KR100490053B1 - 액정표시장치용글래스스테이지 - Google Patents

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Abstract

이 발명은 액정 표시 장치용 글래스 스테이지(glass stage)에 관한 것으로서, 글래스와의 접촉면을 증가시켜 글래스를 안정하게 지지할 수 있는 사각 고리 형태의 리프트 바(lift bar)를 갖는 글래스 스테이지를 제공한다.

Description

액정 표시 장치용 글래스 스테이지
이 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 액정 표시 장치의 제조 또는 검사 공정에 사용되는 메인 시스템(main system)에 부착되어 글래스(glass)를 장착하는 글래스 스테이지(stage)에 관한 것이다.
평판 표시 장치의 일종인 액정 표시 장치는 전압에 따라 빛의 투과도가 변하는 액정의 특성을 이용한 것으로써, 낮은 전압으로 구동이 가능하고 전력의 소모가 작아서 널리 이용되고 있다. 이러한 액정 표시 장치의 제조 또는 검사 공정에서는 제조 또는 검사를 위한 메인 시스템에 부착된 글래스 스테이지에 글래스를 장착한 후 일련의 공정을 진행한다. 글래스 스테이지는 글래스를 지지하는 받침 역할을 하며 X 및 Y방향으로 움직일 수 있는 구조를 가진다. 글래스는 카세트(cassette)에 적재된 상태에서 로봇 시스템(robot system)에 의해 메인 시스템의 글래스 스테이지로 운송된다. 도 1에 글래스(30)와 글래스 스테이지(10) 및 로봇 시스템의 암(arm)(40)의 관계를 도시하였다.
도 1에서와 같이, 글래스 스테이지(10)에는 리프트 핀(lift pin)(20)이 형성되어 있고, 이 리프트 핀(20)은 서보 모터(servo motor)(50)에 의해 상하로 움직일 수 있다. 글래스(30)가 글래스 스테이지(10)에 놓여질 때, 리프트 핀(20)은 상승하여 로봇 암(40)과 글래스(30)가 쉽게 떨어지도록 한다. 마찬가지로, 글래스 스테이지(10)에 놓인 글래스(30)를 로봇 암(40)이 들어낼 때에도 리프트 핀(20)은 상승하여 로봇 암(40)이 쉽게 글래스(30) 아래로 들어가 글래스(30)를 들 수 있도록 한다. 글래스(30)가 글래스 스테이지(10)에 놓여진 후에는 리프트 핀(20)은 하강하고 공정이 진행된다.
이러한 리프트 핀(20)은 작은 원형 핀 형태를 가지므로, 550*470 이상의 크기를 갖는 대형 글래스(30)가 글래스 스테이지(10)에 장착된 경우 글래스(30)의 지지가 불안정해진다. 도 2a 내지 2b에 대형 글래스(20)가 장착된 글래스 스테이지(10)를 도시하였다. 도 2a 내지 2b에서와 같이 종래의 글래스 스테이지(10)에 대형 글래스(20)를 장착할 경우 글래스의 휨이 발생할 수 있으며, 이러한 휨에 따른 위치 변동에 때문에 로봇 암(40)이 글래스(20)를 글래스 스테이지(10)에 장착하거나 들어낼 때 충돌이 발생할 수 있다. 이는 결국 글래스(20)의 손상을 초래할 수 있으며, 이를 보완하기 위해서는 로봇 암(40)이 보다 높은 정밀도를 갖고 동작되어야 하는 문제점이 있다.
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 과제는 글래스 스테이지에 장착된 글래스의 휨을 방지하여, 글래스를 글래스 스테이지에 장착 및 탈착할 때 발생되는 글래스 손상을 최소화하는 것이다.
이러한 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 글래스 스테이지는 글래스와의 접촉면을 증가시켜 안정된 지지를 할 수 있는 리프트 바(lift bar)를 가진다. 이러한 리프트 바는 종래의 리프트 핀 위에 특정 형태의 판을 얹은 구조로 되어 있다. 판의 형태는 기본적으로 한 변이 제거된 사각 고리(ring) 구조를 가지며 다양한 구조로 변형될 수 있다. 이와 같은 리프트 바는 글래스와의 접촉면을 커서 대형 글래스가 얹혀졌을 때 발생하는 글래스의 휨을 방지하고, 글래스를 운송하는 로봇 시스템의 암이 글래스를 쉽고 안정되게 들어올릴 수 있도록 한다.
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 기재한다. 그러나 하기한 실시예는 본 발명의 바람직한 한 실시예일 뿐 본 발명이 하기한 실시예에 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 글래스 스테이지의 평면도를 도 3에 도시하였고, 도 3에서 Ⅳ-Ⅳ' 부분에 대한 단면도를 도 4에 도시하였고, 외형도를 도 5에 도시하였다. 도 3 내지 도 5에서와 같이 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 글래스 스테이지는 글래스(30)와의 접촉면을 증가시켜 안정된 지지를 할 수 있는 얇은 판 구조의 리프트 바(20)가 형성되어 있다. 이러한 리프트 바(20)는 종래의 리프트 핀 위에 특정 형태의 판을 얹은 구조로 되어 있으며, 글래스(30)를 지지하는 지지대(10)의 수평면을 기준으로 상하로 이동할 수 있다. 리프트 바(20)의 구동은 지지대(10)에 내장된 서보 모터(50)에 의해 수행된다. 서보 모터(50)와 연결된 리프트 바(20)의 기둥 부분은 원형 또는 사각형 구조를 가지며 리프트 바(20)의 형태에 따라 그 개수는 달라질 수 있다. 리프트 바(20)에서 판의 형태는 한 변이 제거된 사각 고리와, 사각 고리의 좌변 중간에서부터 고리 중앙을 연결하는 선 위에 사각 고리의 폭을 갖는 판이 더해진 구조를 갖는다. 이러한 리프트 바(20)는 글래스(30)와의 접촉면을 증가시켜 대형 글래스(30)가 얹혀졌을 때 글래스(30)의 휨을 방지한다. 또한, 글래스(30)를 운송하는 로봇 암의 형상과 엇갈리는 형태이므로 로봇 암이 글래스(30)를 쉽고 안정되게 들어올릴 수 있다.
다음으로 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 글래스 스테이지를 설명한다. 도 6에 본 발명의 제2 실시예에 따른 글래스 스테이지의 평면도를 도시하였다. 도 6에서와 같이, 제2 실시예에 따른 글래스 스테이지는 제1 실시예에 따른 글래스 스테이지와는 리프트 바의 평면 구조만 다르다. 즉, 리프트 바(20)는 한 변이 제거된 사각 고리 구조만으로 되어 있다.
다음으로 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치용 글래스 스테이지를 설명한다. 도 7에 본 발명의 제3 실시예에 따른 글래스 스테이지의 평면도를 도시하였다. 도 7에서와 같이, 제3 실시예에 따른 글래스 스테이지는 제1 실시예에 따른 글래스 스테이지와는 리프트 바의 평면 구조만 다르다. 즉, 리프트 바(20)는 한 변이 제거된 사각 고리와, 사각 고리의 상변과 하변을 연결하는 선 위에 사각 고리와 같은 폭을 갖는 판이 더해진 구조를 가진다.
다음으로 본 발명의 제4 실시예에 따른 액정 표시 장치용 글래스 스테이지를 설명한다. 도 8에 본 발명의 제4 실시예에 따른 글래스 스테이지의 평면도를 도시하였다. 도 8에서와 같이, 제4 실시예에 따른 글래스 스테이지는 제1 실시예에 따른 글래스 스테이지와는 리프트 바의 평면 구조만 다르다. 즉, 리프트 바(20)는 한 변이 제거된 사각 고리와, 사각 고리의 상변과 하변에 좌변과 평행한 빗살 형태의 판이 더해진 구조를 가진다.
다음으로 본 발명의 제5 실시예에 따른 액정 표시 장치용 글래스 스테이지를 설명한다. 도 9에 본 발명의 제5 실시예에 따른 글래스 스테이지의 평면도를 도시하였다. 도 9에서와 같이, 제5 실시예에 따른 글래스 스테이지는 제1 실시예에 따른 글래스 스테이지와는 리프트 바의 평면 구조만 다르다. 즉, 리프트 바(20)는 한 변이 제거된 사각 고리와, 사각 고리의 대각선 위에 사각 고리와 같은 폭을 갖는 판이 더해진 구조를 가진다.
상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 글래스 스테이지는 글래스와의 접촉면을 증가시키는 리프트 바로 스테이지에 놓인 글래스를 안정되게 지지하여 글래스의 휨을 방지할 수 있고, 글래스를 스테이지에 장착 또는 탈착할 때 발생되는 충돌을 억제하여 글래스의 손상을 줄일 수 있다.
비록 이 발명은 가장 실제적이며 바람직한 실시예를 참조하여 설명되었지만, 이 발명은 상기 개시된 실시예에 한정되지 않으며, 후술되는 청구의 범위 내에 속하는 다양한 변형 및 등가물들도 포함한다.
도 1은 종래의 액정 표시 장치용 글래스 스테이지와 로봇 암 및 글래스의 관계를 도시한 개념도이고,
도 2a 내지 2b는 종래의 액정 표시 장치용 글래스 스테이지에 글래스가 얹힌 것을 도시한 단면도이고,
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 글래스 스테이지를 도시한 평면도이고,
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ' 부분에 대한 단면도이고,
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 글래스 스테이지를 도시한 외형도이고,
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 글래스 스테이지를 도시한 평면도이고,
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치용 글래스 스테이지를 도시한 평면도이고,
도 8은 본 발명의 제4 실시예에 따른 액정 표시 장치용 글래스 스테이지를 도시한 평면도이고,
도 9는 본 발명의 제5 실시예에 따른 액정 표시 장치용 글래스 스테이지를 도시한 평면도이다.

Claims (7)

  1. 글래스를 지지하는 지지대,
    상기 지지대에 형성되고, 상기 지지대의 수평면을 기준으로 상승 또는 하강하여 상기 글래스 들어올리거나 들어내리는 리프트 바,
    상기 지지대에 형성되고, 상기 리프트 바를 상승 또는 하강시키는 서보 모터를 포함하는
    액정 표시 장치용 글래스 스테이지.
  2. 제1항에서,
    상기 리프트 바는
    글래스와 접촉하는 얇은 판과,
    상기 판을 지지하는 기둥으로 된
    액정 표시 장치용 글래스 스테이지.
  3. 제2항에서,
    상기 판은
    한 변이 제거된 사각 고리 구조로 형성된
    액정 표시 장치용 글래스 스테이지.
  4. 제2항에서,
    상기 판은
    한 변이 제거된 사각 고리와
    상기 사각 고리의 좌변 중간에서부터 고리 중앙을 연결하는 선 위에 사각 고리와 같은 폭을 갖는 판이 더해진 구조로 형성된
    액정 표시 장치용 글래스 스테이지.
  5. 제2항에서,
    상기 판은
    한 변이 제거된 사각 고리와
    상기 사각 고리의 상변 중간과 하변 중간을 연결하는 선 위에 사각 고리와 같은 폭을 갖는 판이 더해진 구조로 형성된
    액정 표시 장치용 글래스 스테이지.
  6. 제2항에서,
    상기 판은
    한 변이 제거된 사각 고리와
    상기 사각 고리의 상변과 하변에 빗살 형태의 판이 더해진 구조로 형성된
    액정 표시 장치용 글래스 스테이지.
  7. 제2항에서,
    상기 판은
    한 변이 제거된 사각 고리와
    상기 사각 고리의 대각선 위에 사각 고리와 같은 폭을 갖는 판이 더해진 구조로 형성된
    액정 표시 장치용 글래스 스테이지.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100929679B1 (ko) * 2003-04-22 2009-12-03 삼성전자주식회사 액정 표시 장치 제조용 노광 설비

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100683520B1 (ko) * 1999-12-30 2007-02-15 엘지.필립스 엘시디 주식회사 다층 익스텐션 스테이지
KR100672636B1 (ko) * 2002-03-15 2007-01-23 엘지.필립스 엘시디 주식회사 씨일재 경화장비
KR101963400B1 (ko) * 2012-09-24 2019-03-28 주식회사 원익아이피에스 기판 처리장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR960701729A (ko) * 1993-04-16 1996-03-28 스탠리 디. 피이코스 관절형 아암 이송장치

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR960701729A (ko) * 1993-04-16 1996-03-28 스탠리 디. 피이코스 관절형 아암 이송장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100929679B1 (ko) * 2003-04-22 2009-12-03 삼성전자주식회사 액정 표시 장치 제조용 노광 설비

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