JPS6359328U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る半導体ウエーハ移し替え
装置の一実施例を示す正面図、第２図乃至第４図
は第１図装置の平面図、右側面図、左側面図であ
る。第５図は第１図装置のウエーハ傾き修正部を
示す要部拡大部分正面図、第６図はその側面図、
第７図はその部分平面図、第８図はボート上での
ウエーハ有無を検出する投受光器を示す正面図、
第９図乃至第１２図は第１図装置のボート位置決
め載置部を示す拡大図で、第９図はボート位置決
め載置部の側面図、第１０図は第９図の平面図、
第１１図は第９図の正面図、第１２図はクランパ
を示す正面図である。第１３図はウエーハ保持状
態のボートの具体例を示す斜視図、第１４図は第
１２図の側面図、第１５図はウエーハ収納状態の
キヤリアの具体例を示す斜視図、第１６図は第１
５図の正断面図である。 ３……半導体ウエーハ、１０……半導体ウエー
ハ移し替え装置、２５……固定フレーム、２６…
…可動フレーム、２７……ウエーハ傾き検知手段
、４０ａ，４０ｂ……投受光器、Ａ……ボート、
Ｏ……回転中心、Ｏ′……傾き中心。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 複数の半導体ウエーハが傾斜した状態で二点支
   持により定ピツチで整列保持されたボートを、位
   置決め載置し、且つ、上記ボート上での二点支持
   による半導体ウエーハの傾き中心と一致させた回
   転中心で固定フレームに回転可能に軸支した可動
   フレームと、 上記ボート上の半導体ウエーハの両側方前後に
   配設された投受光器を備え、上記半導体ウエーハ
   の前後斜め方向に走行させた投射光の遮光有無に
   より半導体ウエーハの傾斜角度を検出するウエー
   ハ傾き検知手段とを具備したことを特徴とする半
   導体ウエーハ移し替え装置。