JP4038272B2 - 液晶表示装置の組立て方法および組立て装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、基板の組立て装置および組立て方法に関し、より詳しくは、例えば液晶表示装置等のフラットパネルディスプレイの組立て装置および組立て方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶表示装置は、薄型軽量、低消費電力等の利点を有することから、ノート型やサブノート型のパーソナルコンピュータのディスプレイとして広く用いられている。近年、パーソナルコンピュータの性能向上に伴い、ディスプレイの表示容量や表示面積の拡大、画質の向上が要求されてきている。
【0003】
液晶表示装置は、スペーサを介して2枚のガラス基板を貼り合わせ、これらのガラス基板間に液晶分子を封入することにより構成されている。通常、液晶表示装置は以下の工程によって組立られる。
【0004】
すなわち、まず、互いに対向した上下一対のステージにガラス基板をそれぞれ吸着保持する。この場合、下ステージ上に保持されたガラス基板の表面上には、多数の電極が形成されているとともに、表示領域を規定する矩形枠状のシール材と、2枚のガラス基板間のギャップを保持するためのスペーサとが配置されている。また、上ステージに保持されたガラス基板には、対向電極、カラーフィルタ等が設けられている。
【0005】
この状態で、2枚のガラス基板が所定の隙間をおいて対向するように上ステージを下降させた後、上ステージをX、Y方向に移動、およびZ軸回りで回動することにより、2枚のガラス基板同志を所定の位置合わせマーク等を基準として位置合わせする。
【0006】
続いて、上側のガラス基板が下側のガラス基板上のシール材およびスペーサに接触する位置まで上ステージを下降させる。この場合、2枚のガラス基板がスペーサやシール材を介して接触する際の抵抗や、上下ステージの上下駆動の剛性、平行度、さらには、X、Y、θ駆動機構におけるバックラッシュ等に起因して、両ガラス基板間に微妙な位置ずれが生じる。
【0007】
そこで、2枚のガラス基板がシール材およびスペーサを介して互いに接触した状態で、再度上ステージをX、Y、θ方向に移動して位置合わせを行う。位置合わせ終了後、2枚のガラス基板間のギャップが所定の値となるように加圧し、これらのガラス基板間に液晶分子を封入する。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のように2枚のガラス基板がスペーサを介して互いに接触した状態で一方のガラス基板を移動させて位置合わせを行う場合、スペーサが配向膜表面を強く擦って傷を付けてしまうとともに、カラーフィルタ層等にめり込んでしまう虞もある。
【0009】
そして、上述したように、近年の液晶表示装置においては画質の向上が強く要望されていることから、製造工程中に生じた僅かな傷についても画質不良として上げられ、製造歩留りを低下させる要因となる。
【0010】
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、一対の基板を組み立てるに際して、それらの基板に傷を付けることなく組み立てることが可能な組み立て装置および組み立て方法を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
【0012】
請求項1に係るこの発明の装置は、
表示領域を囲むようにシール材が設けられているとともに、表示領域内に複数のスペーサが設けられた第1の基板と第2の基板とを位置合わせして組み立てる液晶表示装置の組立て装置において、
上ステージと、
前記第1の基板を吸引保持するために前記上ステージに設けられた吸引口と、
前記上ステージの下方に位置し、前記第2の基板を戴置状態に保持する下ステージであって、前記第2の基板を戴置保持する周縁部とそれによって囲まれた内側の凹部とを有し、この凹部は、前記第2の基板の前記戴置状態においてこの第2の基板がそれ自体の自重によって下方に撓むのを許容するように構成されている下ステージと、
を備えるものとして構成されている。
【0014】
請求項7に係るこの発明の方法は、
表示領域を囲むようにシール材が設けられているとともに、表示領域内に複数のスペーサが設けられた第1の基板と第2の基板とを位置合わせして組み立てる液晶表示装置の組立て方法において、
基板を吸引保持するために設けられた吸引口を有する上ステージにおいて、この吸引口により吸引して第1の基板を保持し、
前記上ステージの下方に位置する下ステージによって前記第2の基板を戴置状態に保持し、この下ステージとして、前記第2の基板を戴置保持する周縁部とそれによって囲まれた内側の凹部とを有し、この凹部は、前記第2の基板の前記戴置状態においてこの第2の基板をそれ自体の自重によって下方に撓むのを許容するように用いることを特徴としている。
【0015】
請求項9に係るこの発明の組立て方法は、
表示領域を囲むようにシール材が設けられているとともに、表示領域内に複数のスペーサが設けられた画素電極を有するアレイ基板と対向基板とを対向配置し、
前記アレイ基板および対向基板の周縁部同士を前記上記シール材を介して貼り合わせ、前記アレイ基板および対向基板の少なくとも一方の基板の表示領域を他方の基板の表示領域から離間する方向に撓ませた状態で、前記貼り合わせたアレイ基板および対向基板の少なくとも一方を移動し位置合わせを行うことを特徴としている。
【0016】
請求項13に係るこの発明の組立て方法は、
表示領域を囲むようにシール材が設けられているとともに、表示領域内に複数のスペーサが設けられた第1の基板と第2の基板とを対向配置し、
前記第1および第2の基板の周縁部同士を前記上記シール材を介して貼り合わせ、前記第1および第2の基板の少なくとも一方の基板の表示領域を他方の基板の表示領域から離間する方向に撓ませた状態で、前記貼り合わせた第1および第2の基板の少なくとも一方を移動し位置合わせを行い、
前記位置合わせが終了した後、前記基板の撓みを除き、前記スペーサを介して前記第1および第2の基板の表示領域同士を接触させることを特徴とするものである。
【0017】
【発明の実施の形態】
下側のアレイ基板と上側の対向基板を組立て、圧着するフローチャートを図1に、組立て手順を図23に示す。先ず、このフローチャートに沿って作業工程を簡単に説明し、各作業工程との関係において本発明の第1の実施形態について詳しく説明する。
【0018】
図1のフローチャートにおいて、先ず、図2からわかるように、アレイ基板1と対向基板2を後述のように仮止め、封着すべく、予め仮止め用樹脂3及び封着用樹脂4をアレイ基板上に塗付する(S1)。仮止め用樹脂3は紫外線の照射により硬化するいわゆるUV硬化剤であり、封着用樹脂4は本シールとして機能するものであり、いわゆる熱硬化型シール剤用である。ちなみに、図2は、いわゆる2面取りの例を示している。
【0019】
このようにして、仮止め用樹脂3及び封着用樹脂4を塗布した後、組立機による仮止め工程に移行する。即ち、図3に示す下ステージ6及び上ステージ7に図5、図6に示すアレイ基板1及び対向基板2を載置、吸着し、図7に示す如くに組立機によって対向させアライメントして、仮止めし、さらに封着する。
【0020】
より詳しくは、図3の上ステージ7に対向基板2を吸着し、下ステージ6にアレイ基板1を載せる(S2)。対向基板2を膜面を下に下ステージ6上に置く。このとき、下ステージ6はいわゆる凹型ステージなので、表示エリアがステージに全面的に接触することはない。この状態で、ゲージングピングアライメントする。この後、上ステージ7が降りて対応基板2を吸着し、上方へ持ち上げる。この後、下ステージ6上にアレイ基板1を載せる。これにより、概略的には、図23(a)のような状態となる。
【0021】
この後、基板間距離を約200μmに近づけて第1回目のアライメントを実施し、続いて基板間距離を順次ほぼ半分として、その都度アライメントを行う。いわゆる、これが多段階の粗アライメントである(図23(b))。
【0022】
このような粗アライメントを実施した後、上、下のステージ7,6によって上下の基板2,1を圧着する(S4)(図23(c))。
【0023】
この重ねた後、重ねたことによるずれを補償すべく、さらにアライメント、つまり、精密アライメントを行う(S5)(図23(c))。
【0024】
この後、ステップS1で塗付したUV硬化剤としての仮止め用樹脂3,3,…に図7に示すように、UVランプ9,9,…からの紫外線を照射して硬化させ、仮止めする(S6)。
【0025】
この後、上ステージ7による対向基板2の吸着保持を停止し、対向基板2をそのままとしつつ上ステージ7のみを上方へ逃がし、吸着開放を行う(S7)。以上の工程が組立機によって行われる。
【0026】
この後、仮止めされた一対の基板1,2に対して封着治具づめを実施する(S8)。
【0027】
この状態で、加熱して封着用樹脂(シール剤)4を硬化させて、封着を実行する(S9)。
【0028】
以上が組立から封着までの工程であるが、それらの工程及びそれに用いる装置についてより詳しく説明する。
【0029】
先ず、ステップS2で使用される上下のステージ7,6について説明する。図3に示すように、対向基板2を吸着する上ステージ7は、いわゆる平板ステージであり、複数の吸引口10,10,…を有している。これらの吸引口10,10,…は、内部で連通して、さらに、吸引チューブ11につながっている。この吸引チューブ11の他端には、真空ポンプ12がつながっている。このような上ステージ7において、図23(a)に示すように真空ポンプ12の吸引により吸引口10,10,…から空気が吸引され、ここに位置させた対向基板2が吸着保持されることになる。
【0030】
上記上ステージ7に対向する下ステージ6は、図3、図23からわかるように、中央に深さが3cmの凹所13が設けられ、周囲が、表面が平坦な基板保持面14aの周縁部14となっている。この周縁部14には基板保持面14aに開口する吸引口15,15,…が形成され、これらの吸引口15,15,…は内部で連通し、吸引チューブ17を介して真空ポンプ18につながっている。前記凹所13のほぼ中央には、突き上げステージ20が設けられている。この突き上げステージ20は、凹所13の底面に立設した柱21によって平板状の突き上げステージ本体22を支持したものである。このステージ本体22の高さは、前記基板保持面14aより約1〜50μm低い高さに設定されている。この下ステージ6に対してアレイ基板1が載せられるが、このアレイ基板1の自重による下向きの撓みは突き上げステージ20の支持によって可及的に少なく抑えられる。図4は、この下ステージ6と、それに載置されるアレイ基板1の平面的位置関係を示すものである。図4において、実線は下ステージ6の基板保持面14を示し、2点鎖線はアレイ基板1の外形を示し、破線は、いわゆる一面取りのものにおいて、2つの基板1,2を合わせた状態で両者間をシールするシール材(封着用樹脂)4を示している。
【0031】
上記上下のステージ7,6に吸着、載置される対向基板2及びアレイ基板1は、図5及び図6に示される。図5は、2つの基板7,6が組立てられる前の分離状態を示し、図6は組立て後の状態を示す。先ず、下側のアレイ基板1において、ガラス基板31の主面側のTFT部にはポリシリコン(又はα−Si)でなる半導体層32が設けられ、その上にはゲート絶縁膜33が形成され、その上にはゲート電極34およびこれと同一工程で形成された補助容量線35が設けられている。これらの上には酸化珪素よりなる絶縁膜37、窒化珪素膜38が順次形成されている。ゲート電極の両側位置には、ソース電極39およびドレイン電極40が窒化珪素膜38、絶縁膜37、ゲート絶縁膜33を貫通して半導体層32に達している。ドレイン電極は信号線(図示せず)に接続されている。
【0032】
また、これらの全体に表面が平坦化されたストライプ状に、R、G、Bに各々着色された樹脂が順次配列されたカラーフィルタ層42が堆積され、表面に画素電極43が形成されている。この画素電極はソース電極39と、コンタクトホール45を介して接続されている。
【0033】
なお、補助容量線は画素電極と電気的に接続されており、半導体層と同層で形成された層との間でゲート絶縁膜を介して容量Csを形成している。
【0034】
このアレイ基板1には、2つの基板1,2間の距離を保持するスペーサ47が固定状態に設けられている。即ち、このスペーサ47は、樹脂にR,G,Bを混合して得られた黒色樹脂から形成された直径が約20μmの四角柱である。このスペーサ47は、走査線の上方位置に設けられている。このスペーサ47は配向膜48によって被覆されている。このスペーサ47によって、基板間距離は3〜4μmに保持される。
【0035】
上記のアレイ基板1に対向する対向基板2は、ガラス基板51上に対向電極52と配向膜53を順次形成したものとして構成される。図6に示すように、これらの2つの基板2,1の間には液晶54が封入されている。
【0036】
上記のように、2つの基板1,2のアライメントに際して、アレイ基板1に上述のようにスペーサ47が固定されていることから、従来は、このスペーサ47が相手側としての対向基板2の内側面の配向膜53を傷つけるおそれもあった。本発明は、まさにこのような難点を解消しようとしてなされたものであり、アライメントを、2枚の基板をシールにより接着した状態で2枚の基板間距離を、セルギャップよりも大きくした状態で行うものである。例えば、アライメント時に下側の基板としてのアレイ基板1をやや下方へ撓ませることにより、上記のスペーサ47の先端で対向基板2の内側面を損傷するのを防ごうとしたものである。具体的には下側のアレイ基板1を下ステージ6上に置くと、アレイ基板1は凹所13に対応して僅かに下方へ撓むと共に、過度の撓みは突き上げステージ20によって防止される。この状態で両基板1,2のアライメントをすると、アレイ基板1の下方への僅かな撓みに起因して、スペーサ47が対向基板2を傷つけることは防止されつつアライメントが行われる。
【0037】
尚、セルギャップとは、液晶セルとした時の2枚の基板間距離をいい、スペーサ高さと同等になる。
【0038】
このように、上記の実施の形態によれば、対向基板に対して傷がつくのを防止できる。特に、対向基板の内側に配向膜が形成されている場合は、この配向膜の硬度が弱いため、特に有効である。即ち、ITO等の無機膜よりポリイミドなどの有機膜からなる配向膜は硬度が弱いためである。
【0039】
次に、ステップS3,S5における両基板1,2のアライメントについて説明する。いずれのステップにおいても、以下のようにしてアライメントが行われる。ステップS3においては、多段階アライメントが行われるが、これは、以下のアライメントが2つの基板1,2を順次近づけて複数回行われることを意味する。
【0040】
上記アライメントは、上ステージ7に対向基板2を吸着し、下ステージ6にアレイ基板1を載せ、その状態で上、下ステージ7,6即ち2つの基板2,1を相対的に移動することによって行われる。
【0041】
このようなアライメントは、図8に示すように2つの基板1,2にそれぞれアライメントマーク58,59を付しておき、それらのマークを観察しながら2つの基板1,2を相対的に変位させることにより行われる。このようなマークの観察のため、図7の組立機は以下のような構成となっている。
【0042】
即ち、上ステージ7及び下ステージ6に、それぞれ透孔(アライメント用穴)55,55;56,56が穿設されている。これらの透孔55,55;56,56を通して、2つの基板2,1にそれぞれ形成されたアライメントマーク58,58が互いに重ね合わせた状態に観察できるようにしている。この観察を光学的に行うため、上ステージ7の透孔55,55に対向させて照明用のランプ60,60が設けられ、下ステージ6の透孔56,56の下方にカメラ61,61が設けられている。
【0043】
図7からわかるように、上ステージ7に対向基板2を吸着固定し、下ステージ6にアレイ基板1を載置する。この状態において、ランプ60,60を点灯する。ランプ60,60による上下のアライメントマークの重った像がアライメント用穴56,56を通って、カメラ61,61に像を送られる。この像は、図8からわかるように、上側の対向基板2に付けたアライメントマーク58と、下側のアレイ基板1に付けたアライメントマーク59とが重なって、図9に示すように表わされたものとなる。ここで、アライメントは、図10(a)〜(c)からわかるように、上側の基板2のアライメントマーク58,58の中心Oと、下側の基板1のアライメントマーク59,59の中心O′とを重ね合わせることによってなされる。
【0044】
なお、上述した例は、上側の対向基板2と下側のアレイ基板1の大きさ、つまりトータルピッチが合っている場合のものであるが、トータルピッチが合っていない場合は、上記の方法ではアライメントできないので、以下のようにしてアライメントする。即ち、2つの基板1,2のトータルピッチが合っていないときは、それらの重ね合わせ状態の2組のアライメントマークの重ね合わせ像は図11のように示される。この場合には、図12に示すように、x方向については上述のようにして合わせ、y方向については2つの基板1,2の中心によって合わせる。つまり、x方向については、上側の基板2のアライメントマーク59,59の中心Oと下側の基板1のアライメントマーク59,59の中心O′とが縦に並んでx座標値を同じくするようにする。y方向については、上側の基板2の2組のアライメントマーク58,58;58,58の中心O,Oを結ぶ線の中心OI と、下側の基板1の2組のアライメントマーク59,59;59,59の中心O′,O′を結ぶ線の中心OI ′とが横に並んでy座標値を同じくするようにする。
【0045】
上述のアライメントは、図13に示すフローチャートに沿って行われる。ただし、ここにおける、2組のマークは、図10においてはO,O′を指し、図12においてはO,O′を指すと共にOI ,OI ′を指す。この図13に対応して説明すれば以下の通りである。即ち、アレイ基板1および対向基板2上のマークO,O′,OI ,OI ′を、センサとしてのカメラ61で読み込み、互いのマーク間距離、いわゆる位置ずれ量を測定する。
【0046】
すなわち、アレイ基板1および対向基板2について位置合わせが開始されると、まず、アレイ基板1および対向基板2の位置ずれ量を、上述のようにして測定する(ステップ11)。次に、測定された距離を基にずれ量を零にするため、上側の対向基板をX,Y,θ方向に移動・回転してアライメントを行う(ステップ12)。
【0047】
このようにアライメントを行っても、X,Y,θ駆動機構におけるバックラッシュなどに起因してアレイ基板1および対向基板2間に微妙なずれが生じるので、再びアレイ基板1および対向基板2の位置ずれ量を測定する(ステップ13)。この結果、アレイ基板1および対向基板2の位置ずれ量が規定値範囲内か否かを判断し(ステップ14)、ずれ量が規定値範囲外であれば、アライメント動作が予め設定した動作時間に達していないか、または、予め設定した動作回数に達していないかを判断し(ステップ15)、達していなければアライメント動作(ステップ12)を繰り返す。
【0048】
この後、再度ステップ13,14を繰り返し、アレイ基板1および対向基板2のずれ量が依然として規定値範囲外であれば、ステップ15の判断により、位置合わせ動作が、予め設定した動作時間、または、予め設定した動作回数に達するまでステップ12ないしステップ114の動作を繰り返す。
【0049】
そして、このアライメント動作が、予め設定した動作時間、または、予め設定した動作回数に達しても両基板のずれ量が規定値範囲外であれば、アライメントが正常に行われなかったことを意味するのでエラーメッセージを出力して(ステップ16)、アライメント動作を終了する。
【0050】
これに対し、ステップ12のアライメント動作により、アレイ基板1および対向基板2のずれ量が規定値範囲内(ステップ14)になった場合、さらに、アレイ基板1および対向基板2のずれ量が零かを判断し(ステップ17)、零でない場合は、アライメント動作が予め設定した動作時間に達していないか、または、予め設定した動作回数に達していないかを判断し(ステップ18)、ステップ18で達していないと判断されれば、アライメント動作(ステップ12)を繰り返す。このとき、規定値範囲に達している位置ずれ量は情報として入力しておく。このアライメント動作は、位置ずれ量が零にならない限り、ステップ18の判断で、予め設定した動作時間、または、予め設定した動作回数に達するまで繰り返される。すなわち、アライメント動作が繰り返される毎に位置ずれ量は零に近付く。そして、位置ずれ量が零になった場合、零にならなくとも予め設定した動作時間、または、予め設定した動作回数に達した場合は、位置合わせ動作を正常終了する(ステップ19)。
【0051】
このようにして、アレイ基板1および対向基板2のずれ量が零か、零でなくとも、アライメント動作を予め設定した動作時間または予め設定した動作回数に達するまで繰り返した後、終了する。
【0052】
次に、図1のステップ6で行われる仮止め硬化に関していえば、図7からわかるように、下ステージ6の4隅の下方に4つのUVランプ9,9,…が上向きに設けられている。これらのランプ9,9,…のUV光を、この下ステージ6上のアレイ基板1に塗付したUV硬化剤(仮止め剤)3に導き、照射させる4つの仮止め硬化用穴63,63,…を、下ステージ7に穿けている。なお、これらのランプ9,60やカメラ61は可撓性ある光ファイバー等によって支持されている。
【0053】
以下図面を参照しながら、この発明のさらに異なる第2実施の形態について詳細に説明する。
【0054】
図14は、フラットパネルディスプレイとして液晶表示装置を組み立てるための、この発明の実施の形態に係る組立装置110を示しており、上記実施形態の組立装置も上ステージ、下ステージの形状を除いて同様の構造をとっている。この組立装置110は、後述する液晶表示装置の2枚のガラス基板を貼り合わせる貼り合わ機構部112と、貼り合わ機構部112へガラス基板を供給する供給機構部114と、を備え、これらの貼り合わ機構部および供給機構部は本体フレーム116上に設置されている。
【0055】
貼り合わ機構部112は、互いに対向配置された上ステージ118および下ステージ120を有している。これらのステージ118、120は矩形板状に形成されほぼ水平に配置されている。下ステージ120は本体フレーム116上に固定的に配設されている。
【0056】
上ステージ118は、位置調整機構として機能するX−Y−θステージ122に取り付けられている。X−Y−θステージ122は、水平面内において、X方向、Y方向に移動自在であるとともに、垂直軸の回りで回動可能となっている。また、X−Y−θステージ122は、本体フレーム116に設けられたガイド125により、垂直方向に沿って昇降自在に支持およびガイドされ、本体フレーム116の上部に設けられた駆動機構124によって昇降駆動される。
【0057】
そして、上ステージ118は、X−Y−θステージ122を作動させることにより、下ステージ120に対して位置調整可能であるとともに、駆動機構124によってX−Y−θステージ122を昇降駆動することにより、下ステージに対して接離する方向に移動される。
【0058】
図15(a)に示すように、上ステージ118の下面は基板保持面118aを構成し、この基板保持面の中央部には、矩形状の凹所126が形成されている。凹所126は、後述するガラス基板の有効領域とほぼ対応した形状および寸法に形成されているとともに、その深さは、50μm以上に形成されている。更に、凹所126の底面中央には、排気口128が開口している。そして、排気口128は、吸引チューブ130を介して第1の真空ポンプ132に接続されている。また、上ステージ118には多数の吸着孔134が形成され、これらの吸着孔は基板保持面118aに開口しているとともに、凹所126の周縁部に沿って並んで設けられている。これらの吸着孔134は、吸引チューブ135を介して第2の真空ポンプ136に接続されている。
【0059】
図15(b)に示すように、下ステージ120の上面は基板保持面120aを構成し、この基板保持面の中央部には、矩形状の凹所138が形成されている。凹所138は、後述するガラス基板の有効領域とほぼ対応した形状および寸法に形成されている。また、下ステージ120には多数の吸着孔140が形成され、これらの吸着孔は基板保持面120aに開口しているとともに、凹所138の周縁部に沿って並んで設けられている。これらの吸着孔140は、吸引チューブ142を介して第3の真空ポンプ143に接続されている。
【0060】
なお、第1ないし第3の真空ポンプ132、136、142は、図14に示すように、下ステージ120の下方において本体フレーム116上に配置され、この発明における吸着手段および吸引手段を構成している。
【0061】
図14に示すように、貼り合わ機構部112の上ステージ118および下ステージ120にガラス基板を供給する供給機構部114は、本体フレーム116上にほぼ水平に設けられたX−Yテーブル144と、X−Yテーブル上に垂直に立設された支持ポスト146と、を備え、支持ポストには垂直方向に沿って昇降可能な移動台148が取付けられている。また、移動台148には、水平方向に延びる伸縮自在かつ回動自在な支持アーム150が取り付けられ、支持アームの延出端には、ガラス基板を吸着保持する保持部152が設けられている。
【0062】
そして、供給機構部114は、保持部152によりガラス基板を吸着保持した状態で、移動台148を昇降および支持アーム150を伸縮、回動させることにより、ガラス基板を上ステージ118、および下ステージ120にそれぞれ供給する。
【0063】
一方、以上のように構成された組立装置を用いて組立られる液晶表示装置は、図16に示すように、それぞれ矩形状の透明基板として機能するアレイ基板160および対向基板162を備えている。アレイ基板160はガラス基板の表面上に、信号線161、走査線163、画素電極165等の形成することにより構成された矩形状の表示領域160aを有している。また、アレイ基板160上には、表示領域160aを囲むようにシール材164が塗布されているとともに、表示領域160a上には、多数の球状スペーサ1616が散布されている。シール材164の高さは潰していないときは30〜50μm、スペーサの径は5μm程度に設定されている。つまり、シール材164の高さは、シール塗付時は30〜50μm、組立直後は12〜20μm、シール材硬化後は5.5μmである。
【0064】
対向基板162はガラス基板からなり、その下面には、対向電極168、カラーフィルタ170等の形成された矩形状の表示領域162aが設けられている。表示領域162aは、アレイ基板160側の表示領域160aに対応した寸法を有している。
【0065】
そして、液晶表示装置は、シール材164を介してアレイ基板160および対向基板162を貼り合わ、これらの基板間に液晶分子を封入することにより構成されている。
【0066】
次に、以上のように構成された組立装置を用いて液晶表示装置を組み立てる方法について説明する。先ず、図17(a)の状態となるまでを説明する。対向基板162を膜面を下にして下ステージ120上に置く。このとき、下ステージ120はいわゆる凹型ステージなので、表示エリアがステージに接触することはない。この状態で、ゲージングピンでアライメントする。この後、上ステージ118が降りてきて対向基板162を吸着し、上方へ持ち上げる。この後、図17(a)に示すように、まず、予め形成されたアレイ基板160を供給機構114によって貼り合わ機構部112の下ステージ120まで供給し、表示領域160aを上にして下ステージ上に載置する。この際、アレイ基板160の表示領域160aが下ステージ120の凹所138と対向し、かつ、アレイ基板の周縁部が基板保持面120aと接触するように載置する。この状態で、第3の真空ポンプ143を作動させ、吸着孔140によってアレイ基板160の周縁部を下ステージ120の基板保持面120a上に吸着保持する。この際、アレイ基板は自重により、基板中央部がたわんだ状態となっている。
【0067】
続いて、上記と同様の工程によって対向基板162を上ステージ118に供給し、有効領域162aを下に向けて上ステージの基板保持面118a上に吸着保持する。この場合、対向基板162の表示領域162aが上ステージ118の凹所126と対向し、かつ、対向基板の周縁部が基板保持面118aと接触した状態で、第2の真空ポンプ136を作動させ、吸着孔134によって対向基板の周縁部を基板保持面118a上に吸着保持する。これにより、アレイ基板160および対向基板162は、表示領域160a、162aが互いに対向した状態に配置される。
【0068】
続いて、図17(b)に示すように、駆動機構124によってX−Y−θステージ122とともに上ステージ118を下降させ、対向基板162をアレイ基板160に接近する方向へ移動させる。その間、第1の真空ポンプ132を作動させ、排気口128を通して上ステージ118の凹所126内を所定の圧力まで排気する。すると、対向基板162の表示領域162aは、凹所126の底面側に吸引されアレイ基板160から離間する方向へ微妙に撓む。対向基板160の撓み量は、排気圧を制御することにより所定の値、例えば、50μm程度に調整される。
【0069】
そして、図17(c)に示すように、対向基板162が所定量撓んだ状態で、対向基板162の周縁部がアレイ基板160上のシール材164に接触する位置まで上ステージ118を更に下降させる。この際、対向基板162の表示領域162aは、アレイ基板160の表示領域160aから離間する方向へ撓んでいることから、表示領域162aはアレイ基板上のスペーサ166に接触することなく保持されている。
【0070】
この状態で、X−Y−θステージ122を作動させて上テーブル118および対向基板118をX、Y、θ方向に移動させ、対向基板162をアレイ基板160に対して所定の位置に位置合わせする。
【0071】
位置合わせ終了後、図17(d)に示すように、第1の真空ポンプ132を停止し、上ステージ118の凹所126内を大気圧に戻す。それにより、対向基板162は撓みが取り除かれて元の状態、すなわち、平坦な状態に復帰する。その結果、対向基板162の表示領域162aはアレイ基板160上のスペーサ166に接触し、対向基板およびアレイ基板160は所定のギャップ、例えば、5μmを持って貼り付けられる。
【0072】
なお、この際、上ステージ118の排気口128から凹所126内に加圧空気を供給し、アレイ基板160と対向基板162との間のギャップを補正するようにしてもよい。
【0073】
貼り合わ終了後、あるいは、貼り合わせ終了した時点で、アレイ基板160および対向基板162を圧着した状態のまま、UV硬化剤等の仮止め剤によって基板同士を仮止めし、この仮止め剤を硬化させる。
【0074】
その後、第2および第3の真空ポンプ136、143を停止してアレイ基板160および対向基板162の吸着を解除し、更に、上ステージ118をX−Y−θステージ122とともに上昇させる。続いて、貼り合わされたアレイ基板160および対向基板162を、図示しない搬送機構によって下ステージ上から取り出し、次に、シール材を硬化させる行程に搬送する。
【0075】
以上のように構成された液晶表示装置の組立方法および組立装置によれば、対向基板160の表示領域160aをアレイ基板162から離間する方向へ撓ませ、対向基板の周縁部のみがシール材164を介してアレイ基板に接触した状態で位置合わせを行う構成としたことから、対向基板の表示領域がスペーサ166に対して非接触な状態で位置合わせを行うことができる。また、下ステージ120の基板保持面120aにも凹所138が設けられているため、基板保持面に付着したゴミ等によってアレイ基板160の有効領域160aが対向基板162側へ撓むことを防止でき、同時に、アレイ基板160の有効領域160aが自重により凹所138側へ僅かに撓んで対向基板162から離間する。
【0076】
従って、位置合わせの間、スペーサ166によってアレイ基板160および対向基板162の表示領域160a、162aに傷が付くことを防止でき、その結果、傷に起因する配向不良、画像不良の発生を防止し、画質の向上した液晶表示装置を提供することができる。更に、アレイ基板160と対向基板162とがスペーサ166を介して接触していない状態で位置合わせを行うことにより、高精度な位置合わせが可能となり、一層画質の向上を図ることができる。
【0077】
なお、対向基板160を撓ませた状態でガラス基板同士の位置合わせを行うため、位置合わせ終了後に対向基板の撓みを取り除いた際、撓み分の位置ずれを生じるこのも考えられるが、対向基板の撓み量を50μm程度とした場合、通常の300×300mmのガラス基板においても位置ずれ量は0.02〜0.05μm程度であり、実用上何等問題とならない。
【0078】
図18は、この発明のさらに異なる第3の実施の形態に係る組立装置および組立方法を概略的に示している。第2の実施の形態によれば、下ステージ120の凹所138にも排気口70が設けられ、この排気口には図示しない第4の真空ポンプが接続されている。この場合、凹所138は50μm以上の深さに形成されている。
【0079】
そして、上述した実施の形態と同様に、上ステージ118および下ステージ120に対向基板162およびアレイ基板160をそれぞれ吸着保持した後、第1および第4の真空ポンプを作動させて対向基板の有効領域162aおよびアレイ基板の有効領域160aを互いに離間する方向へ撓ませる。この際、撓み量は両基板共同一の値とする。
【0080】
この状態で、対向基板162およびアレイ基板160の周縁部同志をシール材164を介して貼り合わた後、X−Y−θステージ122によって基板同士の位置合わせを行う。その後、第1および第4の真空ポンプを停止して凹所126、138内を大気圧に戻すことにより、対向基板162およびアレイ基板160の撓みを取り除く。それにより、対向基板162およびアレイ基板160は、スペーサ166を介して互いに接触し、所定のギャップをおいて張り合わされる。
【0081】
なお、他の構成は前述した実施の形態と同一であり、同一の部分には同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。
【0082】
このように構成された第2、3の実施の形態においても、前述した第1の実施の形態と同様の作用効果を得ることができるとともに、2枚のガラス基板を同量だけ撓ませた状態で位置合わせした後、撓みを取り除く構成としたことから、撓みに起因する位置合わせのずれをほぼゼロにすることが可能となる。
【0083】
図19ないし図22は、上ステージ118および下ステージ120の変形例を示している。
【0084】
図19に示す第1の変形例によれば、上下各ステージの凹所126、138の底面には、互いに平行に延びる複数の細長いリブ172が形成されている。各リブ172の高さは例えば50μmに設定されている。
【0085】
第1の変形例において、凹所126、138内を所定の圧力で排気することにより、対向基板162およびアレイ基板160は凹所の底側に撓み、リブ172の上面に接触した状態に保持される。このような構成の場合、リブ172の高さを調整することにより、ガラス基板の撓み量を常に一定にすることができ、排気圧の制御が容易となる。
【0086】
図20に示す第2の変形例によれば、各ステージの凹所126、138の底面は、ステージの基板保持面に連続した緩やかな球面状に形成されている。このような構成によれば、ガラス基板を撓ませた際、ガラス基板の撓みが、ステージの基板保持面と凹所との境界部に集中することを防止することができる。それにより、ガラス基板周縁部の吸着保持が外れ、周縁部が基板保持面から跳ね上がることを防止できる。
【0087】
上述したような球面状の底面を有する凹所の加工は非常に困難であることから、図21に示す第3の変形例のように、凹所の底面上に互いに平行に延びる複数の細長いリブ172を形成し、これらのリブの高さを、凹所の中央部に位置したリブを最も低く、凹所周縁部に行くに従って高く形成することにより、疑似的な曲面形状を構成するようにしてもよい。
【0088】
また、図22に示す第4の変形例のように、リブに代わって、それぞれ独立した角柱形状の突起74を凹所の底面に多数形成し、凹所の中央部に位置した突起を最も低く、凹所周縁部に行くに従って高く形成することにより、疑似的な曲面形状を構成するようにしてもよい。
【0089】
以上のように構成された第1ないし第4の変形例に係るステージを用いた場合にも、前述した実施の形態と同様の作用効果を得ることができる。また、これらの変形例に係るステージを用いた場合、ガラス基板を撓ませた状態において、ガラス基板はリブ172、凹所底面、突起に当接した状態に保持されることから、ガラス基板の周縁部をステージの基板保持面上に吸着するための排気系を省略し、ガラス基板を撓ませるための排気系のみによってガラス基板の吸着保持を併せて行うことが可能となる。
【0090】
なお、この発明は上述した実施の形態および変形例に限定されることなく、この発明の範囲内で更に種々変形可能である。例えば、上ステージおよび下ステージに形成された凹所の形状、寸法、並びに、ガラス基板の寸法等は必要に応じて種々変形可能である。また、この発明は、球状のスペーサを有する液晶表示装置に限らず、リソグラフィ工程により有効領域上に立設された柱状のスペーサを有する液晶表示装置の組立にも適用可能である。
【0091】
また、上記実施の形態においては、アレイ基板および対向基板の少なくとも一方を撓ませた状態でシール材を介して貼り合わせ、その後、一方の基板を移動させて位置合わせを行う構成としたが、これに限らず、以下の組立方法としてもよい。すなわち、アレイ基板および対向基板の少なくとも一方を撓ませた状態で基板同士を接近させ、接近した状態で少なくとも一方の基板を移動して基板相互の位置合わせを行う。そして、位置合わせ終了後、アレイ基板および対向基板をシール材を介して貼り合わせ、続いて、基板の撓みを除くことにより、アレイ基板および対向基板の表示領域同志を、スペーサを介して接触させるようにしてもよい。
【0092】
このような構成によれば、アレイ基板および対向基板を非常に接近させた状態で基板同士の位置合わせを行っても、スペーサを介して表示領域同士が接触することがなく、スペーサによる表示領域の損傷を防止することができる。従って、傷に起因する配向不良、画像不良の発生を防止し、画質の向上した液晶表示装置を提供することができる。更に、アレイ基板と対向基板とが非常に接近した状態で位置合わせを行うことにより、高精度な位置合わせが可能となり、一層画質の向上を図ることができる。
【0093】
更に、上述した実施の形態においては、1枚のガラス基板上に1つの有効領域が設けられた基板を用いて液晶表示装置を組立てる構成について説明したが、1枚のガラス基板上に複数の有効領域が設けられた基板を用いて複数の液晶表示装置を同時に組立てる構成としてもよい。この場合、少なくとも一方のステージに、有効領域に対応する複数の凹所を設ける構成、あるいは、単一の凹所を形成するとともに、凹所内に複数の突出部を形成し、各有効領域の中央部と対向する突出部を最も低く、各有効領域の周縁部に行くほど突出部を高く形成した構成とすることができる。
【0094】
【発明の効果】
以上詳述したように、この発明によれば、一対の基板を組み立てるに際し、それらの基板に傷を付けることなく組み立てることが可能な基板の組立方法、および組立装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の液晶表示装置の製造工程を示すフローチャートである。
【図2】一対の基板に対する仮止め、本シールを行う樹脂の塗布位置を示す平面説明図である。
【図3】上、下のステージの斜視図である。
【図4】下ステージとアレイ基板との位置関係を示す平面的説明図である。
【図5】対向基板とアレイ基板の分離状態の横断面図である。
【図6】対向基板とアレイ基板の組立て状態の横断面図である。
【図7】組立機の斜視図である。
【図8】2つの基板におけるアライメントマークを示す斜視図である。
【図9】2つの基板のアライメントマークを重ね合わせて見た平面図である。
【図10】アライメントを説明する説明図である。
【図11】大きさの異なる2つの基板におけるアライメントマークの重なり状態を示す説明図である。
【図12】図11の場合におけるアライメント方法を説明する説明図である。
【図13】アライメントの動作を説明するフローチャートである。
【図14】この発明の実施の形態に係る組立装置全体を示す側面図。
【図15】上記組立装置の上ステージおよび下ステージを示す斜視図。
【図16】上記組立装置によって組み立てられる液晶表示装置の分解斜視図および側面図。
【図17】上記組立装置を用いて液晶表示装置を組み立てる工程を示す図。
【図18】この発明のさらに異なる実施の形態に係る組立装置および組立方法を概略的に示す図。
【図19】上記上ステージおよび下ステージの第1の変形例を示す断面図および斜視図。
【図20】上記上ステージおよび下ステージの第2の変形例を示す断面図。
【図21】上記上ステージおよび下ステージの第3の変形例を示す断面図。
【図22】上記上ステージおよび下ステージの第4の変形例を示す斜視図。
【図23】本発明の一態様としての組み立て手順を示す図。
【符号の説明】
1 アレイ基板
2 対向基板
3 仮止め用樹脂
4 封着用樹脂
6 下ステージ
7 上ステージ
10,15 吸込口
11 吸引チューブ
12 真空ポンプ
14 凹所
17 吸引チューブ
20 突上げステージ
110 組立装置
112 貼り合わ機構部
114 供給機構部
116 本体フレーム
118 上ステージ
118a 基板保持面
120 下ステージ
120a 基板保持面
122 X−Y−Θステージ
126、38 凹所
128 排気口
132 第1の真空ポンプ
134、40 吸着孔
136 第2の真空ポンプ
143 第3の真空ポンプ
160 アレイ基板
162 対向基板
160a、62a 有効領域
164 シール材
166 スペーサ
Claims (12)
- 表示領域を囲むようにシール材が設けられているとともに、表示領域内に複数のスペーサが設けられた第1の基板と第2の基板とを位置合わせして組み立てる液晶表示装置の組立て装置において、
上ステージと、
前記第1の基板を吸引保持するために前記上ステージに設けられた吸引口と、
前記上ステージの下方に位置し、前記第2の基板を戴置状態に保持する下ステージであって、前記第2の基板を戴置保持する周縁部とそれによって囲まれた内側の凹部とを有し、この凹部は、前記第2の基板の前記戴置状態においてこの第2の基板がそれ自体の自重によって下方に撓むのを許容するように構成されている下ステージと、
を備える液晶表示装置の組立て装置。 - 前記下ステージにおける前記凹部内に、この下ステージで支持している前記第2の基板を裏面から支えて前記第2の基板の自重による下方への撓みの量を制御する突き上げステージをさらに備える、請求項1の液晶表示装置の組立て装置。
- 前記上ステージはそれの下側面に開口した吸引口によって前記第1の基板を吸着するフラットステージとして構成され、前記吸引口はそれの内部側に接続可能な排気手段によって排気されて前記第1の基板を吸着するものとして構成されている、請求項1の液晶表示装置の組立て装置。
- 前記凹部は、それを排気する機構を備えたものとして構成されている、請求項1の液晶表示装置の組立て装置。
- 前記第1及び第2の基板は、スペーサを介して互いの間隔が規定された状態に組み立てられるものであり、前記スペーサが前記第1及び第2の基板の一方に固定的に設けられている、請求項1の液晶表示装置の組立て装置。
- 前記第1及び第2の基板のそれぞれ対向面には配向膜が形成されている、請求項1の液晶表示装置の組立て装置。
- 表示領域を囲むようにシール材が設けられているとともに、表示領域内に複数のスペーサが設けられた第1の基板と第2の基板とを位置合わせして組み立てる液晶表示装置の組立て方法において、
基板を吸引保持するために設けられた吸引口を有する上ステージにおいて、この吸引口により吸引して第1の基板を保持し、
前記上ステージの下方に位置する下ステージによって前記第2の基板を戴置状態に保持し、この下ステージとして、前記第2の基板を戴置保持する周縁部とそれによって囲まれた内側の凹部とを有し、この凹部は、前記第2の基板の前記戴置状態においてこの第2の基板をそれ自体の自重によって下方に撓むのを許容するように用いる液晶表示装置の組立て方法。 - 前記第1及び第2の基板のそれぞれ対向面には配向膜が形成されている、請求項7の液晶表示装置の組立て方法。
- 表示領域を囲むようにシール材が設けられているとともに、表示領域内に複数のスペーサが設けられた画素電極を有するアレイ基板と対向基板とを対向配置し、
前記アレイ基板および対向基板の周縁部同士を前記上記シール材を介して貼り合わせ、前記アレイ基板および対向基板の少なくとも一方の基板の表示領域を他方の基板の表示領域から離間する方向に撓ませた状態で、前記貼り合わせたアレイ基板および対向基板の少なくとも一方を移動し位置合わせを行う液晶表示装置の組立て方法。 - 前記上ステージとして、前記下ステージに対向する下側面に開口した吸引口によって前記対向基板を吸着するフラットステージであって、前記吸引口はそれの内部側に接続可能な排気手段によって排気されて前記対向基板を吸着するものとして構成されているフラットステージを用いた、請求項9の液晶表示装置の組立て方法。
- 前記対向基板及び前記アレイ基板は、スペーサを介して互いの間隔が規定された状態に組み立てられるものであり、前記スペーサが前記2つの基板の一方に固定的に設けられている、請求項9の液晶表示装置の組立て方法。
- 表示領域を囲むようにシール材が設けられているとともに、表示領域内に複数のスペーサが設けられた第1の基板と第2の基板とを対向配置し、
前記第1および第2の基板の周縁部同士を前記上記シール材を介して貼り合わせ、前記第1および第2の基板の少なくとも一方の基板の表示領域を他方の基板の表示領域から離間する方向に撓ませた状態で、前記貼り合わせた第1および第2の基板の少なくとも一方を移動し位置合わせを行い、
前記位置合わせが終了した後、前記基板の撓みを除き、前記スペーサを介して前記第1および第2の基板の表示領域同士を接触させることを特徴とする液晶表示装置の組立て方法。
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