JPH04106953A - 基板収納用カセット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、半導体ウェハなどの円形ないし略円形の基板
に各種処理を施す工程中で一時的に基板を収納待機させ
たり、あるいは、工程間の基板運搬等に用いる基板収納
用カセットに関する。

〈従来の技術〉 一般に基板収納用力セントは、基板を載置するための張
り出し部位が上下方向に複数段にわたって形成された側
壁部材を対向配置し、各々対向する張り出し部位の基板
載置面に基板を受は止め支持させるようになっている。

第６図は従来の基板収納用力セントの一部を横断した平
面図、また、第７図はその一部の正面図を示している。

対向配置された側壁部材２の内面には、それぞれ基板搭
載用の張り出し部位５が上下方向に等間隔に複数段形成
されており、その基板［１面Ｓは、基板Ｗの裏面との接
触面積を少なくして基板の裏面汚損を回避するために先
下がり傾斜面に形成されている。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、上述した従来の基板収納用カセットには
、次のような問題点がある。

すなわち、従来の基板収納用カセットにおいては、基板
Ｗの対向部位において下面エツジが基板載置面Ｓに点接
触して２点Ｐで支持されることになる。このため、基板
Ｗの受渡し時等において、この２点Ｐを結ふ線りを中心
にして基板Ｗが振動しやすく、しかも、−度振動が発生
すると減衰に時間がかかり、基板下面の工ンヂが破損し
てパーティクルが発生し、これが下段の基板の表面を汚
染するという問題点がある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、支持された基板の振動を抑制し、パーティクルの発
生を防止して他の基板の表面汚損を未然に回避すること
ができる基板収納用カセットを提供することを目的とす
る。

〈課題を解決するための手段〉 上記目的を達成するため本発明は次のような構成を採る
。

すなわち、本発明は、基板を載置するための張り出し部
位が上下方向に複数段にわたって形成された側壁部材を
対向配置し、前記各張り出し部位の基板載置面を先下が
り傾斜面に形成した基板収納用カセットにおいて、 前記側壁部材の横方向中央に最上段の張り出し部位から
最下段の張り出し部位に及ぶ緬に長い開口を設け、各張
り出し部位を分断したものである。

〈作用〉 本発明によると、各側壁部材の横方向中央に最上段の張
り出し部位から最下段の張り出し部位に及ぶ縦に長い開
口を設けて、各張り出し部位を分断したため、基板１枚
あたり、４つの張り出し部位が、基板の下面を支持し得
る状態にある。

このため、基板は、対向する両側壁の張り出し部位間に
挿入されて基板載置面上に載置されると、対向する側壁
の少なくとも一方の側壁の側では、基板下面が２箇所で
載置されるので、必ず３点または４点で支持されること
となり、２点で支持されるのと違って、振動することが
ないいなお、前記説明にて、「少なくとも一方の側壁の
側」と条件を付けたのは、基板のオリエンテーションフ
ラットと外周円弧部との境目が、張り出し部位の分断箇
所に位置した場合、そちら側の側壁では１点でしか基板
を支持しない場合もありうるため、かかる場合も考慮す
ると、基板下面を２箇所で載１すると確定できるのは１
少なくとも一方の側壁の側」であるからに他ならない。

〈実施例〉 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。

第１図は本実施例に係る基板収納用カセットｌの一部を
切欠いた外観斜視回、また、第２図はその横断平面図、
更に第３図は第２図におけるＡ−Ａ線での断面図である
。

この基板収納用カセット１は、左右一対の側壁部材２と
、これの上端間をつなぐ連結板３、および側壁部材２の
下部の前後中間部において架設された連結棒４とから構
成されている。

各側壁部材２の対向する内面には上下複数段にわたって
張り出し部位５が突設され、各張り出し部位５の上面が
基板載置面Ｓとして先下がり状態に形成されている。そ
して、前記各張り出し部位５を含む側壁部材２の中央部
に切欠き６が上下方向に形成されている。

このように形成された基板収納用カセット１に基板Ｗを
挿入支持させると、第２図に示すように、基板Ｗの対向
部位が切欠き６の形成部位に位置し、基板下面のエンジ
と先下がり傾斜した切欠き６の前後側縁とがそれぞれ点
Ｐで接触することになり、基板Ｗの対向部位がそれぞれ
切欠き６の幅ｌに相当する間隔をもって２点支持され、
全体として基板Ｗは４点支持状態で安定よく搭載支持さ
れる。

なお、基板ＷにオリエンテーションフラットＯＦが形成
されている場合、このオリエンテーションフラットＯＦ
が切欠き６を斜めに横切るように基板Ｗが配置されると
、オリエンテーションフラン）ＯＦ側の基板載置面で一
点支持状態になることもあるが、これと対向する基板載
置面Ｓでは２点支持が得られる。従って、基板Ｗは振動
しにくい３点、あるいは４点支持で搭載支持されること
になる。

第４図及び第５図はこの基板収納用カセット１の使用例
が示されている。

この場合の基板収納用カセット１は、各種のプロセス装
置間で基板Ｗを一時的に収納保管するために用いられる
ものであり、昇降フレーム１０の上端に連結される。

昇降フレーム１０の上端には左右一対の位置決めブロッ
ク１１が備えられていて、このブロック１１の上面に形
成した凹溝１２に基板収納用カセットｌの下部に形成さ
れた連結棒４を係入することで基板収納用力セント１の
位置決めがなされる。

昇降フレーム１０の下端には可動ブロック１３が連結さ
れていて、この可動ブロック１３が矩形中抜きの固定フ
レーム１４に立設した前後一対のガイＦ軸１５に沿って
具陳自在に支持されるとともに、固定フレーム１４に立
設支持されたねし軸１６に可動ブロック１３が螺合連結
され、ねし軸１６の正逆転によって可動ブロック１３が
昇降され、これによって昇降フレーム１０が昇降される
ようになっている。

なお、図中の符号１７はねじ軸駆動用のモータ、１８は
モータ１７とネジ軸１６とを巻掛伝動するベルト、１９
はねし軸１６の回転角からカセット昇降量を制御する検
出部であり、検知用ロータ２０がヘルド２１を介してね
し軸１６に連動連結されている。

なお、基板収納カセット１内の基板の有無の検出は、基
板収容力セントを挟むように、光センサの発光部と受光
部を配置して、基板が収容されていれば水平より若干傾
けられた光軸が、基板によって遮光される手法が用いら
れる。かかる手法を実施するに際して、本発明に係る基
板収納カセットでは、側壁に開口を設けているため、光
軸を、基板収納力セントの側壁とほぼ直交する方向に向
けることが可能であり、側壁と平行な方向に向けること
を要しない。このため、光軸が、側壁と平行な方向に向
ける場合では、センサを設置する場所が、基板収納カセ
ットからの基板の出し入れに支障を生しない位置にする
等の不都合を強い゛られていたが、本発明に係る基板収
納カセットでは、側壁とほぼ直交する方向に向けること
が可能であるから、そのような不都合はない。

なお、上述の実施例では、基板収納用カセットをプロセ
ス装置間の、いわゆるバッファ機構に適用した例につい
て説明したが、本発明に係る基板収納用カセットは種々
の基板処理装置に適用したり、あるいは、プロセス装置
間の基板搬送用にも通用することができる。

〈発明の効果〉 以上説明したように、本発明によれば、基板搭載用の張
り出し部位が多段に形成された側壁部材の中央部に上下
方向に切欠きを形成したので、基板を３点、あるいは４
点で基板載置面に支持することができ、その結果、基板
受は渡し時に基板が振動することがほとんどなくなり、
この振動に起因するパーティクルの発生を抑えて、他の
基板の表面汚損を未然に回避することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はないし第３図は本発明に係る基板収納用カセッ
トの一実施例を示し、第１図は一部を切欠いた全体の外
観斜視図、第２図は横断平面図、第３図は第２図におけ
るＡ−Ａ線断面図である。 また、第４図及び第５図は基板収納用カセットの一使用
例を示し、第４図では正面図、第５図は側面図である。 第６図および第７図は従来例を示し、第６図は横断平面
図、第７図は一部の拡大正面図である。 １・・・基板収納用カ七ント ２・・・側壁部材 ５・・・張り出し部位 ６・・・切欠き（開口） Ｓ・・・基板載置面 Ｗ・・・基板 出願人　大日本スクリーン製造株式会社代理人　弁理士
　　杉　　谷　　　勉 第４図 第５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板を載置するための張り出し部位が上下方向に
   複数段にわたって形成された側壁部材を対向配置し、前
   記各張り出し部位の基板載置面を先下がり傾斜面に形成
   した基板収納用カセットにおいて、 前記側壁部材の横方向中央に最上段の張り出し部位から
   最下段の張り出し部位に及ぶ縦に長い開口を設け、各張
   り出し部位を分断することを特徴とする基板収納用カセ
   ット。