JPH04736U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH04736U JPH04736U JP4003290U JP4003290U JPH04736U JP H04736 U JPH04736 U JP H04736U JP 4003290 U JP4003290 U JP 4003290U JP 4003290 U JP4003290 U JP 4003290U JP H04736 U JPH04736 U JP H04736U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding
- grooves
- frame
- holding frame
- intervals
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
第１図〜第４図はこの考案に係るものであり、
第１図は要部の拡大正面図、第２図は第４図−
線断面図、第３図は平面図であつて、保持溝に
ついてはその一部のみを示している図、第４図は
正面図であつて、保持溝についてはその一部のみ
を示している図、第５図及び第６図は従来例に係
り、第５図は保持溝で半導体ウエハーを支持して
いる状態を示す拡大断面図、第６図は保持フレー
ムで半導体ウエハーを支持している状態を示す断
面図である。 ２……保持フレーム、５……保持溝、Ｗ……半
導体ウエハー、θ……傾斜角度。
第１図は要部の拡大正面図、第２図は第４図−
線断面図、第３図は平面図であつて、保持溝に
ついてはその一部のみを示している図、第４図は
正面図であつて、保持溝についてはその一部のみ
を示している図、第５図及び第６図は従来例に係
り、第５図は保持溝で半導体ウエハーを支持して
いる状態を示す拡大断面図、第６図は保持フレー
ムで半導体ウエハーを支持している状態を示す断
面図である。 ２……保持フレーム、５……保持溝、Ｗ……半
導体ウエハー、θ……傾斜角度。
Claims (1)
- 間隔を置いて配置されている保持フレームとウ
エハー保持用の保持溝とを備えており、上記保持
溝は上記各保持フレームにその長手方向に等間隔
を置いて形成されており、各保持溝は同一方向に
かつ同一角度で傾斜しており、一方の保持フレー
ムの保持溝は、他方の保持フレームの対向する保
持溝と対となつていることを特徴とする半導体ウ
エハー保持用のボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4003290U JPH04736U (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4003290U JPH04736U (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04736U true JPH04736U (ja) | 1992-01-07 |
Family
ID=31549468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4003290U Pending JPH04736U (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04736U (ja) |
-
1990
- 1990-04-13 JP JP4003290U patent/JPH04736U/ja active Pending