並需對機械手臂100的定位精度進行確認。

本實施例中，直接把感應單元200’安裝於機械手盤110的預定位置，從而可直接判斷機械手盤110在預定位置是否存在偏差。因此，本實施例的方案尤其適用於當採用機械手臂100於一固定終端取放基板時的情況，即，將所述感應單元200’設置於機械手盤110在取放基板時的最佳位置的區域中，從而可即時監控所述機械手盤110在取放每一片基板時位置狀況，確保機械手盤110是在最佳的取放位置對基板進行取放過程，進而可保障基板的取放安全。

此外，根據以上所述的機械手臂的監控系統，本發明還提供一種機械手臂的監控方法。圖5為本發明實施例一中機械手臂的監控方法的流程示意圖，參考圖5並結合圖1所示，所述監控方法包括：S10：提供一機械手臂，所述機械手臂包括一機械手盤；S20：利用一感應單元獲取所述機械手盤的位置資訊，並將所述機械手盤的位置資訊傳送至一資料處理單元；S30：利用所述資料處理單元判斷所述機械手盤的位置是否存在偏差。

其中，在步驟S20-S30中，可參考圖6a所示的一種機械手盤的位置偏差的判斷方法。即，步驟S20中，所述感應單元獲取機械手盤的位置資訊的方法可參考如下步驟：S21：選取一基準位置；S22：利用所述感應單元檢測所述基準位置至機械手盤的距離。

當採用上述方法獲取機械手盤的位置資訊時，相應的，步驟S30中所述資料處理單元在判斷機械手盤是否存在位置偏差時，則可採用如下步驟：S31：將接收到的機械手盤的位置資訊與一預定位置資訊進行比對，以獲得一偏差值；S32：將偏差值與偏差閾值進行比對，確認偏差值是否小於偏差閾值，其中，所述偏差閾值即為所述機械手盤可允許參數的最大偏差值；若偏差值小於偏差閾值時，則如步驟S33所示，即判定為機械手盤位置不存在偏差；若偏差值大於偏差閾值時，則如步驟S34所示，即判定為機械手盤位置存在偏差。

此外，在步驟S20-S30中，還可採用如圖6b所示的另一種機械手盤的位置偏差的判斷方法。具體步驟S20包括：S21’：確認所述感應單元的感應區域；S22’：利用所述感應單元確認在感應區域內是否可檢測到所述機械手盤。

相應的，步驟S30包括：S31’：接收感應單元發送的檢測結果，並根據檢測結果判斷感應區域內是否存在有所述機械手盤；若感應單元的感應區域內有檢測到機械手盤時，則如步驟S32’所示，即判定為機械手盤的位置不存在偏差；若感應單元的感應區域內未檢測到機械手盤時，則如步驟S33’所示，即判定為機械手盤的位置存在偏差。

優選的，所述監控方法還包括：S40：利用一通訊單元將所述資料處理單元得出的判斷結果發送至機械手臂。

從而，所述機械手臂可根據判斷結果執行相應的動作。具體的，所述機械手臂還包括一驅動所述機械手盤移動的驅動裝置。當所述機械手盤的位置不存在偏差時，則所述機械手臂執行步驟S51所示的動作，即透過所述驅動裝置繼續驅動機械手盤移動以完成基板的取放過程；而當所述機械手盤的位置存在偏差時，則所述機械手臂執行步驟S52所示的動作，即透過所述驅動裝置停止驅動機械手盤執行取放基板的動作，以避免位置存在偏差的機械手盤繼續移動而刮傷基板。

顯然，還可以透過對所述監控系統進行優化，使其機械手臂可實現自校準的功能。即本實施例中，當機械手盤的位置存在偏差時，除了執行步驟S52所示的立即停止機械手臂對基板的取放動作之外，還包括：步驟S53，即透過驅動裝置使機械手盤移動至預定位置。

綜上所述，在本發明提供的機械手臂的監控系統及監控方法 中，利用一感應裝置即時檢測機械手盤的位置，從而可在不影響機械手臂取放基板的作業過程的基礎上，仍能夠實現對機械手臂的定位精度進行監測的目的，並同時保證了用於承載基板的機械手盤的位置精確，進而可更安全的取放基板。也就是說，採用本發明提供的機械手臂的監控系統及監控方法，即可保證產品的正常生產節奏，同時也可實現對機械手臂的精度進行即時監測。

進一步的，所述機械手臂還可根據檢測結構執行相應的動作，一方面保障基板的安全取放；另一方面在針對存在異常的狀況下，還可執行相應的補救措施，避免異常的擴大化。

本說明書中各個實施例採用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對於實施例公開的系統而言，由於與實施例公開的方法相對應，所以描述的比較簡單，相關之處參見方法部分說明即可。

上述描述僅是對本發明較佳實施例的描述，並非對本發明範圍的任何限定，本發明領域的普通技術人員根據上述揭示內容做的任何變更、修飾，均屬於請求項的保護範圍。

Claims (15)

1. 一種機械手臂的監控系統，所述機械手臂包括一用於承載一基板的機械手盤，所述監控系統包括：一感應單元以及一資料處理單元，其中，所述感應單元用於獲取所述機械手盤的位置資訊，並將所述位置資訊發送至資料處理單元；所述資料處理單元用於將接收到的所述機械手盤的位置資訊與一預定位置資訊進行比對，以獲得一偏差值；將偏差值與偏差閾值進行比對，以判斷所述機械手盤的位置是否存在偏差；其中，所述感應單元為一鐳射感應裝置，所述鐳射感應裝置採用鐳射三角法測量原理進行檢測，所述鐳射感應裝置包括：一發射器、一接收器以及一信號處理器，所述發射器用於發送光信號至所述機械手盤，所述接收器用於在不同的位置上捕捉到所述機械手盤反射回的不同反射角度的光線光信號並將接收到的所述光信號發送至所述信號處理器，所述信號處理器根據接收到的光信號獲取所述機械手盤與所述感應單元之間的距離的位置資訊。
2. 如請求項1所述的機械手臂的監控系統，其中所述感應單元以檢測所述機械手盤至一基準位置的距離作為所述機械手盤的位置資訊。
3. 如請求項2所述的機械手臂的監控系統，其中所述鐳射感應裝置設置於所述基準位置上。
4. 如請求項1所述的機械手臂的監控系統，其中所述感應單元用於檢測所述機械手盤是否在所述感應單元的感應區域內，並將檢測的結果發送至所述資料處理單元。
5. 如請求項1所述的機械手臂的監控系統，其中所述監控系統中還包括一通訊單元，所述通訊單元用於將所述資料處理單元的判斷結果發送至所述機械手臂，使所述機械手臂根據所述判斷結果執行相應的動作。
6. 如請求項5所述的機械手臂的監控系統，其中所述機械手臂還包括一用於驅動所述機械手盤移動的驅動裝置。
7. 如請求項6所述的機械手臂的監控系統，其中當所述機械手盤的位置存在偏差時，透過所述驅動裝置使所述機械手盤停止執行所述基板的取放動作。
8. 如請求項7所述的機械手臂的監控系統，其中所述機械手臂還包括一警報裝置，當所述機械手盤的位置存在偏差時，所述警報裝置發出警報。
9. 如請求項6所述的機械手臂的監控系統，其中當所述機械手盤的位置存在偏差時，所述驅動裝置驅動所述機械手盤移動至預定位置。
10. 一種機械手臂的監控方法，包括：提供一機械手臂，所述機械手臂包括一用於承載一基板的機械手盤；利用一感應單元採用鐳射三角法測量原理進行檢測，包括發送光信號至所述機械手盤，所述感應單元在不同的位置上捕捉到所述機械手盤反射回的不同反射角度的光線光信號並根據接收到的所述光信號獲取所述機械手盤與所述感應單元之間的距離的位置資訊，並將所述機械手盤的位置資訊傳送至一資料處理單元；利用所述資料處理單元判斷所述機械手盤的位置是否存在偏差，其中所述資料處理單元判斷所述機械手盤是否存在位置偏差的步驟包括：將接收到的所述機械手盤的位置資訊與一預定位置資訊進行比對，以獲得一偏差值；將偏差值與偏差閾值進行比對，以判斷所述機械手盤的位置是否存在偏差。
11. 如請求項10所述的機械手臂的監控方法，其中所述感應單元獲取所述機械手盤的位置資訊的步驟包括：選取一基準位置；利用所述感應單元檢測所述基準位置至所述機械手盤的距離。
12. 如請求項10所述的機械手臂的監控方法，其中所述感應單元獲取所述機械手盤的位置資訊的步驟包括：確認所述感應單元的感應區域；利用所述感應單元確認在所述感應區域內是否可檢測到所述機械手盤。
13. 如請求項10所述的機械手臂的監控方法，其中所述監控方法還包括：利用一通訊單元將所述資料處理單元的判斷結果發送至所述機械手臂；所述機械手臂根據所述判斷結果執行相應的動作。
14. 如請求項13所述的機械手臂的監控方法，其中所述機械手臂還包括一驅動所述機械手盤移動的驅動裝置，當所述機械手盤的位置存在偏差時，透過所述驅動裝置使所述機械手盤停止執行所述基板的取放動作。
15. 如請求項13所述的機械手臂的監控方法，其中所述機械手臂還包括一驅動所述機械手盤移動的驅動裝置，當所述機械手盤的位置存在偏差時，所述驅動裝置驅動所述機械手盤移動至預定位置。