JPH0930606A - ガラス基板移載装置及び移載方法 - Google Patents
ガラス基板移載装置及び移載方法Info
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- JPH0930606A JPH0930606A JP17754795A JP17754795A JPH0930606A JP H0930606 A JPH0930606 A JP H0930606A JP 17754795 A JP17754795 A JP 17754795A JP 17754795 A JP17754795 A JP 17754795A JP H0930606 A JPH0930606 A JP H0930606A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な装置により少ない工程で薄板形状対象
物の移載が可能なガラス基板移載装置及び移載方法を提
供する。 【解決手段】 移載アーム１３の先端部に設けられた第
１のガイドブロック１２にはガラス基板１６を支持する
ための水平部が形設されており、水平部と連接した先端
側にガラス基板１６の位置を規制するための段差部が配
設されている。また移載アーム１１の基部には第２のガ
イドブロック１３が配接されており、第１のガイドブロ
ック１２と対称にガラス基板１６を支持する水平部とガ
ラス基板１６の位置を規制するための段差部が形設され
ている。第２のガイドブロック１３の段差は第１のガイ
ドブロック１２の段差よりも大きく、２つの段差部の垂
直面間の距離はガラス基板１６の移載方向の長さと略等
しく設定されている。
物の移載が可能なガラス基板移載装置及び移載方法を提
供する。 【解決手段】 移載アーム１３の先端部に設けられた第
１のガイドブロック１２にはガラス基板１６を支持する
ための水平部が形設されており、水平部と連接した先端
側にガラス基板１６の位置を規制するための段差部が配
設されている。また移載アーム１１の基部には第２のガ
イドブロック１３が配接されており、第１のガイドブロ
ック１２と対称にガラス基板１６を支持する水平部とガ
ラス基板１６の位置を規制するための段差部が形設され
ている。第２のガイドブロック１３の段差は第１のガイ
ドブロック１２の段差よりも大きく、２つの段差部の垂
直面間の距離はガラス基板１６の移載方向の長さと略等
しく設定されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は薄板形状対象物の移
載装置に関し、特に棚状カセット内のガラス基板の移載
装置に関する。
載装置に関し、特に棚状カセット内のガラス基板の移載
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来用いられていたこの種の移載装置
は、一般に図４にて示す構成のものが採用されていた。
即ち図４において符号２０で示されるものは移載装置で
あり、２１は移載アーム、２２はガラス基板を吸着する
吸盤、２３は真空ポンプ等の吸着機構、２４は移載アー
ム２１を上下させる昇降シリンダ、２５は移載アーム２
１を前後進させるボールねじ、２６はガラス基板、２７
はガラス基板を収納する棚状カセット、２８は棚状カセ
ット２７の棚、２９は棚状カセット２７に設けられたガ
ラス基板２６のストッパ、３０は位置決め装置、３１は
位置決め装置３０のプッシャ、３２はプッシャ３１を前
後進させるシリンダ、３３はプッシャ３１を上下させる
昇降シリンダである。
は、一般に図４にて示す構成のものが採用されていた。
即ち図４において符号２０で示されるものは移載装置で
あり、２１は移載アーム、２２はガラス基板を吸着する
吸盤、２３は真空ポンプ等の吸着機構、２４は移載アー
ム２１を上下させる昇降シリンダ、２５は移載アーム２
１を前後進させるボールねじ、２６はガラス基板、２７
はガラス基板を収納する棚状カセット、２８は棚状カセ
ット２７の棚、２９は棚状カセット２７に設けられたガ
ラス基板２６のストッパ、３０は位置決め装置、３１は
位置決め装置３０のプッシャ、３２はプッシャ３１を前
後進させるシリンダ、３３はプッシャ３１を上下させる
昇降シリンダである。
【０００３】棚状カセット２７に収納されたガラス基板
２６は、棚状カセット２７に設けられたストッパ２９に
よって移載装置２０と反対の方向への移動は規制されて
いるが移載装置２０の方向の規制はないので、収納され
た状態での位置は一定ではない。移載先での受渡し位置
を一定とするためには移載アームの一定位置に積載の必
要があるため、位置決め装置３０のプッシャ３１を昇降
シリンダ３３の昇降動作によって棚状カセット２７に収
納された所望のガラス基板２６の位置に合わせ、前後進
シリンダ３２で前進させてガラス基板２６をストッパ２
９に接触するまで押して位置決めを行なう。
２６は、棚状カセット２７に設けられたストッパ２９に
よって移載装置２０と反対の方向への移動は規制されて
いるが移載装置２０の方向の規制はないので、収納され
た状態での位置は一定ではない。移載先での受渡し位置
を一定とするためには移載アームの一定位置に積載の必
要があるため、位置決め装置３０のプッシャ３１を昇降
シリンダ３３の昇降動作によって棚状カセット２７に収
納された所望のガラス基板２６の位置に合わせ、前後進
シリンダ３２で前進させてガラス基板２６をストッパ２
９に接触するまで押して位置決めを行なう。
【０００４】プッシャ３１が前後進シリンダ３２と昇降
シリンダ３３の動作によって退避した後、移載装置２０
の移載アーム２１がボールねじ１５の回転によって前進
しガラス基板１６の下方の所定位置で昇降シリンダ１４
の動作によって上昇し移載アーム２１に設けられた吸盤
２２によってガラス基板２６を棚２８より僅かに浮か
せ、吸着機構２３によって吸盤２２で吸着し、移載アー
ム２１を後退させボールねじ２５、昇降シリンダ２４、
必要によっては不図示の回転機構で移載先に移動させ
る。
シリンダ３３の動作によって退避した後、移載装置２０
の移載アーム２１がボールねじ１５の回転によって前進
しガラス基板１６の下方の所定位置で昇降シリンダ１４
の動作によって上昇し移載アーム２１に設けられた吸盤
２２によってガラス基板２６を棚２８より僅かに浮か
せ、吸着機構２３によって吸盤２２で吸着し、移載アー
ム２１を後退させボールねじ２５、昇降シリンダ２４、
必要によっては不図示の回転機構で移載先に移動させ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上で説明した従来の
装置と方法では、移載装置の他に位置決め装置を必要と
し、移載装置にも吸着機構を必要とするため装置が複雑
となって高価となり、移載動作も位置決め工程と移載工
程の２工程が必要となるので移載時間も長くなるという
問題点があった。
装置と方法では、移載装置の他に位置決め装置を必要と
し、移載装置にも吸着機構を必要とするため装置が複雑
となって高価となり、移載動作も位置決め工程と移載工
程の２工程が必要となるので移載時間も長くなるという
問題点があった。
【０００６】本発明の目的は、簡単な装置により少ない
工程で薄板形状対象物の移載が可能なガラス基板移載装
置及び移載方法を提供することにある。
工程で薄板形状対象物の移載が可能なガラス基板移載装
置及び移載方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のガラス基板移載
装置は、複数のガラス基板が水平に多段に収納可能で、
ガラス基板の出入口の反対側の開口部にガラス基板のス
トッパを有し、ガラス基板を保持する棚部にはガラス基
板の移載手段の移動のための通路が設けられている棚式
収容ケースを対象とし、ガラス基板を移載のために保持
する移載アーム部と移載アーム部を移動させるための移
動手段とを有するガラス基板移載装置において、移載ア
ーム部の棚式収容ケースへの挿入先端部と基部とにガラ
ス基板を直接保持するためのガイドブロックが配設さ
れ、挿入先端部に設けられた第１のガイドブロックに
は、ガラス基板のストッパ側の先端部分を支持するため
の水平部が形設され、水平部の先端方向に連接してガラ
ス基板の先端部分の位置を規制するための凸状の段差部
が配設され、基部に設けられた第２のガイドブロックに
は、第１のガイドブロックと対称にガラス基板を支持す
る水平部とガラス基板の先端部の位置を規制するための
凸状の段差部が形設され、第２のガイドブロックの段差
部の段差は、第１のガイドブロックの段差部の段差より
も大きく、第１のガイドブロックと第２のガイドブロッ
クの段差部の垂直面間の距離は、ガラス基板がそれぞれ
のガイドブロックの水平部で支持され遊動しないように
ガラス基板の移載方向の長さと略等しく設定されてい
る。
装置は、複数のガラス基板が水平に多段に収納可能で、
ガラス基板の出入口の反対側の開口部にガラス基板のス
トッパを有し、ガラス基板を保持する棚部にはガラス基
板の移載手段の移動のための通路が設けられている棚式
収容ケースを対象とし、ガラス基板を移載のために保持
する移載アーム部と移載アーム部を移動させるための移
動手段とを有するガラス基板移載装置において、移載ア
ーム部の棚式収容ケースへの挿入先端部と基部とにガラ
ス基板を直接保持するためのガイドブロックが配設さ
れ、挿入先端部に設けられた第１のガイドブロックに
は、ガラス基板のストッパ側の先端部分を支持するため
の水平部が形設され、水平部の先端方向に連接してガラ
ス基板の先端部分の位置を規制するための凸状の段差部
が配設され、基部に設けられた第２のガイドブロックに
は、第１のガイドブロックと対称にガラス基板を支持す
る水平部とガラス基板の先端部の位置を規制するための
凸状の段差部が形設され、第２のガイドブロックの段差
部の段差は、第１のガイドブロックの段差部の段差より
も大きく、第１のガイドブロックと第２のガイドブロッ
クの段差部の垂直面間の距離は、ガラス基板がそれぞれ
のガイドブロックの水平部で支持され遊動しないように
ガラス基板の移載方向の長さと略等しく設定されてい
る。
【０００８】本発明のガラス基板移載方法は、上述のガ
ラス基板移載装置を用いて、複数のガラス基板が水平に
多段に収納可能で、ガラス基板の出入口の反対側の開口
部にガラス基板のストッパを有し、ガラス基板を保持す
る棚部にはガラス基板の移載手段の移動のための通路が
設けられている棚式収容ケースから、棚式収容ケースに
収容されたガラス基板を移載するための移載方法であっ
て、棚式収容ケースに移載アームが挿入されていない状
態で、移載アームの第１のガイドブロックの段差部の上
面が移載対象のガラス基板の下面よりも低く、第２のガ
イドブロックの段差部の上面がガラス基板の下面より高
くなる位置まで移載アームをガラス基板移載装置の移動
手段によって移動させ、移動手段によって移載アームを
前進させて棚式収容ケース内に挿入し、第２ガイドブロ
ックの段差部がガラス基板に接触し、さらにガラス基板
を押してガラス基板の他端がストッパに接触するまで前
進させ、その位置で停止後、ガラス基板が第１のガイド
ブロックと第２のガイドブロックの段差の間に収納され
て水平部で支持され、棚式収容ケースの棚より離れるま
で移動手段によって移載アームを上昇させ、ガラス基板
が棚式収容ケースの棚と接触しない状態で停止後、移動
手段で移載アームを後退させ、移載アームが棚式収容ケ
ースから完全に離脱した状態で、移動手段によって移載
アームに保持されたガラス基板を所望の移載先に移動さ
せる。
ラス基板移載装置を用いて、複数のガラス基板が水平に
多段に収納可能で、ガラス基板の出入口の反対側の開口
部にガラス基板のストッパを有し、ガラス基板を保持す
る棚部にはガラス基板の移載手段の移動のための通路が
設けられている棚式収容ケースから、棚式収容ケースに
収容されたガラス基板を移載するための移載方法であっ
て、棚式収容ケースに移載アームが挿入されていない状
態で、移載アームの第１のガイドブロックの段差部の上
面が移載対象のガラス基板の下面よりも低く、第２のガ
イドブロックの段差部の上面がガラス基板の下面より高
くなる位置まで移載アームをガラス基板移載装置の移動
手段によって移動させ、移動手段によって移載アームを
前進させて棚式収容ケース内に挿入し、第２ガイドブロ
ックの段差部がガラス基板に接触し、さらにガラス基板
を押してガラス基板の他端がストッパに接触するまで前
進させ、その位置で停止後、ガラス基板が第１のガイド
ブロックと第２のガイドブロックの段差の間に収納され
て水平部で支持され、棚式収容ケースの棚より離れるま
で移動手段によって移載アームを上昇させ、ガラス基板
が棚式収容ケースの棚と接触しない状態で停止後、移動
手段で移載アームを後退させ、移載アームが棚式収容ケ
ースから完全に離脱した状態で、移動手段によって移載
アームに保持されたガラス基板を所望の移載先に移動さ
せる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態は、ガラス基
板を移載のために保持する移載アーム部と移載アーム部
を移動させるための移動手段とを有するガラス基板移載
装置において、移載アーム部の棚式収容ケースへの挿入
先端部と基部とにガラス基板を直接保持するためのガイ
ドブロックが配設されており、挿入先端部に設けられた
第１のガイドブロックには、ガラス基板のストッパ側の
先端部分を支持するための水平部が形設され、水平部の
先端方向に連接してガラス基板の先端部分の位置を規制
するための凸状の段差部が配設され、基部に設けられた
第２のガイドブロックには、第１のガイドブロックと対
称にガラス基板を支持する水平部とガラス基板の先端部
の位置を規制するための凸状の段差部が形設され、第２
のガイドブロックの段差部の段差は、第１のガイドブロ
ックの段差部の段差よりも大きく、第１のガイドブロッ
クと第２のガイドブロックの段差部の垂直面間の距離
は、ガラス基板がそれぞれのガイドブロックの水平部で
支持され遊動しないようにガラス基板の移載方向の長さ
と略等しく設定されている。
板を移載のために保持する移載アーム部と移載アーム部
を移動させるための移動手段とを有するガラス基板移載
装置において、移載アーム部の棚式収容ケースへの挿入
先端部と基部とにガラス基板を直接保持するためのガイ
ドブロックが配設されており、挿入先端部に設けられた
第１のガイドブロックには、ガラス基板のストッパ側の
先端部分を支持するための水平部が形設され、水平部の
先端方向に連接してガラス基板の先端部分の位置を規制
するための凸状の段差部が配設され、基部に設けられた
第２のガイドブロックには、第１のガイドブロックと対
称にガラス基板を支持する水平部とガラス基板の先端部
の位置を規制するための凸状の段差部が形設され、第２
のガイドブロックの段差部の段差は、第１のガイドブロ
ックの段差部の段差よりも大きく、第１のガイドブロッ
クと第２のガイドブロックの段差部の垂直面間の距離
は、ガラス基板がそれぞれのガイドブロックの水平部で
支持され遊動しないようにガラス基板の移載方向の長さ
と略等しく設定されている。
【００１０】移載対象のガラス基板の収容されている棚
式収容ケースは、複数のガラス基板が水平に多段に収納
可能で、ガラス基板の出入口の反対側の開口部にガラス
基板のストッパを有し、ガラス基板を保持する棚部には
ガラス基板の移載手段の移動のための通路が設けられて
いる。
式収容ケースは、複数のガラス基板が水平に多段に収納
可能で、ガラス基板の出入口の反対側の開口部にガラス
基板のストッパを有し、ガラス基板を保持する棚部には
ガラス基板の移載手段の移動のための通路が設けられて
いる。
【００１１】図１は本発明の実施例の移動動作前の模式
的概念図であるが、本発明の移載装置では、移載アーム
１１に設けた第１のガイドブロック１２と第２のガイド
ブロック１３によって従来例の位置決め装置と吸着機構
の役割を行なう。
的概念図であるが、本発明の移載装置では、移載アーム
１１に設けた第１のガイドブロック１２と第２のガイド
ブロック１３によって従来例の位置決め装置と吸着機構
の役割を行なう。
【００１２】即ち、棚式収容ケースに移載アームが挿入
されていない状態で、移載アームの第１のガイドブロッ
ク１２の段差部の上面が移載対象のガラス基板１６の下
面よりも低く、第２のガイドブロック１３の段差部の上
面がガラス基板の下面より高くなる位置まで移載アーム
１１をガラス基板移載装置１０の移動手段によって移動
させた後、移動手段によって移載アームを前進させて棚
式収容ケース内に挿入するので、第１のガイドブロック
１２は移載対象のガラス基板の下を通って前進し、第２
のガイドブロック１３の段差面がガラス基板１６に接触
し、ガラス基板１６をストッパ１９に他端が接触する位
置まで移動させるので、移載前のガラス基板１６は独立
した位置決め装置を必要とせず常に所定の位置に置かれ
ることとなる。
されていない状態で、移載アームの第１のガイドブロッ
ク１２の段差部の上面が移載対象のガラス基板１６の下
面よりも低く、第２のガイドブロック１３の段差部の上
面がガラス基板の下面より高くなる位置まで移載アーム
１１をガラス基板移載装置１０の移動手段によって移動
させた後、移動手段によって移載アームを前進させて棚
式収容ケース内に挿入するので、第１のガイドブロック
１２は移載対象のガラス基板の下を通って前進し、第２
のガイドブロック１３の段差面がガラス基板１６に接触
し、ガラス基板１６をストッパ１９に他端が接触する位
置まで移動させるので、移載前のガラス基板１６は独立
した位置決め装置を必要とせず常に所定の位置に置かれ
ることとなる。
【００１３】次に移載アーム１１を上昇させると、第１
のガイドブロック１２と第２のガイドブロック１３の段
差部の垂直面間の距離は、ガラス基板１６がそれぞれの
ガイドブロックの水平部で支持され遊動しないようにガ
ラス基板１６の移載方向の長さと略等しく設定されてい
るので、ガラス基板１６は第１のガイドブロック１２と
第２のガイドブロック１３の段差の間に収納されて水平
部で支持され（図３参照）、特に吸盤や吸着機構を必要
としないで安定に保持される。
のガイドブロック１２と第２のガイドブロック１３の段
差部の垂直面間の距離は、ガラス基板１６がそれぞれの
ガイドブロックの水平部で支持され遊動しないようにガ
ラス基板１６の移載方向の長さと略等しく設定されてい
るので、ガラス基板１６は第１のガイドブロック１２と
第２のガイドブロック１３の段差の間に収納されて水平
部で支持され（図３参照）、特に吸盤や吸着機構を必要
としないで安定に保持される。
【００１４】ガラス基板１６が棚式収容ケースの棚１８
より離れるまで移動手段によって移載アーム１１を上昇
させ、ガラス基板１６が棚式収容ケースの棚１８と接触
しない状態で停止後、移載アーム１１を後退させるの
で、移載アーム１１に保持されたガラス基板１６はは棚
式収容ケースから安全に離脱できる。
より離れるまで移動手段によって移載アーム１１を上昇
させ、ガラス基板１６が棚式収容ケースの棚１８と接触
しない状態で停止後、移載アーム１１を後退させるの
で、移載アーム１１に保持されたガラス基板１６はは棚
式収容ケースから安全に離脱できる。
【００１５】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図１は本発明の実施例の移載装置の移載動
作開始前の模式的概念図であり、図２は本発明の実施例
の移載装置の位置決め動作時の模式的概念図であり、図
３は本発明の実施例の移載装置の移載動作中の模式的概
念図である。図中符号１０で示されるものは移載装置で
あり、１１は移載アーム、１２は第１のガイドブロッ
ク、１３は第２のガイドブロック、１４は移載アーム１
１を上下させる昇降シリンダ、１５は移載アーム１１を
前後進させるボールねじ、１６はガラス基板、１７はガ
ラス基板を収納する棚式収容ケースである棚状カセッ
ト、１８は棚状カセット１７の棚、１９は棚状カセット
１７に設けられたガラス基板１６のストッパである。
て説明する。図１は本発明の実施例の移載装置の移載動
作開始前の模式的概念図であり、図２は本発明の実施例
の移載装置の位置決め動作時の模式的概念図であり、図
３は本発明の実施例の移載装置の移載動作中の模式的概
念図である。図中符号１０で示されるものは移載装置で
あり、１１は移載アーム、１２は第１のガイドブロッ
ク、１３は第２のガイドブロック、１４は移載アーム１
１を上下させる昇降シリンダ、１５は移載アーム１１を
前後進させるボールねじ、１６はガラス基板、１７はガ
ラス基板を収納する棚式収容ケースである棚状カセッ
ト、１８は棚状カセット１７の棚、１９は棚状カセット
１７に設けられたガラス基板１６のストッパである。
【００１６】棚状カセット１７に収納されたガラス基板
１６は、棚状カセット１７に設けられたストッパ１９に
よって移載装置１０と反対の方向への移動は規制されて
いるが移載装置１０の方向の規制はないので、収納され
た状態での位置は一定ではない。移載先での受渡し位置
を一定とするためには移載アームの一定位置に積載の必
要があるためガラス基板の位置決めを行なう必要があ
る。
１６は、棚状カセット１７に設けられたストッパ１９に
よって移載装置１０と反対の方向への移動は規制されて
いるが移載装置１０の方向の規制はないので、収納され
た状態での位置は一定ではない。移載先での受渡し位置
を一定とするためには移載アームの一定位置に積載の必
要があるためガラス基板の位置決めを行なう必要があ
る。
【００１７】本発明の移載装置１０では、移載アーム１
１に設けた第１のガイドブロック１２と第２のガイドブ
ロック１３によって従来例の位置決め装置と吸着機構の
役割を行なう。
１に設けた第１のガイドブロック１２と第２のガイドブ
ロック１３によって従来例の位置決め装置と吸着機構の
役割を行なう。
【００１８】移載アーム１３の棚状カセット１７側の先
端部に設けられた第１のガイドブロック１２にはガラス
基板１６のストッパ１９側の先端部を支持するための水
平部が形設されており、水平部と連接した先端側にガラ
ス基板１６の先端部の位置を規制するための凸状の段差
部が配設されている。第１のガイドブロック１２の前進
時に第１のガイドブロック１２とストッパ１９とが干渉
しないように、ストッパは配設されている。
端部に設けられた第１のガイドブロック１２にはガラス
基板１６のストッパ１９側の先端部を支持するための水
平部が形設されており、水平部と連接した先端側にガラ
ス基板１６の先端部の位置を規制するための凸状の段差
部が配設されている。第１のガイドブロック１２の前進
時に第１のガイドブロック１２とストッパ１９とが干渉
しないように、ストッパは配設されている。
【００１９】また移載アーム１１の基部には第２のガイ
ドブロック１３が配接されており、第１のガイドブロッ
ク１２と対称にガラス基板１６を支持する水平部とガラ
ス基板１６の位置を規制するための凸状の段差部が形設
されている。
ドブロック１３が配接されており、第１のガイドブロッ
ク１２と対称にガラス基板１６を支持する水平部とガラ
ス基板１６の位置を規制するための凸状の段差部が形設
されている。
【００２０】第２のガイドブロック１３の段差は第１の
ガイドブロック１２の段差よりも大きく、２つの段差部
の垂直面間の距離はガラス基板１６が二つのガイドブロ
ックの水平部で支持され遊動しないようにガラス基板１
６の移載方向の長さと略等しく設定されている。
ガイドブロック１２の段差よりも大きく、２つの段差部
の垂直面間の距離はガラス基板１６が二つのガイドブロ
ックの水平部で支持され遊動しないようにガラス基板１
６の移載方向の長さと略等しく設定されている。
【００２１】移載工程は、棚状カセット１７に移載アー
ム１１が挿入されていない状態で、移載アーム１１の第
１のガイドブロック１２の段差部の上面が移載対象のガ
ラス基板１６の下面よりも低く、第２のガイドブロック
１３の段差部の上面がガラス基板１６の下面より高くな
る位置まで移載アーム１１を昇降シリンダで上下させ、
次にボールねじ１５の回転によって移載アーム１１を前
進させると第１のガイドブロック１２は移載対象のガラ
ス基板１６の下方を通過し、第２のガイドブロック１３
の段差面がガラス基板１６に接触し（図２）、さらにガ
ラス基板１６の他端がストッパ１９に接触するまで移動
させる。
ム１１が挿入されていない状態で、移載アーム１１の第
１のガイドブロック１２の段差部の上面が移載対象のガ
ラス基板１６の下面よりも低く、第２のガイドブロック
１３の段差部の上面がガラス基板１６の下面より高くな
る位置まで移載アーム１１を昇降シリンダで上下させ、
次にボールねじ１５の回転によって移載アーム１１を前
進させると第１のガイドブロック１２は移載対象のガラ
ス基板１６の下方を通過し、第２のガイドブロック１３
の段差面がガラス基板１６に接触し（図２）、さらにガ
ラス基板１６の他端がストッパ１９に接触するまで移動
させる。
【００２２】その位置で昇降シリンダ１４の動作によっ
て移載アーム１１を上昇させるとガラス基板１６は第１
のガイドブロック１２と第２のガイドブロック１３の段
差の間に収納され水平部で支持される。ガラス基板１６
を棚１８より僅かに浮かせ、移載アーム１１を後退させ
て保持したガラス基板１６を棚状カセット１７から引き
だし（図３）、ボールねじ１５、昇降シリンダ１４、必
要によっては不図示の回転機構の動作によって所望の移
載先に移動させる。
て移載アーム１１を上昇させるとガラス基板１６は第１
のガイドブロック１２と第２のガイドブロック１３の段
差の間に収納され水平部で支持される。ガラス基板１６
を棚１８より僅かに浮かせ、移載アーム１１を後退させ
て保持したガラス基板１６を棚状カセット１７から引き
だし（図３）、ボールねじ１５、昇降シリンダ１４、必
要によっては不図示の回転機構の動作によって所望の移
載先に移動させる。
【００２３】第１のガイドブロック１２あるいは第２の
ガイドブロック１３の位置を可変とすることによって長
さの異なるガラス基板１６に対応可能となる。
ガイドブロック１３の位置を可変とすることによって長
さの異なるガラス基板１６に対応可能となる。
【００２４】また、上述の移載工程を逆に行なうことに
よってガラス基板１６を棚状カセット１７の棚１８に収
納することができる。
よってガラス基板１６を棚状カセット１７の棚１８に収
納することができる。
【００２５】本実施例ではガラス基板の移載について説
明したが、これは本発明がガラス基板の移載に最も有効
であるからで、その他の薄板形状対称物の移載に対して
も適用できることはいうまでもない。
明したが、これは本発明がガラス基板の移載に最も有効
であるからで、その他の薄板形状対称物の移載に対して
も適用できることはいうまでもない。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、薄板形状
対象物の支持移動に段差の異なる一対のガイドブロック
を用い、段差の大きい方のガイドブロックの段差部で対
称物の位置決めが行なわれるので、従来例のような独立
した位置決め装置は必要なく、移載のための動作のみで
位置決めも同時に行なえるので、装置が簡単になってコ
ストが軽減できるという経済面と動作時間の短縮との２
つの効果が得られる。
対象物の支持移動に段差の異なる一対のガイドブロック
を用い、段差の大きい方のガイドブロックの段差部で対
称物の位置決めが行なわれるので、従来例のような独立
した位置決め装置は必要なく、移載のための動作のみで
位置決めも同時に行なえるので、装置が簡単になってコ
ストが軽減できるという経済面と動作時間の短縮との２
つの効果が得られる。
【００２７】また、対称物を段差部で確実に保持できる
ので従来例のような吸着機構も不要となり更に経済的な
効果が得られる。
ので従来例のような吸着機構も不要となり更に経済的な
効果が得られる。
【図１】本発明の実施例の移載装置の移載動作開始前の
模式的概念図である。
模式的概念図である。
【図２】本発明の実施例の移載装置の位置決め動作時の
模式的概念図である。
模式的概念図である。
【図３】本発明の実施例の移載装置の移載動作中の模式
的概念図である。
的概念図である。
【図４】従来例の移載装置と位置決め装置の模式的概念
図である。
図である。
【符号の説明】 １０、２０ 移載装置 １１、２１ 移載アーム １２ 第１のガイドブロック １３ 第２のガイドブロック １４、２４ 昇降シリンダ １５、２５ ボールねじ １６、２６ ガラス基板 １７、２７ 棚状カセット １８、２８ 棚 １９、２９ ストッパ ２２ 吸盤 ２３ 吸着機構 ３０ 位置決め装置 ３１ プッシャ ３２ 前後進シリンダ ３３ 昇降シリンダ
Claims (2)
- 【請求項１】 複数のガラス基板が水平に多段に収納可
能で、前記ガラス基板の出入口の反対側の開口部に前記
ガラス基板のストッパを有し、前記ガラス基板を保持す
る棚部には前記ガラス基板の移載手段の移動のための通
路が設けられている棚式収容ケースを対象とし、前記ガ
ラス基板を移載のために保持する移載アーム部と前記移
載アーム部を移動させるための移動手段とを有するガラ
ス基板移載装置において、 前記移載アーム部の前記棚式収容ケースへの挿入先端部
と基部とに前記ガラス基板を直接保持するためのガイド
ブロックが配設され、 挿入先端部に設けられた第１のガイドブロックには、前
記ガラス基板の前記ストッパ側の先端部分を支持するた
めの水平部が形設され、前記水平部の先端方向に連接し
て前記ガラス基板の先端部分の位置を規制するための凸
状の段差部が配設され、 基部に設けられた第２のガイドブロックには、前記第１
のガイドブロックと対称に前記ガラス基板を支持する水
平部と前記ガラス基板の先端部の位置を規制するための
凸状の段差部が形設され、 前記第２のガイドブロックの前記段差部の段差は、前記
第１のガイドブロックの前記段差部の段差よりも大き
く、前記第１のガイドブロックと前記第２のガイドブロ
ックの前記段差部の垂直面間の距離は、前記ガラス基板
がそれぞれの前記ガイドブロックの水平部で支持されて
遊動しないように前記ガラス基板の移載方向の長さと略
等しく設定されている、ことを特徴とするガラス基板移
載装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のガラス基板移載装置を用
いて、複数のガラス基板が水平に多段に収納可能で、前
記ガラス基板の出入口の反対側の開口部に前記ガラス基
板のストッパを有し、前記ガラス基板を保持する棚部に
は前記ガラス基板の移載手段の移動のための通路が設け
られている棚式収容ケースから、前記棚式収容ケースに
収容された前記ガラス基板を移載するための移載方法で
あって、 前記棚式収容ケースに前記移載アームが挿入されていな
い状態で、前記移載アームの前記第１のガイドブロック
の段差部の上面が移載対象のガラス基板の下面よりも低
く、前記第２のガイドブロックの段差部の上面が前記ガ
ラス基板の下面より高くなる位置まで前記移載アームを
ガラス基板移載装置の移動手段によって移動させ、 前記移動手段によって前記移載アームを前進させて前記
棚式収容ケース内に挿入し、前記第２ガイドブロックの
段差部が前記ガラス基板に接触し、さらに前記ガラス基
板を押して前記ガラス基板の他端が前記ストッパに接触
するまで前進させ、 その位置で停止後、前記ガラス基板が前記第１のガイド
ブロックと前記第２のガイドブロックの段差の間に収納
されて水平部で支持され、前記棚式収容ケースの棚より
離れるまで前記移動手段によって前記移載アームを上昇
させ、 前記ガラス基板が前記棚式収容ケースの棚と接触しない
状態で停止後、前記移動手段で前記移載アームを後退さ
せ、 前記移載アームが前記棚式収容ケースから完全に離脱し
た状態で、前記移動手段によって前記移載アームに保持
された前記ガラス基板を所望の移載先に移動させる、こ
とを特徴とするガラス基板の移載方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17754795A JPH0930606A (ja) | 1995-07-13 | 1995-07-13 | ガラス基板移載装置及び移載方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17754795A JPH0930606A (ja) | 1995-07-13 | 1995-07-13 | ガラス基板移載装置及び移載方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0930606A true JPH0930606A (ja) | 1997-02-04 |
Family
ID=16032864
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17754795A Pending JPH0930606A (ja) | 1995-07-13 | 1995-07-13 | ガラス基板移載装置及び移載方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0930606A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011018794A (ja) * | 2009-07-09 | 2011-01-27 | Sumco Corp | ウェーハ搬送装置及びウェーハ搬送方法 |
| JP2018142700A (ja) * | 2017-02-28 | 2018-09-13 | シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント（グループ）カンパニー リミティド | 基板搬送装置および方法 |
| JP2019189939A (ja) * | 2018-04-18 | 2019-10-31 | キヤノントッキ株式会社 | 処理体収納装置と、処理体収納方法、及びこれを用いた蒸着方法 |
| CN116553187A (zh) * | 2023-07-10 | 2023-08-08 | 四川显为智能装备有限公司 | 一种易碎片材搬运设备和操控方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02132840A (ja) * | 1988-02-12 | 1990-05-22 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及びレジスト処理装置及び処理方法及びレジスト処理方法 |
| JPH07142459A (ja) * | 1993-11-12 | 1995-06-02 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム |
-
1995
- 1995-07-13 JP JP17754795A patent/JPH0930606A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02132840A (ja) * | 1988-02-12 | 1990-05-22 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及びレジスト処理装置及び処理方法及びレジスト処理方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2019189939A (ja) * | 2018-04-18 | 2019-10-31 | キヤノントッキ株式会社 | 処理体収納装置と、処理体収納方法、及びこれを用いた蒸着方法 |
| CN116553187A (zh) * | 2023-07-10 | 2023-08-08 | 四川显为智能装备有限公司 | 一种易碎片材搬运设备和操控方法 |
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