JP2002019959A - 基板移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 大型の基板を高速で移載でき、必要設置スペ
ースを更に小さくでき、特殊装置を必要とせずに通常の
ローラコンベアに基板を移載でき、更に、カセット内の
最下段基板とカセット底板までのクリアランスを小さく
でき、かつカセット入替え時にも基板搬送ができる基板
移載装置を提供する。 【解決手段】 搬入位置の基板を支持して中間位置まで
移動させる移載ハンド８と、中間位置で基板を支持して
搬出位置まで水平移動させる中間水平コンベア９とを備
える。移載ハンド８は、搬入位置の基板の取出方向Ｘに
水平移動可能かつ中間水平コンベアの上下まで昇降可能
であり、かつ中間位置で中間水平コンベアと上下に交叉
可能に構成されている。また中間水平コンベア９は、中
間位置の同一高さで移載ハンド８との干渉を避けるため
に、上下に昇降可能に、或は幅方向に退避可能に構成さ
れている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイ用基板又はガラス基板を移載する基板移載装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）
の製造プロセスでは、プラズマディスプレイ用基板の洗
浄、印刷、焼成工程を経て、リブの形成や電極の形成が
完了する。これらの工程の装置は、ほとんどが１枚ずつ
の枚葉毎に加工される。一方、各工程への基板の搬送
は、搬送時間の関係から複数枚をまとめてカセットによ
る搬送が行われる。従って、各工程への投入及び完了後
は図４に示すカセットステーションが設置され、カセッ
トから基板を取り出し、カセットに基板を格納する基板
移載機が使用される。

【０００３】カセットは、図５に模式的に示すように、
取出し側を除く外縁部で基板１を水平に支持し、上下方
向に間隔を隔てて複数（例えば１５〜２０枚）を収納す
るようになっている。基板１の表面はドーピングその他
の処理を行うため、異物との接触を完全に回避する必要
がある。そのため、従来は、図６に示すような関節アー
ムロボットを基板移載装置として用い、薄いハンド６を
基板１の間に水平に挿入し、裏面から支持して基板を僅
かに持ち上げてカセットから取り出し、自動移載してい
た。

【０００４】しかし、上述した従来の基板移載装置に
は、以下の問題点があった。 （１）近年のプラズマディスプレイの製造では、従来の
液晶ディスプレイに比べ、基板寸法も大型化（例えば１
０００ｍｍ×１４００ｍｍ）し、その重量も倍加してい
る。そのため、従来の液晶ディスプレイの製造で使用さ
れていた関節アームロボットでは、この大型基板のハン
ドリングは出来ない。また、従来の関節アームロボット
を大型化した場合でも、アームが長くなり、アームの揺
動等に要するスペースが大きくなり、クリーンルームを
大型化する必要が生じ、設備費及び運転費が大幅に増大
する。 （２）また、関節アームロボットで基板を移載する場合
には、アーム先端部のハンドで基板を抜き出し、ハンド
を水平に旋回又は反転させて所望の位置まで移動させる
必要がある。そのため、アームの作動が複雑化するばか
りでなく、アーム等の重量が大きいため高速作動が困難
となり、動作速度が遅くなりかつ位置決め精度が低下す
る。また、これを無理に高速化・高精度化しようとする
と、装置動力が大幅に増大する。

【０００５】これらの問題点を解決するために、本発明
の発明者等は先に、図７に示す基板移載装置を創案し出
願した（特開平１１−２２７９４３号）。この基板移載
装置は、搬入位置の基板を支持して中間位置まで移動さ
せる搬入ハンド４と、中間位置で基板を支持して搬出位
置まで移動させる搬出ハンド５とを備え、この搬入ハン
ド及び搬出ハンドが、搬入位置の基板の取出方向Ｘにそ
れぞれ水平移動可能かつ上下動可能であり、かつ中間位
置で互いに上下に交叉可能であり、更にその一方が下降
している際に、他方が上昇してＸ方向に水平移動可能に
構成されたものである。なお、この図で、６は水平移動
装置、７は上下動装置である。

【０００６】この構成により、可動部分が小さくシンプ
ルな構造で大型の基板を高速で移載でき、必要設置スペ
ースが小さく、移載距離が大きい場合でも高精度で移載
でき、かつ必要動力が小さい基板移載装置とすることが
可能となった。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、特開平１１−
２２７９４３号の基板移載装置には、以下の問題点があ
った。 （１）搬入ハンド４と搬出ハンド５の相互の干渉を避け
るために、中間位置で互いに上下に交叉可能なフィンガ
ー部４ａ，５ａをＸ方向外方端部で片持ち支持する支持
部４ｂ，５ｂを必要とし、その分余分なデッドスペース
が必要となる。 （２）また、大きな基板１の外側に基板を取り回すため
の支持部４ｂ，５ｂや水平移動装置６等を必要とする。
これらの理由から、必要設置スペースを更に小さくする
ことが困難であり、装置全体の占めるスペースが大き
く、これを収納するクリーンルームが大型化しそのコス
トが過大となる問題点があった。 （３）更に、基板１の搬出位置（受取り側）に、フィン
ガー部４ａ，５ａとの干渉を避けるために、プッシュア
ップ機構などの特殊装置を必要とし、通常のローラコン
ベアの使用ができない問題点があった。 （４）また、搬入位置から基板を取り出し、中間位置で
乗せ替え、搬出位置に移載するまで、次の基板の取り出
しを開始できず、移載のハンドリング時間が長く、サイ
クルタイムが長い問題点があった。

【０００８】これらの問題点を解決するために、本発明
の発明者等は、先に、中間基板受けの無いものと有るも
のの２種の基板移載装置を創案し出願した（特願２００
０-１２２０３４号、未公開）。

【０００９】中間基板受けの無い基板移載装置は、図８
に模式的に示すように、移載ハンド８と中間水平コンベ
ア９を備え、（Ａ）移載ハンド８をコンベアの下でカセ
ット２の最下段の基板１の下に挿入し、（Ｂ）基板１を
移載ハンド８の上に載せてコンベアの上で移載ハンド８
を抜き出し、（Ｃ）コンベア９の間を縫って移載ハンド
８を下降し、基板１をコンベア９の上に載せ替えるもの
である。（Ｄ）次いで、コンベア９の上の基板１を搬送
ラインのコンベア装置１０に移載しながら、並行して移
載ハンド８をコンベアの下でカセット２の次の最下段の
基板１の下に挿入する。このステップの繰替えしによ
り、基板１を順次、カセット２から取り出し、搬送ライ
ンのコンベア装置１０に移載することができる。

【００１０】この基板移載装置は、作動がシンプルであ
る特徴を有するが、移載ハンド８と中間水平コンベア９
の干渉を避けるため、移載ハンド８を中間水平コンベア
９と同レベルで水平移動させることができない。そのた
め、カセット２内の最下段基板１とカセット底板までの
クリアランスが大きくなり、カセット２内のデッドスペ
ースが大きい問題点がある。また、この基板移載装置
で、カセット内の最後の基板１を（Ｃ）のステップまで
移載した後、（Ｄ）のステップに移ると、空のカセット
内に移載ハンドを挿入することになり、次の新しいカセ
ットへの交換作業を妨害することになる。そのため、カ
セットの交換作業の間、（Ｃ）のステップで移載ハンド
を停止させておく必要が生じ、その分待ち時間が長くな
り、タクトタイムが長くなる。

【００１１】一方、中間基板受けを有する基板移載装置
は、図９に模式的に示すように、移載ハンド８と中間水
平コンベア９の他に中間基板受け１１を備え、（Ａ）ハ
ンド８がコンベア９の上を通ってカセット２の基板１を
取り出し、（Ｂ）ハンド８の下降と基板受け１１の上昇
で基板１を基板受け１１に載せ替え、（Ｃ）ハンド８を
コンベア９と干渉しない位置でコンベアの下まで下降
し、（Ｄ）基板受け１１を下降して基板１をコンベア９
に載せ替え、（Ｅ）コンベア９により基板１をコンベア
装置１０に移載し、その後、基板受け１１を上昇し、ハ
ンド８を上昇して、次の基板の取り出し動作に移行す
る。このステップの繰替えしにより、同様に基板１を順
次、カセット２から取り出し、搬送ラインのコンベア装
置１０に移載することができる。

【００１２】この基板移載装置は、カセット内の最後の
基板１を（Ｄ）のステップまで移載した後、（Ｅ）のス
テップの間に空のカセットを次の新しいカセットへ交換
できる。従って、カセット入替え時にも基板搬送ができ
る。しかし、全高が高く、ハンドの上昇ストロークを大
きくする必要がある問題点がある。

【００１３】本発明はかかる問題点を解決するために創
案されたものである。すなわち本発明の主目的は、大型
の基板を高速（短いサイクルタイム）で移載でき、必要
設置スペースを更に小さくでき、特殊装置を必要とせず
に通常のローラコンベアに基板を移載でき、かつ可動部
が少なくシンプルな構造で安価に製造することが可能で
ある基板移載装置を提供することにある。また、本発明
の別の目的は、カセット内の最下段基板とカセット底板
までのクリアランスを小さくでき、かつカセット入替え
時にも基板搬送ができる基板移載装置を提供することに
ある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】第１の発明によれば、水
平に支持された平板状の基板（１）を、搬入位置から搬
出位置まで、基板の下面を支持して移載する基板移載装
置であって、搬入位置の基板を支持して中間位置まで移
動させる移載ハンド（８）と、中間位置で基板を支持し
て搬出位置まで移動させる中間水平コンベア（９）と、
中間位置で中間水平コンベアの上下まで昇降可能な中間
基板受け（１１）とを備え、前記移載ハンドは、搬入位
置の基板の取出方向Ｘに水平移動可能かつ中間水平コン
ベアの上部で昇降可能であり、中間基板受けは移載ハン
ド及び中間水平コンベアと、上下に交叉可能に構成され
ている、ことを特徴とする基板移載装置が提供される。

【００１５】本発明の好ましい実施形態によれば、移載
ハンド（８）を前記コンベア（９）の上を通して、搬入
位置にあるカセット（２）の最下段の基板（１）の下に
挿入し、移載ハンドを上昇させてハンド上に基板を載せ
替え、移載ハンドを中間位置まで水平移動し、移載ハン
ドの下降と基板受けの上昇で基板を基板受けの上に載せ
替え、移載ハンドを基板受けとコンベアの間を通して次
の基板を取り出しのため搬入位置に移動し、基板受けを
下降し基板をコンベア上に載せ替え、搬出位置に移載す
る。

【００１６】この第１発明によれば、移載ハンド（８）
はコンベアの上部のみで昇降するので、そのストローク
を短くでき、かつコンベアとの干渉が避けられるので、
ハンド形状を自由に設定することができる。また、大型
の基板を高速（短いサイクルタイム）で移載でき、必要
設置スペースを小さくでき、特殊装置を必要とせずに通
常のローラコンベアに基板を移載でき、かつ可動部が少
なくシンプルな構造で安価に製造することが可能であ
る。

【００１７】第２の発明によれば、水平に支持された平
板状の基板（１）を、搬入位置から搬出位置まで、基板
の下面を支持して移載する基板移載装置であって、搬入
位置の基板を支持して中間位置まで移動させる移載ハン
ド（８）と、中間位置で基板を支持して搬出位置まで水
平移動させる中間水平コンベア（９）とを備え、前記移
載ハンドは、搬入位置の基板の取出方向Ｘに水平移動可
能かつ中間水平コンベアの上下まで昇降可能であり、か
つ前記中間位置で中間水平コンベアと上下に交叉可能に
構成されており、前記中間水平コンベアは、中間位置で
上下に昇降可能に構成されている、ことを特徴とする基
板移載装置が提供される。

【００１８】本発明の好ましい実施形態によれば、移載
ハンド（８）を前記コンベア（９）の下を通して、搬入
位置にあるカセット（２）の最下段の基板（１）の下に
挿入し、移載ハンドを上昇させてハンド上に基板を載せ
替え、コンベアを下降させコンベアの上を通して移載ハ
ンドを中間位置まで水平移動し、移載ハンドを下降させ
かつコンベアを上昇させて基板をコンベア上に載せ替
え、搬出位置に移載する。

【００１９】この第２発明によれば、カセット内の最下
段基板とカセット底板までのクリアランスを小さくで
き、かつカセット入替え時にも基板搬送ができる。ま
た、大型の基板を高速（短いサイクルタイム）で移載で
き、必要設置スペースを小さくでき、特殊装置を必要と
せずに通常のローラコンベアに基板を移載でき、かつ可
動部が少なくシンプルな構造で安価に製造することが可
能である。

【００２０】第３の発明によれば、水平に支持された平
板状の基板（１）を、搬入位置から搬出位置まで、基板
の下面を支持して移載する基板移載装置であって、搬入
位置の基板を支持して中間位置まで移動させる移載ハン
ド（８）と、中間位置で基板を支持して搬出位置まで水
平移動させる中間水平コンベア（９）とを備え、前記移
載ハンドは、搬入位置の基板の取出方向Ｘに水平移動可
能かつ中間水平コンベアの上下まで昇降可能であり、か
つ前記中間位置で中間水平コンベアと上下に交叉可能に
構成されており、前記中間水平コンベアは、中間位置で
幅方向に退避可能に構成されている。

【００２１】本発明の好ましい実施形態によれば、移載
ハンド（８）を前記コンベア（９）の下を通して、搬入
位置にあるカセット（２）の最下段の基板（１）の下に
挿入し、移載ハンドを上昇させてハンド上に基板を載せ
替え、コンベアを幅方向に退避させコンベアの上を通し
て移載ハンドを中間位置まで水平移動し、コンベアを搬
送位置に復帰させ、移載ハンドを下降させて基板をコン
ベア上に載せ替え、搬出位置に移載する。

【００２２】この第３発明によっても、カセット内の最
下段基板とカセット底板までのクリアランスを小さくで
き、かつカセット入替え時にも基板搬送ができる。ま
た、大型の基板を高速（短いサイクルタイム）で移載で
き、必要設置スペースを小さくでき、特殊装置を必要と
せずに通常のローラコンベアに基板を移載でき、かつ可
動部が少なくシンプルな構造で安価に製造することが可
能である。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を図面を参照して説明する。なお、各図において、共通
する部分には同一の符号を付し重複した説明を省略す
る。

【００２４】図１は、本発明の第１実施形態の基板移載
装置の作動説明図である。本発明の基板移載装置は、水
平に支持された平板状の基板１を、搬入位置から搬出位
置まで、基板の下面を支持して移載する基板移載装置で
ある。

【００２５】また、図１（Ａ）に示すように、本発明の
基板移載装置は、移載ハンド８、中間水平コンベア９及
び中間基板受け１１を備える。移載ハンド８は、搬入位
置の基板１の取出方向Ｘに水平移動でき、かつ中間水平
コンベア９の上部で昇降できるように構成されている。
従って、この移載ハンド８により、搬入位置の基板１を
支持して中間位置まで移動させることができる。中間水
平コンベア９は、移載ハンド８の下方に固定された複数
の水平ローラからなり、各ローラを回転駆動することに
より、中間位置で基板１を支持して搬出位置のコンベア
装置１０まで水平に移動させるようになっている。中間
基板受け１１は、中間位置に位置し、移載ハンド８及び
中間水平コンベア９と、上下に交叉可能に構成され、か
つ中間位置で中間水平コンベア９の上下まで昇降できる
ようになっている。

【００２６】図１（Ａ）に示した基板移載装置は、図１
（Ａ）〜（Ｆ）に示すように作動して、搬入位置から搬
出位置まで、基板を移載する。すなわち、（Ａ）移載ハ
ンド８をコンベア９の上を通して、（Ｂ）搬入位置にあ
るカセット２の最下段の基板１の下に挿入し、移載ハン
ド８を上昇させてハンド上に基板を載せ替え、（Ｃ）移
載ハンド８を中間位置まで水平移動し、移載ハンド８の
下降と基板受け１１の上昇で基板１を基板受け１１の上
に載せ替え、（Ｄ）移載ハンド８を基板受けとコンベア
の間を通して次の基板１を取り出しのため搬入位置に移
動し、（Ｅ）基板受け１１を下降し基板１をコンベア上
に載せ替え、搬出位置に移載する。（Ｆ）次いで、次の
基板１を移載ハンド８を中間位置まで水平移動し、移載
ハンドの下降と基板受けの上昇で次の基板を基板受けの
上に載せ替える。

【００２７】図１の各ステップにおいて、（Ｅ）（Ｆ）
はそれぞれ、（Ｂ）（Ｃ）と同一ステップである。すな
わち、図１の（Ａ）〜（Ｄ）を順次繰り返すことによ
り、搬入位置から搬出位置まで基板を順に移載すること
ができる。

【００２８】上述した第１実施形態の基板移載装置は、
移載ハンド８がコンベア９の上部のみで昇降するので、
そのストロークを短くできる。また移載ハンド８とコン
ベア９との干渉が作動高さの相違により確実に避けられ
るので、ハンド形状を自由に設定することができる。更
に、図１の（Ａ）〜（Ｄ）の４ステップの繰り返しのみ
で、大型基板１であっても高速（短いサイクルタイム）
で移載できる。また、中間位置のみを必要とするので必
要設置スペースを小さくできる。更に、移載ハンド８と
コンベア９以外には上下動する基板受け１１のみを必要
とするので特殊装置を必要とせずに通常のローラコンベ
ア１０に基板１を移載できる。更に、図１の構成から、
可動部が少なくシンプルな構造で安価に製造することが
可能である。

【００２９】図２は、本発明の第２実施形態の基板移載
装置の作動説明図である。また、図２（Ａ）に示すよう
に、本発明の基板移載装置は、第１実施形態における基
板受け１１はなく、移載ハンド８と中間水平コンベア９
のみを備えている。

【００３０】移載ハンド８は、搬入位置の基板１の取出
方向Ｘに水平移動でき、かつ中間水平コンベア９の上下
まで昇降できるように構成されている。従って、この移
載ハンド８により、搬入位置の基板１を支持して中間位
置まで移動させることができる。また、この実施形態に
おいて、移載ハンド８は、中間位置で中間水平コンベア
９と上下に交叉可能に構成されている。

【００３１】中間水平コンベア９は、複数の水平ローラ
からなり、各ローラを回転駆動することにより、中間位
置で基板１を支持して搬出位置のコンベア装置１０まで
水平に移動させるようになっている。また、この実施形
態において、中間水平コンベア９は、中間位置で上下に
昇降可能に構成されている。

【００３２】図２（Ａ）に示した基板移載装置は、図２
（Ａ）〜（Ｄ）に示すように作動して、搬入位置から搬
出位置まで、基板を移載する。すなわち、（Ａ）移載ハ
ンド８をコンベア９の下を通して、搬入位置にあるカセ
ット２の最下段の基板１の下に挿入し、（Ｂ）移載ハン
ド８を上昇させてハンド上に基板１を載せ替え、並行し
てコンベアを下降させ、（Ｃ）コンベア９の上を通して
移載ハンド８を中間位置まで水平移動し、移載ハンド８
を下降させかつコンベア９を上昇させて基板１をコンベ
ア上に載せ替え、（Ｄ）中間水平コンベア９により搬出
位置のコンベア装置１０まで水平に基板１を移動する。

【００３３】なお、図２の各ステップにおいて、（Ｄ）
は（Ｂ）と同一ステップである。すなわち、図１の
（Ａ）〜（Ｃ）を順次繰り返すことにより、搬入位置か
ら搬出位置まで基板を順に移載することができる。

【００３４】上述した第２実施形態の基板移載装置は、
ステップ（Ａ）で移載ハンド８がコンベア９の下を通し
て、搬入位置にあるカセット２の最下段の基板１の下に
挿入されるので、カセット２内の最下段基板１とカセッ
ト底板までのクリアランスを小さくできる。また、ステ
ップ（Ｃ）において、カセットが空の場合には新しいカ
セットに交換できるので、カセット入替え時にも基板搬
送ができる。また、第１実施形態と同様に、大型の基板
を高速（短いサイクルタイム）で移載でき、必要設置ス
ペースを小さくでき、特殊装置を必要とせずに通常のロ
ーラコンベアに基板を移載でき、かつ可動部が少なくシ
ンプルな構造で安価に製造することが可能である。

【００３５】図３は、本発明の第３実施形態の基板移載
装置の作動説明図である。また、図３（Ａ）に示すよう
に、本発明の基板移載装置も、第２実施形態と同様に基
板受けはなく、移載ハンド８と中間水平コンベア９のみ
を備えている。

【００３６】移載ハンド８は、搬入位置の基板１の取出
方向Ｘに水平移動でき、かつ中間水平コンベア９の上下
まで昇降できるように構成されている。従って、この移
載ハンド８により、搬入位置の基板１を支持して中間位
置まで移動させることができる。また、この実施形態に
おいて、移載ハンド８は、中間位置で中間水平コンベア
９と上下に交叉可能に構成されている。

【００３７】中間水平コンベア９は、複数の水平ローラ
からなり、各ローラを回転駆動することにより、中間位
置で基板１を支持して搬出位置のコンベア装置１０まで
水平に移動させるようになっている。また、この実施形
態において、中間水平コンベア９は、中間位置で幅方向
に退避可能に構成されている。

【００３８】図３（Ａ）に示した基板移載装置は、図３
（Ａ）〜（Ｄ）に示すように作動して、搬入位置から搬
出位置まで、基板を移載する。すなわち、（Ａ）移載ハ
ンド８をコンベア９の下を通して、搬入位置にあるカセ
ット２の最下段の基板１の下に挿入し、（Ｂ）移載ハン
ド８を上昇させてハンド上に基板１を載せ替え、並行し
てコンベア９を幅方向に退避させ（破線で示す）、
（Ｃ）コンベア９の上を通して移載ハンド８を中間位置
まで水平移動し、コンベアを搬送位置に復帰させ、移載
ハンド８を下降させて基板１をコンベア上に載せ替え、
（Ｄ）中間水平コンベア９により搬出位置のコンベア装
置１０まで水平に基板１を移動する。

【００３９】なお、図２の各ステップにおいて、（Ｄ）
は（Ｂ）と同一ステップである。すなわち、図１の
（Ａ）〜（Ｃ）を順次繰り返すことにより、搬入位置か
ら搬出位置まで基板を順に移載することができる。

【００４０】上述した第３実施形態の基板移載装置も、
第２実施形態と同様に、ステップ（Ａ）で移載ハンド８
がコンベア９の下を通して、搬入位置にあるカセット２
の最下段の基板１の下に挿入されるので、カセット２内
の最下段基板１とカセット底板までのクリアランスを小
さくできる。また、ステップ（Ｃ）において、カセット
が空の場合には新しいカセットに交換できるので、カセ
ット入替え時にも基板搬送ができる。また、第１実施形
態と同様に、大型の基板を高速（短いサイクルタイム）
で移載でき、必要設置スペースを小さくでき、特殊装置
を必要とせずに通常のローラコンベアに基板を移載で
き、かつ可動部が少なくシンプルな構造で安価に製造す
ることが可能である。

【００４１】なお、本発明は上述した実施形態に限定さ
れず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更できる
ことは勿論である。

【００４２】

【発明の効果】上述したように、本発明の基板移載装置
は、以下の特徴を有する。 （１）移載ハンドの水平直線動作と昇降動作の組合せ
で、カセットから基板を受け、コンベアに直接渡しがで
きる。 （２）受けコンベアが搬送中に、次段の基板にアクセス
ができる。 （３）カセットへの基板搬送は、逆行程で実現できる。 （４）基板持ち替えがないため、防塵性能が高く、基板
ダメージ（基板姿勢変化がない）が小さい。 （５）摺動部を装置下部に集中でき、防塵性能が高い。 （６）カセット内の最下段基板とカセット底板までのク
リアランスを小さくできる。 （７）カセット入替え時にも基板搬送ができる。

【００４３】従って、本発明の基板移載装置は、大型の
基板を高速（短いサイクルタイム）で移載でき、必要設
置スペースを更に小さくでき、特殊装置を必要とせずに
通常のローラコンベアに基板を移載でき、かつ可動部が
少なくシンプルな構造で安価に製造することが可能であ
り、カセット内の最下段基板とカセット底板までのクリ
アランスを小さくでき、カセット入替え時にも基板搬送
ができる、等の優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態の基板移載装置の作動説
明図である。

【図２】本発明の第２実施形態の基板移載装置の作動説
明図である。

【図３】本発明の第３実施形態の基板移載装置の作動説
明図である。

【図４】従来の基板移載装置の全体構成図である。

【図５】基板を収容するカセットの模式図である。

【図６】従来の基板移載装置の模式図である。

【図７】先行出願にかかる基板移載装置の構成図であ
る。

【図８】先行出願にかかる別の基板移載装置の構成図で
ある。

【図９】先行出願にかかる更に別の基板移載装置の構成
図である。

【符号の説明】

１ 基板（ガラス基板）、２ カセット、３ ハンド、
４ 搬入ハンド、５ 搬出ハンド、６ 水平移動装置、
７ 上下動装置、８ 移載ハンド、９ 中間水平コンベ
ア、１０ コンベア装置、１１ 中間基板受け

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴岡 浩 東京都江東区毛利１丁目19番10号 石川島 播磨重工業株式会社江東事務所内 (72)発明者 冨波 佳均 東京都江東区毛利１丁目19番10号 石川島 播磨重工業株式会社江東事務所内 Ｆターム(参考） 5F031 CA05 FA11 FA13 GA02 GA48 GA49 GA53 PA18 PA26

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 水平に支持された平板状の基板（１）
   を、搬入位置から搬出位置まで、基板の下面を支持して
   移載する基板移載装置であって、 搬入位置の基板を支持して中間位置まで移動させる移載
   ハンド（８）と、中間位置で基板を支持して搬出位置ま
   で移動させる中間水平コンベア（９）と、中間位置で中
   間水平コンベアの上下まで昇降可能な中間基板受け（１
   １）とを備え、前記移載ハンドは、搬入位置の基板の取
   出方向Ｘに水平移動可能かつ中間水平コンベアの上部で
   昇降可能であり、中間基板受けは移載ハンド及び中間水
   平コンベアと、上下に交叉可能に構成されている、こと
   を特徴とする基板移載装置。
2. 【請求項２】 移載ハンド（８）を前記コンベア（９）
   の上を通して、搬入位置にあるカセット（２）の最下段
   の基板（１）の下に挿入し、移載ハンドを上昇させてハ
   ンド上に基板を載せ替え、移載ハンドを中間位置まで水
   平移動し、移載ハンドの下降と基板受けの上昇で基板を
   基板受けの上に載せ替え、移載ハンドを基板受けとコン
   ベアの間を通して次の基板を取り出しのため搬入位置に
   移動し、基板受けを下降し基板をコンベア上に載せ替
   え、搬出位置に移載する、ことを特徴とする請求項１に
   記載の基板移載装置。
3. 【請求項３】 水平に支持された平板状の基板（１）
   を、搬入位置から搬出位置まで、基板の下面を支持して
   移載する基板移載装置であって、 搬入位置の基板を支持して中間位置まで移動させる移載
   ハンド（８）と、中間位置で基板を支持して搬出位置ま
   で水平移動させる中間水平コンベア（９）とを備え、 前記移載ハンドは、搬入位置の基板の取出方向Ｘに水平
   移動可能かつ中間水平コンベアの上下まで昇降可能であ
   り、かつ前記中間位置で中間水平コンベアと上下に交叉
   可能に構成されており、 前記中間水平コンベアは、中間位置で上下に昇降可能に
   構成されている、ことを特徴とする基板移載装置。
4. 【請求項４】 移載ハンド（８）を前記コンベア（９）
   の下を通して、搬入位置にあるカセット（２）の最下段
   の基板（１）の下に挿入し、移載ハンドを上昇させてハ
   ンド上に基板を載せ替え、コンベアを下降させコンベア
   の上を通して移載ハンドを中間位置まで水平移動し、移
   載ハンドを下降させかつコンベアを上昇させて基板をコ
   ンベア上に載せ替え、搬出位置に移載する、ことを特徴
   とする請求項３に記載の基板移載装置。
5. 【請求項５】 水平に支持された平板状の基板（１）
   を、搬入位置から搬出位置まで、基板の下面を支持して
   移載する基板移載装置であって、 搬入位置の基板を支持して中間位置まで移動させる移載
   ハンド（８）と、中間位置で基板を支持して搬出位置ま
   で水平移動させる中間水平コンベア（９）とを備え、 前記移載ハンドは、搬入位置の基板の取出方向Ｘに水平
   移動可能かつ中間水平コンベアの上下まで昇降可能であ
   り、かつ前記中間位置で中間水平コンベアと上下に交叉
   可能に構成されており、 前記中間水平コンベアは、中間位置で幅方向に退避可能
   に構成されている、ことを特徴とする基板移載装置。
6. 【請求項６】 移載ハンド（８）を前記コンベア（９）
   の下を通して、搬入位置にあるカセット（２）の最下段
   の基板（１）の下に挿入し、移載ハンドを上昇させてハ
   ンド上に基板を載せ替え、コンベアを幅方向に退避させ
   コンベアの上を通して移載ハンドを中間位置まで水平移
   動し、コンベアを搬送位置に復帰させ、移載ハンドを下
   降させて基板をコンベア上に載せ替え、搬出位置に移載
   する、ことを特徴とする請求項５に記載の基板移載装
   置。