JPS6278753U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6278753U JPS6278753U JP16993985U JP16993985U JPS6278753U JP S6278753 U JPS6278753 U JP S6278753U JP 16993985 U JP16993985 U JP 16993985U JP 16993985 U JP16993985 U JP 16993985U JP S6278753 U JPS6278753 U JP S6278753U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- semiconductor wafer
- semiconductor
- wafers
- reinforcing plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 5
Description
第１図ａ，ｂ，ｃは本考案のウエーハ用ボート
の斜視図を、第２図ａは従来の縦型ボートの斜視
図を、ｂは横型ボートの斜視図を、第３図ａは従
来の縦型ボートの変形したときの平面図を、ｂは
その側面図を、第４図ａは従来の横型ボートの変
形したときの平面図を、ｂはその側面図を、第５
図ａは他の従来の縦型ボートの斜視図を、ｂは横
型ボートの斜視図を示す。 １……端板、２……棒状体、３……係合用溝、
４……ウエーハ、５……補強棒、６……補強板状
体、７……側壁体。
の斜視図を、第２図ａは従来の縦型ボートの斜視
図を、ｂは横型ボートの斜視図を、第３図ａは従
来の縦型ボートの変形したときの平面図を、ｂは
その側面図を、第４図ａは従来の横型ボートの変
形したときの平面図を、ｂはその側面図を、第５
図ａは他の従来の縦型ボートの斜視図を、ｂは横
型ボートの斜視図を示す。 １……端板、２……棒状体、３……係合用溝、
４……ウエーハ、５……補強棒、６……補強板状
体、７……側壁体。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ウエーハを平行に隔離保持するための溝が
形成された複数の棒状体または側壁体と、ボート
両端に配置される枠組部材とからなる半導体ウエ
ーハ用ボートにおいて、ボートの中間部内側に補
強板状体を溶接一体化してなることを特徴とする
半導体ウエーハ用ボート。 (2) 該補強板状体の面方向が支持されるウエー
ハと実質的に同一である実用新案登録請求の範囲
第１項記載の半導体ウエーハ用ボート。 (3) 該ボートが縦型である実用新案登録請求の
範囲第１項記載の半導体ウエーハ用ボート。 (4) 該ボーが横型である実用新案登録請求の範
囲第１項記載の半導体ウエーハ用ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985169939U JPH0220830Y2 (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985169939U JPH0220830Y2 (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6278753U true JPS6278753U (ja) | 1987-05-20 |
| JPH0220830Y2 JPH0220830Y2 (ja) | 1990-06-06 |
Family
ID=31104203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985169939U Expired JPH0220830Y2 (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0220830Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02114938U (ja) * | 1989-03-03 | 1990-09-14 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56165317A (en) * | 1980-05-26 | 1981-12-18 | Fujitsu Ltd | Manufacture of semiconductor device |
-
1985
- 1985-11-05 JP JP1985169939U patent/JPH0220830Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56165317A (en) * | 1980-05-26 | 1981-12-18 | Fujitsu Ltd | Manufacture of semiconductor device |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02114938U (ja) * | 1989-03-03 | 1990-09-14 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0220830Y2 (ja) | 1990-06-06 |