CN216039273U - 划片装置 - Google Patents

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CN216039273U CN202023099258.1U CN202023099258U CN216039273U CN 216039273 U CN216039273 U CN 216039273U CN 202023099258 U CN202023099258 U CN 202023099258U CN 216039273 U CN216039273 U CN 216039273U
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Abstract

本实用新型的实施例的划片装置可包括:操作台,用于支撑基板;基板整列单元,用于对装载于操作台的基板进行整列;以及划片单元,具有用于在装载于操作台的基板上形成划片线的划片轮,基板整列单元可包括:操作台倾斜单元,以使操作台的一端向下方倾斜的方式使操作台倾斜;以及止挡模块,与操作台的一端相邻,基板顺着在操作台倾斜单元的作用下倾斜的操作台进行移动而与止挡模块相接触而整列,从而划片轮要与基板相接触的初始工作位置与要形成于基板上的划片线的起始点相一致。

Description

划片装置
技术领域
本实用新型涉及为了切割基板而在基板上形成划片线的划片装置。
背景技术
通常,在平板显示器中使用液晶显示面板、有机电致发光显示面板、无机电致发光显示面板、透射式投影仪基板以及反射式投影仪基板。平板显示器使用从如玻璃的脆性的母体玻璃面板(基板)以规定的尺寸切割的单元玻璃面板(单元基板)。
基板切割工序包括划片工序。在划片工序中,在基板上沿着虚拟的预定线按压划片轮的同时使其移动,从而形成划片线。
另一方面,在基板上形成划片线的工序之前,需要使基板整列的工序。在现有技术中,为了整列基板,需要在把持或吸附基板后使基板进行水平移动的结构。尤其是,需要在把持或吸附基板后使基板以相对于操作台的垂直轴为中心进行旋转的结构。这种结构被设计为仅对一种类型的基板进行整列,因此存在难以对尺寸不同的多种基板进行整列的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于,提供如下的划片装置,即,即使在操作台装载尺寸不同的多种基板,也可以使划片轮的初始工作位置与相应基板上的预设的划片线起始点相一致。
用于实现上述目的的本实用新型的实施例的划片装置可包括:操作台,用于支撑基板;基板整列单元,用于对装载于操作台的基板进行整列;以及划片单元,具有用于在装载于操作台的基板上形成划片线的划片轮,基板整列单元可包括:操作台倾斜单元,以使操作台的一端向下方倾斜的方式使操作台倾斜;以及止挡模块,与操作台的一端相邻,基板顺着在操作台倾斜单元的作用下倾斜的操作台进行移动而与止挡模块相接触而整列,从而划片轮要与基板相接触的初始工作位置与要形成于基板上的划片线的起始点相一致。
止挡模块可包括:止挡部件,与基板的一端相接触;以及移动机构,使止挡部件沿着移送基板的方向或与移送基板的方向正交的方向进行移动。
基板整列单元可包括:操作台倾斜单元,用于使操作台倾斜;以及第一止挡模块及第二止挡模块,以操作台的一个角部为中心配置于两侧。
第一止挡模块及上述第二止挡模块可分别包括:止挡部件,与基板的一端相接触;以及移动机构,使止挡部件沿着移送基板的方向或与移送基板的方向正交的方向进行移动。
基板搬运单元可以在操作台倾斜的状态下将基板装载于上述操作台。
根据本实用新型的实施例的划片装置,即使在操作台上装载尺寸不同的多种基板,也可以使划片轮的初始工作位置与相应基板上的预设的划片线起始点相一致。
附图说明
图1为简要示出本实用新型的实施例的划片装置的俯视图。
图2为简要示出本实用新型的实施例的划片装置的侧视图。
图3为简要示出本实用新型的实施例的划片装置的侧视图。
图4至图7为依次示出本实用新型的实施例的划片装置中的基板相对于X轴进行整列的过程的图。
图8至图10为为依次示出本实用新型的实施例的划片装置中的基板相对于Y轴进行整列的过程的图。
图11为简要示出在本实用新型的实施例的划片装置中在操作台上将基板整列后的状态的图。
图12为简要示出在本实用新型的实施例的划片装置中在基板形成划片线的过程的图。
图13至图16为示出在本实用新型的实施例的划片装置中将基板装载于操作台上的过程的另一例的图。
附图标记的说明
10:操作台
20:划片单元
30:基板搬运单元
40:基板移送单元
50:基板整列单元
具体实施方式
以下,参照附图,对本实用新型的实施例的划片装置进行说明。
参照图1至图3,将要形成划片线的基板S的移送方向定义为Y轴方向。并且,将与移送基板S的方向(Y轴方向)垂直的方向定义为X轴方向。并且,将与放置基板的X-Y平面垂直的方向定义为Z轴方向。此外,术语“划片线”是指,在基板S的表面沿着规定方向延伸而形成的槽和/或狭缝。
如图1至图3所示,本实用新型的实施例的划片装置可包括基座B、操作台10、划片单元20、基板搬运单元30、基板移送单元40、基板整列单元50、控制单元(未图示)。
基座B用于支撑构成划片装置的各种结构部件。
控制单元用于控制划片装置的结构部件的动作。
操作台10用于支撑基板S。
在操作台10形成有多个孔101。操作台10的多个孔101与供气器11相连接。从供气器11供给的气体朝多个孔101喷出,由此,基板S可以在操作台10上上浮。
此外,操作台10的多个孔101与如真空发生器那样的负压源12相连接。可在负压源12的作用下在多个孔101形成负压。因此,基板S可附着并固定于操作台10。
在基板S在操作台10上移动的过程中,基板S可以从操作台10上浮。在基板S上形成划片线的过程中,基板S可以附着于操作台10。
划片单元20在基板S的第一面(图2中基板S的上部面)及第二面(图2中基板S的下部面)形成划片线。但是本实用新型并不限定于此。例如,划片单元20可仅在基板S的第一面与第二面中的一个上形成划片线。
划片单元20可包括:第一支架21、第一划片头22、第二支架23、第二划片头24。
第一支架21沿X轴方向延伸。
第一划片头22以能够沿X轴方向移动的方式设置于第一支架21。
第二支架23在第一支架21的下方以与第一支架21平行的方式沿X轴方向延伸。
第二划片头24以能够沿X轴方向移动的方式设置于第二支架23。
第一支架21与第二支架23之间可形成用于使基板S通过的空间。第一支架21及第二支架23可作为单独的部件制作组装,或者可制作为一体。
可在第一划片头22与第一支架21之间设置直线移动机构。直线移动机构与第一划片头22相连接,使第一划片头22沿X轴方向进行移动。例如,直线移动机构可配置为使用空压或液压的致动器、在电磁相互作用下工作的直线电动机或滚珠丝杠副机构。
可在第二划片头24与第二支架23之间设置直线移动机构。直线移动机构与第二划片头24相连接,使第二划片头24沿X轴方向进行移动。例如,直线移动机构可配置为使用气动或液压的致动器、通过电磁相互作用工作的直线电动机、或滚珠丝杠副机构。
第一划片头22与第二划片头24可在Z轴方向上以对置的方式配置。
在第一划片头22设置有轮架25,轮架25可用于支撑划片轮251。在第二划片头24设置有轮架25,轮架25可用于支撑划片轮251。安装于第一划片头22的划片轮251与安装于第二划片头24的划片轮251可在Z轴方向上以对置的方式配置。
一对划片轮251可分别向基板S的第一面及第二面施加压力。在一对划片轮251分别向基板S的第一面及第二面施加压力的状态下,第一划片头22及第二划片头24可相对于基板S沿X轴方向进行移动。由此,可在基板S的第一面及第二面上沿X轴方向形成划片线。
另一方面,第一划片头22可相对于第一支架21沿Z轴方向进行移动。第二划片头24可相对于第二支架23沿Z轴方向进行移动。
为此,可在第一划片头22与第一支架21之间设置头部移动模块28。头部移动模块28用于与第一划片头22相连接而使第一划片头22沿Z轴方向移动。此外,可在第二划片头24与第二支架23之间设置头部移动模块29。头部移动模块29用于与第二划片头24相连接而使第二划片头24沿Z轴方向移动。例如,头部移动模块28、29可设置于如使用空压或液压的致动器、在电磁相互作用下工作的直线电动机、或滚珠丝杠副机构等的直线移动机构。
第一划片头22及第二划片头24可分别相对于第一支架21及第二支架23沿Z轴方向移动,从而一对划片轮251可向基板S施加压力或者从基板S离开。并且,可以通过调节第一划片头22及第二划片头24沿Z轴方向移动的程度,来调节一对划片轮251向基板S施加的压力。此外,由于第一划片头22及第二划片头24沿Z轴方向移动,因此可调节一对划片轮251对于基板S的切削深度(渗透深度)。
基板搬运单元30用于将基板S装载到操作台10。此外,基板搬运单元30用于向划片单元20移送操作台10上的基板S。
基板搬运单元30可包括:拾取器模块31、支撑框架32、拾取器移动模块33、拾取器升降模块34。
拾取器模块31用于支撑基板S。
支撑框架32用于支撑拾取器模块31。拾取器模块31能够以可沿Y轴方向移动的方式设置于支撑框架32。
拾取器移动模块33用于使拾取器模块31沿X轴方向及Y轴方向移动。作为拾取器移动模块33,可采用如使用空压或液压的致动器、在电磁相互作用下工作的直线电动机、或滚珠丝杠副机构等的直线移动机构。可在拾取器移动模块33的作用下使拾取器模块31沿X轴方向及Y轴方向移动的同时,沿X轴方向及Y轴方向移送基板S。
拾取器升降模块34用于使拾取器模块31沿Z轴方向移动。作为拾取器升降模块34,可采用如使用空压或液压的致动器、在电磁相互作用下工作的直线电动机、或滚珠丝杠副机构等的直线移动机构。可在拾取器升降模块34的作用下使拾取器模块31沿Z轴方向移动的同时,将基板S装载于操作台10或从操作台10抬起基板S。
基板移送单元40用于将基板S从划片单元20移送至后续工序。
基板移送单元40可包括:支撑板41、移送带42、移动装置43。
支撑板41与划片单元20相邻配置。支撑板41用于使基板上浮或吸附基板。
移送带42与支撑板41相邻配置。
移动装置43使支撑板41及移送带42沿Y轴方向进行往复移动。移动装置43用于使支撑板41及移送带42顺着沿Y轴方向延伸的导轨44在Y轴方向上进行往复移动。作为移动装置43,可采用如使用空压或液压的致动器、在电磁相互作用下工作的直线电动机、或滚珠丝杠副机构等的直线移动机构。
支撑板41及移送带42可在移动装置43的作用下一同在与移送基板S的方向平行的方向(Y轴方向)上进行移动。
在在划片单元20的作用下分别在基板S的第一面及第二面上形成划片线的过程中,支撑板41可朝向操作台10移动而与操作台10相邻。此外,第一划片头22及第二划片头24可位于操作台10与支撑板41之间。在在划片单元20的作用下分别在基板S的第一面及第二面上形成划片线的过程中,操作台10与支撑板41相邻。因此,操作台10及支撑板41均可稳定地支撑基板S。
移送带42可具有多个,多个移送带42可在X轴方向上互相隔开。各个移送带42被多个滑轮421支撑,多个滑轮421中的至少一个可以为提供使移送带42旋转的驱动力的驱动滑轮。
支撑板41可构成为使基板S上浮或吸附基板S。例如,可在支撑板41的表面上形成与供气源及真空源相连接的多个槽。在从供气源向支撑板41的多个槽供给气体的情况下,基板S可从支撑板41上浮。此外,在真空源所形成的负压的作用下经由支撑板41的多个槽吸入气体的情况下,基板S可吸附于支撑板41。
在向支撑板41移送基板S的过程中,向支撑板41的槽供给气体,由此,基板S能够以与支撑板41无摩擦的方式进行移动。
并且,在分别在基板S的第一面及第二面上形成划片线的过程中,基板S被吸附而固定于支撑板41。
并且,在分别在基板S的第一面及第二面上形成划片线之后,在基板S吸附在操作台10及支撑板41的状态下,支撑板41能够以远离操作台10的方式进行移动。由此,可沿着划片线分割基板S。
另一方面,在基板S通过移送带42从支撑板41向后续工序移动的过程中,向支撑板41的槽供给气体,由此,基板S能够以与支撑板41无摩擦的方式进行移动。
基板整列单元50可包括:操作台倾斜模块51、第一止挡模块52、第二止挡模块53。
操作台倾斜模块51可设置于操作台10的下部。操作台倾斜模块51用于使操作台10朝X轴方向或Y轴方向倾斜。操作台倾斜模块51能够以使操作台10的朝向Y轴方向的一端向下方倾斜的方式来使操作台10倾斜。此外,操作台倾斜模块51能够以使操作台10的朝向X轴方向的一端向下方倾斜的方式来使操作台10倾斜。
作为一例,如图2及图3所示,操作台倾斜模块51可由一端与操作台10铰链连接且另一端与基座B铰链连接的执行器构成。执行器可由液压缸或气压缸构成。在操作台倾斜模块51由执行器构成的情况下,多个操作台倾斜单元51可设置于操作台10的下部。通过多个操作台倾斜模块51中的部分操作台倾斜模块51抬起操作台10的一部分而操作台10可以倾斜。此外,部分操作台倾斜模块51的抬起操作台10的一部分的程度与其余操作台倾斜模块51的抬起操作台10的其余部分的程度不同,从而操作台10可以倾斜。
作为另一例,虽未图示,但操作台倾斜模块51可以为与操作台10相连接的多轴机器人。构成操作台倾斜模块51的多轴机器人以多个轴为基准工作,从而操作台10可以倾斜。
作为又一例,虽未图示,但操作台倾斜模块51可以包括执行器及铰链部件。执行器及铰链部件可以通过与操作台10相连接来支撑操作台10。执行器提供使操作台10进行旋转的驱动力。铰链部件起到提供用于旋转操作台10的铰链轴的作用。因此,操作台10可在执行器的驱动力的作用下以铰链部件的铰链轴为中心进行旋转,由此,操作台10可以倾斜。
第一止挡模块52及第二止挡模块53能够以操作台10的一个角部为中心配置于两侧。
第一止挡模块52用于沿X轴方向对基板S进行整列。第一止挡模块52可相邻配置于操作台10的Y轴方向上的一端。第一止挡模块52的数量可以为两个以上。第一止挡模块52可包括:第一止挡部件521、第一X轴移动机构522、第一Y轴移动机构523。
第一止挡部件521与基板S的朝向Y轴方向的一端相接触。操作台10在操作台倾斜模块51的作用下倾斜,若操作台10的与第一止挡部件521相邻的一端向下方倾斜,则操作台10上的基板S因自重而顺着倾斜的操作台10移动。由此,基板S的朝向Y轴方向的一端与第一止挡部件521相接触。因此,基板S的朝向Y轴方向的一端沿着排列多个第一止挡部件521的方向进行整列。
第一止挡部件521为与基板S直接接触的部件,因此,优选地,第一止挡部件521由弹性材料形成,以能够防止基板S受损。例如,第一止挡部件521可具有可旋转的辊或球的形态,在此情况下,基板S的一端可与第一止挡部件521的外周面相接触。
第一X轴移动机构522用于使第一止挡部件521沿X轴方向移动。作为第一X轴移动机构522,可采用如使用空压或液压的致动器、在电磁相互作用下工作的直线电动机、或滚珠丝杠副机构等的直线移动机构。在第一X轴移动机构522的作用下第一止挡部件521沿X轴方向进行移动,由此第一止挡部件521的朝向X轴方向的位置被调节。可对第一止挡部件521的朝向X轴方向的位置进行调节,以使第一止挡部件521应接触于基板S的部分相对应。
在基板S被切割为多个单元基板的情况下,基板S的第一止挡部件521所接触的部分优选为多个单元基板之间的区域。其中,多个单元基板之间的区域可以为不用于产品且要去除丢弃的无效区域。这种无效区域为基板的一部分,即使与外部部件接触也不会影响产品的质量。因此,优选地,第一止挡部件521与基板S的无效区域相接触。因此,为了使第一止挡部件521能够与基板S的无效区域相接触,可在第一X轴移动机构522的作用下调节第一止挡部件521的朝向X轴方向的位置。
第一Y轴移动机构523用于使第一止挡部件521沿Y轴方向移动。作为第一Y轴移动机构523,可采用如使用空压或液压的致动器、在电磁相互作用下工作的直线电动机、或滚珠丝杠副机构等的直线移动机构。在第一Y轴移动机构523的作用下第一止挡部件521沿Y轴方向进行移动,由此第一止挡部件521的朝向Y轴方向的位置被调节。多个第一止挡部件521的各自的朝向Y轴方向的位置被调节,从而多个第一止挡部件521的排列方向被调节。多个第一止挡部件521的排列方向被调节,从而基板S的朝向Y轴方向的一端与多个第一止挡部件521相接触而整列的方向被调节。基板S的朝向Y轴方向的一端与多个第一止挡部件521相接触而整列的方向可以为X轴方向,或者可以为相对于X轴(或Y轴)倾斜规定的角度的方向。如此,在第一Y轴移动机构523的作用下第一止挡部件521的朝向Y轴方向的位置被调节,从而基板S的朝向Y轴方向的一端要整列的方向被确定。因此,在把持基板S后无需使基板S以Z轴为中心进行旋转的额外的结构,便可相对于X轴(Y轴)以规定的角度使基板S整列。
第二止挡模块53用于沿Y轴方向对基板S进行整列。第二止挡模块53可相邻配置于操作台10的X轴方向上的一端。第二止挡模块53的数量可以为两个以上。第二止挡模块53可包括:第二止挡部件531、第二X轴移动机构532、第二Y轴移动机构533。
第二止挡部件531与基板S的朝向X轴方向的一端相接触。操作台10在操作台倾斜模块51的作用下倾斜,若操作台10的与第二止挡部件531相邻的一端向下方倾斜,则操作台10上的基板S因自重而顺着倾斜的操作台10移动。由此,基板S的朝向X轴方向的一端与第二止挡部件531相接触。因此,基板S的朝向X轴方向的一端沿着排列多个第二止挡部件531的方向进行整列。
第二止挡部件531为与基板S直接接触的部件,因此,优选地,第二止挡部件531由弹性材料形成,以能够防止基板S受损。例如,第二止挡部件531可具有可旋转的辊或球的形态,在此情况下,基板S的一端可与第二止挡部件531的外周面相接触。
第二X轴移动机构532用于使第二止挡部件531沿X轴方向移动。作为第二X轴移动机构532,可采用如使用空压或液压的致动器、在电磁相互作用下工作的直线电动机、或滚珠丝杠副机构等的直线移动机构。在第二X轴移动机构532的作用下第二止挡部件531沿X轴方向进行移动,由此第二止挡部件531的朝向X轴方向的位置被调节。多个第二止挡部件531的各自的朝向X轴方向的位置被调节,从而多个第二止挡部件531的排列方向被调节。多个第二止挡部件531的排列方向被调节,从而基板S的朝向X轴方向的一端与多个第二止挡部件531相接触而整列的方向被调节。基板S的朝向X轴方向的一端与多个第二止挡部件531相接触而整列的方向可以为Y轴方向,或者可以为相对于Y轴(或X轴)倾斜规定的角度的方向。如此,在第二X轴移动机构532的作用下第二止挡部件531的朝向X轴方向的位置被调节,从而基板S的朝向X轴方向的一端要整列的方向被确定。因此,在把持基板S后无需使基板S以Z轴为中心进行旋转的额外的结构,便可相对于Y轴(X轴)以规定的角度使基板S整列。
第二Y轴移动机构533用于使第二止挡部件531沿Y轴方向移动。作为第二Y轴移动机构533,可采用如使用空压或液压的致动器、在电磁相互作用下工作的直线电动机、或滚珠丝杠副机构等的直线移动机构。在第二Y轴移动机构533的作用下第二止挡部件531沿Y轴方向进行移动,由此第二止挡部件531的朝向Y轴方向的位置被调节。可对第二止挡部件531的朝向Y轴方向的位置进行调节,以使第二止挡部件531应接触于基板S的部分相对应。
在基板S被切割为多个单元基板的情况下,基板S的第二止挡部件531所接触的部分优选为多个单元基板之间的区域。其中,多个单元基板之间的区域可以为不用于产品且要去除丢弃的无效区域。这种无效区域为基板的一部分,即使与外部部件接触也不会影响产品的质量。因此,优选地,第二止挡部件531与基板S的无效区域相接触。因此,为了使第二止挡部件531能够与基板S的无效区域相接触,可在第二Y轴移动机构533的作用下调节第二止挡部件531的朝向Y轴方向的位置。
以下,参照图4及图12,对本实用新型的实施例的划片装置的工作过程进行说明。
首先,如图4及图5所示,利用基板搬运单元30而将基板S装载于操作台10上。在此情况下,向操作台10的多个孔101供给空气而使基板S从操作台10上上浮。
在此状态下,如图6及图7所示,操作台10在操作台倾斜模块51的作用下倾斜。由此,若操作台10的与第一止挡部件521相邻的一端向下方倾斜,则操作台10上的基板S因自重而顺着倾斜的操作台10移动。因此,基板S的朝向Y轴方向的一端与多个第一止挡部件521相接触而在多个第一止挡部件521所排列的方向上整列。
并且,如图8所示,操作台10在操作台倾斜模块51的作用下恢复到初始的水平状态(与X-Y平面平行的状态)。
然后,如图9及图10所示,操作台10在操作台倾斜模块51作用下倾斜。由此,若操作台10的与第二止挡部件531相邻的一端向下方倾斜,则操作台10上的基板S因自重而顺着倾斜的操作台10移动。因此,基板S的朝向X轴方向的一端与多个第二止挡部件531相接触而在多个第二止挡部件531所排列的方向上整列。
根据本实用新型的实施例的划片装置,可通过使操作台10倾斜来在操作台10上对基板S进行整列。因此,不使用结构或控制方法复杂的光学装置,便可有效地使基板S整列。
此外,根据本实用新型的实施例的划片装置,可通过使操作台10倾斜来在操作台10上对基板S进行整列。因此,在把持基板S后无需使基板S以Z轴为中心进行旋转的额外的结构,便可相对于Y轴(X轴)以规定的角度使基板S整列。
因此,如图11所示,即使在操作台10上装载尺寸不同的多种基板S1、S2,也可以使需与划片轮251接触的基板S1、S2上的初始工作位置W与形成在相应基板S1、S2上的预设的划片线起始点P1、P2相一致。
另一方面,若完成了对基板S进行整列的过程,则在基板S被基板搬运单元30移送到划片单元20之后,在基板S上形成划片线。
作为一例,在划片单元20在基板S上形成划片线的过程中,向操作台10的多个孔101供给的空气被中断。因此,在基板S稳定地附着在操作台10的上部面的状态下,划片单元20可在基板S上形成划片线。
作为另一例,在划片单元20在基板S上形成划片线的过程中,基板S可被吸附在操作台10。因此,在基板S稳定地吸附在操作台10的上部面的状态下,划片单元20可在基板S上形成划片线。
作为又一例,如图12所示,在划片单元20在基板S上形成划片线的过程中,基板搬运单元30可支撑基板S。因此,在基板S稳定地被基板搬运单元30支撑的状态下,划片单元20可在基板S上形成划片线。
如上所述,在划片单元20在基板S上形成划片线的过程中,基板S可以被稳定地支撑。因此,划片线可更精密地形成于基板S上。因此,可提高沿划片线切割的单元基板的质量及可靠性。
另一方面,如图13至图16所示,在操作台10在操作台倾斜模块51的作用下倾斜的状态下,基板搬运单元30可将基板S装载于操作台10。
在上述情况下,在将基板S装载于操作台10的同时,基板S顺着倾斜的操作台10进行移动,从而与第一止挡部件521接触而被整列。因此,可快速地执行装载基板S的过程及整列基板S的过程。
此外,如图14所示,在将基板S装载于操作台10的过程中,基板S的下部面依次与操作台10的上部面相邻。即,与操作台10的上部面相邻的基板S的下部面的面积依次增加。因此,存在于操作台10的上部面与基板S的下部面之间的静电可向基板S的一侧(基板S的与第一止挡部件521相邻的一侧)释放。因此,可以防止因基板S与操作台10之间的静电导致的基板S的平整度下降或基板S未被顺利地装载于操作台10的问题。
另一方面,在本实用新型的实施例中,说明了在基板S与第一止挡部件521相接触而整列之后与第二止挡部件531相接触而进行整列的过程。但是,本实用新型并不限定于此。例如,基板S可以与第二止挡部件531相接触而进行整列之后与第一止挡部件521相接触而进行整列。
此外,图13至图16示出如下的过程,即,在操作台10的与第一止挡部件521相邻的一端向下倾斜的状态下,基板S装载于操作台10,并顺着操作台10进行移动,从而与第一止挡部件521相接触而进行整列。但是,本实用新型并不限定于此。例如,在操作台10的与第二止挡部件531相邻的一端向下倾斜的状态下,基板S装载于操作台10,并顺着操作台10而进行移动,从而可与第二止挡部件531相接触而进行整列。
虽然已经例示性地对本实用新型的优选实施例进行了说明,但本实用新型的范围并不限定于上述特定的实施例,并且可以在实用新型的权利要求书中所记载的范围内进行适当的变更。

Claims (5)

1.一种划片装置,其特征在于,包括:
操作台,用于支撑基板;
基板整列单元,用于对装载于上述操作台的上述基板进行整列;以及
划片单元,具有用于在装载在上述操作台的上述基板上形成划片线的划片轮,
上述基板整列单元包括:
操作台倾斜单元,以使上述操作台的一端向下方倾斜的方式使上述操作台倾斜;以及
止挡模块,与上述操作台的一端相邻,
上述基板顺着在上述操作台倾斜单元的作用下倾斜的上述操作台进行移动而与上述止挡模块相接触而整列,从而上述划片轮要与上述基板相接触的初始工作位置与要形成于上述基板上的划片线的起始点相一致。
2.根据权利要求1所述的划片装置,其特征在于,
上述止挡模块包括:
止挡部件,与上述基板的一端相接触;以及
移动机构,使上述止挡部件沿着移送上述基板的方向或与移送上述基板的方向正交的方向进行移动。
3.根据权利要求1所述的划片装置,其特征在于,
上述基板整列单元包括:
操作台倾斜单元,用于使上述操作台倾斜;以及
第一止挡模块及第二止挡模块,以上述操作台的一个角部为中心配置于两侧。
4.根据权利要求3所述的划片装置,其特征在于,
上述第一止挡模块及上述第二止挡模块分别包括:
止挡部件,与上述基板的一端相接触;以及
移动机构,使上述止挡部件沿着移送上述基板的方向或与移送上述基板的方向正交的方向进行移动。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的划片装置,其特征在于,
上述划片装置进一步包括:在上述操作台倾斜的状态下将上述基板装载于上述操作台的基板搬运单元。
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