JP4438566B2 - 電気光学装置の製造方法 - Google Patents
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- 金属部材が配設された装置内にガスを導入してプラズマを発生させ、表面に薄膜が形成された電気光学装置用の基板を前記装置内に載置し、前記基板表面に前記プラズマを照射して該基板表面をエッチングするエッチング処理工程を有する電気光学装置の製造方法において、
前記エッチング処理工程の前に、前記薄膜と同じ物質で表面が覆われた基板を投入し、
該基板の表面に、前記プラズマを照射して前記物質をエッチングすることにより、該エッチングにより拡散された前記物質で前記金属部材の表面を被覆する前処理工程を有し、
前記前処理工程において、前記エッチング後に、該エッチングにより前記金属部材から拡散され前記基板表面に被着した金属の量を測定し、該金属の量が所定値以下となるまで前記薄膜と同じ物質で表面が覆われた基板を投入して前記エッチングを行うことを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 前記前処理工程は、前記装置内をクリーニングした後、行われることを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置の製造方法。
- 前記金属部材は、鉄、ニッケル、クロムのいずれか、またはこれらの金属の合金から形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の電気光学装置の製造方法。
- 前記金属部材は、前記プラズマを発生させる電極を前記装置内にて固定する部材であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の電気光学装置の製造方法。
- 前記金属部材は、前記装置内に前記基板を搬入搬出する基板搬入搬出口に設けたゲート部材であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の電気光学装置の製造方法。
- 前記金属部材は、前記基板を前記装置内にて固定するクランプ部材の昇降部材であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の電気光学装置の製造方法。
- 前記物質は、レジスト材であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の電気光学装置の製造方法。
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