JP2780682B2 - ウエハ収納容器 - Google Patents
ウエハ収納容器Info
- Publication number
- JP2780682B2 JP2780682B2 JP23374795A JP23374795A JP2780682B2 JP 2780682 B2 JP2780682 B2 JP 2780682B2 JP 23374795 A JP23374795 A JP 23374795A JP 23374795 A JP23374795 A JP 23374795A JP 2780682 B2 JP2780682 B2 JP 2780682B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- container
- cylindrical portion
- mounting plate
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、円盤状の半導体ウ
エハを運搬あるいは保管するために使用される収納容器
に関する。
エハを運搬あるいは保管するために使用される収納容器
に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２の（ａ）は、従来例のウエハ収納容
器の一部切除された蓋体の斜視図、（ｂ）は、同例の、
ウエハが収納されていないときの蓋体を取り外した状態
の斜視図である。
器の一部切除された蓋体の斜視図、（ｂ）は、同例の、
ウエハが収納されていないときの蓋体を取り外した状態
の斜視図である。
【０００３】ウエハの運搬、保管に使用される容器とし
て特開平６ー６９３２８に記載のものが知られている。
この収納容器は、図５に示すように、円盤状のウエハを
多数重ねて収納可能な有底円筒状の容器本体４２と、容
器本体４２の円筒部外周を覆う筒部４５ａを有する蓋体
４５とで構成されている。
て特開平６ー６９３２８に記載のものが知られている。
この収納容器は、図５に示すように、円盤状のウエハを
多数重ねて収納可能な有底円筒状の容器本体４２と、容
器本体４２の円筒部外周を覆う筒部４５ａを有する蓋体
４５とで構成されている。
【０００４】容器本体４２には円筒部４４が立設されて
いる。蓋体４５は、外面が正四角柱状であり、内面が円
筒状となっている。この円筒状の部分すなわち筒部４５
ａは円筒部４４を覆う。そして蓋体４５の下端部は容器
本体４２の基底部分の極く一部を残して覆っている。容
器本体４２と蓋体４５の組み付け作業は、容器本体４２
の上から蓋体４５で覆い、相互に右方向に回転させ、円
筒部４４の凸部と筒部４５ａの凹部（ともに図示せ
ず。）とを係合させる方式による。
いる。蓋体４５は、外面が正四角柱状であり、内面が円
筒状となっている。この円筒状の部分すなわち筒部４５
ａは円筒部４４を覆う。そして蓋体４５の下端部は容器
本体４２の基底部分の極く一部を残して覆っている。容
器本体４２と蓋体４５の組み付け作業は、容器本体４２
の上から蓋体４５で覆い、相互に右方向に回転させ、円
筒部４４の凸部と筒部４５ａの凹部（ともに図示せ
ず。）とを係合させる方式による。
【０００５】この収納容器において、ウエハの収納ある
いは取り出しの方法は、蓋体４５を取り外した状態で、
真空吸着等の動作を伴うウエハ保持治具を容器上部また
はスリット４４ｇの隙間からウエハに密着させ、ウエハ
を保持し、垂直に持ち上げて行っている。
いは取り出しの方法は、蓋体４５を取り外した状態で、
真空吸着等の動作を伴うウエハ保持治具を容器上部また
はスリット４４ｇの隙間からウエハに密着させ、ウエハ
を保持し、垂直に持ち上げて行っている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前述の従来のウエハ収
納容器は、収納部を構成する円筒の下端が基底部に固着
されているので、ウエハは垂直に取り出さざるを得ない
という制約を受ける。またウエハ保持治具についても、
収納部の隙間に入るか、あるいはウエハを保持する平面
がウエハ取り出し方向に対して垂直になる必要があると
いう制約もある。また、このような作業を行うと、取り
出す時にウエハの周縁部が削られてごみを発生させる虞
れがある。なお、円筒部が数枚の曲面壁状に分かれてい
る場合、円筒部の周縁部の変形により、それらのトラブ
ルの起こる可能性が一層高い。
納容器は、収納部を構成する円筒の下端が基底部に固着
されているので、ウエハは垂直に取り出さざるを得ない
という制約を受ける。またウエハ保持治具についても、
収納部の隙間に入るか、あるいはウエハを保持する平面
がウエハ取り出し方向に対して垂直になる必要があると
いう制約もある。また、このような作業を行うと、取り
出す時にウエハの周縁部が削られてごみを発生させる虞
れがある。なお、円筒部が数枚の曲面壁状に分かれてい
る場合、円筒部の周縁部の変形により、それらのトラブ
ルの起こる可能性が一層高い。
【０００７】そこで、本発明の目的は、上述の問題点の
解消を狙い、構成体の一部を簡単に取り外すことができ
る構造とし、これによってウエハ取り出し時の危険性を
無くし、また作業方法の制約を無くした収納、取り出し
の操作の容易なウエハ収納容器を提供することである。
解消を狙い、構成体の一部を簡単に取り外すことができ
る構造とし、これによってウエハ取り出し時の危険性を
無くし、また作業方法の制約を無くした収納、取り出し
の操作の容易なウエハ収納容器を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明のウエハ収納容器
は、円盤状の半導体ウエハを多数枚重ねて収納すること
が可能な有底円筒状の容器本体と、該容器本体の円筒部
外周を覆う筒部を有する蓋体とで構成された半導体ウエ
ハ収納容器において、容器本体の円筒部は複数の縦方向
の幅広スリットにより複数の湾曲壁片に分割されてお
り、湾曲壁片は、それぞれの下端部が容器本体の基底部
に固着されており、容器本体の基底部は、複数枚のウエ
ハを載置するウエハ載置板と、一部領域において複数枚
の湾曲壁片を立設しその他領域においてウエハ載置板を
着座させる基礎板とからなり、ウエハ載置板は、基底部
から着脱可能であり、円筒部内側に位置する円形部分
と、該円形部分に連接しスリットのうちの少なくとも一
対の対向する地域を通り外側へ基礎板の端まで延びる突
設部分とが一体に形成されている、ことを特徴としてい
る。
は、円盤状の半導体ウエハを多数枚重ねて収納すること
が可能な有底円筒状の容器本体と、該容器本体の円筒部
外周を覆う筒部を有する蓋体とで構成された半導体ウエ
ハ収納容器において、容器本体の円筒部は複数の縦方向
の幅広スリットにより複数の湾曲壁片に分割されてお
り、湾曲壁片は、それぞれの下端部が容器本体の基底部
に固着されており、容器本体の基底部は、複数枚のウエ
ハを載置するウエハ載置板と、一部領域において複数枚
の湾曲壁片を立設しその他領域においてウエハ載置板を
着座させる基礎板とからなり、ウエハ載置板は、基底部
から着脱可能であり、円筒部内側に位置する円形部分
と、該円形部分に連接しスリットのうちの少なくとも一
対の対向する地域を通り外側へ基礎板の端まで延びる突
設部分とが一体に形成されている、ことを特徴としてい
る。
【０００９】なお、基礎板は、ウエハ載置板を着座させ
る面がウエハ載置板の厚さ分だけ低く形成されているこ
とが好ましく、また、２対のスリットが円筒部軸心を通
る互いに垂直な２方向に形成され、その方向に４個の前
記突設部分が形成されていることも好ましい。
る面がウエハ載置板の厚さ分だけ低く形成されているこ
とが好ましく、また、２対のスリットが円筒部軸心を通
る互いに垂直な２方向に形成され、その方向に４個の前
記突設部分が形成されていることも好ましい。
【００１０】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
【００１１】図１の（ａ）は、本発明のウエハ収納容器
の一実施例のうち、一部切除された蓋体の斜視図、
（ｂ）は、ウエハを収納していないときの蓋体を取り除
いた状態の斜視図、（ｃ）は、ウエハを収納した状態の
容器から蓋体を取り除いたのち基底部から取り外され
た、ウエハを載置しているウエハ載置板の斜視図であ
る。
の一実施例のうち、一部切除された蓋体の斜視図、
（ｂ）は、ウエハを収納していないときの蓋体を取り除
いた状態の斜視図、（ｃ）は、ウエハを収納した状態の
容器から蓋体を取り除いたのち基底部から取り外され
た、ウエハを載置しているウエハ載置板の斜視図であ
る。
【００１２】本例についてウエハ収納容器全体の外観を
示す図は省略している。本容器は、容器本体３２と蓋体
３５とで構成されており、かつ外観も前述の参考例１の
ものと同様である。
示す図は省略している。本容器は、容器本体３２と蓋体
３５とで構成されており、かつ外観も前述の参考例１の
ものと同様である。
【００１３】容器本体３２の円筒部３４は４個の縦方向
の幅広スリット３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄにより
４枚の湾曲壁片に分割されており、湾曲壁片はそれぞれ
の下端部が容器本体３２の基底部３３の基礎板３３ａに
固着されている。
の幅広スリット３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄにより
４枚の湾曲壁片に分割されており、湾曲壁片はそれぞれ
の下端部が容器本体３２の基底部３３の基礎板３３ａに
固着されている。
【００１４】容器本体３２の基底部３３は、複数枚のウ
エハ３８を直接載置するウエハ載置板３３ｂと、ウエハ
載置板３３ｂを着座させる基礎板３３ａとからなってい
る。
エハ３８を直接載置するウエハ載置板３３ｂと、ウエハ
載置板３３ｂを着座させる基礎板３３ａとからなってい
る。
【００１５】基礎板３３ａ上には、保管すべきウエハ３
８の外径よりも僅かに外側の円周上に所定の間隔を置い
て湾曲壁片を立設させている。そして、基礎板３３ａ上
の、ウエハ載置板３３ｂを着座させる面はウエハ載置板
３３ｂの厚さ分だけ低く形成されている。
８の外径よりも僅かに外側の円周上に所定の間隔を置い
て湾曲壁片を立設させている。そして、基礎板３３ａ上
の、ウエハ載置板３３ｂを着座させる面はウエハ載置板
３３ｂの厚さ分だけ低く形成されている。
【００１６】ウエハ載置板３３ｂの形状は、円筒部３４
内側に位置する円形部分と、この円形部分に連接し互い
に垂直方向の２対のスリット３４ａと３４ｃおよび３４
ｂと３４ｄの地域を通り外側へ基礎板の端まで延びる４
個の突設部分とが一体に形成されたものである。
内側に位置する円形部分と、この円形部分に連接し互い
に垂直方向の２対のスリット３４ａと３４ｃおよび３４
ｂと３４ｄの地域を通り外側へ基礎板の端まで延びる４
個の突設部分とが一体に形成されたものである。
【００１７】 次に、本実施例の動作について説明する。
【００１８】 収納容器から円盤状ウエハ３８を取り出す
場合、ウエハ載置板３３ｂを容器本体３２から取り外
す。このときウエハ載置板３３ｂ上には円盤状ウエハ３
８と緩衝材（不図示）が載っていることになるが、全て
一緒に取り出す。収納についても同様の作業が可能とな
る。図１（ｂ）で明らかなように、２組の突設部分がそ
れぞれのスリットに沿って垂直に上下するので、円筒部
壁片に対するウエハの接触の虞がなく、したがって、そ
れによる損傷や粉塵による汚染が起こる虞がない。
場合、ウエハ載置板３３ｂを容器本体３２から取り外
す。このときウエハ載置板３３ｂ上には円盤状ウエハ３
８と緩衝材（不図示）が載っていることになるが、全て
一緒に取り出す。収納についても同様の作業が可能とな
る。図１（ｂ）で明らかなように、２組の突設部分がそ
れぞれのスリットに沿って垂直に上下するので、円筒部
壁片に対するウエハの接触の虞がなく、したがって、そ
れによる損傷や粉塵による汚染が起こる虞がない。
【００１９】
【発明の効果】以上述べたように本発明は、円筒部を基
底板に固着させ、基底板上にウエハ載置板を載置し、ウ
エハを出し入れする際に、突設部分を用いてこの載置板
を基底板から垂直に離昇させる構造とすることにより、
ウエハの破損を防ぐことができると同時に、円筒部自体
の接触時の損傷による塵の発生を防ぐことができ、延い
ては作業方法の制約も少なくできる取扱い上の利点を有
するウエハ収納容器を提供できる効果がある。
底板に固着させ、基底板上にウエハ載置板を載置し、ウ
エハを出し入れする際に、突設部分を用いてこの載置板
を基底板から垂直に離昇させる構造とすることにより、
ウエハの破損を防ぐことができると同時に、円筒部自体
の接触時の損傷による塵の発生を防ぐことができ、延い
ては作業方法の制約も少なくできる取扱い上の利点を有
するウエハ収納容器を提供できる効果がある。
【図１】（ａ）は、本発明のウエハ収納容器の一実施例
のうち、一部切除された蓋体の斜視図、（ｂ）は、ウエ
ハを収納していないときの蓋体を取り除いた状態の斜視
図、（ｃ）は、ウエハを収納した状態の容器から蓋体を
取り除いたのち基底部から取り外された、ウエハを載置
しているウエハ載置板の斜視図である。
のうち、一部切除された蓋体の斜視図、（ｂ）は、ウエ
ハを収納していないときの蓋体を取り除いた状態の斜視
図、（ｃ）は、ウエハを収納した状態の容器から蓋体を
取り除いたのち基底部から取り外された、ウエハを載置
しているウエハ載置板の斜視図である。
【図２】（ａ）は、従来例のウエハ収納容器の一部切除
された蓋体の斜視図、（ｂ）は、同例の、ウエハが収納
されていないときの蓋体を取り外した状態の斜視図であ
る。
された蓋体の斜視図、（ｂ）は、同例の、ウエハが収納
されていないときの蓋体を取り外した状態の斜視図であ
る。
３２，４２ 容器本体 ３３，４３ 基底部 ３４，４４ 円筒部 ３５，４５ 蓋体 ３５ａ，４５ａ 筒部 ３５ｂ，４５ｂ 円形溝 ３８ 円盤状ウエハ ３６ ウエハ載置板 ３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄ，４４ａ スリット
Claims (3)
- 【請求項１】 円盤状の半導体ウエハを多数枚重ねて収
納することが可能な有底円筒状の容器本体と、該容器本
体の円筒部外周を覆う筒部を有する蓋体とで構成された
半導体ウエハ収納容器において、 前記容器本体の前記円筒部は複数の縦方向の幅広スリッ
トにより複数の湾曲壁片に分割されており、前記湾曲壁
片はそれぞれの下端部が前記容器本体の基底部に固着さ
れており、 前記容器本体の基底部は、複数枚のウエハを載置するウ
エハ載置板と、一部領域において前記複数枚の湾曲壁片
を立設しその他領域において前記ウエハ載置板を着座さ
せる基礎板とからなり、 前記ウエハ載置板は、前記基底部から着脱可能であり、
前記円筒部内側に位置する円形部分と、該円形部分に連
接し前記スリットのうちの少なくとも一対の対向する地
域を通り外側へ前記基礎板の端まで延びる突設部分とが
一体に形成されている、 ことを特徴とするウエハ収納容器。 - 【請求項２】 前記基礎板は、前記ウエハ載置板を着座
させる面が前記ウエハ載置板の厚さ分だけ低く形成され
ている、請求項１記載のウエハ収納容器。 - 【請求項３】 ２対の前記スリットが前記円筒部軸心を
通る互いに垂直な２方向に形成され、その方向に４個の
前記突設部分が形成されている、請求項１記載のウエハ
収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23374795A JP2780682B2 (ja) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | ウエハ収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23374795A JP2780682B2 (ja) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | ウエハ収納容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0982792A JPH0982792A (ja) | 1997-03-28 |
| JP2780682B2 true JP2780682B2 (ja) | 1998-07-30 |
Family
ID=16959951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23374795A Expired - Lifetime JP2780682B2 (ja) | 1995-09-12 | 1995-09-12 | ウエハ収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2780682B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002057209A (ja) * | 2000-06-01 | 2002-02-22 | Tokyo Electron Ltd | 枚葉式処理装置および枚葉式処理方法 |
| WO2023168663A1 (en) * | 2022-03-10 | 2023-09-14 | Innoscience (suzhou) Semiconductor Co., Ltd. | Wafer holder and operating method thereof |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0494736A (ja) * | 1990-08-10 | 1992-03-26 | Tokai Konetsu Kogyo Co Ltd | 窒化けい素結合炭化けい素質担体及びその製造方法 |
| JPH0669328A (ja) * | 1992-08-15 | 1994-03-11 | Achilles Corp | 半導体ウェーハ収納容器 |
| JPH06132391A (ja) * | 1992-10-21 | 1994-05-13 | Ebara Corp | ウェハ容器 |
-
1995
- 1995-09-12 JP JP23374795A patent/JP2780682B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0494736A (ja) * | 1990-08-10 | 1992-03-26 | Tokai Konetsu Kogyo Co Ltd | 窒化けい素結合炭化けい素質担体及びその製造方法 |
| JPH0669328A (ja) * | 1992-08-15 | 1994-03-11 | Achilles Corp | 半導体ウェーハ収納容器 |
| JPH06132391A (ja) * | 1992-10-21 | 1994-05-13 | Ebara Corp | ウェハ容器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0982792A (ja) | 1997-03-28 |
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