KR100683520B1 - 다층 익스텐션 스테이지 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 공정시간을 단축시킬 수 있는 다층 익스텐션 스테이지에 관한 것이다.
본 발명의 다층 익스텐션 스테이지는 서로 반대방향으로 이동되는 기판들의 간섭을 회피하도록 기판들을 서로 다른 높이로 지지하는 제 1 및 제 2 기판지지 플레이트를 구비한다.
본 발명에 의하면, 기판의 로딩 및 언로딩을 동시에 수행할 수 있으므로 공정진행 시간을 단축 할 수 있다.

Description

다층 익스텐션 스테이지{Multi-layer Extension Stage}
도 1은 종래의 익스텐션 스테이지를 나타내는 도면.
도 2 및 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 다층 익스텐션 스테이지를 나타내는 도면.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
2,20 : 전극물질 증착장치 4,22,24 : 기판
6,10,26,30 : 로봇 8,28 : 익스텐션 스테이지
12,32,36 : 패터닝 장치 14,34 : 기판지지 플레이트
본 발명은 액정 표시소자의 제조장치에 관한 것으로, 특히 공정시간을 단축시킬 수 있는 다층 익스텐션 스테이지에 관한 것이다.
통상 액정표시소자(Liquid Crystal Display Device : LCD) 내에는 다양한 전극 단자 및 전극 배선들이 형성된다. 액정셀 내에서 스위칭 소자로 사용되는 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)의 소오스, 게이트, 드레인 전극이나 비디오 데이터 신호를 각 액정셀에 인가하기 위한 데이터 라인, 주사신호를 인가하기 위한 게이트 라인, 그리고 액정층에 전계를 인가하기 위한 화소전극 및 공통전극등을 그 예로 들 수 있다. 이러한 전극 단자 및 전극 라인들은 일반적으로 전극 물질로 이용되는 물질을 기판상에 전면 증착한 뒤 노광 및 현상단계를 거쳐 전극이 형성된다. 이와같은 전극물질 증착장치, 노광장치 및 현상장치에서 기판을 이동할 때 익스텐션 스테이지가 사용된다.
도 1은 종래의 익스텐션 스테이지를 나타낸다.
도 1을 참조하면, 종래의 익스텐션 스테이지는 제 1 로봇(6)과 제 2 로봇(10) 사이에 설치되며 기판이 안착되는 기판지지 플레이트(14)를 구비한다. 제 1 로봇(6)은 전극물질 증착장치(2)와 익스텐션 스테이지(8)사이에 설치되어 기판(4)을 로딩 및 언로딩한다. 제 2 로봇(10)은 익스텐션 스테이지(8)와 패터닝 장치(12)사이에 설치되어 기판(4)을 로딩 및 언로딩한다. 전극물질 증착장치(2)는 기판(4)상에 전극물질을 전면 증착한다. 전극물질이 증착된 기판(4)은 제 1 로봇(6)에 의해 익스텐션 스테이지(8)상의 기판지지 플레이트(14)로 로딩된다. 기판지지 플레이트(14)는 이동되는 기판(4)을 중계한다. 기판지지 플레이트(14)로 로딩된 기판(4)은 제 2 로봇(10)에 의해 패터닝 장치(12)로 로딩된다. 패터닝 장치(12)는 마스크 패턴 형성장치, 노광장치, 현상(또는 식각)장치로 구성된다. 패 터닝 장치(12)로 로딩된 기판(4)은 마스크 패턴 형성, 노광 및 현상장치에 의해 전극이 형성된다. 전극이 형성된 기판(4)은 제 2 로봇(10)에 의해 기판지지 플레이트(14)로 언로딩된다. 기판지지 플레이트(14)로 언로딩된 기판은 제 1 로봇(6)에 의해 전극물질 증착장치(2)로 언로딩되어 도시되지 않은 카세트에 적재된다.
하지만, 종래의 익스텐션 스테이지는 단층으로 구성되어 있기 때문에 기판이 전극물질 증착장치(2)에서 패터닝 장치(12)로 로딩됨과 동시에 패터닝 장치(12)에서 전극물질 증착장치(2)로 언로딩될 때, 언로딩되는 기판은 로딩되는 기판이 패터닝 장치로 이동될 때까지 패터닝 장치에서 대기해야 한다. 이로 인해 기판의 로딩 및 언로딩시 상당한 시간이 소요되기 때문에 생산성이 저하되고 있는 실정이다.
따라서, 본 발명의 목적은 공정시간을 단축시킬 수 있는 다층 익스텐션 스테이지를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 다층 익스텐션 스테이지는 서로 반대방향으로 이동되는 기판들의 간섭을 회피하도록 기판들을 서로 다른 높이로 지지하는 제 1 및 제 2 기판지지 플레이트를 구비한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 도 2 및 도 3을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다.
도 2 및 도 3은 본 발명에 실시예에 의한 다층 익스텐션 스테이지를 나타낸다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 다층 익스텐션 스테이지는 제 1 로봇(26)과 제 2 로봇(30)사이에 설치되어 기판을 로딩하기 위한 제 1 기판지지 플레이트(34)와, 기판을 언로딩하기 위한 제 2 기판지지 플레이트(36)를 구비한다. 제 1 로봇(26)은 수평 및 수직방향으로 구동되어 제 1 기판지지 플레이트(34)로 기판을 로딩하거나 제 2 기판지지 플레이트(36)로부터 기판을 언로딩한다. 제 2 로봇(30)은 수평 및 수직방향으로 구동되어 제 1 기판지지 플레이트(34)로부터 기판을 로딩하거나 제 2 기판지지 플레이트(36)로 기판을 언로딩한다. 전극물질 증착장치(20)에서 전극물질이 증착된 제 1 기판(22)은 제 1 로봇(26)에 의해 익스텐션 스테이지(28)상의 제 1 기판지지 플레이트(34)로 로딩된다. 제 1 기판지지 플레이트(34)로 로딩된 제 1 기판(22)은 제 2 로봇(30)에 의해 패터닝 장치(32)로 로딩된다. 패터닝 장치(32)로 로딩된 제 1 기판(22)은 마스크 패턴 형성, 노광 및 현상장치에 의해 전극이 형성된다. 전극이 형성된 제 1 기판(22)은 도 3과 같이 제 2 로봇(30)에 의해 제 2 기판지지 플레이트(36)로 언로딩된다. 이때 전극물질 증착장치(20)로부터 패터닝 장치(32)로 로딩될 기판이 존재한다면 제 1 로봇(26)에 의해 제 1 기판지지 플레이트(34)로 로딩된다. 즉, 2층으로 구성된 익스텐션 스테이지(28)의 제 1 및 제 2 기판지지 플레이트(34,36)에 의해 로딩 및 언로딩 과정을 동시에 수행 할 수 있다. 제 2 기판지지 플레이트(36)로 언로딩된 기판은 제 1 로봇(26)에 의해 전극물질 증착장치(20)로 언로딩되어 도시되지 않은 카세트에 적재된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 다층 익스텐션 스테이지에 의하면 기판의 로딩 및 언로딩을 동시에 수행할 수 있으므로 공정진행 시간을 단축 할 수 있는 장점이 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (5)

  1. 서로 반대방향으로 이동되는 기판들의 간섭을 회피하도록 상기 기판들을 서로 다른 높이로 지지하는 제 1 및 제 2 기판지지 플레이트를 구비하는 것을 특징으로 하는 다층 익스텐션 스테이지.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 기판지지 플레이트를 사이에 두고 설치되는 증착장치 및 패터닝 장치와,
    상기 제 1 및 제 2 기판지지 플레이트와 상기 증착장치 사이에 설치되어 상기 기판을 상기 제 1 및 제 2 기판지지 플레이트와 상기 증착장치 쪽으로 양방향 이송시키는 제 1 로봇과,
    상기 제 1 및 제 2 기판지지 플레이트와 상기 패터닝 장치 사이에 설치되어 상기 기판을 상기 제 1 및 제 2 기판지지 플레이트와 상기 패터닝 장치쪽으로 양방향 이송시키는 제 2 로봇을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 다층 익스텐션 스테이지.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 로봇은 수평방향과 수직방향으로 구동되는 것을 특징으로 하는 다층 익스텐션 스테이지.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 로봇은 상기 증착장치로부터 상기 기판을 상기 제 1 기판지지 플레이트로 이송시키고,
    상기 제 2 로봇은 상기 제 1 기판지지 플레이트로부터 상기 기판을 상기 패터닝 장치로 이송시키는 것을 특징으로 하는 다중 익스텐션 스테이지.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 2 로봇은 상기 패터닝 장치로부터 상기 기판을 제 2 기판지지 플레이트로 이송시키고,
    상기 제 1 로봇은 상기 제 2 기판지지 플레이트로부터 상기 기판을 증착장치로 이송시키는 것을 특징으로 하는 다중 익스텐션 스테이지.
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