JP2808199B2 - ウエハ搬送装置 - Google Patents
ウエハ搬送装置Info
- Publication number
- JP2808199B2 JP2808199B2 JP3208931A JP20893191A JP2808199B2 JP 2808199 B2 JP2808199 B2 JP 2808199B2 JP 3208931 A JP3208931 A JP 3208931A JP 20893191 A JP20893191 A JP 20893191A JP 2808199 B2 JP2808199 B2 JP 2808199B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- carrier
- transfer device
- detecting means
- tilt
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体露光装置等にお
いて、ウエハを保持するキャリアからウエハを取り出し
たり収納するための搬送装置に関する。
いて、ウエハを保持するキャリアからウエハを取り出し
たり収納するための搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２（ａ）（ｂ）は従来のウエハ搬送装
置の一例を示す。発光素子４から光ビ−ムＬをキャリア
載置台７の平面に対し平行に入射し、これを受光素子５
で検知する。キャリア載置台７を上下に駆動することに
より、ウエハ１がビ−ムを遮光し、図２（ｂ）のような
信号が受光素子５に検出される。
置の一例を示す。発光素子４から光ビ−ムＬをキャリア
載置台７の平面に対し平行に入射し、これを受光素子５
で検知する。キャリア載置台７を上下に駆動することに
より、ウエハ１がビ−ムを遮光し、図２（ｂ）のような
信号が受光素子５に検出される。
【０００３】図２（ｂ）の信号に対し、一定のスライス
レベルを設定することにより、ウエハ１（Ａ、Ｂ）の位
置Ａ１、Ａ２、Ｂ１、Ｂ２と間隔（Ｂ１−Ａ２）を求め
ることが出来る。
レベルを設定することにより、ウエハ１（Ａ、Ｂ）の位
置Ａ１、Ａ２、Ｂ１、Ｂ２と間隔（Ｂ１−Ａ２）を求め
ることが出来る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
例では、次のような欠点があった。即ち、図３のように
ウエハ１が傾いていた場合、ウエハ間隔はＴ1と検出さ
れる。ハンド３の挿入位置での間隔はＴ2であるがウエ
ハの傾き方向が分からないためこのＴ2を計算できなか
った。ハンド３をウエハ間に挿入するためには、図３に
おいて、 Ｔ1≧Ｔ3 である必要がある。このＴ3は、ハンド３の挿入可能間
隔であり、 Ｔ3＝ＴH＋２×ＴC である。ここでＴHはハンド３の厚み、ＴCはハンド３と
ウエハ１との干渉を防ぐためのクリアランスである。Ｔ
2はウエハ傾き量をＴ4 ，Ｔ5とすると、 Ｔ2＝Ｔ1＋Ｔ4＋Ｔ5 となる。
例では、次のような欠点があった。即ち、図３のように
ウエハ１が傾いていた場合、ウエハ間隔はＴ1と検出さ
れる。ハンド３の挿入位置での間隔はＴ2であるがウエ
ハの傾き方向が分からないためこのＴ2を計算できなか
った。ハンド３をウエハ間に挿入するためには、図３に
おいて、 Ｔ1≧Ｔ3 である必要がある。このＴ3は、ハンド３の挿入可能間
隔であり、 Ｔ3＝ＴH＋２×ＴC である。ここでＴHはハンド３の厚み、ＴCはハンド３と
ウエハ１との干渉を防ぐためのクリアランスである。Ｔ
2はウエハ傾き量をＴ4 ，Ｔ5とすると、 Ｔ2＝Ｔ1＋Ｔ4＋Ｔ5 となる。
【０００５】ウエハ傾き量Ｔ4 ，Ｔ5が大きくＴ2＞Ｔ3
＞Ｔ1となったウエハの場合は、Ｔ2を計算できないため
に、ハンド３を挿入できず、キャリアからウエハを取り
出すことができなかった。
＞Ｔ1となったウエハの場合は、Ｔ2を計算できないため
に、ハンド３を挿入できず、キャリアからウエハを取り
出すことができなかった。
【０００６】本発明は、上記従来技術の欠点に鑑みなさ
れたものであって、キャリア内でウエハが傾いて収納さ
れている場合であっても、ハンド挿入位置でのウエハ間
隔を正確に検出しウエハを確実に取出し可能とするウエ
ハ搬送装置の提供を目的とする。
れたものであって、キャリア内でウエハが傾いて収納さ
れている場合であっても、ハンド挿入位置でのウエハ間
隔を正確に検出しウエハを確実に取出し可能とするウエ
ハ搬送装置の提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段および作用】前記目的を達
成するため、本発明のウエハ搬送装置は、複数枚のウエ
ハを間隔を隔てて並列に保持するキャリアと、該キャリ
アに対しウエハを収納および取出すためのウエハ搬出入
手段と、キャリアの両側に配置した２対の発光素子およ
び受光素子を含むウエハ検出手段と、該ウエハ検出手段
と該キャリアとを相対移動させる手段と、該ウエハ検出
手段からの出力によりウエハの収納姿勢状態を計算し判
断する演算手段とを具備し、前記２対のウエハ検出手段
の各発光素子からのビームの一方が基準面に対し（＋）
方向に傾斜したビーム方向を有し他方が（−）方向に傾
斜したビーム方向を有するように該検出手段が配置さ
れ、前記演算手段は前記ウエハ検出手段と前記キャリア
とを相対移動させた時の前記２つの受光素子の出力信号
から収納するウエハの傾き量及び傾き方向を求めること
を特徴とする。これによりキャリア内でいかなるウエハ
の傾きがあってもウエハの傾き量、傾き方向を検出し、
ハンドの挿入位置でのウエハ間隔を正確に求めることが
できる。
成するため、本発明のウエハ搬送装置は、複数枚のウエ
ハを間隔を隔てて並列に保持するキャリアと、該キャリ
アに対しウエハを収納および取出すためのウエハ搬出入
手段と、キャリアの両側に配置した２対の発光素子およ
び受光素子を含むウエハ検出手段と、該ウエハ検出手段
と該キャリアとを相対移動させる手段と、該ウエハ検出
手段からの出力によりウエハの収納姿勢状態を計算し判
断する演算手段とを具備し、前記２対のウエハ検出手段
の各発光素子からのビームの一方が基準面に対し（＋）
方向に傾斜したビーム方向を有し他方が（−）方向に傾
斜したビーム方向を有するように該検出手段が配置さ
れ、前記演算手段は前記ウエハ検出手段と前記キャリア
とを相対移動させた時の前記２つの受光素子の出力信号
から収納するウエハの傾き量及び傾き方向を求めること
を特徴とする。これによりキャリア内でいかなるウエハ
の傾きがあってもウエハの傾き量、傾き方向を検出し、
ハンドの挿入位置でのウエハ間隔を正確に求めることが
できる。
【０００８】
【実施例】図１に、本発明の実施例を示す。
【０００９】同図において、１（Ａ、Ｂ、Ｃ）はウエハ
である。２はウエハを収納するキャリアであり、７はキ
ャリア載置台である。３はウエハ１を搬出入するための
ハンド、４は半導体レーザなどの発光素子、５はフォト
センサなどの受光素子、６、８はピンホ−ルである。
である。２はウエハを収納するキャリアであり、７はキ
ャリア載置台である。３はウエハ１を搬出入するための
ハンド、４は半導体レーザなどの発光素子、５はフォト
センサなどの受光素子、６、８はピンホ−ルである。
【００１０】発光素子４ａからの光ビ−ムは、キャリア
台７に対し傾き＋θ、発光素子４ｂからの光ビ−ムは傾
き−θ（時計方向を＋）に配置されている。
台７に対し傾き＋θ、発光素子４ｂからの光ビ−ムは傾
き−θ（時計方向を＋）に配置されている。
【００１１】キャリア台７を上から下へ駆動すると、図
１（ｂ）に示す信号が得られる。これより、ウエハの傾
き量、傾き方向を求めることができる。
１（ｂ）に示す信号が得られる。これより、ウエハの傾
き量、傾き方向を求めることができる。
【００１２】受光素子（センサ）５ａ、５ｂの出力信号
よりウエハの遮光の幅を計算し、同じウエハについてセ
ンサ５ａ、５ｂより得られた幅を比較し、大きい方がそ
のビ−ムに対し角度を持っていることになる。これをウ
エハＡ、Ｂ、Ｃを例にとり説明する。 （１）（Ａ２−Ａ１）＝（Ａ２’−Ａ１’）であるから
ウエハＡは水平である。 （２）（Ｂ２−Ｂ１）＞（Ｂ２’−Ｂ１’）であるから
ウエハＢは（Ｐ）側に下がっている。このとき角度α
は、ｔａｎ-1 ［｛（Ｂ２−Ｂ１）−Ｗ H｝／ｄ1 ］とな
る。ここでＷHは水平ウエハでの遮光幅、ｄ1は、ビ−ム
位置でのウエハ の幅である。 （３）（Ｃ２−Ｃ１）＜（Ｃ２’−Ｃ１’）であるか
ら、ウエハＣは（Ｐ）側で上がっている。このとき角度
βは、ｔａｎ-1 ［｛（Ｃ２’−Ｃ１’）−ＷH｝／
ｄ1］となる。
よりウエハの遮光の幅を計算し、同じウエハについてセ
ンサ５ａ、５ｂより得られた幅を比較し、大きい方がそ
のビ−ムに対し角度を持っていることになる。これをウ
エハＡ、Ｂ、Ｃを例にとり説明する。 （１）（Ａ２−Ａ１）＝（Ａ２’−Ａ１’）であるから
ウエハＡは水平である。 （２）（Ｂ２−Ｂ１）＞（Ｂ２’−Ｂ１’）であるから
ウエハＢは（Ｐ）側に下がっている。このとき角度α
は、ｔａｎ-1 ［｛（Ｂ２−Ｂ１）−Ｗ H｝／ｄ1 ］とな
る。ここでＷHは水平ウエハでの遮光幅、ｄ1は、ビ−ム
位置でのウエハ の幅である。 （３）（Ｃ２−Ｃ１）＜（Ｃ２’−Ｃ１’）であるか
ら、ウエハＣは（Ｐ）側で上がっている。このとき角度
βは、ｔａｎ-1 ［｛（Ｃ２’−Ｃ１’）−ＷH｝／
ｄ1］となる。
【００１３】次に、光ビームの角度θは次のように設定
する。
する。
【００１４】φ°＜θ＜θmax ここでθmaxは、光ビームがキャリア内のウエハ間を通
過できる最大の角度である。図４で説明する。同図にお
いて、１はウエハである。キャリア内でのウエハの傾き
量の最大値をｈ1、キャリアのウエハ間隔のピッチをｈ
ｐ、ウエハの厚みをＷｔ、ビーム位置でのウエハの幅を
ｄ1、光ビーム径をφSとすると、 となる。
過できる最大の角度である。図４で説明する。同図にお
いて、１はウエハである。キャリア内でのウエハの傾き
量の最大値をｈ1、キャリアのウエハ間隔のピッチをｈ
ｐ、ウエハの厚みをＷｔ、ビーム位置でのウエハの幅を
ｄ1、光ビーム径をφSとすると、 となる。
【００１５】例えば、直径１５０ｍｍ、厚さ０．７０ｍ
ｍのウエハで使用するキャリアのピッチが４．７６ｍ
ｍ、ウエハの傾き量の最大値を２ｍｍで光ビームはφS
＝０．６０でウエハ中心を通るとすると、 となる。
ｍのウエハで使用するキャリアのピッチが４．７６ｍ
ｍ、ウエハの傾き量の最大値を２ｍｍで光ビームはφS
＝０．６０でウエハ中心を通るとすると、 となる。
【００１６】次にウエハ間隔は、前記のウエハ傾き量、
傾き方向とハンド挿入位置ｄ2より計算により求めるこ
とができる。
傾き方向とハンド挿入位置ｄ2より計算により求めるこ
とができる。
【００１７】図３について説明する。
【００１８】ウエハＢは（Ｐ）側に下がっており、ウエ
ハＣは（Ｐ）側で上がっているものが分かっている。ウ
エハＢの傾き量Ｔ5 、ウエハＣの傾き量Ｔ4はそれぞ
れ、 となる。
ハＣは（Ｐ）側で上がっているものが分かっている。ウ
エハＢの傾き量Ｔ5 、ウエハＣの傾き量Ｔ4はそれぞ
れ、 となる。
【００１９】また、Ｔ1は、Ｔ1＝Ｃ１−Ｂ２であるか
ら、ウエハ間隔Ｔ2は、Ｔ2＝Ｔ1＋Ｔ4＋Ｔ5で計算でき
る。
ら、ウエハ間隔Ｔ2は、Ｔ2＝Ｔ1＋Ｔ4＋Ｔ5で計算でき
る。
【００２０】次に、図１において、ウエハＣを搬送する
時の動作を図５のフローチャートにて説明する。
時の動作を図５のフローチャートにて説明する。
【００２１】まず、キャリア台７を上から下へ駆動し、
ウエハの存在とウエハの傾き量、傾き方向を求める（ス
テップ１１）。そして、そのデータよりウエハＣとＢの
間隔を計算し（ステップ１２）、ハンドの挿入可能間隔
Ｔ3と比較し（ステップ１３）、不可能な時には、動作
を停止する（ステップ１４）。可能な時には、キャリア
台７をウエハＣとハンド３が一定のクリアランスをもつ
ような位置へ駆動する（ステップ１５）。
ウエハの存在とウエハの傾き量、傾き方向を求める（ス
テップ１１）。そして、そのデータよりウエハＣとＢの
間隔を計算し（ステップ１２）、ハンドの挿入可能間隔
Ｔ3と比較し（ステップ１３）、不可能な時には、動作
を停止する（ステップ１４）。可能な時には、キャリア
台７をウエハＣとハンド３が一定のクリアランスをもつ
ような位置へ駆動する（ステップ１５）。
【００２２】次に、ハンド３を挿入して図示していない
ハンド３の上下駆動手段にて上がりウエハＣを吸着する
（ステップ１６）。吸着の確認がとれたところで、キャ
リアからウエハを取り出し搬送を行うものである（ステ
ップ１７）。
ハンド３の上下駆動手段にて上がりウエハＣを吸着する
（ステップ１６）。吸着の確認がとれたところで、キャ
リアからウエハを取り出し搬送を行うものである（ステ
ップ１７）。
【００２３】ここで、ウエハＣとハンド３との位置関係
について図３と図６で説明する。
について図３と図６で説明する。
【００２４】まず、図６においてウエハ１をキャリア台
に対し水平に置き、キャリア台７を上から下へ駆動させ
た時に光ビームＡ、Ｂは同時に遮光となるものとし、そ
の位置からハンド３とのクリアランスＴCを保つ位置ま
での距離ｈｃを予め測定しておく。
に対し水平に置き、キャリア台７を上から下へ駆動させ
た時に光ビームＡ、Ｂは同時に遮光となるものとし、そ
の位置からハンド３とのクリアランスＴCを保つ位置ま
での距離ｈｃを予め測定しておく。
【００２５】図３のウエハＣをハンド３との一定のクリ
アランスを保つ位置へ設定するには（ｈｃ＋Ｔ4）だ
け、キャリア台７を駆動すればよい。
アランスを保つ位置へ設定するには（ｈｃ＋Ｔ4）だ
け、キャリア台７を駆動すればよい。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、２対の発光、受光
部を設け、ウエハの傾き量、傾き方向、ウエハとウエハ
間の間隔を検出することによりキャリア内のウエハの傾
き状態を正確に検出しウエハを確実に取出すことが可能
になる。
部を設け、ウエハの傾き量、傾き方向、ウエハとウエハ
間の間隔を検出することによりキャリア内のウエハの傾
き状態を正確に検出しウエハを確実に取出すことが可能
になる。
【図１】 （ａ）は本発明の実施例に係わるウエハ搬送
装置の概略構成図、（ｂ）はそのウエハ位置とフォトセ
ンサ出力との関係を示すグラフである。
装置の概略構成図、（ｂ）はそのウエハ位置とフォトセ
ンサ出力との関係を示すグラフである。
【図２】 （ａ）は従来のウエハ搬送装置の概略構成
図、（ｂ）はそのウエハ位置とフォトセンサ出力との関
係を示すグラフである。
図、（ｂ）はそのウエハ位置とフォトセンサ出力との関
係を示すグラフである。
【図３】 従来技術の問題点の説明図である。
【図４】 光ビームの角度θの設定を説明する図であ
る。
る。
【図５】 ウエハを搬送するフローチャートである。
【図６】 ウエハとハンドの位置関係を示す図である。
１；ウエハ、２；キャリア、３；ハンド、４ａ、４ｂ；
発光素子、５ａ、５ｂ；受光素子、７；キャリア載置
台。
発光素子、５ａ、５ｂ；受光素子、７；キャリア載置
台。
Claims (3)
- 【請求項１】 複数枚のウエハを間隔を隔てて並列に保
持するキャリアと、該キャリアに対しウエハを収納およ
び取出すためのウエハ搬出入手段と、キャリアの両側に
配置した２対の発光素子および受光素子を含むウエハ検
出手段と、該ウエハ検出手段と該キャリアとを相対移動
させる手段と、該ウエハ検出手段からの出力によりウエ
ハの収納姿勢状態を計算し判断する演算手段とを具備
し、前記２対のウエハ検出手段の各発光素子からのビー
ムの一方が基準面に対し（＋）方向に傾斜したビーム方
向を有し他方が（−）方向に傾斜したビーム方向を有す
るように該検出手段が配置され、前記演算手段は前記ウ
エハ検出手段と前記キャリアとを相対移動させた時の前
記２つの受光素子の出力信号から収納するウエハの傾き
量及び傾き方向を求めることを特徴とするウエハ搬送装
置。 - 【請求項２】 前記基準面は、キャリアを搭載するキャ
リア搭載台のキャリア搭載面であることを特徴とする請
求項１記載のウエハ搬送装置。 - 【請求項３】 前記２つのビーム方向は、基準面に対し
それぞれ（＋）方向および（−）方向に等しい角度だけ
傾斜したことを特徴とする請求項１又は２記載のウエハ
搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3208931A JP2808199B2 (ja) | 1991-07-26 | 1991-07-26 | ウエハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3208931A JP2808199B2 (ja) | 1991-07-26 | 1991-07-26 | ウエハ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0536812A JPH0536812A (ja) | 1993-02-12 |
| JP2808199B2 true JP2808199B2 (ja) | 1998-10-08 |
Family
ID=16564502
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3208931A Expired - Lifetime JP2808199B2 (ja) | 1991-07-26 | 1991-07-26 | ウエハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2808199B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100315007B1 (ko) * | 1995-11-22 | 2002-02-28 | 이시다 아키라 | 카세트내의 기판 검출 및 반송장치와 그 방법 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61248839A (ja) * | 1985-04-26 | 1986-11-06 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 収納ウエハの取り出し装置 |
| JPS6359328U (ja) * | 1986-10-03 | 1988-04-20 | ||
| JPH0533010Y2 (ja) * | 1987-02-26 | 1993-08-23 | ||
| JPH0286144A (ja) * | 1988-09-22 | 1990-03-27 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置における基板装着姿勢検出装置 |
-
1991
- 1991-07-26 JP JP3208931A patent/JP2808199B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0536812A (ja) | 1993-02-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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