JPS6315042U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6315042U JPS6315042U JP10806486U JP10806486U JPS6315042U JP S6315042 U JPS6315042 U JP S6315042U JP 10806486 U JP10806486 U JP 10806486U JP 10806486 U JP10806486 U JP 10806486U JP S6315042 U JPS6315042 U JP S6315042U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz
- rods
- frame
- quartz rods
- shaped
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 13
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Description
第１図および第２図はこの考案の半導体基板熱
処理用ボートの一実施例を示し、第１図は斜視図
、第２図は横断面図、第３図ないし第５図は従来
の石英ボートを示し、第３図は斜視図、第４図は
横断面図、第５図は縦断面図である。 １１…石英丸棒、１２…溝、１３…Ｕ形石英丸
棒、１４…石英枠体、１５…Ｐｏｌｙ‐Ｓｉ製梁
、１６…下向き斜面、１７…石英製支持台。
処理用ボートの一実施例を示し、第１図は斜視図
、第２図は横断面図、第３図ないし第５図は従来
の石英ボートを示し、第３図は斜視図、第４図は
横断面図、第５図は縦断面図である。 １１…石英丸棒、１２…溝、１３…Ｕ形石英丸
棒、１４…石英枠体、１５…Ｐｏｌｙ‐Ｓｉ製梁
、１６…下向き斜面、１７…石英製支持台。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (a) ウエハを搭載するための溝を切つた２本の
平行に配置された石英棒の両端を２組のＵ形石英
棒で接続して構成される石英枠体と、 (b) 両端面が下向き斜面に形成され、前記石英
枠体の２本の石英棒間に、該石英棒とＵ形石英棒
との接続部にて介在されるウエハとほぼ同膨張率
の梁と、 (c) 前記石英枠体に設けられ、前記梁の両端が
嵌合される支持台とを具備してなる半導体基板熱
処理用ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10806486U JPH0440268Y2 (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10806486U JPH0440268Y2 (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6315042U true JPS6315042U (ja) | 1988-02-01 |
| JPH0440268Y2 JPH0440268Y2 (ja) | 1992-09-21 |
Family
ID=30984914
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10806486U Expired JPH0440268Y2 (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0440268Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0256444U (ja) * | 1988-10-17 | 1990-04-24 |
-
1986
- 1986-07-16 JP JP10806486U patent/JPH0440268Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0256444U (ja) * | 1988-10-17 | 1990-04-24 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0440268Y2 (ja) | 1992-09-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6315042U (ja) | ||
| JPS62128633U (ja) | ||
| JPS6280338U (ja) | ||
| JPS6384971U (ja) | ||
| JPS5865369U (ja) | ウエハ支持装置 | |
| JP2568209B2 (ja) | 半導体処理用カンチレバ− | |
| JPS645372Y2 (ja) | ||
| JPS6278753U (ja) | ||
| JPS6210518U (ja) | ||
| JPH04736U (ja) | ||
| JPH0468520U (ja) | ||
| JPH0267644U (ja) | ||
| JPH01104021U (ja) | ||
| JPH042022U (ja) | ||
| JPS6388530U (ja) | ||
| JPS58131630U (ja) | 半導体ウエハの支持装置 | |
| JPS6188242U (ja) | ||
| JPS6016542U (ja) | 半導体ウエ−ハ用ボ−ト | |
| JPS6390843U (ja) | ||
| JPH0328U (ja) | ||
| JPH02150209U (ja) | ||
| JPH0630348B2 (ja) | ウエ−ハ支持具 | |
| JPS6158382U (ja) | ||
| JPS6186925U (ja) | ||
| JPS6188233U (ja) |