JPH0982792A - ウエハ収納容器 - Google Patents
ウエハ収納容器Info
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- JPH0982792A JPH0982792A JP23374795A JP23374795A JPH0982792A JP H0982792 A JPH0982792 A JP H0982792A JP 23374795 A JP23374795 A JP 23374795A JP 23374795 A JP23374795 A JP 23374795A JP H0982792 A JPH0982792 A JP H0982792A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウエハの出し入れ時にウエハの周縁部と接触
する虞れが無いように、容器本体の一部を着脱可能な構
造とし、半導体ウエハの収納および取り出し作業の効率
を向上させた半導体ウエハ収納容器を提供する。 【解決手段】 有底円筒状の容器本体と、この円筒部を
覆う蓋体とで構成されるウエハ収納容器において、第１
の発明は、容器本体の円筒部が基底部から着脱可能な構
造とし、なお円筒部は、本来の円筒体でも、弾性帯板か
らなるものでもよく、また縦割された湾曲壁片からなる
もでもよく、第２の発明は、幅広スリットにより分割さ
れた円筒部湾曲壁片の下端が基底部に固着され、容器本
体の基底部はウエハ載置板とこれを着座させる基礎板か
ら構成されている。
する虞れが無いように、容器本体の一部を着脱可能な構
造とし、半導体ウエハの収納および取り出し作業の効率
を向上させた半導体ウエハ収納容器を提供する。 【解決手段】 有底円筒状の容器本体と、この円筒部を
覆う蓋体とで構成されるウエハ収納容器において、第１
の発明は、容器本体の円筒部が基底部から着脱可能な構
造とし、なお円筒部は、本来の円筒体でも、弾性帯板か
らなるものでもよく、また縦割された湾曲壁片からなる
もでもよく、第２の発明は、幅広スリットにより分割さ
れた円筒部湾曲壁片の下端が基底部に固着され、容器本
体の基底部はウエハ載置板とこれを着座させる基礎板か
ら構成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、円盤状の半導体ウ
エハを運搬あるいは保管するために使用される収納容器
に関する。
エハを運搬あるいは保管するために使用される収納容器
に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５の（ａ）は、従来例のウエハ収納容
器の一部切除された蓋体の斜視図、（ｂ）は、同例の、
ウエハが収納されていないときの蓋体を取り外した状態
の斜視図である。
器の一部切除された蓋体の斜視図、（ｂ）は、同例の、
ウエハが収納されていないときの蓋体を取り外した状態
の斜視図である。
【０００３】ウエハの運搬、保管に使用される容器とし
て特開平６ー６９３２８に記載のものが知られている。
この収納容器は、図５に示すように、円盤状のウエハを
多数重ねて収納可能な有底円筒状の容器本体４２と、容
器本体４２の円筒部外周を覆う筒部４５ａを有する蓋体
４５とで構成されている。
て特開平６ー６９３２８に記載のものが知られている。
この収納容器は、図５に示すように、円盤状のウエハを
多数重ねて収納可能な有底円筒状の容器本体４２と、容
器本体４２の円筒部外周を覆う筒部４５ａを有する蓋体
４５とで構成されている。
【０００４】容器本体４２には円筒部４４が立設されて
いる。蓋体４５は、外面が正四角柱状であり、内面が円
筒状となっている。この円筒状の部分すなわち筒部４５
ａは円筒部４４を覆う。そして蓋体４５の下端部は容器
本体４２の基底部分の極く一部を残して覆っている。容
器本体４２と蓋体４５の組み付け作業は、容器本体４２
の上から蓋体４５で覆い、相互に右方向に回転させ、円
筒部４４の凸部と筒部４５ａの凹部（ともに図示せ
ず。）とを係合させる方式による。
いる。蓋体４５は、外面が正四角柱状であり、内面が円
筒状となっている。この円筒状の部分すなわち筒部４５
ａは円筒部４４を覆う。そして蓋体４５の下端部は容器
本体４２の基底部分の極く一部を残して覆っている。容
器本体４２と蓋体４５の組み付け作業は、容器本体４２
の上から蓋体４５で覆い、相互に右方向に回転させ、円
筒部４４の凸部と筒部４５ａの凹部（ともに図示せ
ず。）とを係合させる方式による。
【０００５】この収納容器において、ウエハの収納ある
いは取り出しの方法は、蓋体４５を取り外した状態で、
真空吸着等の動作を伴うウエハ保持治具を容器上部また
はスリット４４ｇの隙間からウエハに密着させ、ウエハ
を保持し、垂直に持ち上げて行っている。
いは取り出しの方法は、蓋体４５を取り外した状態で、
真空吸着等の動作を伴うウエハ保持治具を容器上部また
はスリット４４ｇの隙間からウエハに密着させ、ウエハ
を保持し、垂直に持ち上げて行っている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前述の従来のウエハ収
納容器は、収納部を構成する円筒の下端が基底部に固着
されているので、ウエハは垂直に取り出さざるを得ない
という制約を受ける。またウエハ保持治具についても、
収納部の隙間に入るか、あるいはウエハを保持する平面
がウエハ取り出し方向に対して垂直になる必要があると
いう制約もある。また、このような作業を行うと、取り
出す時にウエハの周縁部が削られてごみを発生させる虞
れがある。なお、円筒部が数枚の曲面壁状に分かれてい
る場合、円筒部の周縁部の変形により、それらのトラブ
ルの起こる可能性が一層高い。
納容器は、収納部を構成する円筒の下端が基底部に固着
されているので、ウエハは垂直に取り出さざるを得ない
という制約を受ける。またウエハ保持治具についても、
収納部の隙間に入るか、あるいはウエハを保持する平面
がウエハ取り出し方向に対して垂直になる必要があると
いう制約もある。また、このような作業を行うと、取り
出す時にウエハの周縁部が削られてごみを発生させる虞
れがある。なお、円筒部が数枚の曲面壁状に分かれてい
る場合、円筒部の周縁部の変形により、それらのトラブ
ルの起こる可能性が一層高い。
【０００７】そこで、本発明の目的は、上述の問題点の
解消を狙い、構成体の一部を簡単に取り外すことができ
る構造とし、これによってウエハ取り出し時の危険性を
無くし、また作業方法の制約を無くした収納、取り出し
の操作の容易なウエハ収納容器を提供することである。
解消を狙い、構成体の一部を簡単に取り外すことができ
る構造とし、これによってウエハ取り出し時の危険性を
無くし、また作業方法の制約を無くした収納、取り出し
の操作の容易なウエハ収納容器を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】第一の本発明のウエハ収
納容器は、円盤状の半導体ウエハを多数枚重ねて収納す
ることが可能な有底円筒状の容器本体と、該容器本体の
円筒部外周を覆う筒部を有する蓋体とで構成された半導
体ウエハ収納容器において、容器本体の円筒部が基底部
から着脱可能であることを特徴としている。
納容器は、円盤状の半導体ウエハを多数枚重ねて収納す
ることが可能な有底円筒状の容器本体と、該容器本体の
円筒部外周を覆う筒部を有する蓋体とで構成された半導
体ウエハ収納容器において、容器本体の円筒部が基底部
から着脱可能であることを特徴としている。
【０００９】なお、容器本体の円筒部が弾性を有する帯
板からなるものであること、あるいは、容器本体の円筒
部が、縦割された複数枚の湾曲壁片からなるものである
ことも好ましい。
板からなるものであること、あるいは、容器本体の円筒
部が、縦割された複数枚の湾曲壁片からなるものである
ことも好ましい。
【００１０】第２の本発明のウエハ収納容器は、円盤状
の半導体ウエハを多数枚重ねて収納することが可能な有
底円筒状の容器本体と、該容器本体の円筒部外周を覆う
筒部を有する蓋体とで構成された半導体ウエハ収納容器
において、容器本体の円筒部は複数の縦方向の幅広スリ
ットにより複数の湾曲壁片に分割されており、湾曲壁片
はそれぞれの下端部が容器本体の基底部に固着されてお
り、容器本体の基底部は、複数枚のウエハを載置するウ
エハ載置板と、一部領域において複数枚の湾曲壁片を立
設しその他領域においてウエハ載置板を着座させる基礎
板とからなり、ウエハ載置板は、円筒部内側に位置する
円形部分と、該円形部分に連接しスリットのうちの少な
くとも一対の対向する地域を通り外側へ基礎板の端まで
延びる突設部分とが一体に形成されている、ことを特徴
としている。
の半導体ウエハを多数枚重ねて収納することが可能な有
底円筒状の容器本体と、該容器本体の円筒部外周を覆う
筒部を有する蓋体とで構成された半導体ウエハ収納容器
において、容器本体の円筒部は複数の縦方向の幅広スリ
ットにより複数の湾曲壁片に分割されており、湾曲壁片
はそれぞれの下端部が容器本体の基底部に固着されてお
り、容器本体の基底部は、複数枚のウエハを載置するウ
エハ載置板と、一部領域において複数枚の湾曲壁片を立
設しその他領域においてウエハ載置板を着座させる基礎
板とからなり、ウエハ載置板は、円筒部内側に位置する
円形部分と、該円形部分に連接しスリットのうちの少な
くとも一対の対向する地域を通り外側へ基礎板の端まで
延びる突設部分とが一体に形成されている、ことを特徴
としている。
【００１１】なお、基礎板は、ウエハ載置板を着座させ
る面がウエハ載置板の厚さ分だけ低く形成されているこ
とが好ましく、また、２対のスリットが円筒部軸心を通
る互いに垂直な２方向に形成され、その方向に４個の前
記突設部分が形成されていることも好ましい。
る面がウエハ載置板の厚さ分だけ低く形成されているこ
とが好ましく、また、２対のスリットが円筒部軸心を通
る互いに垂直な２方向に形成され、その方向に４個の前
記突設部分が形成されていることも好ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
【００１３】図１の（ａ）は、第１の本発明のウエハ収
納容器の一実施例の概略斜視図、（ｂ）は、（ａ）の一
部切除された蓋体の斜視図、（ｃ）は、ウエハを収納し
ていないときの（ａ）から蓋体を取り除いた状態の斜視
図、（ｄ）は、ウエハを収納しているときの（ａ）から
蓋体と円筒部とを取り除いた状態の斜視図である。
納容器の一実施例の概略斜視図、（ｂ）は、（ａ）の一
部切除された蓋体の斜視図、（ｃ）は、ウエハを収納し
ていないときの（ａ）から蓋体を取り除いた状態の斜視
図、（ｄ）は、ウエハを収納しているときの（ａ）から
蓋体と円筒部とを取り除いた状態の斜視図である。
【００１４】図１の（ａ），（ｂ），（ｃ）および
（ｄ）で明らかなように、円盤状ウエハを多数枚重ねて
収納するウエハ収納容器１は、外観が箱型であり、容器
本体２と蓋体５とで構成される。
（ｄ）で明らかなように、円盤状ウエハを多数枚重ねて
収納するウエハ収納容器１は、外観が箱型であり、容器
本体２と蓋体５とで構成される。
【００１５】容器本体２は、基底部３と円筒部４とから
なり、円筒部４は基底部３に対し容易に着脱可能であ
る。この着脱方式は差込み式であったり、円形ねじ溝３
ａ、あるいはスリット（不図示）等を設けて回転させる
方式であることもある。円筒部４にはウエハ８を出し入
れする際に空気の抜け道となる通気孔４ａが一定間隔で
かつ高さ位置をずらして設けられている。なお、この通
気孔４ａの代わりに通気用の溝としてもよろしい。
なり、円筒部４は基底部３に対し容易に着脱可能であ
る。この着脱方式は差込み式であったり、円形ねじ溝３
ａ、あるいはスリット（不図示）等を設けて回転させる
方式であることもある。円筒部４にはウエハ８を出し入
れする際に空気の抜け道となる通気孔４ａが一定間隔で
かつ高さ位置をずらして設けられている。なお、この通
気孔４ａの代わりに通気用の溝としてもよろしい。
【００１６】蓋体５は、内側面が円筒部４と摺動可能で
円筒部４を覆うように筒部５ａを形成し、頂板裏面には
容器本体２と固定されるように円筒部４の頂端部を係合
させるための円形溝５ｂが設けられている。これらによ
って構成全体の強度を高めている。
円筒部４を覆うように筒部５ａを形成し、頂板裏面には
容器本体２と固定されるように円筒部４の頂端部を係合
させるための円形溝５ｂが設けられている。これらによ
って構成全体の強度を高めている。
【００１７】次に、本実施例の動作について説明する。
【００１８】収納容器１から円盤状ウエハ８を取り出す
場合、先ず蓋体５を容器本体２から取外し、次に円筒部
４を基底部３から外す。こうすると、基底部３上には円
盤状ウエハ９およびウエハの間に挟んで収納時に発生す
る衝撃を抑える緩衝材のみが載っていることになる。
場合、先ず蓋体５を容器本体２から取外し、次に円筒部
４を基底部３から外す。こうすると、基底部３上には円
盤状ウエハ９およびウエハの間に挟んで収納時に発生す
る衝撃を抑える緩衝材のみが載っていることになる。
【００１９】この状態になると、ウエハ８を保持するた
めの保持具９の形状を選ぶ必要が無く、取り出し方向も
自由となる。また、円筒部４が取り除かれることによ
り、周縁部分にウエハを当てて破損させる可能性も全く
無くなる。次に、収納容器１に円盤状ウエハ８を収納す
る場合、円筒部４は取り外されている場合も、取り付け
られている場合もある。ウエハ収納を機会で自動的に行
う場合は、収納位置が精確で狂う虞れがないので取り外
して行われることが望ましいが、手動で行う場合はウエ
ハを収納する際の横方向のずれが生ずるので、円筒部４
が取り付けられていることが望ましい。なお、通気孔４
ａ（または溝）の大きさをウエハの大きさに応じて適度
に定めれば、収納する際にウエハを高い位置から落とし
ても、空気圧によってウエハ８はゆっくり下降するので
周縁部でのウエハ破損の生ずる危険性は無くなる。
めの保持具９の形状を選ぶ必要が無く、取り出し方向も
自由となる。また、円筒部４が取り除かれることによ
り、周縁部分にウエハを当てて破損させる可能性も全く
無くなる。次に、収納容器１に円盤状ウエハ８を収納す
る場合、円筒部４は取り外されている場合も、取り付け
られている場合もある。ウエハ収納を機会で自動的に行
う場合は、収納位置が精確で狂う虞れがないので取り外
して行われることが望ましいが、手動で行う場合はウエ
ハを収納する際の横方向のずれが生ずるので、円筒部４
が取り付けられていることが望ましい。なお、通気孔４
ａ（または溝）の大きさをウエハの大きさに応じて適度
に定めれば、収納する際にウエハを高い位置から落とし
ても、空気圧によってウエハ８はゆっくり下降するので
周縁部でのウエハ破損の生ずる危険性は無くなる。
【００２０】次に、第２の発明について説明する。
【００２１】図４の（ａ）は、第２の本発明のウエハ収
納容器の一実施例のうち、一部切除された蓋体の斜視
図、（ｂ）は、ウエハを収納していないときの蓋体を取
り除いた状態の斜視図、（ｃ）は、ウエハを収納した状
態の容器から蓋体を取り除いたのち基底部から取り外さ
れた、ウエハを載置しているウエハ載置板の斜視図であ
る。
納容器の一実施例のうち、一部切除された蓋体の斜視
図、（ｂ）は、ウエハを収納していないときの蓋体を取
り除いた状態の斜視図、（ｃ）は、ウエハを収納した状
態の容器から蓋体を取り除いたのち基底部から取り外さ
れた、ウエハを載置しているウエハ載置板の斜視図であ
る。
【００２２】本例についてウエハ収納容器全体の外観を
示す図は省略している。本容器は、容器本体３２と蓋体
３５とで構成されており、かつ外観も第１の発明のもの
と同様である。
示す図は省略している。本容器は、容器本体３２と蓋体
３５とで構成されており、かつ外観も第１の発明のもの
と同様である。
【００２３】容器本体３２の円筒部３４は４個の縦方向
の幅広スリット３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄにより
４枚の湾曲壁片に分割されており、湾曲壁片はそれぞれ
の下端部が容器本体３２の基底部３３の基礎板３３ａに
固着されている。
の幅広スリット３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄにより
４枚の湾曲壁片に分割されており、湾曲壁片はそれぞれ
の下端部が容器本体３２の基底部３３の基礎板３３ａに
固着されている。
【００２４】容器本体３２の基底部３３は、複数枚のウ
エハ３８を直接載置するウエハ載置板３３ｂと、ウエハ
載置板３３ｂを着座させる基礎板３３ａとからなってい
る。
エハ３８を直接載置するウエハ載置板３３ｂと、ウエハ
載置板３３ｂを着座させる基礎板３３ａとからなってい
る。
【００２５】基礎板３３ａ上には、保管すべきウエハ３
８の外径よりも僅かに外側の円周上に所定の間隔を置い
て湾曲壁片を立設させている。そして、基礎板３３ａ上
の、ウエハ載置板３３ｂを着座させる面はウエハ載置板
３３ｂの厚さ分だけ低く形成されている。
８の外径よりも僅かに外側の円周上に所定の間隔を置い
て湾曲壁片を立設させている。そして、基礎板３３ａ上
の、ウエハ載置板３３ｂを着座させる面はウエハ載置板
３３ｂの厚さ分だけ低く形成されている。
【００２６】ウエハ載置板３３ｂの形状は、円筒部３４
内側に位置する円形部分と、この円形部分に連接し互い
に垂直方向の２対のスリット３４ａと３４ｃおよび３４
ｂと３４ｄの地域を通り外側へ基礎板の端まで延びる４
個の突設部分とが一体に形成されたものである。
内側に位置する円形部分と、この円形部分に連接し互い
に垂直方向の２対のスリット３４ａと３４ｃおよび３４
ｂと３４ｄの地域を通り外側へ基礎板の端まで延びる４
個の突設部分とが一体に形成されたものである。
【００２７】次に、本発明の実施例の動作について説明
する。
する。
【００２８】収納容器から円盤状ウエハ３８を取り出す
場合、ウエハ載置板３３ｂを容器本体３２から取り外
す。このときウエハ載置板３３ｂ上には円盤状ウエハ３
８と緩衝材（不図示）が載っていることになるが、全て
一緒に取り出す。この状態になると、図１の容器と同じ
作業が可能となる。収納についても同様の作業が可能と
なる。
場合、ウエハ載置板３３ｂを容器本体３２から取り外
す。このときウエハ載置板３３ｂ上には円盤状ウエハ３
８と緩衝材（不図示）が載っていることになるが、全て
一緒に取り出す。この状態になると、図１の容器と同じ
作業が可能となる。収納についても同様の作業が可能と
なる。
【００２９】
【実施例】前述の第１の発明の第１の実施例において
は、円筒部４は基本的に円形であったが、着脱の利便を
考慮した構造を有する他の２つの実施例を示す。
は、円筒部４は基本的に円形であったが、着脱の利便を
考慮した構造を有する他の２つの実施例を示す。
【００３０】図２の（ａ）は、第２の実施例の円筒部用
弾性帯板の斜視図、（ｂ）は、（ａ）の帯板を湾曲させ
て形成された円筒部の斜視図である。
弾性帯板の斜視図、（ｂ）は、（ａ）の帯板を湾曲させ
て形成された円筒部の斜視図である。
【００３１】第２の実施例の帯板１４ａは、弾性材料で
できているので図の（ａ）の帯状から容易に（ｂ）の円
筒部１４を形成し得る。形成後の取扱は第１の実施例と
同様である。本例のメリットは、円筒部１４の使用前ま
たは取外し後の保管に好都合な点である。
できているので図の（ａ）の帯状から容易に（ｂ）の円
筒部１４を形成し得る。形成後の取扱は第１の実施例と
同様である。本例のメリットは、円筒部１４の使用前ま
たは取外し後の保管に好都合な点である。
【００３２】図３の（ａ）は、第３の実施例の円筒部用
壁片の斜視図、（ｂ）は、（ａ）の壁片を接合させて形
成された円筒部の斜視図である。
壁片の斜視図、（ｂ）は、（ａ）の壁片を接合させて形
成された円筒部の斜視図である。
【００３３】第３の実施例の壁片２４ａは、図示のよう
に４枚を接合させて円筒部２４を形成する構造である
が、壁片１枚ずつ個別に基底部に着脱するようにし得
る。本例のメリットは、ウエハの収納または取外しを行
う際に、壁片４枚中任意の枚数だけ取り外した状態でも
行うことができので、前述の破損の虞れのないとき作業
時間が短縮される点である。
に４枚を接合させて円筒部２４を形成する構造である
が、壁片１枚ずつ個別に基底部に着脱するようにし得
る。本例のメリットは、ウエハの収納または取外しを行
う際に、壁片４枚中任意の枚数だけ取り外した状態でも
行うことができので、前述の破損の虞れのないとき作業
時間が短縮される点である。
【００３４】
【発明の効果】以上述べたように本発明は、ウエハを出
し入れする際に、ウエハの周縁部と接触し易い円筒部を
取り外すことができる構造とする、または円筒部を基底
板に固着させ、基底板上にウエハ載置板を載置し、この
載置板を基底板から離昇させる構造とすることにより、
ウエハの破損を防ぐことができると同時に、円筒部自体
の接触時の損傷による塵の発生を防ぐことができ、かつ
ウエハを出し入れする際に、ウエハの周辺に障害が無く
なるので、ウエハ保持用治具の形状を自由に選択でき、
さらに作業方法の制約も少なくできる取扱い上の利点を
有するウエハ収納容器を提供できる効果がある。
し入れする際に、ウエハの周縁部と接触し易い円筒部を
取り外すことができる構造とする、または円筒部を基底
板に固着させ、基底板上にウエハ載置板を載置し、この
載置板を基底板から離昇させる構造とすることにより、
ウエハの破損を防ぐことができると同時に、円筒部自体
の接触時の損傷による塵の発生を防ぐことができ、かつ
ウエハを出し入れする際に、ウエハの周辺に障害が無く
なるので、ウエハ保持用治具の形状を自由に選択でき、
さらに作業方法の制約も少なくできる取扱い上の利点を
有するウエハ収納容器を提供できる効果がある。
【図１】（ａ）は、第１の本発明のウエハ収納容器の一
実施例の概略斜視図、（ｂ）は、（ａ）の一部切除され
た蓋体の斜視図、（ｃ）は、ウエハを収納していないと
きの（ａ）から蓋体を取り除いた状態の斜視図、（ｄ）
は、ウエハを収納しているときの（ａ）から蓋体と円筒
部とを取り除いた状態の斜視図である。
実施例の概略斜視図、（ｂ）は、（ａ）の一部切除され
た蓋体の斜視図、（ｃ）は、ウエハを収納していないと
きの（ａ）から蓋体を取り除いた状態の斜視図、（ｄ）
は、ウエハを収納しているときの（ａ）から蓋体と円筒
部とを取り除いた状態の斜視図である。
【図２】（ａ）は、第２の実施例の円筒部用弾性帯板の
斜視図、（ｂ）は、（ａ）の帯板を湾曲させて形成され
た円筒部の斜視図である。
斜視図、（ｂ）は、（ａ）の帯板を湾曲させて形成され
た円筒部の斜視図である。
【図３】（ａ）は、第３の実施例の円筒部用壁片の斜視
図、（ｂ）は、（ａ）の壁片を接合させて形成された円
筒部の斜視図である。
図、（ｂ）は、（ａ）の壁片を接合させて形成された円
筒部の斜視図である。
【図４】（ａ）は、第２の本発明のウエハ収納容器の一
実施例のうち、一部切除された蓋体の斜視図、（ｂ）
は、ウエハを収納していないときの蓋体を取り除いた状
態の斜視図、（ｃ）は、ウエハを収納した状態の容器か
ら蓋体を取り除いたのち基底部から取り外された、ウエ
ハを載置しているウエハ載置板の斜視図である。
実施例のうち、一部切除された蓋体の斜視図、（ｂ）
は、ウエハを収納していないときの蓋体を取り除いた状
態の斜視図、（ｃ）は、ウエハを収納した状態の容器か
ら蓋体を取り除いたのち基底部から取り外された、ウエ
ハを載置しているウエハ載置板の斜視図である。
【図５】（ａ）は、従来例のウエハ収納容器の一部切除
された蓋体の斜視図、（ｂ）は、同例の、ウエハが収納
されていないときの蓋体を取り外した状態の斜視図であ
る。
された蓋体の斜視図、（ｂ）は、同例の、ウエハが収納
されていないときの蓋体を取り外した状態の斜視図であ
る。
１ ウエハ収納容器 ２，３２，４２ 容器本体 ３，３３，４３ 基底部 ３ａ 円形ねじ溝 ４，１４，２４，３４，４４ 円筒部 ４ａ，１４ｂ，２４ｂ 通気孔 ５，３５，４５ 蓋体 ５ａ，３５ａ，４５ａ 筒部 ５ｂ，３５ｂ，４５ｂ 円形溝 ８，３８ 円盤状ウエハ ９ 保持治具 １４ａ 円筒部用帯板 ２４ａ 円筒部用壁片 ３６ ウエハ載置板 ３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄ，４４ａ スリット
Claims (6)
- 【請求項１】 円盤状の半導体ウエハを多数枚重ねて収
納することが可能な有底円筒状の容器本体と、該容器本
体の円筒部外周を覆う筒部を有する蓋体とで構成された
半導体ウエハ収納容器において、 前記容器本体の前記円筒部が基底部から着脱可能である
ことを特徴とするウエハ収納容器。 - 【請求項２】 前記容器本体の前記円筒部が弾性を有す
る帯板からなる、請求項１記載のウエハ収納容器。 - 【請求項３】 前記容器本体の前記円筒部が、縦割され
た複数枚の湾曲壁片からなる、請求項１記載のウエハ収
納容器。 - 【請求項４】 円盤状の半導体ウエハを多数枚重ねて収
納することが可能な有底円筒状の容器本体と、該容器本
体の円筒部外周を覆う筒部を有する蓋体とで構成された
半導体ウエハ収納容器において、 前記容器本体の前記円筒部は複数の縦方向の幅広スリッ
トにより複数の湾曲壁片に分割されており、前記湾曲壁
片はそれぞれの下端部が前記容器本体の基底部に固着さ
れており、 前記容器本体の基底部は、複数枚のウエハを載置するウ
エハ載置板と、一部領域において前記複数枚の湾曲壁片
を立設しその他領域において前記ウエハ載置板を着座さ
せる基礎板とからなり、 前記ウエハ載置板は、前記円筒部内側に位置する円形部
分と、該円形部分に連接し前記スリットのうちの少なく
とも一対の対向する地域を通り外側へ前記基礎板の端ま
で延びる突設部分とが一体に形成されている、 ことを特徴とするウエハ収納容器。 - 【請求項５】 前記基礎板は、前記ウエハ載置板を着座
させる面が前記ウエハ載置板の厚さ分だけ低く形成され
ている、請求項４記載のウエハ収納容器。 - 【請求項６】 ２対の前記スリットが前記円筒部軸心を
通る互いに垂直な２方向に形成され、その方向に４個の
前記突設部分が形成されている、請求項４記載のウエハ
収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23374795A JP2780682B2 (ja) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | ウエハ収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23374795A JP2780682B2 (ja) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | ウエハ収納容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0982792A true JPH0982792A (ja) | 1997-03-28 |
| JP2780682B2 JP2780682B2 (ja) | 1998-07-30 |
Family
ID=16959951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23374795A Expired - Lifetime JP2780682B2 (ja) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | ウエハ収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2780682B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002057209A (ja) * | 2000-06-01 | 2002-02-22 | Tokyo Electron Ltd | 枚葉式処理装置および枚葉式処理方法 |
| CN114793467A (zh) * | 2022-03-10 | 2022-07-26 | 英诺赛科(苏州)半导体有限公司 | 晶圆握持器及其操作方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0494736A (ja) * | 1990-08-10 | 1992-03-26 | Tokai Konetsu Kogyo Co Ltd | 窒化けい素結合炭化けい素質担体及びその製造方法 |
| JPH0669328A (ja) * | 1992-08-15 | 1994-03-11 | Achilles Corp | 半導体ウェーハ収納容器 |
| JPH06132391A (ja) * | 1992-10-21 | 1994-05-13 | Ebara Corp | ウェハ容器 |
-
1995
- 1995-09-12 JP JP23374795A patent/JP2780682B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH0494736A (ja) * | 1990-08-10 | 1992-03-26 | Tokai Konetsu Kogyo Co Ltd | 窒化けい素結合炭化けい素質担体及びその製造方法 |
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| CN114793467A (zh) * | 2022-03-10 | 2022-07-26 | 英诺赛科(苏州)半导体有限公司 | 晶圆握持器及其操作方法 |
| CN114793467B (zh) * | 2022-03-10 | 2024-01-23 | 英诺赛科(苏州)半导体有限公司 | 晶圆握持器及其操作方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2780682B2 (ja) | 1998-07-30 |
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