KR100837599B1 - 기판 지지용 스테이지 - Google Patents

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Abstract

기판 지지용 스테이지가 개시된다. 본 발명의 기판 지지용 스테이지는, 기판을 지지하는 다수의 패드; 및 다수의 패드가 규칙적인 이격간격을 가지고 상호간 접근 및 이격될 수 있도록 다수의 패드를 이동 가능하게 지지하는 이동지지부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 기판이 손상되거나 지지된 기판에 처짐이 발생하는 현상을 저지하면서도 다양한 사이즈(size)를 갖는 기판들을 보다 안정적으로 지지할 수 있다.
기판, 지지, 스테이지, 패드, 이동, 이동지지부

Description

기판 지지용 스테이지{Stage for glass panel}
도 1 및 도 2는 각각 종래기술에 따른 기판 지지용 스테이지의 구성을 개략적으로 도시한 도면들이다.
도 3 및 도 4는 각각 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 지지용 스테이지의 사시도이다.
도 5 및 도 6은 각각 도 3 및 도 4의 평면도이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 지지용 스테이지의 사시도이다.
도 8 및 도 9는 각각 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 지지용 스테이지의 사시도이다.
도 10 및 도 11은 각각 본 발명의 제4 실시예에 따른 기판 지지용 스테이지의 평면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1 : 장치본체 10 : 패드
10a : 고정 패드 10b : 구동 패드
10c : 종동 패드 12a,12b,12c : 연결부
20 : 이동지지부 20a,20b : 단위링크그룹
23a,23b : 링크부 25a,25b : 힌지핀부
31,32 : 안내가이드 40 : 보조지지패드
본 발명은, 기판 지지용 스테이지에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 기판이 손상되거나 지지된 기판에 처짐이 발생하는 현상을 저지하면서도 다양한 사이즈(size)를 갖는 기판들을 보다 안정적으로 지지할 수 있는 기판 지지용 스테이지에 관한 것이다.
일반적으로 기판이라 함은, 플라즈마 디스플레이(PDP, Plasma Display Panel), 액정디스플레이(LCD, Liquid Crystal Display) 및 유기EL(OLED, Organic Light Emitting Diodes)과 같은 평판표시소자(FPD, Flat Panel Display), 반도체용 웨이퍼(wafer), 포토 마스크용 글라스(glass) 등을 가리킨다.
평판표시소자(FPD)로서의 기판과, 반도체용 웨이퍼로서의 기판은 상호간 재질적인 면이나, 용도 등에서 차이가 있지만, 기판들에 대한 일련의 처리 공정, 예를 들어 노광, 현상, 에칭, 스트립, 린스, 세정 등의 공정은 실질적으로 매우 흡사하며, 이 공정들이 순차적으로 진행됨으로써 기판이 제조된다. 이하에서는 평판표시소자(FPD) 중에서도 특히, LCD 기판을 예로 들어 설명하기로 한다.
LCD 기판은 크게 TFT 공정, Cell 공정 및 Module 공정을 통해 제품으로 출시된다.
TFT 공정은 반도체 제조 공정과 매우 유사한데, 증착(Deposition), 사진식 각(Photo lithography), 식각(Etching)을 반복하여 유리기판 위에 박막 트랜지스터를 배열하는 공정이다.
Cell 공정은 TFT 공정에 의해 제조된 TFT 하판과 칼라 필터(Color Filter)인 상판에 액정이 잘 정렬될 수 있도록 배향막을 형성하고, 스페이서(Spacer)를 산호하고 실(Seal) 인쇄를 하여 상하판을 합착하는 공정이다.
그리고 Module 공정은 완성된 LCD패널에 편광판을 부착하고 집적 회로(Drive-IC)를 실장한 후, PCB(Printed Circuit Board)와 조립한 다음, 그 배면으로 백라이트 유닛(Back-light Unit)과 기구물을 조립하는 일련의 단계를 가리킨다.
이러한 공정들 또는 이들 공정 내의 각 공정들이 순차적으로 진행될 수 있도록 각 공정들을 연결하는 라인(line) 간에는 전 공정으로부터 기판을 전달 받아, 후 공정으로 기판을 이송하기 위한 기판 이송장치가 마련되며, 각 이송장치에는 해당 공정을 진행하기 위해 기판을 지지하는 기판 지지용 스테이지가 갖춰진다.
한편, Module 공정에서는 드라이버 IC의 리드(lead)를 직접 LCD 기판에 실장(mount)하기도 하지만, 여의치가 않기 때문에 보통은 하나의 실장기술로서 TAB(Tape Automated Bonding)이 이용되기도 한다.
엄격하게 말해 TAB이란 테이프 캐리어 패키지(TCP, Tape Carrier Package)의 일종으로서, 리드 프레임(lead frame) 대신 패턴(Pattern)이 형성된 테이프를 사용하여 LCD 기판에 본딩(Bonding, 이하 압착, 혹은 부착 등으로 용어로 사용되기도 함)하는 패키징 기술이지만, LCD 기판에 신호 라인을 형성하기 위해 LCD 기판의 해당 위치에 압착되어 부착되는 테이프, 혹은 테이프의 영역 전체를 가리키기도 한 다. 이하에서는 후자를 탭이라 하여 설명하기로 한다.
탭이 LCD 기판에 부착되기 전, LCD 기판에는 이방성 도전필름(ACF, Anisotropic Conductive Film)이 우선적으로 사용되는 것이 보통이다. 이방성 도전필름은 열에 의하여 경화되는 접착제와 그 안에 미세한 도전성 볼을 혼합시킨 양면 테이프와 같은 구조를 갖는 것으로서 실장에 사용되는 대표적인 재료이다.
이방성 도전필름이 LCD 기판의 해당 위치에 접착되면, 그 후에 이방성 도전필름 표면으로 탭이 부착되게 되는데, 이때 탭의 전극 패턴과 LCD 기판의 전극 패턴은 정확하게 부착되어야 하며 LCD 기판과 탭에 전도성을 확보하기 위해서 사용되는 도전성 볼 역시 정확하게 위치되어야 한다.
LCD 기판에 이방성 도전필름과 탭이 부착되면, 고온 상태에서 충분한 압력을 가하여 LCD 기판과 탭의 각 회로패턴의 패드가 맞닿도록 한다. 이때 맞닿는 부분의 이방성 도전필름 내의 도전성 볼이 파괴되면서 양 패드간의 통전을 하게 되고, 양 패드 부분 외의 요철면에 나머지 접착제가 충진 및 경화되어 탭 부착공정은 완료된다.
이와 같은 탭 부착 공정을 마친 LCD 기판은, 탭의 전극 패턴과 LCD 기판의 전극 패턴이 정확하게 부착되었는지 유무와 이에 따른 도전성 볼의 형상과 위치의 양부를 검사하는 압흔(Denting) 검사를 비롯하여 탭의 압착 시 LCD 기판에 크랙(Crack)이 발생되었는지의 유무를 검사하는 크랙(Crack) 검사가 진행되는데, 이 때에도 역시 LCD 기판은 별도의 기판 지지용 스테이지에 지지된 후에, 검사가 진행된다.
이처럼 기판 지지용 스테이지는 기판을 지지하는 장치이며, 전술한 다양한 공정이나 압흔 및 크랙 검사 공정 등의 검사 공정에 사용될 수 있다. 이하, 도 1 및 도 2를 참조하여 종래의 기판 지지용 스테이지에 대해 간략하게 살펴보기로 한다.
도 1 및 도 2는 각각 종래기술에 따른 기판 지지용 스테이지의 구성을 개략적으로 도시한 도면들이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 일 실시예에 따른 기판 지지용 스테이지에는 기판(G1,G2)을 지지하는 다수의 패드(110,110a)가 이동되지 않는 고정형으로 마련되어 있다. 물론, 다수의 패드(110,110a)들은 상호간 동일한 간격(H1)으로 이격되어 있다. 도 1과 같은 기판 지지용 스테이지에는 예컨대 30 인치 정도의 작은 사이즈 기판(G1)이나, 46 인치 정도의 비교적 큰 사이즈 기판(G2)이 공용으로 사용되고 있는 것으로 알려져 있다.
하지만, 도 1의 기판 지지용 스테이지에 작은 사이즈 기판(G1)이 놓여 지지되는 경우, 양 사이드에 위치한 패드(110a)에 기판(G1)의 측면이 부딪힐 우려가 높아 기판(G1)이 손상될 수 있는 문제점이 있다. 특히, 도 1의 기판 지지용 스테이지는 패드(110,110a)들이 고정된 타입이기 때문에 전술한 30 인치, 46 인치 외의 다른 사이즈를 갖는 기판(미도시)을 안정적으로 지지하기 어려운 문제점이 있다. 만약에, 전술한 30 인치, 46 인치 외의 다른 사이즈를 갖는 기판(미도시)에 적용하기 위해서는 해당 사이즈에 맞는 기판 지지용 스테이지를 각각 개별적으로 구비해야 하므로 공정상 로스(loss)가 발생될 수밖에 없다.
한편, 도 2에 도시된 바와 같이, 종래의 다른 실시예에 따른 기판 지지용 스테이지에도 기판(G3)을 지지하는 다수의 패드(210,210a)가 구비되어 있는데, 이 중에서 중앙에 위치한 패드(210)들은 고정형으로 마련되는 반면, 양 사이드에 위치한 패드(210a)들은 화살표 방향과 같이 각각 양 사이드로 움직일 수 있게 되어 있다. 도 2의 경우, 양 사이드에 위치한 패드(210a)들이 움직일 수 있기 때문에 예컨대, 도 1에 개시된 기판(G1,G2)을 비롯하여 도 1에 개시된 기판(G2)보다 다소 큰 기판(G3)을 지지하는데 유리할 수 있다.
하지만, 양 사이드에 위치한 패드(210a)들을 점선에서 실선으로 옮겨 기판(G3)을 지지하는 경우, 패드(210,210a)들 간의 간격(H1,H2)에 차이가 발생하게 되고, 특히 위치가 이동된 양 사이드에 위치한 패드(210a)들의 주변에 간격(H2)이 크게 발생하기 때문에 이 영역에서 기판(G3)의 처짐이 심하게 발생될 수 있는 문제점이 있다. 기판(G3)의 처짐이 심하게 발생하면, 예를 들어 LCD 패널을 검사하는 검사기에 사용되는 스테이지의 경우에 이러한 현상이 발생하면 검사 오류가 유발될 수 있다.
따라서 본 발명의 목적은, 기판이 손상되거나 지지된 기판에 처짐이 발생하는 현상을 저지하면서도 다양한 사이즈(size)를 갖는 기판들을 보다 안정적으로 지지할 수 있는 기판 지지용 스테이지를 제공하는 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판을 지지하는 다수의 패드; 및 상기 다수 의 패드가 규칙적인 이격간격을 가지고 상호간 접근 및 이격될 수 있도록 상기 다수의 패드를 이동 가능하게 지지하는 이동지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지용 스테이지에 의해 달성된다.
여기서, 상기 다수의 패드는, 상기 다수의 패드 중에서 선택된 한 쌍의 고정 패드; 상기 다수의 패드 중에서 선택되고 상기 한 쌍의 고정 패드에 대해 이격되어 위치하는 적어도 한 쌍의 구동 패드; 및 상기 한 쌍의 고정 패드 및 상기 한 쌍의 구동 패드 사이에 배치되는 다수 쌍의 종동 패드를 포함할 수 있다.
상기 한 쌍의 고정 패드는 상기 다수의 패드 중에서 중앙 영역에 위치 고정되게 마련될 수 있으며, 상기 적어도 한 쌍의 구동 패드는 상기 다수의 패드 중에서 양 사이드 영역에 각각 배치될 수 있다.
상기 한 쌍의 고정 패드를 상호 연결하는 고정 패드 연결부; 상기 적어도 한 쌍의 구동 패드를 상호 대응하는 것끼리 한 쌍씩 연결하는 구동 패드 연결부; 및 상기 다수 쌍의 종동 패드를 상호 대응하는 것끼리 한 쌍씩 연결하는 종동 패드 연결부를 더 포함할 수 있으며, 상기 이동지지부는 상기 연결부들과 부분적으로 링크 결합될 수 있다.
상기 이동지지부는, 상호 교차 배치되어 상호간 접근 및 이격 가능한 다수의 링크부; 및 상기 다수의 링크부가 상호 교차하는 교차지점에서 상기 다수의 링크부와 상기 다수의 연결부들에 일체로 힌지 결합되는 다수의 힌지핀부를 포함할 수 있다.
상기 다수의 링크부는 독립된 2개의 단위링크그룹으로 분리될 수 있으며, 상 기 2개의 단위링크그룹 각각은 상기 고정 패드 연결부를 기준으로 상기 구동 패드 연결부 측으로 각각 하나씩 마련될 수 있다.
상기 2개의 단위링크그룹들에 마련된 다수의 힌지핀부 중에서 상기 고정 패드 연결부에 힌지 결합되는 힌지핀부는 상기 고정 패드 연결부 상에서 상호 이격된 위치에 마련될 수 있다.
상기 2개의 단위링크그룹들에 마련된 다수의 힌지핀부 중에서 상기 고정 패드 연결부에 힌지 결합되는 힌지핀부는 상기 고정 패드 연결부 상에서 동일한 위치에 마련될 수 있다.
상기 다수의 패드가 상호간 접근 및 이격되는 방향을 따라 상기 적어도 한 쌍의 구동 패드가 이동될 수 있도록 상기 적어도 한 쌍의 구동 패드에 결합되어 상기 적어도 한 쌍의 구동 패드의 이동을 안내하는 제1 안내가이드; 및 상기 다수 쌍의 종동 패드에 결합되어 상기 다수 쌍의 종동 패드의 이동을 안내하는 제2 안내가이드를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 및 제2 안내가이드를 지지하는 장치본체를 더 포함할 수 있으며, 상기 장치본체에서 상기 제1 안내가이드는 상기 제2 안내가이드에 비해 상대적으로 낮은 위치에 마련될 수 있다.
상기 제1 안내가이드에는 상기 적어도 한 쌍의 구동 패드를 독립적으로 구동시키는 구동수단이 더 결합될 수 있다.
상기 이동지지부에 의해 상기 다수의 패드는 상호 등간격으로 접근 및 이격될 수 있다.
상기 다수의 패드의 상면에 결합되어 상기 기판을 지지하는 보조지지패드를 더 포함할 수 있다.
상기 보조지지패드는 다수개로 마련될 수 있으며, 해당하는 한 쌍의 패드들에 각각 하나씩 결합될 수 있다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
참고로, 이하에서 설명될 기판이란, LCD(Liquid Crystal Display) 기판, PDP(Plasma Display Panel) 기판 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 들을 가리키나, 설명의 편의를 위해 이들을 통틀어 FPD(Flat Panel Display) 기판이라 하기로 한다.
도 3 및 도 4는 각각 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 지지용 스테이지의 사시도이며, 도 5 및 도 6은 각각 도 3 및 도 4의 평면도이다.
이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판 지지용 스테이지는, 장치본체(1)와, 기판(G)을 지지하는 다수의 패드(10)와, 다수의 패드(10)가 규칙적인 이격간격을 가지고 상호간 접근(도 4 및 도 6 참조) 및 이격(도 3 및 도 5 참조)될 수 있도록 다수의 패드(10)를 이동 가능하게 지지하는 이동지지부(20)와, 제 1 및 제2 안내가이드(31,32)를 구비한다.
장치본체(1)는, 본 기판 지지용 스테이지의 외관 틀을 형성하는 부분이다. 본 실시예의 경우, 다수의 패드(10), 이동지지부(20), 그리고 제1 및 제2 안내가이드(31,32) 정도만이 도면에 도시되어 있기 때문에 장치본체(1) 역시 국부적으로 도시되고 있다.
하지만 장치본체(1)는 도면에 도시된 것 외에 주변 장치들과 상호 유기적으로 결합되어 있는 것으로 본다. 예컨대, 본 기판 지지용 스테이지가 검사 시스템에 적용될 경우, 장치본체(1)에는 업/다운(up/down) 유닛이나 좌우 이동 유닛 등이 더 결합될 수 있다.
다수의 패드(10)는 실질적으로 기판(G)의 하면을 떠받치면서 기판(G)을 지지하는 부분이다. 따라서 실질적으로 기판(G)이 접촉되는 패드(10)는 유리 재질인 기판(G)에 스크래치(scratch) 등의 손상을 입히지 않는 재질로 제작되는 것이 바람직하다. 예컨대, 알루미늄 소재를 후처리에서 아노다이징(anodizing) 처리함으로써 패드(10)를 제작할 수 있다. 이처럼 아노다이징(anodizing) 처리에 의해 패드(10)를 제작하는 경우, 유리 재질인 기판(G)에 스크래치 등의 손상을 입히지 않는다.
참고로, 양극 산화피막 처리라고도 하는 아노다이징 공법은 금속 표면에 산화막을 형성시킴으로써 산화막으로 인해 대기중에서 더 이상의 산화가 진행되지 않도록 하는 것을 말한다. 아노다이징 공법은 특히, 소재가 연약하기 때문에 산화되면 잘 부서지는(부식되는) 특성을 갖는 알루미늄 소재에 널리 적용되어 다양한 분야에서 널리 사용되는데, 본 실시예에서도 패드(10)의 재질로서 이를 적용하고 있 는 것이다.
도시된 패드(10)들은 각기 "ㄷ"자 혹은 계단 형상으로 이루어져 있으나, 이는 하나의 실시예에 불과할 뿐 반드시 도면과 같은 구조를 가질 필요는 없다. 따라서 패드(10)의 각 부분에 대해서는 도면 참조부호를 부여하지 않도록 한다. 다만, 도면과 같은 모양으로 패드(10)가 형성될 경우에는 상대적으로 무거운 기판(G)을 떠받치는 과정에서 패드(10)의 변형을 예방할 수 있는데 유리할 수 있다.
본 실시예의 경우, 총 12개의 패드(10)가 도시되어 있다. 하지만 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 패드(10)의 개수는 12개 보다 많을 수도 있고 혹은 적을 수도 있다. 하지만, 이하에서는 설명의 편의를 위해, 도면에 도시된 총 12개의 패드(10)를 그대로 활용하여 설명하기로 한다.
12개의 패드(10)는, 중앙 영역에 위치 고정되게 마련되는 한 쌍(2개)의 고정 패드(10a)와, 12개의 패드(10) 중에서 양쪽 끝에 각각 한 쌍씩 마련되는 두 쌍(총 4개)의 구동 패드(10b)와, 고정 패드(10a)들 및 구동 패드(10b)들 사이에 배치되는 다수 쌍(총 6개)의 종동 패드(10c)로 구분될 수 있다.
실질적으로 고정 패드(10a)들은 해당 위치에 고정되고, 종동 패드(10c)들은 구동 패드(10b)들의 동작에 연동하여 이동되므로 위와 같이 분류될 수 있다.
참고로, 도면에는 고정 패드(10a)들이 나머지 구동 패드(10b)들과 종동 패드(10c)들에 비해 그 면적이 크게 도시되어 있다. 뿐만 아니라 고정 패드(10a)들은, 구동 패드(10b)들과 종동 패드(10c)들을 잇는 가상의 라인에서 일측으로 치우친 위치에 배치되어 있다. 하지만 이는 하나의 실시예에 불과할 뿐 본 발명의 권리 범위가 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 고정 패드(10a)들 역시 구동 패드(10b)들과 종동 패드(10c)들을 잇는 가상의 라인에 배치하면서 구동 패드(10b)들과 종동 패드(10c)들의 면적과 동일하게 마련할 수도 있는 것이다.
한 쌍의 고정 패드(10a)는 고정 패드 연결부(12a)에, 두 쌍의 구동 패드(10b)는 각각 대응되는 것끼리 구동 패드 연결부(12b)에, 그리고 다수 쌍의 종동 패드(10c)는 각각 대응되는 것끼리 종동 패드 연결부(12c)에 의해 상호간 연결되어 있다. 따라서 고정 패드 연결부(12a)를 제외한, 구동 패드 연결부(12b)와, 종동 패드 연결부(12c)는 그에 대응되는 두 쌍의 구동 패드(10b) 및 다수 쌍의 종동 패드(10c)와 함께 이동된다.
한편, 12개의 패드(10)들은 규칙적인 이격간격을 가지고 상호간 접근(도 4 및 도 6 참조) 및 이격(도 3 및 도 5 참조)되면서 다양한 사이즈(size)를 갖는 기판(미도시)을 떠받쳐 지지한다. 이처럼 12개의 패드(10)들이 상호간 규칙적인 이격간격을 가지고 접근(도 4 및 도 6 참조) 및 이격(도 3 및 도 5 참조)될 수 있도록 이동지지부(20)와, 제1 및 제2 안내가이드(31,32)가 구비된다.
이동지지부(20)는 전술한 연결부(12a~12c)들과 부분적으로 링크 결합된다. 이러한 이동지지부(20)는, 상호 교차 배치되어 상호간 접근(도 4 및 도 6 참조) 및 이격(도 3 및 도 5 참조) 가능한 다수의 링크부(23a,23b)와, 다수의 링크부(23a,23b)가 상호 교차하는 교차지점에서 다수의 링크부(23a,23b)와 연결부(12a~12c)들에 일체로 힌지 결합되는 다수의 힌지핀부(25a,25b)를 포함한다.
본 실시예에서 이동지지부(20)를 형성하는 다수의 링크부(23a,23b)는 고정 패드 연결부(12a)를 기준으로 좌우측에 각각 하나씩 독립된 2개의 단위링크그룹(20a,20b)으로 분리되어 있다. 도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 2개의 단위링크그룹(20a,20b)은 상호 동일한 구조로서 상호 대칭되게 마련된다(주로 도 4 참조).
2개의 단위링크그룹(20a,20b)을 형성하는 각각의 링크부(23a,23b)들을 모두가 동일한 단위길이를 갖는다. 따라서 도 3 내지 도 6과 같이 2개의 단위링크그룹(20a,20b)이 동작될 때, 다수의 패드(10)들은 상호 등간격(H, 도 5 참조)을 가지고 접근(도 4 및 도 6 참조) 및 이격(도 3 및 도 5 참조)될 수 있게 되는 것이다.
다수의 힌지핀부(25a,25b) 중에서 고정 패드 연결부(12a)에 각각 고정된 힌지핀부(25a',25b')는 각각 독립된 2개의 단위링크그룹(20a,20b)이 이동하는 기준점을 형성한다. 본 실시예의 경우, 2개의 단위링크그룹(20a,20b)이 이동하는 기준점을 형성하는 힌지핀부(25a',25b')는 고정 패드 연결부(12a) 상에서 상호 이격된 위치에 마련된다(도 4 참조).
한편, 이동지지부(20)의 동작에 따라 도 3 내지 도 6과 같이 다수의 패드(10)들이 상호 등간격(H, 도 5 참조)을 가지고 접근(도 4 및 도 6 참조) 및 이격(도 3 및 도 5 참조)되는 경우, 보다 안정적으로 패드(10)들의 이동을 안내하기 위해 제1 및 제2 안내가이드(31,32)가 구비된다.
제1 안내가이드(31)는, 다수의 패드(10)가 상호간 접근(도 4 및 도 6 참조) 및 이격(도 3 및 도 5 참조)되는 방향을 따라 두 쌍의 구동 패드(10b)가 각각 이동될 수 있도록 두 쌍의 구동 패드(10b)에 결합되어 두 쌍의 구동 패드(10b)의 이동 을 안내한다. 즉, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 두 쌍의 구동 패드(10b)는 제1 안내가이드(31)의 길이 방향을 따라 이동될 수 있다. 이 때, 제1 안내가이드(31)에는 두 쌍의 구동 패드(10b)를 독립적으로 구동시키는, 다시 말해 미리 정해진 길이만큼 링크부(23a,23b)가 접근(도 4 및 도 6 참조) 및 이격(도 3 및 도 5 참조)되도록 구동시키는 구동수단(미도시)이 더 결합될 수 있다.
그리고 제2 안내가이드(32)는, 다수 쌍의 종동 패드(10c)에 결합되어 다수 쌍의 종동 패드(10c)의 이동을 안내한다. 이러한 제1 및 제2 안내가이드(31,32)는 리니어 모션(Linear Motion) 등으로 구현될 수 있다.
제1 및 제2 안내가이드(31,32) 간에 상대적인 간섭이 발생되지 않도록, 본 실시예에서 제1 안내가이드(31)는 제2 안내가이드(32)에 비해 상대적으로 낮은 위치에 마련된다. 이처럼 제1 안내가이드(31)가 제2 안내가이드(32)에 비해 상대적으로 낮은 위치에 마련되기 위해서는, 도시된 바와 같이 두 쌍의 구동 패드(10b)의 길이가 다수 쌍의 종동 패드(10c)의 길이보다 길게 형성되면 된다.
이러한 구성을 갖는 기판 지지용 스테이지의 동작에 대해 설명하면 다음과 같다.
도 4 및 도 6과 같이 링크부(23a,23b)들이 접근되어 다수의 패드(10)들이 상호 접근되어 있는 초기 위치에서, 도 3 및 도 5와 같이, 링크부(23a,23b)들을 이격시켜 패드(10)들을 등간격(H, 도 5 참조)을 이격시키기 위해, 제1 안내가이드(31)에 구비된 구동수단이 동작한다.
이 때, 구동수단은 별도의 제어 신호에 의해 미리 정해진 길이만큼 링크 부(23a,23b)가 이격(도 3 및 도 5 참조)되도록 두 쌍의 구동 패드(10b)를 독립적으로 구동시킨다.
이와 같이 제1 안내가이드(31)를 따라 두 쌍의 구동 패드(10b)가 각각 반대방향으로 이동하면, 링크부(23a,23b)들의 동작에 의해 두 쌍의 구동 패드(10b)가 이동하는 거리만큼 다수 쌍의 종동 패드(10c)들 역시 상호간 이격된다.
따라서 최종적으로는 도 3 및 도 5와 같이 패드(10)들은 등간격(H, 도 5 참조)을 이루며 상호 이격될 수 있으며, 이러한 상태에서 기판(G)은 안정적으로 패드(10)들에 놓여 지지될 수 있게 된다. 이 때는 기판(G)이 손상되거나 지지된 기판(G)에 처짐이 발생하는 현상이 발생하지 않기 때문에 검사 작업 등의 안정적인 공정을 진행하기에 충분한 것이다.
참고로, 구동수단이 없다면 작업자가 두 쌍의 구동 패드(10b)가 각각 반대방향으로 당겨 두 쌍의 구동 패드(10b)를 원하는 위치로 옮겨 놓으면 된다.
이와 같이, 본 실시예에 따르면, 기판(G)이 손상되거나 지지된 기판(G)에 처짐이 발생하는 현상을 저지하면서도 다양한 사이즈(size)를 갖는 기판들을 보다 안정적으로 지지할 수 있는 효과가 있다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 지지용 스테이지의 사시도이다.
전술한 실시예의 경우에는 다수의 패드(10)들 상면에 직접 기판(G)이 놓여 지지되었다. 하지만, 도 7에 도시된 바와 같이, 다수의 패드(10)들의 상면에는 기판(G)을 지지하는 보조지지패드(40)들이 더 구비될 수 있다.
이 때의 보조지지패드(40)들은 넓은 막대 형상을 가질 수 있으며, 각기 대응 되는 한 쌍의 패드(10)들, 다시 말해 한 쌍의 고정 패드(10a) 각각, 두 쌍의 구동 패드(10b) 각각, 그리고 다수 쌍의 종동 패드(10c) 각각에 하나씩 결합될 수도 있다. 도 7과 같이, 별도의 보조지지패드(40)들이 더 구비된다면, 넓은 면적으로 기판(G)을 지지할 수 있기 때문에 기판(G)을 보다 안정적으로 떠받쳐 지지하는데 유리할 것임에 틀림이 없다.
도 8 및 도 9는 각각 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 지지용 스테이지의 사시도이다.
전술한 제1 및 제2 실시예의 경우, 독립된 2개의 단위링크그룹(20a,20b)이 이동하는 기준점을 형성하는 힌지핀부(25a',25b')가 고정 패드 연결부(12a) 상에서 상호 이격된 위치에 마련되었다(도 4 참조). 따라서 실질적으로 2개의 단위링크그룹(20a,20b)은 상호 연결되지 않고 분리된 채로 장치본체(1)에 마련된다.
하지만, 제1 및 제2 실시예와는 달리, 독립된 2개의 단위링크그룹(20a,20b)이 이동하는 기준점을 형성하는 힌지핀부(25a',25b')는, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 고정 패드 연결부(12a) 상에서 동일한 위치에 마련되어도 좋다.
이러한 경우, 얼핏 보면, 2개의 단위링크그룹(20a,20b)을 형성하는 각 링크부(23a,23b)들이 마치 전부 연결된 것처럼 보일 수 있는데, 이와 같이 구성하더라도 본 발명의 효과를 달성하는 데에는 아무런 무리가 없다.
도 10 및 도 11은 각각 본 발명의 제4 실시예에 따른 기판 지지용 스테이지의 평면도이다.
전술한 제1 내지 제3 실시예들의 경우, 다수의 패드(10)들은 모두가 등간 격(H, 도 5 참조)으로 접근 및 이격되고 있다. 하지만, 도 10 및 도 11과 같이, 링크부(23c,23d)들의 단위길이를 서로 다르게 구성하는 경우, 등간격은 아니지만 다수의 패드(10)들은 모두가 상호 규칙적인 이격간격(H3,H4)을 가지고 접근 및 이격될 수 있으며, 상황에 따라서는 이렇게 구성할 수도 있을 것이다.
전술한 실시예에서는 고정 패드가 다수의 패드 중에서 중앙 영역에 마련되고, 구동 패드가 양측에 배치되어 있었으나, 다수의 패드 중에서 한쪽 끝에 고정 패드를, 그리고 다른 한쪽 끝에 구동 패드를 배치하고, 이들 사이에 종동 패드를 배치하더라도 동일한 효과를 기대할 수 있다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 기판이 손상되거나 지지된 기판에 처짐이 발생하는 현상을 저지하면서도 다양한 사이즈(size)를 갖는 기판들을 보다 안정적으로 지지할 수 있다.

Claims (14)

  1. 기판을 지지하는 다수의 패드; 및
    상기 다수의 패드가 규칙적인 이격간격을 가지고 상호간 접근 및 이격될 수 있도록 상기 다수의 패드를 이동 가능하게 지지하는 이동지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지용 스테이지.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 다수의 패드는,
    상기 다수의 패드 중에서 선택된 한 쌍의 고정 패드;
    상기 다수의 패드 중에서 선택되고 상기 한 쌍의 고정 패드에 대해 이격되어 위치하는 적어도 한 쌍의 구동 패드; 및
    상기 한 쌍의 고정 패드 및 상기 한 쌍의 구동 패드 사이에 배치되는 다수 쌍의 종동 패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지용 스테이지.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 한 쌍의 고정 패드는 상기 다수의 패드 중에서 중앙 영역에 위치 고정되게 마련되며,
    상기 적어도 한 쌍의 구동 패드는 상기 다수의 패드 중에서 양 사이드 영역에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 지지용 스테이지.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 한 쌍의 고정 패드를 상호 연결하는 고정 패드 연결부;
    상기 적어도 한 쌍의 구동 패드를 상호 대응하는 것끼리 한 쌍씩 연결하는 구동 패드 연결부; 및
    상기 다수 쌍의 종동 패드를 상호 대응하는 것끼리 한 쌍씩 연결하는 종동 패드 연결부를 더 포함하며,
    상기 이동지지부는 상기 연결부들과 부분적으로 링크 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 지지용 스테이지.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 이동지지부는,
    상호 교차 배치되어 상호간 접근 및 이격 가능한 다수의 링크부; 및
    상기 다수의 링크부가 상호 교차하는 교차지점에서 상기 다수의 링크부와 상기 다수의 연결부들에 일체로 힌지 결합되는 다수의 힌지핀부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지용 스테이지.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 다수의 링크부는 독립된 2개의 단위링크그룹으로 분리되어 있으며, 상기 2개의 단위링크그룹 각각은 상기 고정 패드 연결부를 기준으로 상기 구동 패드 연결부 측으로 각각 하나씩 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 지지용 스테이지.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 2개의 단위링크그룹들에 마련된 다수의 힌지핀부 중에서 상기 고정 패드 연결부에 힌지 결합되는 힌지핀부는 상기 고정 패드 연결부 상에서 상호 이격된 위치에 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 지지용 스테이지.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 2개의 단위링크그룹들에 마련된 다수의 힌지핀부 중에서 상기 고정 패드 연결부에 힌지 결합되는 힌지핀부는 상기 고정 패드 연결부 상에서 동일한 위치에 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 지지용 스테이지.
  9. 제2항에 있어서,
    상기 다수의 패드가 상호간 접근 및 이격되는 방향을 따라 상기 적어도 한 쌍의 구동 패드가 이동될 수 있도록 상기 적어도 한 쌍의 구동 패드에 결합되어 상기 적어도 한 쌍의 구동 패드의 이동을 안내하는 제1 안내가이드; 및
    상기 다수 쌍의 종동 패드에 결합되어 상기 다수 쌍의 종동 패드의 이동을 안내하는 제2 안내가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지용 스테이지.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 안내가이드를 지지하는 장치본체를 더 포함하며,
    상기 장치본체에서 상기 제1 안내가이드는 상기 제2 안내가이드에 비해 상대적으로 낮은 위치에 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 지지용 스테이지.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 제1 안내가이드에는 상기 적어도 한 쌍의 구동 패드를 독립적으로 구동시키는 구동수단이 더 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 지지용 스테이지.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 이동지지부에 의해 상기 다수의 패드는 상호 등간격으로 접근 및 이격되는 것을 특징으로 하는 기판 지지용 스테이지.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 다수의 패드의 상면에 결합되어 상기 기판을 지지하는 보조지지패드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지용 스테이지.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 보조지지패드는 다수개로 마련되며, 해당하는 한 쌍의 패드들에 각각 하나씩 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 지지용 스테이지.
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