TWM610917U

TWM610917U - 劃片裝置

Info

Publication number: TWM610917U
Application number: TW109216885U
Authority: TW
Inventors: 方圭龍; 金賢正
Original assignee: 韓商塔工程有限公司
Priority date: 2019-12-20
Filing date: 2020-12-21
Publication date: 2021-04-21
Also published as: CN216738071U; KR102353206B1; KR20210079905A

Abstract

根據本新型的實施例的劃片裝置，可包括：載物台，其構成為支撐基板；基板對齊單元，其構成為使載物台傾轉而使裝載於載物台的基板對齊；以及劃片單元，其構成為在裝載於載物台的基板上形成劃片線，載物台能夠構成為在基板向載物台的傾斜的一側移動的過程中向基板噴射氣體而使基板上浮，並在劃片單元在基板上形成劃片線的過程中停止向基板噴射氣體。

Description

劃片裝置

本新型涉及一種為了切割基板而構成為在基板上形成劃片線的劃片裝置（SCRIBING APPARATUS）。

一般來講，在平板顯示器上使用液晶顯示面板、有機電致發光顯示面板、無機電致發光顯示面板、透射式投影儀基板、反射式投影儀基板。平板顯示器使用從諸如玻璃之類的脆性母玻璃面板（基板）切割成規定的大小的單位玻璃面板（單位基板）。

切割基板的工序包括劃片工序。劃片工序在基板上沿著虛擬的預定線一邊對劃片輪進行加壓一邊使劃片輪移動而形成劃片線。

另一方面，在基板上形成劃片線的工序之前需要使基板對齊的工序。根據現有技術，在對齊基板的工序中使用諸如相機（camera）、鏡子之類的光學設備。因此，存在對齊基板所需的構成複雜且對齊基板的方法複雜之類的缺點。

（所要解決的問題）

本新型的目的在於提供一種使用簡單的構造就能夠使基板有效地對齊而不使用構造和控制方法複雜的光學設備的劃片裝置。

（解決問題的方案）

旨在達到上述目的之根據本新型的實施例的劃片裝置可包括：載物台（stage），其構成為支撐基板；基板對齊單元，其構成為使載物台傾轉而使裝載於載物台的基板對齊；以及劃片單元，其構成為在裝載於載物台的基板形成劃片線，載物台能夠構成為在基板向載物台的傾斜的一側移動的過程中向基板噴射氣體而使基板上浮並在劃片單元在基板形成劃片線的過程中停止向基板噴射氣體。

另外，旨在達到上述目的之根據本新型的實施例的劃片裝置可包括：載物台，其構成為支撐基板；基板對齊單元，其構成為使載物台傾轉而使裝載於載物台的基板對齊；以及劃片單元，其構成為在裝載於載物台的基板形成劃片線，載物台能夠構成為在基板向載物台的傾斜的一側移動的過程中使基板上浮並在劃片單元在基板形成劃片線的過程中吸附基板。

另外，旨在達到上述目的之根據本新型的實施例的劃片裝置可包括：載物台，其構成為支撐基板；基板輸送單元，其構成為將基板裝載於載物台；基板對齊單元，其構成為使載物台傾轉而使裝載於載物台的基板對齊；以及劃片單元，其構成為在裝載於載物台的基板形成劃片線，基板輸送單元在劃片單元在基板形成劃片線的過程中能夠支撐基板。

基板輸送單元能夠在載物台傾斜的狀態下將基板裝載於載物台。

基板對齊單元能夠包括：載物台傾轉（tilting）模組，其使載物台傾轉以使載物台的一端向下傾斜；以及止動器（stopper）模組，其位於鄰近載物台的一端的位置。

止動器模組可包括：止動器部件，其構成為與基板的一端接觸；以及移動單元，其使止動器部件沿傳送基板的方向或與傳送基板的方向正交的方向移動。

（新型效果）

利用根據本新型的實施例的劃片裝置，使用簡單的構造就能夠使基板有效地對齊而不使用構造和控制方法複雜的光學設備。

以下，參照附圖對根據本新型實施例的劃片裝置進行說明。

參照圖1至圖3，將傳送要形成劃片線的基板S的方向定義為Y軸方向。而且，將與基板S的傳送方向（Y軸方向）垂直的方向定義為X軸方向。而且，將與用於置放基板的X-Y平面垂直的方向定義為Z軸方向。另外，所謂劃片線的用語是指在基板S的表面沿著規定方向延伸地形成的槽和/或裂紋（crack）。

如圖1至圖3中所圖示，根據本新型的實施例的劃片裝置能夠包括基座B、載物台10、劃片單元20、基板輸送單元30、基板傳送單元40、基板對齊單元50以及控制單元（未圖示）。

基座B發揮支撐構成劃片裝置的各種構件的作用。

控制單元發揮控制劃片裝置的構件的動作的作用。

載物台10構成為支撐基板S。

在載物台10中形成有多個孔101。空氣供給器11與載物台10的多個孔101連接。從空氣供給器11供給的氣體向多個孔101噴出，由此基板S能夠在載物台10上上浮。

另外，諸如真空發生器之類的負壓源12與載物台10的多個孔101連接。通過負壓源12能夠在多個孔101中形成負壓。因此，基板S能夠附著並固定於載物台10。

在基板S在載物台10上移動的過程中，基板S能夠從載物台10上浮。在基板S形成劃片線的過程中，基板S能夠附著於載物台10。

劃片單元20構成為在基板S的第一表面（圖2中的基板S的上表面）和第二表面（圖2中的基板S的下表面）形成劃片線。但是，本新型並不限定於此。例如，劃片單元20能夠構成為僅在基板S的第一表面和第二表面中的一個表面形成劃片線。

劃片單元20能夠包括第一支撐件21、第一劃片頭22、第二支撐件23以及第二劃片頭24。

第一支撐件21沿X軸方向延伸。

第一劃片頭22以能夠沿X軸方向移動的方式設置於第一支撐件21。

第二支撐件23在第一支撐件21的下方與第一支撐件21平行地沿X軸方向延伸。

第二劃片頭24以能夠沿X軸方向移動的方式設置於第二支撐件23。

在第一支撐件21與第二支撐件23之間能夠形成供基板S通過的空間。第一支撐件21和第二支撐件23能夠作為單獨的部件製作之後組裝，或者能夠製作成一體。

在第一劃片頭22與第一支撐件21之間能夠具備線性移動單元。線性移動單元構成為與第一劃片頭22連接而使第一劃片頭22沿X軸方向移動。例如，線性移動單元能夠由使用氣壓或液壓的執行器（actuator）、通過電磁相互作用而工作的線性馬達、或滾珠螺桿（ball screw）單元構成。

在第二劃片頭24與第二支撐件23之間能夠具備線性移動單元。線性移動單元構成為與第二劃片頭24連接而使第二劃片頭24沿X軸方向移動。例如，線性移動單元能夠由使用氣壓或液壓執行器、通過電磁相互作用而工作的線性馬達、或滾珠螺桿單元構成。

第一劃片頭22和第二劃片頭24能夠配置成在Z軸方向上彼此相對。

在第一劃片頭22能夠設置輪保持器25，且在輪保持器25保持劃片輪251。能夠在第二劃片頭24設置輪保持器25，且在輪保持器25保持劃片輪251。安裝於第一劃片頭22的劃片輪251和安裝於第二劃片頭24的劃片輪251能夠配置成在Z軸方向上彼此相對。

一對劃片輪251能夠分別對基板S的第一表面和第二表面進行加壓。在一對劃片輪251分別對基板S的第一表面和第二表面進行加壓的狀態下，第一劃片頭22和第二劃片頭24能夠相對於基板S在X軸方向上移動。由此，在基板S的第一表面和第二表面能夠沿X軸方向形成劃片線。

另一方面，第一劃片頭22能夠以相對於第一支撐件21沿Z軸方向移動的方式構成。第二劃片頭24能夠以相對於第二支撐件23沿Z軸方向移動的方式構成。

為此，能夠在第一劃片頭22與第一支撐件21之間具備頭移動模組28。頭移動模組28發揮與第一劃片頭22連接而使第一劃片頭22沿Z軸方向移動的作用。另外，能夠在第二劃片頭24與第二支撐件23之間具備頭移動模組29。頭移動模組29發揮與第二劃片頭24連接而使第二劃片頭24沿Z軸方向移動的作用。例如，頭移動模組28、29能夠具備使用氣壓或液壓的執行器、通過電磁相互作用而工作的線性馬達、或諸如滾珠螺桿單元之類的線性移動單元。

第一劃片頭22和第二劃片頭24分別相對於第一支撐件21和第二支撐件23沿Z軸方向移動，由此，一對劃片輪251能夠對基板S進行加壓或者從基板S離開。而且，調節第一劃片頭22和第二劃片頭24沿Z軸方向移動的程度，由此，能夠調節一對劃片輪251施加於基板S的加壓力。另外，第一劃片頭22和第二劃片頭24沿Z軸方向移動，由此，能夠調節一對劃片輪251對基板S的切削深度（穿透深度）。

基板輸送單元30發揮將基板S裝載到載物台10上的作用。另外，基板輸送單元30發揮將載物台10上的基板S傳送到劃片單元20的作用。

基板輸送單元30能夠包括拾取器模組31、支撐框架32、拾取器移動模組33以及拾取器升降模組34。

拾取器模組31構成為保持基板S。

支撐框架32發揮支撐拾取器模組31的作用。拾取器模組31能夠以可沿Y軸方向移動的方式設置於支撐框架32。

拾取器移動模組33發揮使拾取器模組31沿X軸方向和Y軸方向移動的作用。作為拾取器移動模組33，能夠適用通過氣壓或液壓而工作的執行器、通過電磁相互作用而工作的線性馬達、或諸如滾珠螺桿單元之類的線性移動單元。拾取器模組31通過拾取器移動模組33來沿X軸方向和Y軸方向移動，從而能夠沿X軸方向和Y軸方向傳送基板S。

拾取器升降模組34發揮使拾取器模組31沿Z軸方向移動的作用。作為拾取器升降模組34，能夠適用通過氣壓或液壓而工作的執行器、通過電磁相互作用而工作的線性馬達、或諸如滾珠螺桿單元之類的線性移動單元。拾取器模組31通過拾取器升降模組34來沿Z軸方向移動，從而能夠將基板S裝載於載物台10或者將基板S從載物台10抬起。

基板傳送單元40發揮將基板S從劃片單元20傳送到後續工序的作用。

基板傳送單元40可包括支撐板41、傳送帶42以及移動裝置43。

支撐板41配置成鄰近劃片單元20。支撐板41構成為使基板上浮或者吸附基板。

傳送帶42配置成鄰近支撐板41。

移動裝置43構成為使支撐板41和傳送帶42在Y軸方向上往復移動。移動裝置43發揮使支撐板41和傳送帶42沿著在Y軸方向上延伸的導軌44在Y軸方向上往復移動的作用。作為移動裝置43，能夠適用使用氣壓或液壓的執行元器、通過電磁相互作用而工作的線性馬達、或諸如滾珠螺桿單元之類的線性移動單元。

支撐板41和傳送帶42能夠構成為通過移動裝置43來能夠一起沿與基板S的傳送方向平行的方向（Y軸方向）移動。

在通過劃片單元20來在基板S的第一表面和第二表面分別形成劃片線的過程中，支撐板41能夠朝向載物台10移動而位於鄰近載物台10的位置。另外，第一劃片頭22和第二劃片頭24能夠位於載物台10與支撐板41之間。在通過劃片單元20來在基板S的第一表面和第二表面分別形成劃片線的過程中，載物台10和支撐板41能夠彼此相鄰。因此，基板S能夠均穩定地支撐於載物台10和支撐板41。

能夠具備多個傳送帶42，多個傳送帶42可以在X軸方向上彼此隔開。各傳送帶42由多個帶輪421支撐，且多個帶輪421中的至少一個可以是提供使傳送帶42旋轉的驅動力的驅動帶輪。

支撐板41可以構成為能夠使基板S上浮或者吸附基板S。例如，能夠在支撐板41的表面形成與氣體供給源和真空源連接的多個切槽（slot）。在從氣體供給源向支撐板41的多個切槽供給氣體的情況下，基板S能夠從支撐板41上浮。另外，在利用由真空源形成的負壓將氣體通過支撐板41的多個切槽吸入的情況下，基板S能夠吸附於支撐板41。

在向支撐板41傳送基板S的過程中，氣體供給至支撐板41的切槽，由此，基板S能夠不與支撐板41發生摩擦地移動。

而且，在基板S的第一表面和第二表面分別形成劃片線的過程中，基板S能夠吸附並固定於支撐板41。

而且，在基板S的第一表面和第二表面分別形成了劃片線之後，在基板S吸附於載物台10和支撐板41的狀態下，支撐板41能夠以遠離載物台10的方式移動。由此，能夠沿著劃片線分割基板S。

另一方面，在基板S通過傳送帶42來從支撐板41向後續工序移動的過程中，氣體供給至支撐板41的切槽，由此，基板S能夠不與支撐板41發生摩擦地移動。

基板對齊單元50能夠包括載物台傾轉模組51、第一止動器模組52以及第二止動器模組53。

能夠將載物台傾轉模組51設置於載物台10的下部。載物台傾轉模組51構成為使載物台10在X軸方向或Y軸方向上傾轉。載物台傾轉模組51能夠傾轉載物台10使得載物台10在Y軸方向上的一端向下傾斜。另外，載物台傾轉模組51能夠傾轉載物台10使得載物台10在X軸方向上的一端向下傾斜。

作為一個例子，如圖2和圖3中所圖示，載物台傾轉模組51能夠構成為一端與載物台10鉸接且另一端與基座B鉸接的執行器。執行器能夠構成為液壓缸或氣壓缸。在載物台傾轉模組51構成為執行器的情況下，多個載物台傾轉模組51能夠設置於載物台10的下部。多個載物台傾轉模組51中的一部分舉起載物台10的一部分，由此能夠使載物台10傾斜。另外，使一部分載物台傾轉模組51舉起載物台10的一部分的程度與其餘傾轉模組51舉起載物台10的其餘部分的程度相異，由此，載物台10能夠傾斜。

作為另一個例子，雖然未圖示，但載物台傾轉模組51可以是與載物台10連接的多軸機器人。構成載物台傾轉模組51的多軸機器人以多個軸為基準工作，由此載物台10能夠傾斜。

作為又一個例子，雖然未圖示，但載物台傾轉模組51能夠包括執行器和鉸鏈部件。執行器和鉸鏈部件能夠與載物台10連接而支撐載物台10。執行器提供使載物台10旋轉的驅動力。鉸鏈部件發揮提供載物台10旋轉的鉸鏈軸的作用。因此，載物台10通過執行器的驅動力而能夠以鉸鏈部件的鉸鏈軸為中心旋轉，由此，載物台10能夠傾斜。

第一止動器模組52和第二止動器模組53能夠以載物台10的任一角部為中心配置於兩側。

第一止動器模組52構成為使基板S沿著X軸方向對齊。第一止動器模組52能夠配置成鄰近載物台10的Y軸方向的一端。第一止動器模組52的數量可以是兩個以上。第一止動器模組52能夠包括第一止動器部件521、第一X軸移動單元522以及第一Y軸移動單元523。

第一止動器部件521構成為與基板S在Y軸方向上的一端接觸。載物台10通過載物台傾轉模組51來傾轉，從而若與第一止動器部件521相鄰的載物台10的一端向下傾斜，則載物台10上的基板S由於自重而沿著傾斜的載物台10移動。由此，基板S在Y軸方向上的一端與第一止動器部件521接觸。因此，基板S在Y軸方向上的一端沿著多個第一止動器部件521排列的方向對齊。

由於第一止動器部件521是與基板S直接接觸的部件，因此，第一止動器部件521優選由彈性材料形成，以能夠防止基板S損壞。例如，第一止動器部件521可以具有可旋轉的輥或球的形態，在該情況下，基板S的一端可以與第一止動器部件521的外周表面接觸。

第一X軸移動單元522構成為使第一止動器部件521沿X軸方向移動。作為第一X軸移動單元522，能夠適用通過氣壓或液壓而工作的執行器、通過電磁相互作用而工作的線性馬達、或諸如滾珠螺桿單元之類的線性移動單元。第一止動器部件521通過第一X軸移動單元522來沿X軸方向移動，由此，能夠調節第一止動器部件521的在X軸方向上的位置。第一止動器部件521在X軸方向上的位置能夠調節成與第一止動器部件521須接觸的基板S的部分對應。

第一止動器部件521所接觸的基板S的部分優選為基板S被切割成多個單位基板時多個單位基板之間的區域。於此，多個單位基板之間的區域可以是不使用於產品而被去除遺棄的無效區域。這樣的無效區域是即使與外部部件接觸也不會影響產品的質量的基板的一部分，因此，第一止動器部件521優選與基板S的無效區域接觸。因此，可以通過第一X軸移動單元522來調節第一止動器部件521的在X軸方向上的位置，以使第一止動器部件521能夠與基板S的無效區域接觸。

第一Y軸移動單元523構成為使第一止動器部件521沿Y軸方向移動。作為第一Y軸移動單元523，能夠適用通過氣壓或液壓而工作的執行器、通過電磁相互作用而工作的線性馬達、或諸如滾珠螺桿單元之類的線性移動單元。第一止動器部件521通過第一Y軸移動單元523來沿Y軸方向移動，從而能夠調節第一止動器部件521的在Y軸方向上的位置。由於多個第一止動器部件521各自在Y軸方向上的位置被調節，因而能夠調節多個第一止動器部件521排列的方向。由於多個第一止動器部件521排列的方向被調節，因而能夠調節基板S在Y軸方向上的一端與多個第一止動器部件521接觸而被對齊的方向。基板S在Y軸方向上的一端與多個第一止動器部件521接觸而被對齊的方向可以是X軸方向，或者可以是相對於X軸（或Y軸）以規定的角度傾斜的方向。這樣，通過第一Y軸移動單元523來調節第一止動器部件521在Y軸方向上的位置，從而能夠確定基板S在Y軸方向上的一端對齊的方向。因此，就能夠使基板S相對於X軸（Y軸）以規定的角度對齊而無需握住基板S之後使基板S以Z軸為中心旋轉的額外結構。

第二止動器模組53構成為使基板S沿著Y軸方向對齊。第二止動器模組53能夠配置成鄰近載物台10的在X軸方向一端。第二止動器模組53的數量可以是兩個以上。第二止動器模組53能夠包括第二止動器部件531、第二X軸移動單元532以及第二Y軸移動單元533。

第二止動器部件531構成為與基板S在X軸方向上的一端接觸。載物台10通過載物台傾轉模組51來傾轉，從而若與第二止動器部件531相鄰的載物台10的一端向下傾斜則載物台10上的基板S由於自重而沿著傾斜的載物台10移動。由此，基板S在X軸方向上的一端與第二止動器部件531接觸。因此，基板S在X軸方向上的一端沿著多個第二止動器部件531排列的方向對齊。

由於第二止動器部件531是與基板S直接接觸的部件，因此，第二止動器部件531優選由彈性材料形成，以能夠防止基板S損壞。例如，第二止動器部件531可以具有可旋轉的輥或球的形態，在該情況下，基板S的一端可以與第二止動器部件531的外周表面接觸。

第二X軸移動單元532構成為使第二止動器部件531沿X軸方向移動。作為第二X軸移動單元532，能夠適用通過氣壓或液壓而工作的執行器、通過電磁相互作用而工作的線性馬達、或諸如滾珠螺桿單元之類的線性移動單元。第二止動器部件531通過第二X軸移動單元532來沿X軸方向移動，由此，能夠調節第二止動器部件531在X軸方向上的位置。由於多個第二止動器部件531各自在X軸方向上的位置被調節，因而能夠調節多個第二止動器部件531排列的方向。由於多個第二止動器部件531排列的方向被調節，因而能夠調節基板S在X軸方向上的一端與多個第二止動器部件531接觸而對齊的方向。基板S在X軸方向上的一端與多個第二止動器部件531接觸而對齊的方向可以是Y軸方向，或者可以是相對於Y軸（或X軸）以規定的角度傾斜的方向。這樣，通過第二X軸移動單元532來調節第二止動器部件531在X軸方向上的位置，從而能夠確定基板S在X軸方向上的一端對齊的方向。因此，就能夠使基板S相對於Y軸（X軸）以規定的角度對齊而無需握住基板S之後使基板S以Z軸為中心旋轉的額外結構。

第二Y軸移動單元533構成為使第二止動器部件531沿Y軸方向移動。作為第二Y軸移動單元533，能夠適用通過氣壓或液壓而工作的執行器、通過電磁相互作用而工作的線性馬達、或諸如滾珠螺桿單元之類的線性移動單元。第二止動器部件531通過第二Y軸移動單元533來沿Y軸方向移動，由此，能夠調節第二止動器部件531在Y軸方向上的位置。第二止動器部件531在Y軸方向上的位置能夠調節成與第二止動器部件531須接觸的基板S的部分對應。

第二止動器部件531所接觸的基板S的部分優選為基板S被切割成多個單位基板時位於多個單位基板之間的區域。於此，多個單位基板之間的區域可以是不使用於產品而被去除遺棄的無效區域。這樣的無效區域是即使與外部部件接觸也不會影響產品的質量的基板的一部分，因此，第二止動器部件531優選與基板S的無效區域接觸。因此，可以通過第二Y軸移動單元533來調節第二止動器部件531在Y軸方向上的位置，以使第二止動器部件531能夠與基板S的無效區域接觸。

以下，參照圖4至圖12對根據本新型的實施例的劃片裝置的工作過程進行說明。

首先，如圖4和圖5中所圖示，基板S通過基板輸送單元30裝載於載物台10上。此時，空氣供給至載物台10的多個孔101，由此，基板S從載物台10上浮。

在該狀態下，如圖6和圖7中所圖示，載物台10通過載物台傾轉模組51來傾斜。由此，若與第一止動器部件521相鄰的載物台10的一端向下傾斜則載物台10上的基板S由於自重而沿著傾斜的載物台10移動。因此，基板S在Y軸方向上的一端與多個第一止動器部件521接觸而沿著多個第一止動器部件521排列的方向對齊。

而且，如圖8中所圖示，載物台10通過載物台傾轉模組51來返回到初始的水平狀態（與X-Y平面平行的狀態）。

然後，如圖9和圖10中所圖示，載物台10通過載物台傾轉模組51來傾斜。由此，若與第二止動器部件531相鄰的載物台10的一端向下傾斜則載物台10上的基板S由於自重而沿著傾斜的載物台10移動。因此，基板S在X軸方向上的一端與多個第二止動器部件531接觸而沿著多個第二止動器部件531排列的方向對齊。

利用本新型的實施例的劃片裝置，則由於使載物台10傾轉，因而基板S能夠在載物台10上被對齊。因此，能夠使基板S有效地對齊而不使用構造和控制方法複雜的光學設備。

另外，利用根據本新型的實施例的劃片裝置，則由於使載物台10傾轉，因而基板S能夠在載物台10上被對齊。因此，就能夠使基板S相對於X軸或Y軸以規定的角度對齊而無需夾住基板S之後使基板S以Z軸為中心旋轉的額外的結構。

因此，如圖11中所圖示，即使大小相異的多種基板S1、S2裝載於載物台10，也能夠使劃片輪251將接觸的基板S1、S2上的初始作業位置W與將形成於該基板S1、S2上的預先設定的劃片線的起始點P1、P2一致。

另一方面，若使基板S對齊的過程結束，則在基板S通過基板輸送單元30傳送至劃片單元20之後，在基板S形成劃片線。

作為一個例子，在劃片單元20在基板S上形成劃片線的過程中，向載物台10的多個孔101供給的空氣被中斷。因此，劃片單元20能夠在基板S穩定地附著於載物台10的上表面的狀態下將劃片線形成於基板S。

作為另一個例子，在劃片單元20在基板S形成劃片線的過程中，基板S能夠吸附於載物台10。因此，劃片單元20能夠在基板S穩定地附著於載物台10的上表面的狀態下在基板S形成劃片線。

作為又一個例子，如圖12中所圖示，在劃片單元20在基板S形成劃片線的過程中，基板輸送單元30能夠支撐基板S。因此，劃片單元20能夠在基板S穩定地支撐於基板輸送單元30的狀態下在基板S形成劃片線。

這樣，在劃片單元20在基板S形成劃片線的過程中，能夠穩定地支撐基板S。因此，能夠在基板S更精密地形成劃片線。因此，能夠提高沿著劃片線切割的單位基板的質量和可靠性。

另一方面，如圖13至圖16中所圖示，在載物台10通過載物台傾轉模組51傾斜的狀態下，基板輸送單元30能夠將基板S裝載到載物台10上。

在這種情況下，在基板S裝載於載物台10的同時，基板S沿著傾斜的載物台10移動並與第一止動器部件521接觸而能夠被對齊。因此，能夠迅速地執行裝載基板S的過程和使基板S對齊的過程。

另外，如圖14中所圖示，在基板S裝載於載物台10的過程中，基板S的下表面依次抵接載物台10的上表面。即，與載物台10的上表面相鄰的基板S的下表面的面積依次增大。因此，有可能存在於載物台10的上表面與基板S的下表面之間的靜電能夠向基板S的一側（與第一止動器部件521相鄰的基板S的一側）釋放。因此，能夠防止由於基板S與載物台10之間的靜電而導致基板S的平坦度降低或基板S不能準確地裝載於載物台10的問題。

另一方面，在本新型的實施例中，說明了基板S在與第一止動器部件521接觸而對齊之後與第二止動器部件531接觸而對齊的過程。但是，本新型並不限定於此。例如，基板S能夠在與第二止動器部件531接觸而對齊之後與第一止動器部件521接觸而對齊。

另外，圖13至圖16圖示了在與第一止動器部件521相鄰的載物台10的一端向下傾斜的狀態下基板S裝載於載物台10並沿著載物台10移動且與第一止動器部件521接觸而被對齊的過程。但是，本新型並不限定於此。例如，可以在與第二止動器部件531相鄰的載物台10的一端向下傾斜的狀態下基板S裝載於載物台10並沿著載物台10移動且與第二止動器部件531接觸而對齊。

雖然例示性地說明了本新型的優選實施例，但本新型的範圍並不限定於這樣的特定實施例，可以在申請專利範圍中所記載的範疇內適當地進行變更。

10:載物台 101:孔 11:空氣供給器 12:負壓源 20:劃片單元 21:第一支撐件 22:第一劃片頭 23:第二支撐件 24:第二劃片頭 25:輪保持器 251:劃片輪 28:頭移動模組 29:頭移動模組 30:基板輸送單元 31:拾取器模組 32:支撐框架 33:拾取器移動模組 34:拾取器升降模組 40:基板傳送單元 41:支撐板 42:傳送帶 421:帶輪 43:移動裝置 44:導軌 50:基板對齊單元 51:載物台傾轉模組 52:第一止動器模組 521:第一止動器部件 522:第一X軸移動單元 523:第一Y軸移動單元 53:第二止動器模組 531:第二止動器部件 532:第二X軸移動單元 533:第二Y軸移動單元 B:基座 P1、P2:起始點 S、S1、S2:基板 W:初始作業位置

圖1是示意性地圖示了根據本新型實施例的劃片裝置的俯視圖。圖2是示意性地圖示了根據本新型實施例的劃片裝置的側視圖。圖3是示意性地圖示了根據本新型實施例的劃片裝置的側視圖。圖4至圖7是依次圖示了在根據本新型實施例的劃片裝置中相對於X軸對齊基板的過程的圖。圖8至圖10是依次圖示了在根據本新型實施例的劃片裝置中相對於Y軸對齊基板的過程的圖。圖11是示意性地圖示了在根據本新型實施例的劃片裝置中基板已在載物台上被對齊的狀態的圖。圖12是示意性地圖示了在根據本新型實施例的劃片裝置中在基板上形成劃片線的過程的圖。圖13至圖16是圖示了在根據本新型實施例的劃片裝置中基板裝載於載物台上的過程的其它例子的圖。

10:載物台

20:劃片單元

21:第一支撐件

22:第一劃片頭

23:第二支撐件

24:第二劃片頭

25:輪保持器

251:劃片輪

28:頭移動模組

29:頭移動模組

30:基板輸送單元

31:拾取器模組

32:支撐框架

33:拾取器移動模組

34:拾取器升降模組

40:基板傳送單元

41:支撐板

42:傳送帶

421:帶輪

43:移動裝置

44:導軌

50:基板對齊單元

51:載物台傾轉模組

52:第一止動器模組

521:第一止動器部件

522:第一X軸移動單元

523:第一Y軸移動單元

53:第二止動器模組

531:第二止動器部件

532:第二X軸移動單元

533:第二Y軸移動單元

B:基座

S:基板

Claims

一種劃片裝置，包括：載物台，其構成為支撐基板；基板對齊單元，其構成為使該載物台傾轉而對齊裝載於該載物台的該基板；以及劃片單元，其構成為將劃片線形成在裝載於該載物台的該基板，該載物台構成為在該基板向該載物台的傾斜的一側移動的過程中向該基板噴射氣體而使該基板向上浮並在該劃片單元將劃片線形成在該基板的過程中停止向該基板噴射氣體。
一種劃片裝置，包括：載物台，其構成為支撐基板；基板對齊單元，其構成為使該載物台傾轉而對齊裝載於該載物台的該基板；以及劃片單元，其構成為將劃片線形成在裝載於該載物台的該基板，該載物台構成為在該基板向該載物台的傾斜的一側移動的過程中使該基板向上浮並在該劃片單元將劃片線形成在該基板的過程中吸附該基板。
一種劃片裝置，包括：載物台，其構成為支撐基板；基板輸送單元，其構成為將該基板裝載於該載物台；基板對齊單元，其構成為使該載物台傾轉而對齊裝載於該載物台的該基板；以及劃片單元，其構成為將劃片線形成在裝載於該載物台的該基板，該基板輸送單元在該劃片單元將劃片線形成在該基板的過程中支撐該基板。
根據請求項3所述的劃片裝置，其中該基板輸送單元在該載物台傾斜的狀態下將該基板裝載於該載物台。
根據請求項1至3中任一項所述的劃片裝置，其中該基板對齊單元包括：載物台傾轉模組，其使該載物台傾轉以使該載物台的一端向下傾斜；以及止動器模組，其位於鄰近該載物台一端的位置。
根據請求項5所述的劃片裝置，其中該止動器模組包括：止動器部件，其構成為與該基板的一端接觸；以及移動單元，其使該止動器部件沿傳送該基板的方向或與傳送該基板的方向正交的方向移動。