JPH0769445A - 基板搬送装置のアーム機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板の角度を任意の方向に傾斜させることが
でき、かつ搬送時間を短かくすることができる基板搬送
装置のアーム機構を提供する。 【構成】 アーム２１の先端側のアームヘッド部２２に
基板１１を配置し該アーム２１の手前側をアーム支持部
２３で支持するアーム機構１３を有し、このアーム機構
１３をアーム支持部２３側で任意の方向に移動する機構
を有する基板搬送装置において、前記アームヘッド部２
２は、一定角度回転するディスク２８を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板を任意の方向に傾
斜させて搬送する基板搬送装置のアーム機構に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】従来、ガラス基板等をカセットに収納す
るローダー、あるいはカセットに収納されたガラス基板
等を取り出すアンローダーとして各種のガラス基板搬送
装置が使用されている。この種のガラス基板搬送装置
は、アームの先端部分にガラス基板を配置し、アーム軸
を回転させたりアーム全体を任意の方向に移動する機構
を備えている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ガラス基板搬送装置は、アーム軸を回転させたりアーム
全体を任意の方向に移動する機構を備えているが、ガラ
ス基板をアーム上で任意の角度に向けたりすることがで
きないため、ガラス基板の角度を任意の方向に傾斜させ
てカセットに収納したり、あるいはカセットからガラス
基板を任意の角度に向けて取り出すことができなかっ
た。従って、従来のガラス基板搬送装置でガラス基板の
方向を変えるためには、アーム機構とは別の回転機構を
設ける必要があり、アーム機構による移動工程と、回転
機構によるガラス基板の角度を変える回転工程とが別に
なり、ガラス基板の搬送が全体として時間がかかり、ま
た機構が複雑になる問題点があった。

【０００４】そこで本発明は、基板の角度を任意の方向
に傾斜させることができ、かつ搬送時間を短かくするこ
とができる基板搬送装置のアーム機構を提供することを
目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の基板搬送装置のアーム機構は、アームの先端
側のアームヘッド部に基板を配置し該アームの手前側を
アーム支持部で支持するアーム機構を有し、このアーム
機構をアーム支持部側で任意の方向に移動する機構を有
する基板搬送装置において、前記アームヘッド部は、一
定角度回転するディスクを有するものである。

【０００６】また、前記アーム機構は、アーム支持部側
に設けられたアーム軸の回転がプーリ及びベルトでディ
スクに伝達されるものである。

【０００７】

【作用】本発明では、基板搬送装置における、アーム機
構のアームヘッド部が一定角度回転するディスクを有す
ることで、ディスク表面に配置した基板の角度を任意の
方向に傾斜させることができ、またアーム機構の移動中
にディスクを回転させることで、ガラス基板の搬送時間
を全体として短縮することができる。

【０００８】また、アーム支持部側に設けられたアーム
軸の回転をプーリ及びベルトでディスクに伝達すること
で、ガラス基板の傾斜を簡単な機構で実現できる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明を図示の一実施例により具体的
に説明する。図１は本発明実施例のアーム機構部分の平
面図、図２は本発明実施例のアーム機構部分の断面図、
図３は本発明実施例のガラス基板搬送装置の平面図、図
４は本発明実施例のガラス基板搬送装置の側面図、図５
は本発明実施例のガラス基板搬送装置の正面図である。

【００１０】これらの図において、ガラス基板搬送装置
１０は、ガラス基板１１をカセット１２に収納したり、
あるいはカセット１２に収納されたガラス基板１１を取
り出す装置であり、ガラス基板１１を移動するために配
置するアーム機構１３、アーム機構１３を上下移動させ
る上昇下降機構１４、アーム機構１３を前進後退させる
前進後退機構１５、ガラス基板１１を搬送する搬送機構
１６、及び各部を配置する架台１７等を備えている。

【００１１】アーム機構１３は、薄い板状のアーム２１
と、このアーム２１先端側に設けられたガラス基板１１
を配置するアームヘッド部２２と、アーム２１をその手
前側の下部で支持するアーム支持部２３等とからなる。
アーム２１は、薄く細長い矩形板状に形成され、その上
面は手前から先端側まで浅い溝２１ａが形成され、アー
ム支持部２３の上部から溝２１ａ内に突出されたアーム
軸２４の端部にプーリ２５が取り付けられている。アー
ムヘッド部２２は、アーム２１先端側の上面の溝２１ａ
内に設けられた軸受け２６にプーリ２７が回転可能に取
り付けられ、このプーリ２７に薄い円板状に形成された
ディスク２８が取り付けられている。そして、プーリ２
５及び２７の間には、ワイヤー等からなるベルト２９が
掛け渡されている。すなわち、アーム軸２４の回転は、
プーリ２５、ベルト２９及びプーリ２７を介してディス
ク２８に伝達されるようになっている。アーム支持部２
３は、上部にアーム２１を固定する支持ケースを有し、
そのケース内にモータにより所定の角度だけ回転するア
ーム軸２４及びその回転角度を検出する図示しない角度
検出器等を備えている。アーム軸２４は、角度検出器に
より回転角度が検出され、ディスク２８が、例えば、０
度〜９０度までの任意の設定角度になるように回転す
る。ディスク２８表面には、その上に配置されるガラス
基板１１を吸着するための小さい孔３０がディスク２８
周辺側に４か所形成され、これら孔３０に連通するよう
細い柔軟なパイプ３１が溝２１ａ内を通って配管され、
アーム支持部２３側に設けられた図示しない吸引ポンプ
に接続されている。また、アーム２１のディスク２８に
近い表面部分には、ガラス基板１１の有無を検出する検
出器３２が設けられている。さらに、ディスク２８部分
を除く溝２１ａ上面は、薄い板３３で覆われている。

【００１２】上昇下降機構１４は、アーム機構１３を上
昇または下降させる機構であり、表面が垂直方向に沿っ
て配置されたプレート４１に設けられたボールねじによ
る上昇下降部４２に、アーム支持部２３が取り付けられ
ている。この上昇下降部４２は、モータ等により駆動さ
れ、任意の設定された距離を上昇または下降したり、セ
ンサからの信号等で停止するようになっている。

【００１３】前進後退機構１５は、アーム機構１３を前
進または後退させる機構であり、架台１７に固定された
支持ブロック５１に、前後方向に配置されたボールねじ
による前進下降部５２が固定され、この前進下降部５２
にプレート４１が前進後退可能に取り付けられている。
この前進下降部５２は、モータ等により駆動され、任意
の設定された距離を前進または後退したり、センサから
の信号等で停止するようになっている。

【００１４】搬送機構１６は、手前側から搬入されるガ
ラス基板１１をアーム機構１３のアームヘッド部２２の
上部に搬送し、またアームヘッド部２２上のガラス基板
１１を手前側から搬出する機構であり、架台１７の上面
に配置されたプレート６１上にアーム２１の側面側を挟
んで左右に設けられた支持プレート６２に互いに回転軸
が向き合うように水平方向に複数の短いローラ６３が回
転可能に配列されている。搬送機構１６の入口側には、
両端部側がそれぞれ左右の支持プレート６２に回転可能
に支持された長いローラ６４が配置されている。これら
のローラ６３，６４には、それぞれプーリ６５が設けら
れ、これら隣接するプーリ６５間にベルト６６が掛け渡
されている。また、長いローラ６４の一方の軸端部に
は、プーリ６７が設けられ、このプーリと架台１７に固
定されたモータ６８の出力軸に取り付けられたプーリ６
９と途中に設けられたテンションプーリ７０との間にベ
ルト７１が掛け渡されている。架台１７上面のプレート
６１は、アーム支持部２３が移動できるように開口部６
１ａが形成されている。

【００１５】架台１７は、上記各部を配置するフレーム
構造で形成されされており、下部の４隅にはフロアに対
し上下方向をねじで調整可能に設けられた支持脚部８
１、及びその近傍に移動する時に使用するキャスター８
２が設けられている。

【００１６】なお、搬送機構１６の手前側（入口側）の
左右には、それぞれ図示しないガラス基板１１の調整機
構が配置され、またアームヘッド部２２側の左右のプレ
ート６１上には、それぞれガラス基板１１の位置決めす
るユニット９１が設けられている。

【００１７】上記構成のガラス基板搬送装置１０におい
て、カセット１２にガラス基板１１を収納するときに
は、手前側から搬送機構１６に搬入されてきたガラス基
板１１は、モータ６８によりプーリ６９、ベルト７１、
プーリ６７、ベルト６６、プーリ６５を介して駆動され
るローラ６３，６４により搬送され、ユニット９１で位
置決めされてアーム機構１３のアームヘッド部２２の上
部に停止する。次に、上昇下降機構１４が上昇を開始
し、アームヘッド部２２のディスク２８上にガラス基板
１１が配置され、続いて吸引ポンプが動作してパイプ３
１を通して空気が孔３０から吸引されてガラス基板１１
がディスク２８表面に吸着される。次に、上昇下降機構
１４による上昇及び前進後退機構１５による前進が開始
し、アーム機構１３がカセット１２方向に近づき、この
上昇または前進の間に必要により、アーム軸２４が駆動
されてプーリ２５、ベルト２９及びプーリ２７を介して
ディスク２８が回転して、ガラス基板１１が一定の角度
だけ傾斜する。次に、アーム機構１３がカセット１２の
所定の収納棚の位置に入って停止後、吸引ポンプによる
吸引を停止してガラス基板１１のディスク２８への吸着
を解除し、続いてアーム機構１３がやや下降して収納棚
にガラス基板１１を配置する。その後アーム機構１３
は、次のガラス基板１１の収納のために元の位置に戻
り、再び同様の動作によりカセット１２にガラス基板１
１が収納される。以上の動作が継続することにより、ガ
ラス基板１１は、搬入されるガラス基板１１に対して水
平方向に一定の角度傾斜させて、カセット１２に収納す
ることができる。

【００１８】次に、カセット１２に収納されたガラス基
板１１を取り出すときには、アーム機構１３が、上昇下
降機構１４及び前進後退機構１５によりカセット１２の
所定の位置に入り、上昇してガラス基板１１をアームヘ
ッド部２２のディスク２８上に配置し、続いて吸引ポン
プが動作してパイプ３１を通して空気を孔３０から吸引
してガラス基板１１をディスク２８表面に吸着する。次
に、アーム機構１３が、上昇下降機構１４及び前進後退
機構１５により元の位置に戻る動作をすると共に、ディ
スク２８が一定角度回転して、ガラス基板１１が一定の
角度だけ傾斜する。次に、アーム機構１３は、元の位置
の上部でガラス基板１１のディスク２８表面への吸着を
解除し、元の位置に下降しガラス基板１１を搬送機構１
６のローラ６３に配置した後停止する。次に、ガラス基
板１１は、搬送機構１６が駆動されローラ６３，６４に
より手前側に搬送される。以上の動作を繰り返すことに
より、カセット１２に収納されているガラス基板１１
は、水平方向に一定の角度傾斜させて搬送機構１６によ
り搬出することができる。

【００１９】上記構成によれば、水平方向に搬入されて
きたガラス基板１１に対して、所定の一定の角度傾斜さ
せてカセット１２に収納することができ、またカセット
１２に収納されたガラス基板１１を一定角度傾斜させて
搬出することができる。従って、例えば、カセット１２
にガラス基板１１を傾斜させて収納することで、そのま
まカセット１２を洗浄槽に入れて洗浄したり、あるいは
洗浄のために傾斜して収納されたガラス基板１１を元に
戻した状態で搬出することができる。また、ガラス基板
１１は、アームヘッド部２２のディスク２８表面に配置
され上昇下降機構１４及び前進後退機構１５による搬送
途中の状態で一定角度回転するため、搬送時間を全体と
して短かくすることができる。

【００２０】なお、上記実施例では、アーム機構１３を
上昇下降機構１４及び前進後退機構１５により上下方向
及び前進後退方向に移動できる実施例を説明している
が、アーム機構１３は上下方向、前進後退方向、アーム
軸の回りの回転方向のいずれかに移動する機構を備えて
いてもよく、少なくともアーム機構１３先端部のアーム
ヘッド部２２が所定の角度回転するディスク２８を備
え、ガラス基板１１を所定角度傾斜できるようになって
いればよい。

【００２１】また、アームヘッド部２２のディスク２８
は、０度〜９０度までの任意の設定角度を回転する例を
説明したが、必要に応じて９０度より小さき角度あるい
は大きい角度の任意の角度回転できるようにしてもよ
く、ディスク２８の大きさや形状等もガラス基板１１の
大きさにより任意に決められる。

【００２２】さらに、上記実施例では、ガラス基板１１
を例に説明したが、半導体基板等の任意の基板を搬送す
ることもでき、基板の形状も矩形状以外に、円板状等で
もよい。

【００２３】

【発明の効果】以上説明したように本発明では、基板搬
送装置のアーム機構のアームヘッド部が一定角度だけ回
転するディスクを有することで、ディスク表面に配置し
た基板の角度を任意の方向に傾斜させることができ、ま
たアーム機構の移動中にディスクを回転させることで、
ガラス基板の搬送を全体として短時間にできる効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明実施例のアーム機構部分の平面図であ
る。

【図２】本発明実施例のアーム機構部分の断面図であ
る。

【図３】本発明実施例のガラス基板搬送装置の平面図で
ある。

【図４】本発明実施例のガラス基板搬送装置の側面図で
ある。

【図５】本発明実施例のガラス基板搬送装置の正面図で
ある。

【符号の説明】

１１ ガラス基板 １２ カセット １３ アーム機構 １４ 上昇下降機構 １５ 前進後退機構 １６ 搬送機構 １７ 架台 ２１ アーム ２２ アームヘッド部 ２３ アーム支持部 ２４ アーム軸 ２５，２７ プーリ ２６ 軸受け ２８ ディスク ２９ ベルト ３０ 孔 ３１ パイプ ３２ 検出器 ３３ 板

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 アームの先端側のアームヘッド部に基板
   を配置し該アームの手前側をアーム支持部で支持するア
   ーム機構を有し、このアーム機構をアーム支持部側で任
   意の方向に移動する機構を有する基板搬送装置におい
   て、 前記アームヘッド部は、一定角度回転するディスクを有
   することを特徴とする基板搬送装置のアーム機構。
2. 【請求項２】 前記アーム機構は、アーム支持部側に設
   けられたアーム軸の回転がプーリ及びベルトでディスク
   に伝達される請求項１記載の基板搬送装置のアーム機
   構。