CN1401461A - 机器手的定位方法及其装置 - Google Patents

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Abstract

一种使前后左右可移动且可旋转的机器人的机器手(1)从前后方向进入工件(2)的上方或下方进行定位的机器手(1)的定位装置，其中，机器手(1)具有沿左右方向并列设置的一对第1传感器(3)和设置在机器手(1)的侧部的第2传感器(4)，当机器手(1)进入时、一对第1传感器(3)根椐检测工件(1)的前端缘(2a)或后端缘(2b)的机器人的座标之差求出工件(2)的左右方向的倾斜角θ，根椐一对第1传感器(3)对工件的前端缘(2a)或后端缘(2b)进行检测，根椐第2传感器(4)对工件的侧缘(2c)进行检测。因此可减小所需的空间、缩短生产节拍时间、并减少误差原因。

Description

机器手的定位方法及其装置
技术领域
本发明涉及机器手的定位方法及其装置。
背景技术
在半导体的生产线等中，有时会采用臂式机器人将收纳在盒体内的玻璃基板搬送到下一个作业场所。臂式机器人在使机器手进入盒体内的玻璃基板的下方空间后使该机器手笔直地上升并吸附在玻璃基板上。然后，对应每一块玻璃基板将机器手从盒体内拉出，并搬送到下一个作业场所的交接位置。
有时会发生玻璃基板在盒体内收纳在偏离正规位置的现象，臂式机器人一边补正该位置的偏差，一边正确地搬送到下一个作业场所的交接位置。
在机器手上设有检测玻璃基板的后端缘(跟前侧的端缘)的前后位置传感器。通过由前后位置传感器对玻璃基板的后端缘进行检测，求出玻璃基板的前后方向的位置偏差量ΔX。又，在机器手的左右分别设有1个前后位置传感器，左右的前后位置传感器根椐检测玻璃基板的后端缘的时间差求出玻璃基板的左右方向的倾斜角θ。
又，在臂式机器人的附近设有检测玻璃基板的侧缘的左右位置传感器。当臂式机器人将玻璃基板从盒体内笔直拉出之后，左右位置传感器横向移动，直至检测到玻璃基板的侧缘。然后，左右位置传感器根椐臂式机器人在检测到玻璃基板的侧缘之前的移动距离求出玻璃基板的左右方向的位置偏差量ΔY。
并且，臂式机器人一边对求出的位置偏差量ΔX、ΔY和倾斜角θ进行补正，一边搬送玻璃基板，以正确地放置在下一个作业场所的交接位置。
然而，因将左右位置传感器与臂式机器人分别设置，使所需的空间增大，造成装置大型化。通常，玻璃基板是在净室内进行处理的，因装置全体大型化而必需有大的净室。净室的每单位面积所需的成本比通常的工场的每单位面积所需的成本高得多，装置的大型化导致制造成本的增加。
又，从盒体拉出的玻璃基板不能直接搬送到下一个作业场所，一旦需要向左右位置传感器的方向移动，就会延长该部分的生产节拍时间，使生产性恶化。
并且，为了求出偏差量ΔY，实际上是将臂式机器人横向移动，通过测定该移动量来求出位置偏差量ΔY，从而有可能在位置偏差量ΔY的数值本身中包含误差，使玻璃基板的定位精度恶化。
本发明的目的在于提供一种可减小设置所需空间、可缩短生产节拍时间、误差原因少的机器手的定位方法及其装置。
本发明内容
为实现上述目的，第1技术方案的发明是一种使机器人的机器手从前后方向进入工件的上方或下方进行定位的机器手的定位方法，所述机器手具有沿左右方向并列设置的一对第1传感器和设置在侧部的第2传感器，包括：使所述机器手从前后方向进入工件的上方或下方的机器手进入工序；当所述机器手进入时、所述一对第1传感器根椐检测工件的前端缘或后端缘的所述机器人的座标之差求出所述工件的左右方向的倾斜角θ的倾斜角算出工序；在所述工件的上方或下方使所述机器手在左右方向上倾斜成倾斜角θ的倾斜角对准工序；使机器手在使所述机器手沿左右方向倾斜成倾斜角θ的状态下向左右方向移动、直至第2传感器检测到工件的侧缘的第1左右定位工序；以及使机器手在使机器手沿左右方向倾斜成倾斜角θ的状态下从前后方向沿着倾斜角θ倾斜的方向移动、直至所述一对第1传感器检测到工件的前端缘或后端缘的第1前后定位工序。
因此，在机器手进入工序中，机器手与工件对向，在倾斜角算出工序中，可求出机器手朝向工件的偏差(倾斜)。其后，在倾斜角对准工序中，使机器手的方向与工件的方向一致；在第1左右定位工序中，对机器手的左右方向的位置偏差进行修正；在第1前后定位工序中，对机器手的前后方向的位置偏差进行修正。即，在消除了工件的左右方向的倾斜角θ、左右方向的位置偏差、前后方向的位置偏差的状态下对工件进行处理。
又，第2技术方案的发明是一种使机器手从前后方向进入工件的上方或下方进行定位的机器手的定位方法，所述机器手具有沿左右方向并列设置的一对第1传感器和设置在侧部的第2传感器，包括：使所述机器手从前后方向进入工件的上方或下方的机器手进入工序；当机器手进入时、所述一对第1传感器根椐检测工件的前端缘或后端缘的机器人的座标之差求出工件的左右方向的倾斜角θ的倾斜角算出工序；在工件的上方或下方使机器手在左右方向上倾斜成倾斜角θ的倾斜角对准工序；使机器手在使机器手在左右方向上倾斜成倾斜角θ的状态下向前后方向移动、直至一对第1传感器检测到工件的前端缘或后端缘的第2前后定位工序；以及使机器手在使机器手沿左右方向倾斜成倾斜角θ的状态下向倾斜成倾斜角θ的方向移动、直至第2传感器检测到工件的侧缘的第2左右定位工序。
因此，在机器手进入工序中，机器手与工件对向；在倾斜角算出工序中，可求出机器手面向工件的偏差(倾斜)。其后，在倾斜角对准工序中，使机器手的方向与工件的方向一致；在第2前后定位工序中，对机器手的前后方向的位置偏差进行修正；在第2左右定位工序中，对机器手的左右方向的位置偏差进行修正。即，在消除了工件的左右方向的倾斜角θ、前后方向的位置偏差、左右方向的位置偏差的状态下对工件进行处理。
第3技术方案的发明是一种使机器人的机器手从前后方向进入工件的上方或下方、在保持并取出工件的同时对工件进行定位的机器手的定位方法，机器手具有沿左右方向并列设置的一对前后传感器，同时，沿上下方向可移动地对安装有机器手的臂进行支承的臂支柱部具有边缘传感器，并且包括：使机器手从前后方向进入工件的上方或下方的机器手进入工序；当机器手进入时、一对前后传感器根椐检测工件的前端缘或后端缘的机器人的座标之差求出工件的左右方向的倾斜角θ的倾斜角算出工序；在工件的上方或下方使机器手沿左右方向倾斜成倾斜角θ的倾斜角对准工序；使机器手沿左右方向倾斜成倾斜角θ、在前后传感器接通的直立点处保持并取出工件的取出工序；由边缘传感器测定边缘的左右测定工序；以及补正左右的偏差量、使工件位于示范位置的定位工序。
因此，在机器手进入工序中，机器手与工件对向；在倾斜角算出工序中，可求出机器手面向工件的偏差(倾斜)。其后，在倾斜角对准工序中，使机器手的方向与工件的方向一致；在取出工序中，将工件保持并取出。然后，在左右测定工序中，对工件的边缘进行测定；在定位工序中，对左右偏差量进行补正，使工件位于示范位置。即，在消除了工件的左右方向的倾斜角θ、左右方向的位置偏差、前后方向的位置偏差的状态下对工件进行处理。
又，第4技术方案的发明是一种使前后左右可移动且可旋转的机器人的机器手从前后方向进入工件的上方或下方进行定位的机器手的定位装置，具有左右方向并列设置在机器手上的一对第1传感器和设置在机器手的侧部的第2传感器，当机器手进入时，一对第1传感器根椐检测工件的前端缘或后端缘的机器人的座标之差求出工件的左右方向的倾斜角θ，根椐一对第1传感器对工件的前端缘或后端缘进行检测，根椐第2传感器对工件的侧缘进行检测。
由此，可在消除工件的左右方向的位置偏差、前后方向的位置偏差、左右方向的倾斜角θ的状态下对工件进行处理。
又，第5技术方案的发明是在第4技术方案所述的机器手的定位装置中，一对第1传感器和第2传感器对工件的边缘进行光学检测。因此可用非接触方式检测工件的边缘。
又，第6技术方案的发明是一种使前后左右可移动且可旋转的机器人的机器手从前后方向进入工件的上方或下方进行定位的机器手的定位装置，在上下方向可移动地对安装着机器手的臂进行支承的臂支柱部上设有边缘传感器，通过该边缘传感器对吸附在机器手上的工件的左右方向位置进行检测。
因此，由于利用边缘传感器对工件的左右方向位置进行检测，与以往那种臂式机器人将左右位置传感器分开设置的场合相比，可使装置全体小型化。从而缩小了所需的净室的面积，可降低制造成本。
又，不必象以往那种臂式机器人那样使从盒体拉出的工件移动到设置在别的位置上的左右位置传感器，又由于边缘传感器与臂一起进行上下方向移动，因此可缩短生产节拍时间，提高生产性。
并且，因边缘传感器设置在臂支柱部上，故工件与边缘传感器之间的可动部只有机器手和臂。由此，与以往在工件与左右位置传感器之间存在臂式机器人和架台的场合相比可大大地缩小工件与传感器之间的可动部，故可减小测定误差。
又，第7技术方案的发明是在第6技术方案所述的定位装置中，边缘传感器是线传感器。故可广范围地正确检测工件的边缘。
综上所述，在技术方案1的机器手的定位方法中，由于机器手具有沿左右方向并列设置的一对第1传感器和设置在侧部的第2传感器，包括：使所述机器手从前后方向进入工件的上方或下方的机器手进入工序；当所述机器手进入时、所述一对第1传感器根椐检测工件的前端缘或后端缘的所述机器人的座标之差求出所述工件的左右方向的倾斜角θ的倾斜角算出工序；在所述工件的上方或下方使所述机器手在左右方向上倾斜成倾斜角θ的倾斜角对准工序；使机器手在使所述机器手沿左右方向倾斜成倾斜角θ的状态下向左右方向移动、直至第2传感器检测到工件的侧缘的第1左右定位工序；以及使机器手在使机器手沿左右方向倾斜成倾斜角θ的状态下从前后方向沿着倾斜角θ倾斜的方向移动、直至所述一对第1传感器检测到工件的前端缘或后端缘的第1前后定位工序，因此，可仅由设置在机器手上的传感器进行机器手的定位。因此，例如无需在臂式机器人的边侧等另外再安装传感器，可使装置小型化，可缩小设置所需的空间。又由于在工件的处理之后，可将工件直接搬送到下一个作业场所，因此，可缩短搬送所需的时间，可缩短生产节拍时间。并且，由设置在机器手上的传感器直接进行机器手的定位，故可减少误差原因。
又，在技术方案2的机器手的定位方法中，由于机器手具有沿左右方向并列设置的一对第1传感器和设置在侧部的第2传感器，包括：使所述机器手从前后方向进入工件的上方或下方的机器手进入工序；当所述机器手进入时、所述一对第1传感器根椐检测工件的前端缘或后端缘的机器人的座标之差求出工件的左右方向的倾斜角θ的倾斜角算出工序；在工件的上方或下方使机器手在左右方向上倾斜成倾斜角θ的倾斜角对准工序；使机器手在使机器手在左右方向上倾斜成倾斜角θ的状态下向前后方向移动、直至所述一对第1传感器检测到工件的前端缘或后端缘的第2前后定位工序；以及使机器手在使机器手沿左右方向倾斜成倾斜角θ的状态下向倾斜成倾斜角θ的方向移动、直至第2传感器检测到工件的侧缘的第2左右定位工序，因此，可仅由设置在机器手上的传感器进行机器手的定位。由此，例如无需在臂式机器人的边侧等另外再安装传感器，可使装置小型化，可缩小设置所需的空间。又由于在工件的处理之后，可将工件直接搬送到下一个作业场所，因此，可缩短搬送所需的时间，可缩短生产节拍时间。并且，由设置在机器手上的传感器直接进行机器手的定位，故可减少误差原因。
又，采用技术方案3的机器手的定位方法，可仅由设置在机器手和臂支柱部上的传感器进行机器手的定位。由此，例如无需在臂式机器人的边侧等另外再安装传感器，可使装置小型化，可缩小设置所需的空间。又由于在工件的处理之后，可将工件直接搬送到下一个作业场所而不必经由设置在与臂式机器1别的位置上的传感器，因此，可缩短搬送所需的时间，可缩短生产节拍时间。并且，因边缘传感器设置在臂支柱部上，故工件与边缘传感器之间的可动部只有机器手和臂。由此，与以往那种在工件与左右位置检测传感器之间存在着臂式机器人和架台的场合相比可大大缩小工件与传感器之间的可动部，故可减小测定误差。
又，在技术方案4的机器手的定位装置中，由于在机器手上具有左右方向并列设置在机器手上的一对第1传感器和设置在机器手的侧部的第2传感器，当机器手进入时，一对第1传感器根椐检测工件的前端缘或后端缘的机器人的座标之差求出工件的左右方向的倾斜角θ，根椐一对第1传感器对工件的前端缘或后端缘进行检测，根椐第2传感器对工件的侧缘进行检测，因此，可仅由设置在机器手上的传感器进行机器手的定位。由此，例如无需在臂式机器人的边侧等另外再安装传感器，可使装置小型化，可缩小设置所需的空间。又由于在工件的处理之后，可将工件直接搬送到下一个作业场所，故可缩短搬送所需的时间，可缩短生产节拍时间。并通过设置在机器手上的传感器直接进行机器手的定位，故可减少误差原因。
又，在技术方案5的机器手的定位装置中，一对第1传感器和第2传感器对工件的边缘进行光学性检测，由此可用非接触方式检测工件的边缘。
又，采用技术方案6的机器手的定位装置，因可利用边缘传感器对工件的左右方向位置进行检测，故与以往那种将左右位置传感器与臂式机器人分开设置的场合相比可使装置全体小型化。从而缩小了所需的净室的面积，可降低制造成本。又，由于不必象以往那样将从盒体拉出的工件移动到设置在臂式机器人别的位置上的左右位置传感器，又由于边缘传感器与臂一起进行上下方向移动，因此可缩短生产节拍时间，提高生产性。并因边缘传感器设置在臂支柱部上，故工件与边缘传感器之间的可动部只有机器手和臂。与以往在工件与左右位置传感器之间存在着臂式机器人和架台的场合相比可大大地缩小工件与传感器之间的可动部，故可减小测定误差。
并且，采用技术方案7的机器手的定位装置，因边缘传感器是线传感器。故可广范围地正确检测工件的边缘。
附图的简单说明
图1为表示适用本发明的机器手的定位装置的实施形态一例的概略结构图。
图2表示同一定位装置，是从图1的状态进一步使机器手进入状态的概略结构图。
图3表示同一定位装置，是使机器手的倾斜角与工件的倾斜角一致的状态的概略结构图。
图4表示同定位装置，是进行了左右方向定位的状态的概略结构图。
图5表示同定位装置，是进行了前后方向定位的状态的概略结构图。
图6为表示适用本发明的机器手的定位方法的实施形态一例的流程图。
图7为表示适用本发明的机器手的定位方法的另一实施形态的流程图。
图8为表示适用本发明机器手的定位装置的另一实施形态的概略结构图。
图9为表示适用本发明机器手的定位装置的又一实施形态的概略结构图。
图10为表示同一定位装置的侧视图。
图11为表示适用本发明的机器手的定位方法的又一实施形态的流程图。
图12表示本发明的机器手的定位装置，是从图9的状态进一步使机器手进入的状态的概略结构图。
图13表示同一定位装置，是使机器手的倾斜角与工件的倾斜角一致的状态的概略结构图。
图14表示同一定位装置，是使机器手的倾斜角相对于支柱部垂直的状态的概略结构图。
图15表示同一定位装置，是进行了左右方向定位的状态的概略结构图。
具体实施方式
下面，根椐附图所示的最佳形态详细说明本发明的结构。
图1至图5表示适用本发明的机器手的定位装置的实施形态一例。该机器手的定位装置(以下单称为定位装置)是一种使前后左右可移动且可旋转的机器人的机器手1从前后方向进入工件2的上方或下方进行定位的装置，具有沿左右方向并列设置在机器手1上的一对第1传感器3和设置在机器手1的侧部的第2传感器4，当机器手1进入时，一对第1传感器3根椐检测工件2的前端缘2a或后端缘2b的机器人的座标之差求出工件2的左右方向的倾斜角θ，根椐一对第1传感器3对工件2的前端缘2a或后端缘2b进行检测，根椐第2传感器4对工件2的侧缘进行检测。另外，图中用箭头A表示前后方向，用箭头B表示左右方向。
工件2例如是玻璃基板等的板材。工件2沿着上下方向以所定间隔重叠并收纳在未图示的盒体内。当机器手1进入盒体内的工件2的下方后，机器手1上升，利用负压将工件2吸住。机器手1例如是一种叉子形状。
安装有机器手1的臂式机器人5通过第1臂6与第2臂7相互反向地回转而使机器手1进行前后方向移动。又，臂式机器人5在架台8上载置成沿左右方向可移动，并通过左右方向的移动使机器手1进行左右移动。并且，臂式机器人5通过使第1臂6的安装位置上下移动而使机器手1进行上下移动。臂式机器人5由计算机构成的控制器(未图示)进行控制。
第1传感器3用于检测工件2的前端缘2a或后端缘2b，例如面向上方并设置在机器手1的与工件2的前端缘2a或后端缘2b对向的部位上。在本实施形态中，因由第1传感器3对工件2的后端缘2b进行检测，故第1传感器3被设置在与工件2的后端缘2b对应的部位即左右的叉子1a、1b的根基部分。
第1传感器3例如是一种对工件2的后端缘2b进行光学检测的传感器。第1传感器3例如具有向上方发光的发光部、接受从发光部发出并由工件2反射的光的受光部。由于受光部的受光量根椐工件2的有无而变化，因此，可根椐该受光量对是否面向于工件2即有无工件2的边界即边缘进行检测。
第2传感器4用于检测工件2的侧缘，例如面向上方地设置在机器手1的、与工件2的侧缘对向的部位上。在本实施形态中，因由第2传感器4对工件2的左侧缘2c进行检测，故第2传感器4设置在与工件2的左侧缘2c对应的位置、例如设置在形成于左侧叉子1a的凸出部2e上。
第2传感器4例如是一种对工件2的左侧缘2c进行光学检测的传感器。第2传感器4例如具有向上方发光的发光部、接受从发光部发出并由工件2反射的光的受光部。由于受光部的受光量根椐工件2的有无进行变化，因此可根椐该受光量对是否面向于工件2即有无工件2的边界即边缘进行检测。
下面说明机器手1的定位方法(以下简称为定位方法)。图6表示适用本发明的定位方法。该定位方法是一种使机器人的机器手1从前后方向进入工件2的上方或下方进行定位的方法，机器手1具有沿左右方向并列设置的一对第1传感器3和设置在侧部的第2传感器4，并包括：使机器手1从前后方向进入工件2的上方或下方的机器手进入工序(S11)；当机器手1进入时、一对第1传感器3根椐检测工件2的前端缘2a或后端缘2b的机器人的座标之差求出工件2的左右方向的倾斜角θ的倾斜角算出工序(S12)；在工件2的上方或下方使机器手1在左右方向上倾斜成倾斜角θ的倾斜角对准工序(S13)；使机器手1在使所述机器手沿左右方向倾斜成倾斜角θ的状态下向左右方向移动、直至第2传感器4检测到工件的侧缘的第1左右定位工序(S14)；以及使机器手1在使机器手1沿左右方向倾斜成倾斜角θ的状态下从前后方向沿着倾斜角θ倾斜的方向移动、直至所述一对第1传感器3检测到工件的前端缘或后端缘的第1前后定位工序(S15)。
在机器手进入工序(S11)中，使机器手1前进而进入到工件2的下方(图1)。此时，工件2一旦向左倾斜成倾斜角θ，则首先由左侧的第1传感器3对工件2的后端缘2b进行检测。臂式机器人5的控制器始终把握住机器手1的当时位置的座标。控制器根椐左侧的第1传感器3检测工件2的后端缘2b的瞬间的机器手1的位置座标算出从第1臂6的回动中心O1至左侧的第1传感器3的前后方向的距离X1。
接着，若机器手1继续前进，则右侧的第1传感器3对工件2的后端缘2b进行检测(图2)。控制器根椐右侧的第1传感器3检测到工件2的后端缘2b的瞬间的机器手1的位置座标，计算出从第1臂6的回动中心O1至右侧的第1传感器3为止的前后方向上的距离X2。
在倾斜角算出工序(S12)中求出工件2的左右方向的倾斜角θ。如将左右的第1传感器3的间隔作为L1，则倾斜角θ＝tan-1((X2-X1/L1))。控制器根据该公式进行计算后求出倾斜角θ。
在倾斜角对准工序(S13)中，首先求出使臂式机器人5沿左右方向移动的距离Y1。在将工件2的备料位置的中心即、从收纳有工件2的盒体的设置位置的中心O2至第1臂6的回动中心O1的距离作为L2时，左右方向的移动距离为Y1＝L2×tanθ。控制器根据该公式进行计算后求出左右方向的移动距离。并且，一旦在使臂式机器人5向右方移动距离Y1的同时使臂式机器人5向左方旋转倾斜角θ，则机器手1以盒体设置位置的中心O2为中心向左方倾斜成倾斜角θ，使工件2的倾斜与机器手1的倾斜一致(图3)。
在第1左右定位工序(S14)中，臂式机器人5向左移动，第2传感器4停止在检测到工件2的左侧缘2c的位置上(图4)。由此可调整工件2与机器手1的左右方向的位置关系。
在第1前后定位工序(S15)中，机器手1从前后方向向倾斜成倾斜角θ的方向即在沿着工件2的侧缘2c、2d的方向后退，一对第1传感器3停止在检测到工件2的后端缘2b的位置上(图5)。由此可调整工件2与机器手1的前后方向的位置关系。
即，机器手1的倾斜角θ、前后左右位置与工件2相符。其后，机器手1上升，并将工件2吸住。这样，由于机器手1相对于工件2进行定位后将工件2吸住，因此，例如即使工件2所处的位置相对于盒体多少有点偏移，机器手1与工件2的位置关系也是正确的，臂式机器人5可将工件2正确地搬送到下一个作业场所的交接位置。
另外，上述形态是本发明的适用形态的一例，但不限定于此，在不脱离本发明的宗旨的范围内可进行各种变形实施。
例如，图6的定位方法是一种在第1左右定位工序(S14)中使机器手1向左右方向移动、然后在第1前后定位工序(S15)中使机器手1从前后方向向倾斜成倾斜角θ的方向移动的形态，但并不限定于此。例如，也可在第2前后定位工序(S16)中使机器手1向前后方向移动、然后在第2左右定位工序(S17)中使机器手1从左右方向向倾斜成倾斜角θ的方向即沿着工件2的左右的侧缘2c、2d的方向移动。
即，它是一种使机器人的机器手1从前后方向进入工件2的上方或下方进行定位的机器手1的定位方法，机器手1具有沿左右方向并列设置的一对第1传感器3和设置在侧部的第2传感器4，包括：使机器手1从前后方向进入工件2的上方或下方的机器手进入工序(S11)；当机器手1进入时、一对第1传感器3根椐检测工件2的前端缘2a或后端缘2b的机器人的座标之差求出工件2的左右方向的倾斜角θ的倾斜角算出工序(S12)；在工件2的上方或下方使机器手1在左右方向上倾斜成倾斜角θ的倾斜角对准工序(S13)；使机器手1在使机器手1在左右方向上倾斜成倾斜角θ的状态下沿前后方向移动、直至一对第1传感器3检测到工件2的前端缘2a或后端缘2b的第2前后定位工序(S16)；以及使机器手1在使机器手1在左右方向上倾斜成倾斜角θ的状态下从左右方向向倾斜成倾斜角θ的方向移动、直至第2传感器4在检测到工件2的侧缘的第2左右定位工序(S17)。
这种定位方法也与图1的定位方法相同，可使机器手1的倾斜角θ、前后左右位置符合于工件2。因此，例如即使工件2所处的位置相对于盒体多少有点偏移，机器手1与工件2的位置关系也是正确的，臂式机器人5可将工件2正确地搬送到下一个作业场所的交接位置。
又，上述的说明是由一对第1传感器3检测工件2的后端缘2b，但也可由一对第1传感器3检测工件2的前端缘2a。
又，上述的说明是由第2传感器4检测工件2的左侧缘2c，但也可由第2传感器4检测工件2的右侧缘2d。
并且，上述的说明是在机器手1上安装着检测工件2的后端缘2b的一对第1传感器3以及检测工件2的左侧缘2c的第2传感器4，但也可增加安装的传感器的数量。例如，如图8所示，也可在检测工件2的后端缘2b的一对第1传感器3和检测工件2的左侧缘2c的第2传感器4的基础上，再设置检测工件2的前端缘2a的第1传感器3和检测工件2的右侧缘2d的第2传感器4。通过增加传感器的数量可提高机器手1的定位精度。又，即使在工件2的尺寸公差较大的场合，也可在工件2的中心处进行处理。
又，上述的说明是由传感器3、4检测工件2的边缘2a～2d，在将传感器3、4的位置与工件2的边缘2a～2d一致的状态下将工件2吸住进行处理的，但无需使传感器3、4的位置与工件2的边缘2a～2d一致。例如，也可将传感器3、4的位置定位于与工件2的边缘2a～2d为所定偏置尺寸的内侧。
另外，上述的实施形态是在机器手1上至少安装有1个第2传感器4，但不限定于此，也可不在机器手1上设置第2传感器4，而是如图9所示，在可移动地沿上下方向支承安装有机器手1的臂6、7的臂支柱部18上设有边缘传感器19，通过该边缘传感器19对吸在机器手1上的工件2的左右方向位置进行检测，在此场合，因利用边缘传感器19对工件2的左右方向位置进行检测，故与传统的将左右位置传感器与臂式机器人5分别设置的场合相比可使整个装置小型化。故可减小必需的净室的面积，可降低制造成本。
又，在此场合，不需要象以住那样将从盒体拉出的工件2移动到设置在与臂式机器人5不同位置上的左右位置传感器，又由于边缘传感器19与臂6、7一起进行上下方向移动，故可缩短生产节拍时间，提高生产性。
并且，因边缘传感器19设置在臂支柱部18上，故工件2与边缘传感器19之间的可动部只有机器手1和臂6、7。由此，与以往在工件2与左右位置传感器之间存在着臂式机器人5和架台8的场合相比可大大支缩短工件2与边缘传感器19之间的可动部，故可减小测定误差。
在此，机器手1具有左右方向并列设置的一对第1传感器3、3，并且，当机器手1进入时，一对第1传感器3对工件2的前端缘2a或后端缘2b进行检测，并据此求出工件2的左右方向的倾斜角θ。故可使机器手1与工件2的方向一致。
并且，边缘传感器19是线传感器。由此，可广范围地正确检测工件2的边缘即左侧缘2c或右侧缘2d。
又，边缘传感器19具有发光部和受光部，并且，其光轴如图10所示设置成相对于工件2呈倾斜状的形态。由此，可抑止发生来自发光部的光线被工件2反射后返回原有方向等的错误动作的原因。又，图10中的符号1’、6’、7’分别是表示设置有第2个机器手和臂的场合。
并且，如图9所示，边缘传感器19设置在与臂6、7的的弯曲方向相反的一侧。故臂6、7不会与边缘传感器19相碰撞，不会妨碍操作性。
下面说明本实施形态中的机器手1的定位方法。该定位方法是一种使机器人的机器手1从前后方向进入工件2的上方或下方、在对工件2进行保持臂取出的同时对工件2进行定位的方法。并且，该定位方法如图11所示，包括：使机器手1从前后方向进入工件2的上方或下方的机器手进入工序(S11)；当机器手1进入时、一对前后传感器3、3根椐检测工件2的前端缘2a或后端缘2b的机器人的座标之差求出工件2的左右方向的倾斜角θ的倾斜角算出工序(S12)；在工件2的上方或下方使机器手1在左右方向上倾斜成倾斜角θ的倾斜角对准工序(S13)；使机器手1在左右方向上倾斜成倾斜角θ、并在前后位置传感器3、3接通的直立点处对工件2进行保持并取出的取出工序(S18)；由边缘传感器19对工件2的边缘2c、2d进行测定的左右测定工序(S19)；以及补正左右的偏差量并使工件2位于示范位置的定位工序(S20)。
因机器手进入工序(S11)和倾斜角算出工序(S12)与图6和图7所示的结构相同，故省略详细的说明。另外，以收纳有工件2的盒体的设置位置的中心O2与第1臂6的回动中心O1处于最短距离时的臂支柱部18的位置(图19所示的状态)作为臂式机器人5的假想原位置。
在倾斜角对准工序(S13)中，首先求出臂式机器人5的左右方向移动的距离Y2。由此可求出工件2的前后方向的中心O3。若以从工件2的前后方向的中心O3至第1臂6和回动中心O1之间的距离作为L3，则L3可由式1算出。
[式1]
L3＝X1+tanθ×(L1/2)×cosθ×(b/2)
并且，左右方向的移动距离为Y2＝L3×tanθ。控制器通过计算该公式求出左右方向的移动距离Y2。并且，如图13所示，若在使臂式机器人5向右移动距离Y2的同时将臂式机器人5向左旋转倾斜角θ，则机器手1以工件2的中心O3为中心向左倾斜成角度θ，从而使机器手1的倾斜与工件2的倾斜一致。
在取出工序(S18)中，如图13所示，在使机器手1向左右方向倾斜成倾斜角θ的同时将臂式机器人5移动Y2，在前后位置传感器3、3接通的直立点处对工件2进行保持并取出。然后，如图14所示，在使臂式机器人5返回Y2的同时，机器手1恢复倾斜角θ。由此可使臂式机器人5处于假想原位置。
在左右测定工序(S19)中，如图15所示，由边缘传感器19对工件2的边缘2c进行测定。接着，在定位工序(S20)中，对左右的偏差量进行补正，使工件2位于示范位置。
如上所述，采用本实施形态因在机器手1上搭载有前后传感器3、3，故使工件2相对于机器手1保持笔直。由此，在将工件2从储料器中拔出时，可防止因工件2的角度有误而造成碰坏。
又，上述实施形态是在机器手1上搭载有前后传感器3、3，但不限定于此，即使不搭载也可。在此场合，只由边缘传感器19来决定工件2的位置。即对工件2保持时是在不进行测定的情况下进行保持。并且，保持后可利用边缘传感器19对工件2的左右的侧缘2c、2d和前后端缘2a、2b中的至少3个部位进行测定，测定工件2相对于臂式机器人5的位置，并搭载在下一个装置的正规位置。
并且，上述的实施形态虽然只设置了1个边缘传感器19，但不限定于此，也可设置2个以上。例如，也可在臂式机器人5的左右分别设置1个边缘传感器19，同时对工件2的左右的侧缘2c、2d进行计测。在此场合，可通过使机器手1前后运动等来检测工件2的倾斜角θ并予以补正。

Claims (7)

1.一种使机器人的机器手从前后方向进入工件的上方或下方进行定位的机器手的定位方法，其特征在于，所述机器手具有沿左右方向并列设置的一对第1传感器和设置在侧部的第2传感器，包括：使所述机器手从前后方向进入工件的上方或下方的机器手进入工序；当所述机器手进入时、所述一对第1传感器根椐检测工件的前端缘或后端缘的所述机器人的座标之差求出所述工件的左右方向的倾斜角θ的倾斜角算出工序；在所述工件的上方或下方使所述机器手在左右方向上倾斜成倾斜角θ的倾斜角对准工序；使机器手在使所述机器手沿左右方向倾斜成倾斜角θ的状态下向左右方向移动、直至第2传感器检测到工件的侧缘的第1左右定位工序；以及使机器手在使机器手沿左右方向倾斜成倾斜角θ的状态下从前后方向沿着倾斜角θ倾斜的方向移动、直至所述一对第1传感器检测到工件的前端缘或后端缘的第1前后定位工序。
2.一种使机器人的机器手从前后方向进入工件的上方或下方进行定位的机器手的定位方法，其特征在于，所述机器手具有沿左右方向并列设置的一对第1传感器和设置在侧部的第2传感器，包括：使所述机器手从前后方向进入工件的上方或下方的机器手进入工序；当所述机器手进入时、所述一对第1传感器根椐检测工件的前端缘或后端缘的机器人的座标之差求出工件的左右方向的倾斜角θ的倾斜角算出工序；在工件的上方或下方使机器手在左右方向上倾斜成倾斜角θ的倾斜角对准工序；使机器手在使机器手在左右方向上倾斜成倾斜角θ的状态下向前后方向移动、直至所述一对第1传感器检测到工件的前端缘或后端缘的第2前后定位工序；以及使机器手在使机器手沿左右方向倾斜成倾斜角θ的状态下向倾斜成倾斜角θ的方向移动、直至第2传感器检测到工件的侧缘的第2左右定位工序。
3.一种使机器人的机器手从前后方向进入工件的上方或下方、在保持工件状地取出的同时对工件进行定位的机器手的定位方法，其特征在于，所述机器手具有沿左右方向并列设置的一对前后传感器，同时，沿上下方向可移动地对安装有机器手的臂进行支承的臂支柱部具有边缘传感器，并且包括：使机器手从前后方向进入工件的上方或下方的机器手进入工序；当机器手进入时、一对前后传感器根椐检测工件的前端缘或后端缘的机器人的座标之差求出工件的左右方向的倾斜角θ的倾斜角算出工序；在工件的上方或下方使机器手沿左右方向倾斜成倾斜角θ的倾斜角对准工序；使机器手沿左右方向倾斜成倾斜角θ、在前后传感器接通的直立点处保持并取出工件的取出工序；由边缘传感器测定边缘的左右测定工序；以及补正左右的偏差量、使工件位于示范位置的定位工序。
4.一种在使前后左右可移动且可旋转的机器人的机器手从前后方向进入工件的上方或下方进行定位的机器手的定位装置，其特征在于，具有左右方向并列设置在机器手上的一对第1传感器和设置在机器手的侧部的第2传感器，当机器手进入时，一对第1传感器根椐检测工件的前端缘或后端缘的机器人的座标之差求出工件的左右方向的倾斜角θ，根椐一对第1传感器对工件的前端缘或后端缘进行检测，根椐第2传感器对工件的侧缘进行检测。
5.如权利要求4所述的机器手的定位装置，其特征在于，所述一对第1传感器和第2传感器对工件的边缘进行光学检测。
6.一种使前后左右可移动且可旋转的机器人的机器手从前后方向进入工件的上方或下方进行定位的机器手的定位装置，其特征在于，在上下方向可移动地对安装着机器手的臂进行支承的臂支柱部上设有边缘传感器，通过该边缘传感器对吸附在机器手上的工件的左右方向位置进行检测。
7.如权利要求6所述的机器手的定位装置，其特征在于，所述边缘传感器是线传感器。
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Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101491403B (zh) * 2009-02-18 2011-06-15 苏州艾隆科技有限公司 自动化药房的快速盘点方法
CN101341463B (zh) * 2006-05-02 2011-09-07 索尼计算机娱乐公司 信息显示设备
CN102189548A (zh) * 2010-03-05 2011-09-21 发那科株式会社 具有视觉传感器的机器人系统
CN102380872A (zh) * 2010-07-16 2012-03-21 日本电产三协株式会社 工业用机器人
CN102985231A (zh) * 2010-07-14 2013-03-20 日本电产三协株式会社 工业用机器人、工业用机器人的控制方法及工业用机器人的指示方法
CN103552083A (zh) * 2013-10-30 2014-02-05 上海华力微电子有限公司 调整机械臂位置的方法
CN104810314A (zh) * 2014-01-29 2015-07-29 日本电产三协株式会社 工业用机器人
CN105329642A (zh) * 2015-11-09 2016-02-17 合肥欣奕华智能机器有限公司 基板位置偏移检测及校正方法和基板搬运系统的控制方法
CN105590878A (zh) * 2014-10-23 2016-05-18 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 一种机械手偏移监测系统
CN109523580A (zh) * 2018-12-13 2019-03-26 法兰泰克重工股份有限公司 一种图像采集模块的计算方法、图像采集模块及分拣系统
CN109877823A (zh) * 2017-12-06 2019-06-14 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种双放纠偏双臂机器人及其纠偏方法
CN109877822A (zh) * 2017-12-06 2019-06-14 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种双取纠偏双臂机器人及其纠偏方法
CN109877824A (zh) * 2017-12-06 2019-06-14 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种单取纠偏机器人及其纠偏方法
CN111547508A (zh) * 2019-02-12 2020-08-18 日本电产三协株式会社 基板搬运系统及基板搬运系统的控制方法
TWI718081B (zh) * 2019-07-26 2021-02-01 日商日本電產三協股份有限公司 機器人中的工件位置檢測方法

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100716301B1 (ko) 2006-02-06 2007-05-09 삼성전자주식회사 패널반송로봇
KR101239821B1 (ko) * 2006-06-30 2013-03-06 엘지디스플레이 주식회사 기판이송로봇 및 이의 정렬방법
TWI382903B (zh) * 2007-11-23 2013-01-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 機械手
JP5491731B2 (ja) * 2008-12-25 2014-05-14 川崎重工業株式会社 ロボット、及びロボットの教示位置の直進開始位置の較正方法
JP5665417B2 (ja) * 2010-08-20 2015-02-04 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
US8768513B2 (en) * 2011-08-08 2014-07-01 Applied Materials, Inc. Systems having multi-linkage robots and methods to correct positional and rotational alignment in multi-linkage robots
KR101337563B1 (ko) * 2012-03-30 2013-12-06 한국생산기술연구원 감지유닛을 이용하여 매니퓰레이터의 위치를 조절하는 이송장치
JP6035063B2 (ja) * 2012-06-29 2016-11-30 株式会社ダイヘン 基板搬送装置
JP2014008578A (ja) * 2012-06-29 2014-01-20 Daihen Corp 基板搬送装置
CN105417066B (zh) * 2015-11-09 2017-12-01 合肥欣奕华智能机器有限公司 基板位置偏移检测及校正装置和基板搬运系统
KR102066044B1 (ko) * 2016-06-30 2020-02-11 세메스 주식회사 기판 처리 장치, 인덱스 로봇 및 기판 이송 방법
KR102181121B1 (ko) * 2016-09-20 2020-11-20 주식회사 원익아이피에스 기판 이송 장치 및 기판 이송 장치의 제어 방법
CN106956290B (zh) * 2017-04-17 2019-09-10 京东方科技集团股份有限公司 机械臂及其操作方法、机械臂装置及显示面板生产设备
US11587807B2 (en) 2018-10-28 2023-02-21 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Annealing apparatus and method thereof
JP7443142B2 (ja) 2020-04-10 2024-03-05 ニデックインスツルメンツ株式会社 産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法
JP7443141B2 (ja) 2020-04-10 2024-03-05 ニデックインスツルメンツ株式会社 産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09162257A (ja) * 1995-12-05 1997-06-20 Metsukusu:Kk 薄型基板の搬送装置
JPH10277986A (ja) * 1997-04-01 1998-10-20 Mecs:Kk 薄型基板のアライメント装置
JPH10335420A (ja) * 1997-06-04 1998-12-18 Mecs:Kk ワークのアライメント装置
JP2000040735A (ja) * 1998-07-24 2000-02-08 Mecs Corp 基板搬送装置
JP2000071187A (ja) * 1998-08-27 2000-03-07 Komatsu Ltd ワーク搬送ロボット
JP2001144165A (ja) * 1999-11-16 2001-05-25 Assist Japan Kk ガラス基板用非接触アライメント装置

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101341463B (zh) * 2006-05-02 2011-09-07 索尼计算机娱乐公司 信息显示设备
CN101491403B (zh) * 2009-02-18 2011-06-15 苏州艾隆科技有限公司 自动化药房的快速盘点方法
CN102189548A (zh) * 2010-03-05 2011-09-21 发那科株式会社 具有视觉传感器的机器人系统
CN102189548B (zh) * 2010-03-05 2014-06-18 发那科株式会社 具有视觉传感器的机器人系统
CN102985231A (zh) * 2010-07-14 2013-03-20 日本电产三协株式会社 工业用机器人、工业用机器人的控制方法及工业用机器人的指示方法
CN104626133A (zh) * 2010-07-14 2015-05-20 日本电产三协株式会社 工业用机器人、工业用机器人的控制方法及工业用机器人的指示方法
CN102985231B (zh) * 2010-07-14 2015-06-10 日本电产三协株式会社 工业用机器人、工业用机器人的控制方法及工业用机器人的指示方法
CN102380872A (zh) * 2010-07-16 2012-03-21 日本电产三协株式会社 工业用机器人
CN102380872B (zh) * 2010-07-16 2015-07-15 日本电产三协株式会社 工业用机器人
CN103552083A (zh) * 2013-10-30 2014-02-05 上海华力微电子有限公司 调整机械臂位置的方法
CN104810314A (zh) * 2014-01-29 2015-07-29 日本电产三协株式会社 工业用机器人
CN105590878A (zh) * 2014-10-23 2016-05-18 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 一种机械手偏移监测系统
CN105590878B (zh) * 2014-10-23 2019-02-19 北京北方华创微电子装备有限公司 一种机械手偏移监测系统
CN105329642A (zh) * 2015-11-09 2016-02-17 合肥欣奕华智能机器有限公司 基板位置偏移检测及校正方法和基板搬运系统的控制方法
CN109877823A (zh) * 2017-12-06 2019-06-14 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种双放纠偏双臂机器人及其纠偏方法
CN109877822A (zh) * 2017-12-06 2019-06-14 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种双取纠偏双臂机器人及其纠偏方法
CN109877824A (zh) * 2017-12-06 2019-06-14 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种单取纠偏机器人及其纠偏方法
CN109523580A (zh) * 2018-12-13 2019-03-26 法兰泰克重工股份有限公司 一种图像采集模块的计算方法、图像采集模块及分拣系统
CN111547508A (zh) * 2019-02-12 2020-08-18 日本电产三协株式会社 基板搬运系统及基板搬运系统的控制方法
TWI718081B (zh) * 2019-07-26 2021-02-01 日商日本電產三協股份有限公司 機器人中的工件位置檢測方法

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