CN105590878A - 一种机械手偏移监测系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种机械手偏移监测系统，机械手包括被驱动体、驱动器、定位件、检测装置和控制装置，被驱动体包括用于承载基片的机械手指和用于连接机械手指和驱动器的机械手臂；驱动器用于驱动被驱动体移动；定位件设置在被驱动体上；检测装置在机械手位于监测工位时，对检测位置处的信息进行检测并将该信息发送至控制装置，检测位置是指当机械手准确位于监测工位时，检测装置所检测到的定位件所在的位置；控制装置判断来自检测装置检测的信息相对机械手准确位于监测工位时检测的信息是否发生变化来判断机械手是否发生偏移。该系统可以解决人工检测费时、费力、效率低下和检测不及时的问题，从而可以提高基片传输的稳定性、可靠性和工艺效率。

Description

一种机械手偏移监测系统

技术领域

本发明属于半导体设备制造领域，具体涉及一种机械手偏移监测系统。

背景技术

在半导体制造领域中，通常借助机械手在预设取放片位置进行取放片。在实际应用中发现，机械手长时间工作后，受其自身的硬件影响，机械手与取放片位置之间往往存在偏移，且多次取放片过程的偏移方向相同且偏移量差不多，即机械手的整体发生了偏移。

由于机械手设置在真空密闭的传输腔室内，且一般看不见其传输过程，因此，在其发生很大偏移而造成取放片异常报警时，才能获知机械手发生偏移，但是在这种情况下，往往会造成碎片或废片。

为此，现有技术中采用人工检测的方式周期性地进行检测，但是由于人工检测需要将密闭的腔室打开才能检测，这就造成检测过程费事、费力，因此，往往设置检测周期较长，但是这又会造成机械手发生偏移检测不够及时，从而造成碎片或废片等问题。

因此，现在亟需一种自动化机械手偏移监测系统。

发明内容

本发明旨在解决现有技术中存在的技术问题，提供了一种机械手偏移监测系统，可以解决人工检测费时、费力、效率低下和检测不及时的问题，从而可以提高基片传输的稳定性、可靠性和工艺效率，进而可以提高经济效益。

本发明提供一种机械手偏移监测系统，所述机械手包括被驱动体和驱动器，所述被驱动体包括用于承载基片的机械手指和用于连接机械手指和所述驱动器的机械手臂，所述驱动器用于驱动所述被驱动体移动，所述机械手偏移监测系统包括定位件、检测装置和控制装置，其中；所述定位件设置在被驱动体上；所述检测装置用于在所述机械手位于监测工位时，对检测位置处的信息进行检测并将该信息发送至所述控制装置，所述检测位置是指当机械手准确位于监测工位时，所述检测装置所检测到的所述定位件所在的位置；所述控制装置用于接收来自所述检测装置检测的信息，并判断该信息相对机械手准确位于监测工位时检测的信息是否发生变化，若是，则判定机械手发生偏移；若否，则判定机械手未发生偏移。

其中，所述定位件为图像标识；所述检测装置为图像获取器，所述图像获取器用于在所述机械手位于监测工位时获取其检测位置处的图像，并将其发送至控制装置。

其中，所述控制装置用于根据来自所述图像获取器获取的图像计算该图像的坐标；在所述控制装置内预先存储有标准坐标、单位距离的坐标偏移量和最大允许偏移距离；其中，所述标准坐标为所述机械手准确位于所述监测工位时控制装置根据来自所述图像获取器获取的图像计算的该图像的坐标；所述控制单元用于根据当前坐标、标准坐标和单位距离的坐标偏移量计算机械手的偏移距离，再判断该偏移距离是否大于最大允许偏移距离，若是，则机械手发生偏移，若否，则机械手未发生偏移。

其中，所述最大允许偏移距离≤1mm。

其中，所述控制装置还被设置成在机械手偏移预设已知距离的情况下，根据来自所述图像获取器获取的图像计算该图像的坐标，在根据该坐标、标准坐标和预设已知距离计算所述单位距离的坐标偏移量，并将其存储。

其中，所述控制装置用于将接收到的所述图像获取器获取的图像处理成具有明暗的灰度图，再将所述灰度图中每个像素点信息一一对应地存储在与每个像素点坐标一一对应的二维矩阵中，再对每个像素点进行亮度二值化，再根据二维矩阵中表示图像标识的像素点的黑点或白点对应的坐标进行横和纵坐标对应叠加求平均获得所述图像的坐标。

其中，所述定位件为设置在所述被驱动体上的凹槽、通孔或者凸起；所述检测装置为距离传感器，所述距离传感器用于在所述机械手位于监测工位时检测其与其检测位置处之间的距离，并将该距离发送至控制装置。

作为另外一个技术方案，本发明还提供一种机械手偏移监测系统，所述机械手包括被驱动体和驱动器，所述被驱动体包括用于承载基片的机械手指和用于连接机械手指和所述驱动器的机械手臂，所述驱动器用于驱动所述被驱动体移动；所述机械手偏移监测系统包括检测装置和控制装置，其中所述检测装置的检测路径包括所述机械手准确位于监测工位时所述被驱动体的边界之外和/或之内，且靠近所述被驱动体的边界的位置；所述检测装置用于在其检测路径进行信号的发送和接收，并将接收的信号发送至控制装置；所述控制装置用于接收来自所述检测装置的信号，并判断该信号相对机械手准确位于监测工位时接收到的信号是否发生变化，若是，则判定机械手发生偏移，若否，则判定机械手未发生偏移。

其中，所述检测装置包括光电传感器。

其中，所述光电传感器为对射式光电传感器或反射式光电传感器。

本发明具有下述有益效果：

本发明提供的机械手偏移监测系统，借助定位件设置在被驱动体上；检测装置在机械手位于监测工位时，对检测位置处的信息进行检测并将该信息发送至控制装置，检测位置是指当机械手准确位于监测工位时，检测装置所检测到的定位件所在的位置，由于机械手发生偏移，则整个被驱动体会发生偏移，而定位件设置在被驱动体上，因此，定位件相对检测位置发生偏移，换言之，可以通过监测定位件是否偏移来判定机械手是否发生偏移发生。为此，本实施例提供的机械手偏移监测借助检测装置在机械手位于监测工位时检测其检测位置处的信息，并将该信息发送至控制装置；控制装置接收来自检测装置检测的信息，并判断该信息相对机械手准确位于监测工位时检测的信息(即定位件所在位置处的信息)是否发生变化，也就是，根据该信息判断定位件是否发生偏移，若是，则判定机械手发生偏移；若否，则判定机械手未发生偏移。由上可知，本实施例提供的机械手偏移监测系统可以实现自动化地监测机械手是否发生偏移，这与现有技术中采用人工周期性检测相比，可以解决人工检测费时、费力、效率低下和检测不及时的问题，从而可以提高基片传输的稳定性、可靠性和工艺效率，进而可以提高经济效益。

本发明提供的机械手偏移监测系统，其检测装置的检测路径包括机械手准确位于监测工位时被驱动体的边界之外或之内，且靠近被驱动体的边界的位置，也就是说，在机械手准确位于监测工位时被驱动体没有将检测路径遮挡或将检测路径遮挡。而由于机械手发生偏移会造成整个被驱动体发生偏移，这会使得被驱动体将原本未被遮挡的检测路径遮挡，不遮挡原本被遮挡的检测路径，并且，检测装置在其检测路径进行信号的发送和接收，并将接收的信号发送至控制装置，因而会使检测装置接收到其发射的信号发生了变化，且控制装置接收的信号发生了变化。因此，可以根据控制装置判断该信号相对机械手准确位于监测工位时接收到的信号是否发生变化，来判定机械手是否发生偏移。由上可知，本实施例提供的机械手偏移监测系统可以实现自动化地监测机械手是否发生偏移，这与现有技术中采用人工周期性检测相比，可以解决人工检测费时、费力、效率低下和检测不及时的问题，从而可以提高基片传输的稳定性、可靠性和工艺效率，进而可以提高经济效益。

附图说明

图1为本发明第一实施例提供的机械手偏移监测系统的原理框图；

图2为本发明第二实施例提供的机械手偏移监测系统的结构示意图；

图3为图2中机械手指的仰视图；

图4为本发明第三实施例提供的机械手偏移监测系统的结构示意图；

图5为图4中机械手指的仰视图；以及

图6为本发明另一实施例提供的机械手偏移监测系统的结构简图。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明提供的机械手偏移监测系统进行详细描述。

为便于理解本发明提供的机械手偏移监测系统，下述的“监测工位”是指预先设置的机械手所在的对其进行监测的位置；“机械手准确位于监测工位”是指机械手在其不存在偏移的情况下位于监测工位。

图1为本发明第一实施例提供的机械手偏移监测系统的原理框图。请参阅图1，本发明第一实施例提供的机械手偏移监测系统，其中，机械手10包括被驱动体101和驱动器102，被驱动体101包括用于承载基片的机械手指1011和用于连接机械手指1011和驱动器102的机械手臂1012，该驱动器102用于驱动被驱动体移动，以实现带动位于机械手指1011上的基片移动，从而实现传输基片。

该机械手偏移监测系统包括定位件、检测装置11和控制装置12。其中，定位件设置在被驱动体101上；检测装置11用于在机械手位于监测工位时，对检测位置处的信息进行检测并将该信息发送至控制装置，检测位置是指当机械手准确位于监测工位时，检测装置所检测到的定位件所在的位置，换言之，检测装置11设置在机械手准确位于监测工位时以定位件所在位置作为其检测位置111的位置处。控制装置12用于接收来自检测装置检测的信息，并判断该信息相对机械手准确位于监测工位时检测的信息是否发生变化，若是，则判定机械手发生偏移；若否，则判定机械手未发生偏移。

优选地，本实施例提供的机械手偏移监测系统还包括报警装置13，该报警装置与控制装置12电连接，控制装置12用于在判定机械手发生偏移后向报警装置13发送信号，报警装置13用于接收来自控制装置的信号，并发出报警，以告知工作人员进行处理。

可以理解，由于机械手发生偏移会使被驱动体101整体发生偏移，而定位件位于被驱动体101上，因此，定位件相对检测位置也会发生偏移。因此，若机械手准确位于监测工位时，则定位件会位于检测装置11的检测位置111处，此时，检测装置11检测的信息为定位件所在位置处的信息；而若机械手发生偏移后位于监测工位时，由于定位件相对检测位置发生了偏移，因此，定位件不会位于检测位置111处，此时，检测装置11检测的信息与定位件所在位置处的信息不同，即，相对机械手准确位于监测工位时检测的信息发生了变化。

反之，可以根据检测装置11检测的信息相对机械手准确位于监测工位时检测的信息(即定位件所在位置处的信息)是否发生变化，来判断机械手是否发生偏移。具体地，若发生变化，则判定机械手发生偏移；若未发生变化，则判定机械手未发生偏移。由上可知，本实施例提供的机械手偏移监测系统可以实现自动化地监测机械手是否发生偏移，这与现有技术中采用人工周期性检测相比，可以解决人工检测费时、费力、效率低下和检测不及时的问题，从而可以提高基片传输的稳定性、可靠性和工艺效率，进而可以提高经济效益。

在本实施例中，定位件设置在机械手指1011的下表面上，对应地，检测装置11设置机械手指1011的下方且定位件的正下方。由于机械手10发生偏移会使被驱动体11整体发生偏移，换言之，会使被驱动体101的任意位置处均发生偏移，因此，在实际应用中，可以将定位件设置在被驱动体的任意位置处，并基于上述方式对应设置检测装置。

在本实施例中，监测工位设置在传输腔室内，并且，在机械手为空闲状态时使机械手位于监测工位进行监测。当然，在实际应用中，可以根据实际情况具体设置监测工位和监测机械手的时刻，若当机械手上放置有基片对其进行监测时，定位件可以设置在被驱动体11除去机械手指1011上表面(即承载基片的表面)的任意位置处。

需要说明的是，在实际应用中，可以对应设置多个定位件和与定位件一一对应的检测装置，控制装置根据多个检测装置的检测信息判断任意一个或多个检测信息相对机械手准确位于监测工位时检测的信息是否发生变化，来判定机械手是否发生偏移，这与仅一个定位件和检测装置相比，可以在某个检测装置发生故障仍可以进行监测，从而可以提高监测精度。

图2为本发明第二实施例提供的机械手偏移监测系统的结构示意图。图3为图2中机械手指的仰视图。请一并参阅图2和图3，该机械手偏移监测系统包括机械手10、定位件14、检测装置11、控制装置12和报警装置13，由于机械手10、定位件、检测装置11、控制装置12和报警装置13之间的位置关系和作用与第一实施例相类似，在此不再赘述。

在本实施例中，具体地，定位件14为图像标识，如图3所示，定位件14为“十”字，当然，在实际应用中，也可以采用其他图像标识。检测装置11为图像获取器，图像获取器用于在机械手位于监测工位时获取其检测位置处的图像，并将其发送至控制装置。也就是说，检测装置11检测的信息为图像信息。其中，图像获取器包括摄像头，摄像头的焦距应设置合适，过短会造成检测精度差，过长会造成稍微偏移该图像标识就会溢出。

并且，在本实施例中，控制装置12用于根据来自图像获取器获取的图像计算该图像的坐标；在控制装置12内预先存储有标准坐标(x₀,y₀)、单位距离的坐标偏移量δ和最大允许偏移距离Do；其中，标准坐标(x₀,y₀)为机械手准确位于监测工位时控制装置根据来自图像获取器获取的图像计算的该图像的坐标；换言之，标准坐标为机械手准确位于监测工位时计算的图像标识的坐标。控制单元还用于根据计算当前坐标(x₂,y₂)、标准坐标(x₀,y₀)和单位距离的坐标偏移量δ计算机械手的偏移距离D，再判断该偏移距离D是否大于最大允许偏移距离Do，若是，则判定机械手发生偏移，控制报警装置13发出报警；若否，则判定机械手未发生偏移。可以理解，由于摄像头获取的图像受外界干扰往往会有所不同，因此，借助计算机械手的偏移距离D以及将其与设置最大允许偏移距离Do比较来判定基座是否发生偏移，可以提高监测精度和可靠性。

具体地，控制装置12采用如下公式计算当前机械手的偏移距离D：优选地，最大允许偏移距离Do≤1mm。

为实现在控制装置12内预先存储标准坐标(x₀,y₀)和单位距离的坐标偏移量δ。具体地，首先，在监测工位调整好机械手，以使定位件位于检测位置111，此时，控制装置12计算检测装置11获取的图像的坐标，并将该坐标作为标准坐标(x₀,y₀)存储在其内；接着，将机械手偏移预设已知距离d；此时，控制装置12计算此时检测装置11获取的图像的坐标(x₁,y₁)，并根据该坐标(x₁,y₁)、标准坐标(x₀,y₀)和预设已知距离d计算所述单位距离的坐标偏移量δ。具体地，控制装置12根据如下公式计算单位距离的坐标偏移量δ： $\mathrm{\δ}=\sqrt{{(x_1-x_0)}^2+{(y_1-y_0)}^2}/d.$

因此，控制装置12还用于在机械手偏移预设已知距离d的情况下，根据来自图像获取器获取的图像计算该图像的坐标(x₁,y₁)，在根据该坐标(x₁,y₁)、标准坐标(x₀,y₀)和预设已知距离d计算单位距离的坐标偏移量δ，并将其存储。其中，控制装置12可以控制驱动器使得机械手偏移预设已知距离d，预设已知距离d可以通过人机交互输入端输入。

在本实施例中，控制装置12根据如下简易计算方式计算检测装置11获取的图像的坐标。具体地，控制装置12用于将接收到的图像获取器获取的图像处理成具有明暗的灰度图，再将灰度图中每个像素点信息一一对应地存储在与每个像素点坐标一一对应的二维矩阵中，再对每个像素点进行亮度二值化，再根据二维矩阵中表示图像标识的像素点的黑点或白点对应的坐标进行横纵坐标值对应叠加求平均获得图像的坐标的横纵坐标值，即获得该图像的坐标。其中，像素点信息包括亮度信息。当然，在实际应用中，控制装置还可以被设置成采用其他计算方式计算检测装置11获取的图像的坐标。

图4为本发明第三实施例提供的机械手偏移监测系统的结构示意图。图5为图4中机械手指的仰视图。请一并参阅图4和图5，该机械手偏移监测系统包括机械手10、定位件14、检测装置11、控制装置12和报警装置13，由于机械手10、定位件14、检测装置11、控制装置12和报警装置13之间的位置关系和各自的作用与第一、二实施例相类似，在此不再赘述。

在本实施例中，具体地，定位件14为设置在被驱动体101上的凹槽、通孔或者凸起。检测装置11为距离传感器，距离传感器包括激光位移传感器，距离传感器11用于在机械手位于监测工位时检测其与其检测位置处之间的距离，并将该距离发送至控制装置。也就是说，检测装置11检测的信息为距离信息。

如图4和图5所示，在本实施例中，定位件14为设置在机械手指1011上的凹槽。在这种情况下，由于机械手发生偏移会使得定位件相对检测位置也会发生偏移，而定位件14位于检测位置111时检测的距离大于其偏移检测位置111时检测的距离。在实际应用中，若定位件14为通孔或凸起，定位件位于检测位置111时检测的距离大于或小于其偏移检测位置111时检测的距离。

因此，可以根据检测装置11检测的距离相对机械手准确位于监测工位(即定位件位于检测位置)时检测的距离是否发生变化，来判定机械手是否发生偏移。具体地，若发生变化，则判定机械手发生偏移；若未发生变化，则判定机械手未发生偏移。由上可知，本实施例提供的机械手偏移监测系统可以实现自动化地监测机械手是否发生偏移，这与现有技术中采用人工周期性检测相比，可以解决人工检测费时、费力、效率低下和检测不及时的问题，从而可以提高基片传输的稳定性、可靠性和工艺效率，进而可以提高经济效益。

作为另外一个技术方案，图6为本发明另一实施例提供的机械手偏移监测系统的结构简图。请参阅图6，本发明实施例提供的机械手偏移监测系统包括机械手20、检测装置21、控制装置22和报警装置23。其中，机械手20包括被驱动体201和驱动器202，被驱动体201包括用于承载基片的机械手指2011和用于连接机械手指2011和驱动器201的机械手臂2012，驱动器201用于驱动被驱动体201移动，以带动位于机械手指上的基片移动，从而实现传输基片。检测装置21的检测路径(如图6中虚线所示)包括机械手准确位于监测工位时被驱动体201的边界之外和/或之内，且靠近被驱动体的边界的位置。检测装置21用于在其检测路径进行信号的发送和接收，并将接收的信号发送至控制装置。控制装置22用于接收来自检测装置21的信号，并判断该信号相对机械手准确位于监测工位时接收到的信号是否发生变化，若是，则判定机械手发生偏移，并向报警装置发送信号，报警装置23根据来自控制装置的信号发出报警，以告知工作人员进行处理；若否，则判定机械手未发生偏移。

由于机械手发生偏移会造成整个被驱动体发生偏移，而被驱动体发生偏移，在检测装置21的检测路径包括机械手准确位于监测工位时被驱动体201的边体的边界的界之外且靠近被驱动位置的情况下，被驱动体会遮挡该检测路径，换言之，被驱动体将原本未被遮挡的检测路径遮挡；在检测装置21的检测路径包括机械手准确位于监测工位时被驱动体201的边界之内且靠近被驱动体的边界的位置的情况下，被驱动体不会遮挡该检测路径，换言之，被驱动体不遮挡原本被遮挡的检测路径。在上述两种情况下，检测装置接收到其发射的信号发生了变化，且控制装置接收的信号发生了变化。

因此，可以根据判断该信号相对机械手准确位于监测工位时接收到的信号是否发生变化，来判定机械手是否发生偏移。由上可知，本实施例提供的机械手偏移监测系统可以实现自动化地监测机械手是否发生偏移，这与现有技术中采用人工周期性检测相比，可以解决人工检测费时、费力、效率低下和检测不及时的问题，从而可以提高基片传输的稳定性、可靠性和工艺效率，进而可以提高经济效益。

具体地，在本实施例中，检测装置21为光电传感器，且该光电传感器为对射式光电传感器，其包括发射部211和接收部212，发射部211朝向接收部212发射信号，接收部212接收发射部211发射的信号，且接收部212与控制装置22连接，以将接收到的信号发送至控制装置22。在实际应用中，检测装置21还可以为反射式光电传感器，其包括发射接收部和反射板，发射接收部朝向反射板发射信号，并接收反射板反射的信号，其中，反射板对应设置在图6中发射部所在位置处，发射接收部对应设置在图6中接收部所在的位置处。

在实际应用中，为提高机械手偏移监测系统的监测精度，应该对应被驱动体不同方位的边界处均按照上述方式设置检测装置，以在被驱动体的边界形成多方位“监测信号墙”，因而可以监测机械手在任意方位发生的偏移。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的原理和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种机械手偏移监测系统，所述机械手包括被驱动体和驱动器，所述被驱动体包括用于承载基片的机械手指和用于连接机械手指和所述驱动器的机械手臂，所述驱动器用于驱动所述被驱动体移动，其特征在于，所述机械手偏移监测系统包括定位件、检测装置和控制装置，其中

所述定位件设置在被驱动体上；

所述检测装置用于在所述机械手位于监测工位时，对检测位置处的信息进行检测并将该信息发送至所述控制装置，所述检测位置是指当机械手准确位于监测工位时，所述检测装置所检测到的所述定位件所在的位置；

所述控制装置用于接收来自所述检测装置检测的信息，并判断该信息相对机械手准确位于监测工位时检测的信息是否发生变化，若是，则判定机械手发生偏移；若否，则判定机械手未发生偏移。

2.根据权利要求1所述的机械手偏移监测系统，其特征在于，所述定位件为图像标识；所述检测装置为图像获取器，所述图像获取器用于在所述机械手位于监测工位时获取其检测位置处的图像，并将其发送至控制装置。

3.根据权利要求2所述的机械手偏移监测系统，其特征在于，所述控制装置用于根据来自所述图像获取器获取的图像计算该图像的坐标；

在所述控制装置内预先存储有标准坐标、单位距离的坐标偏移量和最大允许偏移距离；其中，所述标准坐标为所述机械手准确位于所述监测工位时控制装置根据来自所述图像获取器获取的图像计算的该图像的坐标；

所述控制单元用于根据当前坐标、标准坐标和单位距离的坐标偏移量计算机械手的偏移距离，再判断该偏移距离是否大于最大允许偏移距离，若是，则机械手发生偏移，若否，则机械手未发生偏移。

4.根据权利要求3所述的机械手偏移监测系统，其特征在于，所述最大允许偏移距离≤1mm。

5.根据权利要求3所述的机械手偏移监测系统，其特征在于，所述控制装置还被设置成在机械手偏移预设已知距离的情况下，根据来自所述图像获取器获取的图像计算该图像的坐标，在根据该坐标、标准坐标和预设已知距离计算所述单位距离的坐标偏移量，并将其存储。

6.根据权利要求3-5任意一项所述的机械手偏移监测系统，其特征在于，所述控制装置用于将接收到的所述图像获取器获取的图像处理成具有明暗的灰度图，再将所述灰度图中每个像素点信息一一对应地存储在与每个像素点坐标一一对应的二维矩阵中，再对每个像素点进行亮度二值化，再根据二维矩阵中表示图像标识的像素点的黑点或白点对应的坐标进行横和纵坐标对应叠加求平均获得所述图像的坐标。

7.根据权利要求1所述的机械手偏移监测系统，其特征在于，所述定位件为设置在所述被驱动体上的凹槽、通孔或者凸起；

所述检测装置为距离传感器，所述距离传感器用于在所述机械手位于监测工位时检测其与其检测位置处之间的距离，并将该距离发送至控制装置。

8.一种机械手偏移监测系统，所述机械手包括被驱动体和驱动器，所述被驱动体包括用于承载基片的机械手指和用于连接机械手指和所述驱动器的机械手臂，所述驱动器用于驱动所述被驱动体移动；其特征在于，所述机械手偏移监测系统包括检测装置和控制装置，其中

所述检测装置的检测路径包括所述机械手准确位于监测工位时所述被驱动体的边界之外和/或之内，且靠近所述被驱动体的边界的位置；所述检测装置用于在其检测路径进行信号的发送和接收，并将接收的信号发送至控制装置；

所述控制装置用于接收来自所述检测装置的信号，并判断该信号相对机械手准确位于监测工位时接收到的信号是否发生变化，若是，则判定机械手发生偏移，若否，则判定机械手未发生偏移。

9.根据权利要求8所述的机械手偏移监测系统，其特征在于，所述检测装置包括光电传感器。

10.根据权利要求9所述的机械手偏移监测系统，其特征在于，所述光电传感器为对射式光电传感器或反射式光电传感器。