JP2003124293A - 薄板物品の位置決め装置 - Google Patents
薄板物品の位置決め装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 薄板物品の移送を、簡単な機構により迅速か
つ正確に位置決めしながら行えるようにした薄板物品の
位置決め装置を提供すること。 【解決手段】 ガラス基板などの薄板物品Ｇを一方の装
置から他方の装置へ移載装置を介して移送する場合にお
いて、一方の装置から搬入された薄板物品Ｇを支持台２
１により支持し、エアー圧にて支持台２１を浮上させな
がら薄板物品Ｇを支持台２１と共に少なくとも異なる２
ヶ所にて出没する位置決めストッパ２４にて位置決めし
た後、位置決めされた薄板物品を他方の装置へ搬出する
ようにする。
つ正確に位置決めしながら行えるようにした薄板物品の
位置決め装置を提供すること。 【解決手段】 ガラス基板などの薄板物品Ｇを一方の装
置から他方の装置へ移載装置を介して移送する場合にお
いて、一方の装置から搬入された薄板物品Ｇを支持台２
１により支持し、エアー圧にて支持台２１を浮上させな
がら薄板物品Ｇを支持台２１と共に少なくとも異なる２
ヶ所にて出没する位置決めストッパ２４にて位置決めし
た後、位置決めされた薄板物品を他方の装置へ搬出する
ようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄板物品の位置決
め装置に関し、特に、液晶のガラス基板などの薄板物品
（本明細書において、単に、「薄板物品」という。）の
移送を、簡単な機構により迅速かつ正確に位置決めしな
がら行えるようにした薄板物品の位置決め装置に関する
ものである。
め装置に関し、特に、液晶のガラス基板などの薄板物品
（本明細書において、単に、「薄板物品」という。）の
移送を、簡単な機構により迅速かつ正確に位置決めしな
がら行えるようにした薄板物品の位置決め装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶の製造工場においては、予め
定寸に形成されたガラス基板を、１つの装置から他の装
置へ移送する場合に、ガラス基板の大型化に伴い、装置
の相対位置の誤差や、装置の搬入搬出の移載精度の誤差
が大きくなり、移載時にガラス基板が装置等に衝突する
事故が発生していた。これを防止するためには、ガラス
基板の位置決めを正確に行う必要があり、ガラス基板を
１つの装置から、他の装置へ移送する時にガラス基板の
位置の補正を行うようにしている。ところで、このガラ
ス基板の位置の補正は、例えば、搬送コンベアの位置
で、ガラス基板の端部を位置決めストッパに直接当接さ
せることにより、ガラス基板の位置決めを行った後、移
載機により他の装置又は搬送コンベアに移載することに
より行うようにしていた。
定寸に形成されたガラス基板を、１つの装置から他の装
置へ移送する場合に、ガラス基板の大型化に伴い、装置
の相対位置の誤差や、装置の搬入搬出の移載精度の誤差
が大きくなり、移載時にガラス基板が装置等に衝突する
事故が発生していた。これを防止するためには、ガラス
基板の位置決めを正確に行う必要があり、ガラス基板を
１つの装置から、他の装置へ移送する時にガラス基板の
位置の補正を行うようにしている。ところで、このガラ
ス基板の位置の補正は、例えば、搬送コンベアの位置
で、ガラス基板の端部を位置決めストッパに直接当接さ
せることにより、ガラス基板の位置決めを行った後、移
載機により他の装置又は搬送コンベアに移載することに
より行うようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のガラス基板
の位置の補正方法は、ガラス基板の端部を位置決めスト
ッパに直接当接させて行うようにしているため、ガラス
基板が小型の場合にはさほど支障はないが、生産効率の
向上及び製造コストの低廉化の要請に応じるため、ガラ
ス基板が大型化されると、ガラス基板自体の重量によっ
て、コンベアとの摩擦抵抗も増し、脆弱なガラス基板の
ような薄板物品とコンベアとの間に大きな摩擦抵抗が発
生し、高速で搬送されるガラス基板を位置決めストッパ
に直接当接させて位置決めを行うと、摩擦力や変形によ
りガラス基板が破損したり、剛性が不充分で変形が生じ
たりするおそれがあった。これを未然に防ぎ、安定して
位置決めを行うためには、ガラス基板の搬送速度を低下
させる必要があるが、これによって、生産効率が低下す
るという問題があった。
の位置の補正方法は、ガラス基板の端部を位置決めスト
ッパに直接当接させて行うようにしているため、ガラス
基板が小型の場合にはさほど支障はないが、生産効率の
向上及び製造コストの低廉化の要請に応じるため、ガラ
ス基板が大型化されると、ガラス基板自体の重量によっ
て、コンベアとの摩擦抵抗も増し、脆弱なガラス基板の
ような薄板物品とコンベアとの間に大きな摩擦抵抗が発
生し、高速で搬送されるガラス基板を位置決めストッパ
に直接当接させて位置決めを行うと、摩擦力や変形によ
りガラス基板が破損したり、剛性が不充分で変形が生じ
たりするおそれがあった。これを未然に防ぎ、安定して
位置決めを行うためには、ガラス基板の搬送速度を低下
させる必要があるが、これによって、生産効率が低下す
るという問題があった。
【０００４】本発明は、上記従来の薄板物品の位置決め
装置の有する問題点に鑑み、薄板物品の移送を、簡単な
機構により迅速かつ正確に位置決めしながら行えるよう
にした薄板物品の位置決め装置を提供することを目的と
する。
装置の有する問題点に鑑み、薄板物品の移送を、簡単な
機構により迅速かつ正確に位置決めしながら行えるよう
にした薄板物品の位置決め装置を提供することを目的と
する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の薄板物品の位置決め装置は、ガラス基板な
どの薄板物品を一方の装置から他方の装置へ移載装置を
介して移送する場合において、一方の装置から搬入され
た薄板物品を支持台により支持し、エアー圧にて支持台
を浮上させながら薄板物品を支持台と共に少なくとも異
なる２ヶ所にて出没する位置決めストッパにて位置決め
した後、エアー位置決めされた薄板物品を他方の装置へ
搬出するようにしたことを特徴とする。
め、本発明の薄板物品の位置決め装置は、ガラス基板な
どの薄板物品を一方の装置から他方の装置へ移載装置を
介して移送する場合において、一方の装置から搬入され
た薄板物品を支持台により支持し、エアー圧にて支持台
を浮上させながら薄板物品を支持台と共に少なくとも異
なる２ヶ所にて出没する位置決めストッパにて位置決め
した後、エアー位置決めされた薄板物品を他方の装置へ
搬出するようにしたことを特徴とする。
【０００６】この場合において、薄板物品を他方の装置
へ搬出した後、支持台を基準位置に戻す支持台復帰手段
を設けることができる。
へ搬出した後、支持台を基準位置に戻す支持台復帰手段
を設けることができる。
【０００７】この薄板物品の位置決め装置は、一方の装
置から搬入された薄板物品を支持台により支持し、エア
ー圧にて支持台を浮上させながら薄板物品を支持台と共
に少なくとも異なる２ヶ所にて出没する位置決めストッ
パにて位置決めした後、エアー位置決めされた薄板物品
を他方の装置へ搬出するようにしているので、薄板物品
を迅速かつ正確に位置決めしながら移送することができ
る。
置から搬入された薄板物品を支持台により支持し、エア
ー圧にて支持台を浮上させながら薄板物品を支持台と共
に少なくとも異なる２ヶ所にて出没する位置決めストッ
パにて位置決めした後、エアー位置決めされた薄板物品
を他方の装置へ搬出するようにしているので、薄板物品
を迅速かつ正確に位置決めしながら移送することができ
る。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の薄板物品の位置決
め方法の実施の形態を図面に基づいて説明する。
め方法の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【０００９】図１〜図２に、本発明の薄板物品の位置決
め方法の一実施例を示す。液晶の製造工場においては、
予め定寸に形成されたガラス基板Ｇを、予め定められた
製造工程に従って、連続的に或いは間欠的に、製造装置
間を、例えば、コンベア等の移載装置を介して移送する
ようにしている。ここでは、特に限定されるものではな
いが、大型のガラス基板Ｇを安定して移送できるよう
に、アンロードポートにコンベア１を採用した場合につ
いて説明する。
め方法の一実施例を示す。液晶の製造工場においては、
予め定寸に形成されたガラス基板Ｇを、予め定められた
製造工程に従って、連続的に或いは間欠的に、製造装置
間を、例えば、コンベア等の移載装置を介して移送する
ようにしている。ここでは、特に限定されるものではな
いが、大型のガラス基板Ｇを安定して移送できるよう
に、アンロードポートにコンベア１を採用した場合につ
いて説明する。
【００１０】このアンロードポートのコンベア１の終端
部には、ガラス基板Ｇの位置決めを行って、移載装置３
に受け渡すようにする位置決め装置２を配設する。
部には、ガラス基板Ｇの位置決めを行って、移載装置３
に受け渡すようにする位置決め装置２を配設する。
【００１１】この位置決め装置２は、コンベア１の終端
部の下方位置に配設し、ガラス基板Ｇの下面を支持する
支持台２１と、支持台２１を機械的に昇降させる昇降装
置２２と、昇降装置２２の頂面に配設し、噴射するエア
ー圧にてガラス基板Ｇの下面を支持した状態で支持台２
１を浮上させるようにするエアーベアリング２３と、エ
アーベアリング２３から噴射されるエアー圧にて支持台
２１を浮上させながらガラス基板Ｇを支持台２１と共に
位置決めする少なくとも異なる２ヶ所にて出没する位置
決めストッパとしての位置決めシリンダ２４、２４とか
ら構成され、これにより、コンベア１により搬入された
ガラス基板Ｇを迅速かつ正確に位置決めして、後続の移
載装置３に受け渡すことができるようにしている。
部の下方位置に配設し、ガラス基板Ｇの下面を支持する
支持台２１と、支持台２１を機械的に昇降させる昇降装
置２２と、昇降装置２２の頂面に配設し、噴射するエア
ー圧にてガラス基板Ｇの下面を支持した状態で支持台２
１を浮上させるようにするエアーベアリング２３と、エ
アーベアリング２３から噴射されるエアー圧にて支持台
２１を浮上させながらガラス基板Ｇを支持台２１と共に
位置決めする少なくとも異なる２ヶ所にて出没する位置
決めストッパとしての位置決めシリンダ２４、２４とか
ら構成され、これにより、コンベア１により搬入された
ガラス基板Ｇを迅速かつ正確に位置決めして、後続の移
載装置３に受け渡すことができるようにしている。
【００１２】本実施例においては、位置決めストッパと
しての位置決めシリンダ２４、２４は、コンベア１によ
るガラス基板Ｇの移送方向に対して直角方向の位置決め
を行うことができるように、コンベア１の上方にコンベ
ア１の幅方向に対向して配設したが、これとは別に、ガ
ラス基板Ｇの移送方向の位置決めを行うことができるよ
うに、位置決めストッパとしての位置決めシリンダ（図
示省略）をコンベア１の上方にコンベア１の送り方向に
対向して配設するようにしたり、さらに、ガラス基板Ｇ
の移送方向及び移送方向に対して直角方向の位置決めの
両方を一度に行うことができるように、コンベア１の上
方のガラス基板Ｇの対角線上となる位置に対向して配設
するようにすることもできる。また、本実施例において
は、昇降装置２２上に支持台２１を配設するようにした
が、図３に示す変形第１実施例に示すように、昇降装置
２２を省略し、位置決め装置２の基台２０に直接配設し
たエアーベアリング２３から噴射されるエアー圧にて支
持台２１を浮上させるように構成することもできる。
しての位置決めシリンダ２４、２４は、コンベア１によ
るガラス基板Ｇの移送方向に対して直角方向の位置決め
を行うことができるように、コンベア１の上方にコンベ
ア１の幅方向に対向して配設したが、これとは別に、ガ
ラス基板Ｇの移送方向の位置決めを行うことができるよ
うに、位置決めストッパとしての位置決めシリンダ（図
示省略）をコンベア１の上方にコンベア１の送り方向に
対向して配設するようにしたり、さらに、ガラス基板Ｇ
の移送方向及び移送方向に対して直角方向の位置決めの
両方を一度に行うことができるように、コンベア１の上
方のガラス基板Ｇの対角線上となる位置に対向して配設
するようにすることもできる。また、本実施例において
は、昇降装置２２上に支持台２１を配設するようにした
が、図３に示す変形第１実施例に示すように、昇降装置
２２を省略し、位置決め装置２の基台２０に直接配設し
たエアーベアリング２３から噴射されるエアー圧にて支
持台２１を浮上させるように構成することもできる。
【００１３】移載装置３は、コンベア１により搬入さ
れ、位置決め装置２により位置決めされ、再度、コンベ
ア１上に降ろされたガラス基板Ｇを、ガラス基板Ｇの下
方に挿入されるフォーク３２を扛上させてコンベア１か
ら掬い上げるようにしてコンベア１とは異なる位置にあ
る他の装置のロードポート上に移載することができるよ
うに構成されている。このため、移載装置３は、アンロ
ードポートのコンベア１と交わる方向に移動可能とし、
他の装置へ移動可能な移載装置本体３１と、この移載装
置本体３１に対し昇降と伸縮と旋回とをなすフォーク３
２とより構成される。
れ、位置決め装置２により位置決めされ、再度、コンベ
ア１上に降ろされたガラス基板Ｇを、ガラス基板Ｇの下
方に挿入されるフォーク３２を扛上させてコンベア１か
ら掬い上げるようにしてコンベア１とは異なる位置にあ
る他の装置のロードポート上に移載することができるよ
うに構成されている。このため、移載装置３は、アンロ
ードポートのコンベア１と交わる方向に移動可能とし、
他の装置へ移動可能な移載装置本体３１と、この移載装
置本体３１に対し昇降と伸縮と旋回とをなすフォーク３
２とより構成される。
【００１４】なお、位置決め装置２には、ガラス基板Ｇ
をコンベア１上に降ろした後、支持台２１を基準位置に
戻す支持台復帰手段としての位置決めシリンダ２５、２
５を備え、ガラス基板Ｇを位置決めすることによって偏
位している支持台２１を、必要に応じて、エアーベアリ
ング２３から噴射されるエアー圧にて支持台２１を浮上
させながら、所定の基準位置に戻すようにする。
をコンベア１上に降ろした後、支持台２１を基準位置に
戻す支持台復帰手段としての位置決めシリンダ２５、２
５を備え、ガラス基板Ｇを位置決めすることによって偏
位している支持台２１を、必要に応じて、エアーベアリ
ング２３から噴射されるエアー圧にて支持台２１を浮上
させながら、所定の基準位置に戻すようにする。
【００１５】また、他方の装置となる受け渡し側のロー
ドポート４は、液晶などの製造装置側で、図示のよう
に、アンロードポートのコンベア１と対向する位置に配
設する場合と、この対向位置と横方向に位置をずらした
別の位置に配設することがある。そして、この製造装置
側は、１台だけでなく、複数台が隣接或いは所定の間隔
をあけて配設され、この隣接或いは並列される製造装置
間を移載装置３が移動するようにし、これにより、一方
の装置から他方の任意の装置へガラス基板Ｇを確実に移
送できるようにすることができる。
ドポート４は、液晶などの製造装置側で、図示のよう
に、アンロードポートのコンベア１と対向する位置に配
設する場合と、この対向位置と横方向に位置をずらした
別の位置に配設することがある。そして、この製造装置
側は、１台だけでなく、複数台が隣接或いは所定の間隔
をあけて配設され、この隣接或いは並列される製造装置
間を移載装置３が移動するようにし、これにより、一方
の装置から他方の任意の装置へガラス基板Ｇを確実に移
送できるようにすることができる。
【００１６】次に、この薄板物品の位置決め装置の動作
について説明する。アンロードポートのコンベア１上
を、設定された速度にて搬送されてきたガラス基板Ｇ
は、図１（Ａ）に示すように、コンベア１の終端部に達
すると、コンベアによる搬送が解除されるとともに、コ
ンベア１の下方に配設された位置決め装置２が駆動され
る。
について説明する。アンロードポートのコンベア１上
を、設定された速度にて搬送されてきたガラス基板Ｇ
は、図１（Ａ）に示すように、コンベア１の終端部に達
すると、コンベアによる搬送が解除されるとともに、コ
ンベア１の下方に配設された位置決め装置２が駆動され
る。
【００１７】この位置決め装置２の駆動により、図１
（Ｂ）に示すように、まず昇降装置２２が駆動されて支
持台２１が降下した待機位置（図１（Ａ）に示す位置）
から上昇し、コンベア１上のガラス基板Ｇはこの支持台
２１にて下部から持ち上げられるようになり、支持台２
１上に移載される。この支持台２１を持ち上げた状態
で、次にエアーベアリング２３からエアーを噴出させる
と、このエアー圧により支持台２１は、ガラス基板Ｇを
支持した状態で浮遊状態となる。
（Ｂ）に示すように、まず昇降装置２２が駆動されて支
持台２１が降下した待機位置（図１（Ａ）に示す位置）
から上昇し、コンベア１上のガラス基板Ｇはこの支持台
２１にて下部から持ち上げられるようになり、支持台２
１上に移載される。この支持台２１を持ち上げた状態
で、次にエアーベアリング２３からエアーを噴出させる
と、このエアー圧により支持台２１は、ガラス基板Ｇを
支持した状態で浮遊状態となる。
【００１８】このガラス基板Ｇが浮遊した状態で、対向
する位置決めシリンダ２４、２４を操作することによ
り、浮遊するガラス基板Ｇを、支持台２１ごと、両方向
から位置決めし、所定位置となるようにする。この場
合、ガラス基板Ｇは支持台２１と共に浮遊しているた
め、エアーベアリング２３との摩擦抵抗がないので、軽
く、迅速かつ正確に位置決めが正確に行える。次に、エ
アーベアリング２３からのエアー噴射を停止すると、ガ
ラス基板Ｇを支持した支持台２１は、エアーベアリング
２３上に直接支持されるようになる。
する位置決めシリンダ２４、２４を操作することによ
り、浮遊するガラス基板Ｇを、支持台２１ごと、両方向
から位置決めし、所定位置となるようにする。この場
合、ガラス基板Ｇは支持台２１と共に浮遊しているた
め、エアーベアリング２３との摩擦抵抗がないので、軽
く、迅速かつ正確に位置決めが正確に行える。次に、エ
アーベアリング２３からのエアー噴射を停止すると、ガ
ラス基板Ｇを支持した支持台２１は、エアーベアリング
２３上に直接支持されるようになる。
【００１９】この状態で、昇降装置２２の操作により支
持台２１を降下させ、コンベア１の下方位置に達する
と、この支持台２１上に支持されていたガラス基板Ｇ
は、位置決めされた状態で再びコンベア１上に支持され
る。
持台２１を降下させ、コンベア１の下方位置に達する
と、この支持台２１上に支持されていたガラス基板Ｇ
は、位置決めされた状態で再びコンベア１上に支持され
る。
【００２０】この後、ガラス基板Ｇの下方位置に移載装
置３のフォーク３２を挿入し、再び上昇させるとガラス
基板Ｇは、位置決めされた状態で、コンベア１側からフ
ォーク３２側に移載される。
置３のフォーク３２を挿入し、再び上昇させるとガラス
基板Ｇは、位置決めされた状態で、コンベア１側からフ
ォーク３２側に移載される。
【００２１】次に、移載装置３がアンロードポートのコ
ンベア１と受け渡し側のロードポート４間の走行路に添
って移動する。この際、図示のように、アンロードポー
トのコンベア１と受け渡し側のロードポート４とが対向
している場合は、この移載装置３はフォークを１８０度
旋回させるだけで、受け渡し側のロードポート４と対向
することができる。次に、フォークを定位置まで降下さ
せると、ガラス基板Ｇはフォーク側から受け渡し側のロ
ードポート４へ移載される。
ンベア１と受け渡し側のロードポート４間の走行路に添
って移動する。この際、図示のように、アンロードポー
トのコンベア１と受け渡し側のロードポート４とが対向
している場合は、この移載装置３はフォークを１８０度
旋回させるだけで、受け渡し側のロードポート４と対向
することができる。次に、フォークを定位置まで降下さ
せると、ガラス基板Ｇはフォーク側から受け渡し側のロ
ードポート４へ移載される。
【００２２】このようにガラス基板Ｇを、受け渡し側の
ロードポート４へ移載した後、フォーク３２を待機位置
まで旋回させて停止する。この動作を繰り返すことによ
り順次ガラス基板Ｇを、正確に位置決めしてアンロード
ポートのコンベア１からロードポート４側へ移送するこ
とができる。
ロードポート４へ移載した後、フォーク３２を待機位置
まで旋回させて停止する。この動作を繰り返すことによ
り順次ガラス基板Ｇを、正確に位置決めしてアンロード
ポートのコンベア１からロードポート４側へ移送するこ
とができる。
【００２３】なお、ガラス基板Ｇをコンベア１上に降ろ
した後、位置決め装置２に備えられた支持台２１を基準
位置に戻す支持台復帰手段としての位置決めシリンダ２
５、２５を駆動することにより、ガラス基板Ｇを位置決
めすることによって偏位している支持台２１を、エアー
ベアリング２３から噴射されるエアー圧にて支持台２１
を浮上させながら、所定の基準位置に戻すようにする。
した後、位置決め装置２に備えられた支持台２１を基準
位置に戻す支持台復帰手段としての位置決めシリンダ２
５、２５を駆動することにより、ガラス基板Ｇを位置決
めすることによって偏位している支持台２１を、エアー
ベアリング２３から噴射されるエアー圧にて支持台２１
を浮上させながら、所定の基準位置に戻すようにする。
【００２４】以上、本発明の薄板物品の位置決め装置に
ついて、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上
記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、例
えば、図４に示す変形第２実施例のように、コンベアと
は独立して位置決め装置２Ａを設けるようにし、移載装
置３Ａによりガラス基板Ｇを移送するようにする等、そ
の趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更す
ることができるものである。
ついて、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上
記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、例
えば、図４に示す変形第２実施例のように、コンベアと
は独立して位置決め装置２Ａを設けるようにし、移載装
置３Ａによりガラス基板Ｇを移送するようにする等、そ
の趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更す
ることができるものである。
【００２５】ここで、図４に示す変形第２実施例は、支
持台２１を、対向する支持台部材２１ａ間に所定の隙間
を設けて形成するとともに、移載装置３Ａのフォーク３
２を、前記並列する支持台部材２１ａの間に位置する複
数の幅方向の横フォーク３２ａと、前記対向する支持台
部材２１ａの間に位置し、前記横フォーク３２ａを連結
する縦フォーク３２ｂとにより構成するようにしてい
る。これにより、大型のガラス基板Ｇをその自重による
撓み量が小さくなるように収容し、収納時の曲げ応力に
起因するガラス基板Ｇの破損や変形を防止することがで
きるようにしている。
持台２１を、対向する支持台部材２１ａ間に所定の隙間
を設けて形成するとともに、移載装置３Ａのフォーク３
２を、前記並列する支持台部材２１ａの間に位置する複
数の幅方向の横フォーク３２ａと、前記対向する支持台
部材２１ａの間に位置し、前記横フォーク３２ａを連結
する縦フォーク３２ｂとにより構成するようにしてい
る。これにより、大型のガラス基板Ｇをその自重による
撓み量が小さくなるように収容し、収納時の曲げ応力に
起因するガラス基板Ｇの破損や変形を防止することがで
きるようにしている。
【００２６】
【発明の効果】本発明の薄板物品の位置決め装置によれ
ば、一方の装置から搬入された薄板物品を支持台により
支持し、エアー圧にて支持台を浮上させながら薄板物品
を支持台と共に少なくとも異なる２ヶ所にて出没する位
置決めストッパにて位置決めした後、エアー位置決めさ
れた薄板物品を他方の装置へ搬出するようにしているの
で、薄板物品を迅速かつ正確に位置決めしながら移送す
ることができる。そして、特に、エアー圧にて支持台を
浮上させながら薄板物品を支持台と共に位置決めするよ
うにしているので、摩擦力が浮上によりなくなり、小さ
な力で、大型の薄板物品を、破損することなく位置決め
することができる。
ば、一方の装置から搬入された薄板物品を支持台により
支持し、エアー圧にて支持台を浮上させながら薄板物品
を支持台と共に少なくとも異なる２ヶ所にて出没する位
置決めストッパにて位置決めした後、エアー位置決めさ
れた薄板物品を他方の装置へ搬出するようにしているの
で、薄板物品を迅速かつ正確に位置決めしながら移送す
ることができる。そして、特に、エアー圧にて支持台を
浮上させながら薄板物品を支持台と共に位置決めするよ
うにしているので、摩擦力が浮上によりなくなり、小さ
な力で、大型の薄板物品を、破損することなく位置決め
することができる。
【図１】本発明の薄板物品の位置決め装置の一実施例を
示し、（Ａ）は位置決め装置の位置でガラス基板が停止
した状態を、（Ｂ）は位置決め装置にてガラス基板が持
ち上げられ、位置決めされた状態を、それぞれ示す。
示し、（Ａ）は位置決め装置の位置でガラス基板が停止
した状態を、（Ｂ）は位置決め装置にてガラス基板が持
ち上げられ、位置決めされた状態を、それぞれ示す。
【図２】アンロードポートのコンベア及び移載装置を示
す外観斜視図である。
す外観斜視図である。
【図３】本発明の薄板物品の位置決め装置の変形第１実
施例を示す説明図である。
施例を示す説明図である。
【図４】本発明の薄板物品の位置決め装置の変形第２実
施例を示す説明図で、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は平面図
である。
施例を示す説明図で、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は平面図
である。
Ｇ ガラス基板（薄板物品）
１ コンベア
２、２Ａ 位置決め装置
２１ 支持台
２２ 昇降装置
２３ エアーベアリング
２４ 位置決めシリンダ（位置決めストッパ）
２５ 位置決めシリンダ（支持台復帰手段）
３、３Ａ 移載装置
３１ 移載装置本体
３２ フォーク
４ 受け渡し側のロードポート
Claims (2)
- 【請求項１】 ガラス基板などの薄板物品を一方の装置
から他方の装置へ移載装置を介して移送する場合におい
て、一方の装置から搬入された薄板物品を支持台により
支持し、エアー圧にて支持台を浮上させながら薄板物品
を支持台と共に少なくとも異なる２ヶ所にて出没する位
置決めストッパにて位置決めした後、エアー位置決めさ
れた薄板物品を他方の装置へ搬出するようにしたことを
特徴とする薄板物品の位置決め装置。 - 【請求項２】 薄板物品を他方の装置へ搬出した後、支
持台を基準位置に戻す支持台復帰手段を設けたことを特
徴とする請求項１記載の薄板物品の位置決め装置。
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|---|---|---|---|
| JP2001355393A JP3976170B2 (ja) | 2001-10-16 | 2001-10-16 | 薄板物品の位置決め装置 |
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| JP2001355393A JP3976170B2 (ja) | 2001-10-16 | 2001-10-16 | 薄板物品の位置決め装置 |
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005075643A (ja) * | 2004-01-23 | 2005-03-24 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 基板収納装置 |
| JP2007107973A (ja) * | 2005-10-12 | 2007-04-26 | Micronics Japan Co Ltd | 検査装置 |
| JP2013080851A (ja) * | 2011-10-05 | 2013-05-02 | Dainippon Printing Co Ltd | 基板のアラインメント方法及び装置 |
| JP2018536986A (ja) * | 2015-10-15 | 2018-12-13 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 基板キャリアシステム |
-
2001
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