KR0161624B1 - 반도체 웨이퍼 로딩 및 언로딩 장치용 엘리베이터 - Google Patents
반도체 웨이퍼 로딩 및 언로딩 장치용 엘리베이터 Download PDFInfo
- Publication number
- KR0161624B1 KR0161624B1 KR1019950040541A KR19950040541A KR0161624B1 KR 0161624 B1 KR0161624 B1 KR 0161624B1 KR 1019950040541 A KR1019950040541 A KR 1019950040541A KR 19950040541 A KR19950040541 A KR 19950040541A KR 0161624 B1 KR0161624 B1 KR 0161624B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- cassette
- elevator
- base plate
- wafer
- contact
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68742—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a lifting arrangement, e.g. lift pins
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
본 발명은 웨이퍼를 적재한 카세트가 놓여지는 베이스 플레이트와, 이 베이스 플레이트가 소정거리 승,하강하도록 하는 리드 스크류로 구성된 반도체 웨이퍼 로딩 및 언로딩 장치용 엘리베이터에 관한 것으로, 상기 웨이퍼의 일측면에 돌출된 H 바의 수평 바와 대응하는 베이스 플레이트상에 적어도 수평 바보다 큰 면적의 홈을 형성하여 베이스 플레이트상에 양측의 수직 바만 접촉되어 카세트가 놓여지도록 구성된 것이다.
따라서 카세트가 베이스 플레이트상에 기울어지거나 흔들림없이 안정적으로 놓여지게 되므로 카세트내에 적재된 웨이퍼가 수평상태를 유지할 수 있는 것이고, 엘리베이터의 승,하강시 카세트의 흔들림이 없게 되는 것이며, 이로써 픽아암이 웨이퍼와 접촉되지 않고 정확하게 핸들링될 수 있어 웨이퍼와의 접촉으로 인한 손상이 방지되는 효과가 있다.
Description
제1도는 일반적인 카세트의 구조를 나타낸 평면도이다.
제2도는 종래의 엘리베이터의 베이스 플레이트상에 카세트가 놓여진 상태를 나타낸 정면도이다.
제3도는 본 발명에 따른 엘리베이터의 베이스 플레이트상에 카세트가 놓여진 상태를 나타낸 정면도이다.
제4도는 본 발명에 따른 엘리베이터의 사시도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
4 : 카세트 5 : 웨이퍼
6 : 수직 바 7 : 수평 바
10 : 엘리베이터 11 : 베이스 플레이트
11a : 홈 12 : 리드 스크류
본 발명은 반도체 웨이퍼 로딩 및 언로딩 장치용 엘리베이터(Elevator)에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 카세트에 적재되어 있는 웨이퍼를 한 장씩 꺼내어 공정 챔버내에 로딩 및 언로딩시키는 장치에서 상기 카세트가 놓여지는 엘리베이터에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 웨이퍼 로딩 및 언로딩 장치는 픽 아암(Pick Arm)이 엘리베이터의 베이스 플레이트상에 놓여진 카세트로부터 웨이퍼를 한 장씩 꺼내어 공정 챔버 내부로 로딩(Loading)시켜 공정을 수행할 수 있도록 하고, 공정이 끝난 웨이퍼를 공정 챔버로부터 꺼내어 다시 카세트에 언로딩(Unloading)시키는 것이다.
이때 상기 카세트가 놓여지는 턴테이블은 제2도에 도시된 바와 같이 베이스 플레이트(1)와, 리드 스크류(Lead Screw)(2)로 구성되어 픽 아암(3)이 카세트(4)내에 적재된 웨이퍼(5)의 사이로 삽입되면, 소정거리 하강하여 웨이퍼(5)가 픽 아암(3)상에 안착될 수 있도록 함으로써 웨이퍼 로딩이 이루어지게 하고, 웨이퍼(5)를 카세트(4)에 다시 적재시킬 때에는 소정거리 상승하여 픽 아암(3)으로부터 웨이퍼(5)가 이탈되도록 함으로써 언로딩이 이루어지게 하는 것이다.
따라서 픽 아암(3)이 카세트(4)에 적재된 웨이퍼(5) 사이로 이동하는 것이므로 적재된 웨이퍼(5)의 수평상태가 정확하게 유지되어야 한다. 그러나 종래에는 엘리베이터의 베이스 플레이트(1)상에 놓여지는 카세트(4)가 불안정하게 놓여져 한 쪽으로 미세하게 기울어지는 것에 의해 웨이퍼(5)의 수평상태가 이루어지지 않는 문제점이 발생하였다.
즉 제1도에 도시된 바와 같이 엘리베이터의 베이스 플레이트(1)상에 놓여지는 카세트(4)의 일측면에 2개의 수직 바(6)와 1개의 수평 바(7)로 이루어진 H 형상의 바(Bar)가 돌출되어 있고, 이 H 형상의 바가 베이스 플레이트(1)의 상면에 접촉되었던 것으로, 양측의 수직 바(6)는 구조상 돌출길이가 일정하나 수평 바(7)는 구조적으로 취약하여 변형되기가 쉽다.
이와 같이 수평 바(7)의 변형에 의해 양측의 수직 바(6)보다 더 돌출되는 현상이 발생되면, 제2도에 도시된 바와 같이 카세트(4)의 놓여진 상태가 불안정하여 카세트가 소정각도(θ) 기울어지게 됨으로서 적재된 웨이퍼(5)가 수평을 유지할 수 없게 되고, 또한 카세트(4)가 쉽게 흔들리게 된다. 따라서 픽 아암(3)이 웨이어 핸들링(Handling)시 웨이퍼(5)와 접촉되어 손상을 웨이퍼에 입히게 되고, 엘리베이터의 승,하강 동작시 카세트(4)가 혼들리게 되어 웨이퍼(5)가 픽 아암(3)상에 정확하게 핸들링되지 않아 로딩동작중 떨어질 염려가 있으며, 다음 공정의 진행시 또 다른 손상을 유발할 수 있는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은, 엘리베이터의 베이스 플레이트상에 놓이는 카세트가 기울어지거나 흔들리지 않도록 하여 픽 아암의 웨이퍼 로딩 및 언로딩시 웨이퍼와 접촉되어 웨이퍼가 손상되는 것을 방지할 수 있고, 엘리베이터의 승,하강 동작시 흔들림이 없도록 하여 픽 아암이 웨이퍼를 정확하게 핸들링할 수 있는 반도체 웨이퍼 로딩 및 언로딩 장치용 엘리베이터를 제공하는 데 있다.
상기의 목적은 웨이퍼를 적재한 카세트가 놓여지는 베이스 플레이트와, 이 베이스 플레이트가 소정거리 승,하강하도록 하는 리드 스크류로 구성된 반도체 웨이퍼 로딩 및 언로딩 장치용 엘리베이터에 있어서, 상기 카세트의 일측면에 돌출된 H 형상의 바중 수평 바와 대응하는 베이스 플레이트상에 적어도 수평 바보다 큰 면적을 갖는 장방형의 홈을 형성하여 베이스 플레이트상에 양측의 수직 바만 접촉되어 카세트가 놓여지도록 구성됨을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 로딩 및 언로딩 장치용 엘리베이터에 의해 달성될 수 있다. 이때 상기 장방형의 홈은 0.3~0.5㎜의 깊이로 형성하는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 로딩 및 언로딩 장치용 엘리베이터를 첨부도면에 의하여 상세하게 설명한다.
제3도는 본 발명에 따른 엘리베이터에 통상의 카세트가 놓여진 상태의 도면이고, 제4도는 본 발명에 따른 엘리베이터를 나타낸 사시도로서, 엘리베이터(10)는 통상의 카세트(4)가 놓여지는 베이스 플레이트(11)와 이 베이스 플레이트(11)를 소정거리 승,하강시키는 리드 스크류(12)로 구성된다.
이때 상기 베이스 플레이트(11)의 상면에는 장방형의 홈(11a)이 형성된 것으로, 이 홈(11a)은 카세트(4)의 일측면에 구비된 H 형상의 바중 수평 바(7)와 대응하는 위치에 약 0.3~0.5㎜의 깊이로 형성하고, 바람직하기로는 카세트(4)의 수평 바(7)보다 적어도 큰 면적을 갖도록 하여 카세트(4)가 베이스 플레이트(11)상에 놓여질 때 상기 장방형의 홈(11a)에 수평 바(7)가 삽입되어 베이스 플레이트(11)의 상면과 접촉되지 않도록 함으로써 양측의 수직 바(6)만 접촉되도록 한다.
이러한 구성의 본 발명은 제3도에 도시된 바와같이 엘리베이터의 베이스 플레이트(11)상에 웨이퍼(5)가 적재된 카세트(4)를 올려 놓게 되면, 카세트(4)의 일측면에 형성된 H 바의 수직 바(6)가 베이스 플레이트(11)의 상면에 접촉되면서 놓여지게 되고, 수평 바(7)는 베이스 플레이트(11)에 형성된 장방형의 홈(11a)에 위치되는 것이다.
이때 카세트(4)의 수평 바(7)의 변형으로 양측의 수직 바(6)보다 더 돌출되는 경우에 돌출부위가 홈(11a)에 삽입되는 것이므로 베이스 플레이트(11)의 상면과 접촉되지 않게 된다. 따라서 H 바의 양측 수직 바(6)만 베이스 플레이트(11)의 상면에 접촉되어 놓여지는 것에 의해 카세트(4)는 베이스 플레이트(11)상에 안정적으로 놓여질 수 있게 되는 것이고, 이로써 카세트(4)가 한 쪽으로 기울어지거나 엘리베이터의 승,하강시 흔들리는 것을 방지할 수 있게 된다.
이상에서와 같이 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 로딩 및 언로딩 장치용 엘리베이터에 의하면, 카세트가 베이스 플레이트상에 기울어지거나 흔들림없이 안정적으로 놓여지게 되므로 카세트내에 적재된 웨이퍼가 수평상태를 유지할 수 있는 것이고, 엘리베이터의 승,하강시 카세트의 흔들림이 없게 되는 것이며, 이로써 픽 아암이 웨이퍼와 접촉하지 않고 정확하게 핸들링할 수 있어 웨이퍼와의 접촉으로 인한 손상이 방지되는 효과가 있다.
본 발명은 이상에서 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 사상과 범위내에서 다양한 변형이나 수정이 가능함은 본 발명이 속하는 분야의 당업자에는 명백한 것이며, 이러한 변형이나 수정이 첨부된 특허 청구범위에 속함은 당연하다.
Claims (2)
- 웨이퍼를 적재한 카세트가 놓여지는 베이스 플레이트와, 이 베이스 플레이트가 소정거리 승,하강하도록 하는 리드 스크류로 구성된 반도체 웨이퍼 로딩 및 언로딩 장치용 엘리베이터에 있어서, 상기 카세트의 일측면에 돌출된 H 형상의 바중 수평 바와 대응하는 베이스 플레이트상에 적어도 수평 바보다 큰 면적의 홈을 형성하여 베이스 플레이트상에 양측의 수직 바만 접촉되어 카세트가 놓여지도록 구성됨을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 로딩 및 언로딩 장치용 엘리베이터.
- 제1항에 있어서, 상기 홈의 깊이는 0.3~0.5㎜ 로 형성됨을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 로딩 및 언로딩 장치용 엘리베이터.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950040541A KR0161624B1 (ko) | 1995-11-09 | 1995-11-09 | 반도체 웨이퍼 로딩 및 언로딩 장치용 엘리베이터 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950040541A KR0161624B1 (ko) | 1995-11-09 | 1995-11-09 | 반도체 웨이퍼 로딩 및 언로딩 장치용 엘리베이터 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970030591A KR970030591A (ko) | 1997-06-26 |
| KR0161624B1 true KR0161624B1 (ko) | 1999-02-01 |
Family
ID=19433563
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950040541A KR0161624B1 (ko) | 1995-11-09 | 1995-11-09 | 반도체 웨이퍼 로딩 및 언로딩 장치용 엘리베이터 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0161624B1 (ko) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100560817B1 (ko) * | 2004-05-07 | 2006-03-13 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 로딩/언로딩 확인 방법 |
-
1995
- 1995-11-09 KR KR1019950040541A patent/KR0161624B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970030591A (ko) | 1997-06-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5626456A (en) | Transfer device | |
| EP1501748A1 (en) | Carrier tape for electronic components | |
| KR0161624B1 (ko) | 반도체 웨이퍼 로딩 및 언로딩 장치용 엘리베이터 | |
| CN100405569C (zh) | 半导体制造装置 | |
| KR101135355B1 (ko) | 기판 리프트장치 | |
| JP2001326267A (ja) | 半導体加工装置 | |
| KR100490053B1 (ko) | 액정표시장치용글래스스테이지 | |
| KR101507736B1 (ko) | 기판정렬장치 및 기판정렬방법 | |
| WO2020049671A1 (ja) | キャリアの位置決め部材及びキャリア載置台 | |
| KR100539969B1 (ko) | 수납장치 | |
| US6244422B1 (en) | Apparatus for sensing and controlling tipping movement of a semiconductor boat | |
| KR20010081967A (ko) | 기판 센터링장치 | |
| JPH0211489B2 (ko) | ||
| KR19980014338A (ko) | 반도체 웨이퍼 안착용 스테이지(Stage) | |
| JP2001044271A (ja) | キャリア及び基板の収納状態検出方法 | |
| JPH087637Y2 (ja) | 薄板用支持容器 | |
| JPH0648858Y2 (ja) | ウエハ収納容器 | |
| JPS63285948A (ja) | ウエハカセットの載置台 | |
| JP2505476Y2 (ja) | 基板収納カセット載置台 | |
| JP2001024048A (ja) | エッチング装置 | |
| JP3659724B2 (ja) | 基板搬送装置および基板搬送方法 | |
| KR20090070666A (ko) | 지지유닛 및 상기 지지유닛의 기판 처리 방법, 그리고 상기지지유닛을 구비하는 베이크 장치 | |
| JP2555728Y2 (ja) | ウエハの移し替え装置 | |
| KR20010026351A (ko) | 요홈이 구비된 히트 플레이트 | |
| JPH0930606A (ja) | ガラス基板移載装置及び移載方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20060728 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |