JPH02114938U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

図面はこの考案の一実施例を示すもので、第１
図は斜視図、第２図は半導体ウエハーを支持して
いる状態での要部側断面図、第３図は平面図、第
４図はブラズマ装置での使用状態の断面図である
。 Ｗ……ウエハー、１……基台、２……天板、３
……入口支持枠、４……入口支持突起、５……奥
部支持枠、６……奥部支持突起、７……損傷防止
上板、８……損傷防止下板、９……位置決め孔、
１０……ブラズマ装置、１１……エレベータ、１
２……反応室。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 縦型のブラズマ装置におけるエレベータでの
   昇降ベース上に載置される盤状の基台と、この基
   台に対しほぼ平行で、所定枚数の半導体ウエハー
   が収納可能な収納区域を基台とともに形成する天
   板と、基台面にほぼ平行にしてウエハーが挿入さ
   れる収納区域入口での左右に位置し、基台、天板
   相互間で立設される棒状で、ウエハーの周縁部が
   載置され、支持する入口支持突起が形成された入
   口支持枠と、収納区域での奥部に位置し、同じく
   基台、天板相互間で立設される棒状で、ウエハー
   の周縁部が載置され、支持する奥部支持突起が形
   成された奥部支持枠とを備えて成ることを特徴と
   するウエハー支持具。 ２ 入口支持枠、奥部支持枠夫々は中空状で、収
   納区域中心がわ周壁に夫々の入口支持突起、奥部
   支持突起を貫挿固定してある請求項１記載のウエ
   ハー支持具。 ３ 天板と若干の間隔を隔てた天板下方位置の入
   口支持枠、奥部支持枠夫々に損傷防止上板を固定
   した請求項１または２記載のウエハー支持具。 ４ 入口支持枠の入口支持突起と奥部支持枠の奥
   部支持突起とによつて支持された最下位位置のウ
   エハーと若干の間隔を隔てた下方位置の入口支持
   枠、奥部支持枠夫々に損傷防止下板を固定した請
   求項１乃至３のいずれか記載のウエハー支持具。