KR960701729A - 관절형 아암 이송장치 - Google Patents

관절형 아암 이송장치

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KR960701729A
KR960701729A KR1019950704522A KR19950704522A KR960701729A KR 960701729 A KR960701729 A KR 960701729A KR 1019950704522 A KR1019950704522 A KR 1019950704522A KR 19950704522 A KR19950704522 A KR 19950704522A KR 960701729 A KR960701729 A KR 960701729A
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Abstract

본 발명은 관절형 아암 이송장치(articulated arm transfer devicde)(3)에 관한 것으로서, 진공챙버(vacumm chamber)(2) 외측의 스테이터(stators)(8,l0)에 의해 생성된 자기장(magnetic fields)에 의하여 진공 챔버(2) 내측의 로터(rotors)(7,9)에 회전동운이 부여되는 진공챔버(2) 내측이 어셈블리(assembly)에 운동을 부여하도록 할 수 있는 관절형 아암 이송장치(3)를 위한 동심 샤프트 회전 드라이브 시스템(concentric-shaft rotational drive system)이 제공된다.

Description

관절형 아암 이송장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따라 구성되고, 헨드릭스(Hendrickson)에게 허여되고 본 출원의 양수인에게 양도된 미합중국 특허 제5,180,276흐에 개시된 방식의 관절형 아암 이송장치를 구동시키기 위하여 접속된 듀얼 샤프트장치(dua1-shaft device)의 중앙부 단면도이고,
제2도는 제1도의 중앙부의 일부분의 상세도이고,
제3도는 제2도의 증앙부의 일부분의 상세도이고,
제4도는 제1도에 도시된 장치의 평면도이고,
제5도는 종래기술의 장치의 동일크기 스케치(isometric sketch) 이고,
제6도는 제1도에 도시된 장치의 평면도로서, 이스트맨(Eastman) 및 데이비스(Davis)에 의하여 1992년 12월 28일자로 출원되고 본 출원의 양수인에게 양도되어 동시계류중인 미합중국 특허출원 제997,773호에 개시된 방식의 관절형 아암 이송장치를 구동시키도록 변형된 것을 도시하는 도면이고,
제7도는 제6도의 7-7선을 따른 중앙부 단면도이며,
제8도는 제1도와 유사한 중앙부 단면도로서, 하나의 모터와 두개의 브레이크가 사용되는 본 발명의 다른 실시예를 도시하는 도면이다.

Claims (11)

  1. 구멍과 상기 구멍위에 장착된 캡형성(capped) 관형 부재를 구비하며 제1도드라이브 하우징과 제2드라이브 하우징을 포함하는 진동 인클로져(enclosure)와, 베어링들에 의하여 상기 제1드라이브 하우징 위에 그리고 그 내측에 장착되는 외측 샤프트와, 상기 외측 샤프트 내부에 그리고 상기 외측 샤프트와 동심으로 형성되며 상기 제2드라이브 하우징 위에 그리고 그 내측에 장착되는 내측 샤프트와, 상기 외측 샤프트에 장착되는 제1로터와, 상기 내측 샤프트에 장착되는 제2로터와, 상기 제1드라이브 하우징 위에 그리고 그 외측에 장착되는 제1스테이터와, 상기 제2드라이브 하우징 위에 그리고 그 외측에 장착되는 제2스테이터와, 상기 외측 샤프트를 상기 내측 샤프트에 대해 지지하는 파일럿 베어링과, 상기 스테이터들의 각각이 각각의 로터에 대하여 상기 로터에 회전운동을 가할 수 있도록 적당한 전자지장(electromagnetic field)을 부여하도록 하는 수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 물체들을 이송하기 위한 장치에 있어서, 지지물(support)과, 제1샤프트를 중심으로 회전할 수 있도록 상기 지지물 위에 지지되는 제1상부 아암과, 제2샤프트를 중심으로 회전할 수 있도록 상기 지지물 위에 지지되는 제2상부 아암과, 상기 제2상부 아암이 상기 제1상부 아암의 회전에 의하여 구동되도록 하는 수단과, 상기 제1 및 제2상부 아암에 관절형으로 연결된 제2포어아암쌍(pair of forearms)과, 상기 제1 및 제2상부 아암에 관절형으로 연결된 제2포어아암쌍과, 상기 상부 아암들의 각각은 각각의 포어아암보다 더 짧으며, 상기 제1포어아암쌍에 피벗회전 가능하게 결합된 제1유지수단 그리고 상기 제2포어아암쌍에 피벗회전 가능하게 결합된 제2유지수단, 상기 제1포어아암쌍 사이의 그리고 상기 제1유지수단의 회전을 방지하도록 된 맞물림결합(engagement), 상기 제2포어아암쌍 사이의 그리고 상기 제2유지수단의 회전을 방지하도록 된 맞물림결합, 그리고 상기 제l유지수단을 제1연장위치수와, 제2수축위치 사이에서 이동시키는 한편 이와 동시에 상기 제2유지수단을 제2수축위치와 제2연장위치 사이에서 이동시키기 위하여 120°보다 큰 값부터 180°를 포함하는 값까지의 범위로 일정한 각도를 통해 회전하도록 상기 제1상부아암을 구동시킬 수 있는 구동수단으로서, 상기 구동수단은 구멍과 상기 구멍위에 장착된 캡형성 관형 부재를 구비하여 제1드라이브 하우징 및 제2드라이브 하우징을 포함하는 진공 인크로져와, 베어링들에 의하여 상기 제1드라이브 하우징 위에 그리고 그 내측에 장착되는 외측샤프트와, 상기 외측 샤프트 내부에 그리고 상기 외측 샤프트와 동심으로 형성되며 상기 제2드라이브 하우징위에 그리고 그 내측에 장착되는 내측 샤프트와, 상기 외측 샤프트에 장착되는 제1로터와, 상기 내측 샤프트에 장착되는 제2로터와, 상기 제1드라이브 하우징 위에 그리고 그 외측에 장착되는 제1스테이터와, 상기 제2드라이브 하우징 위에 그리고 그 외측에 장착되는 제2스테이터와, 상기 외측 샤프트를 상기 내측 샤프트에 대해지지하는 파일럿 베어링과, 상기 스테이터들의 각각이 각각의 로터에 대하여 상기 로터에 회전운동을 가할수 있도록 적당한 전자지장을 부여하도록 하는 수단을 포함하는 구동수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 물체들을 이송하기 위한 장치에 있어서, 지지물(support)과, 제1샤프트를 중심으로 회전할 수 있도록 상기 지지물 위에 지지되는 제1상부 아암과, 제2샤프트를 중심으로 회전할 수 있도록 상기 지지물 위에 지지되는 제2상부 아암과, 제1포어아암과 제2포어아암으로 이루어지는 포어아암쌍으로서, 상기 포어아암쌍은 링크(link) 수단에 의하여 상기 제1 및 제2상부 아암에 관절형으로 연결되는 포어아암쌍과, 상기 링크 수단은 링크와, 상기 링크 위에 회전가능하게 지지되는 상부 샤프트와, 상기 링크 위에 회전가능하게 지지되는 하부 샤프트와, 그리고 한 방향으로의 하나의 샤프트의 회전이 다른 방향으로의 다른 샤프트의 회전을 발생시키도록하는 수단으로 이루어지며, 상기 제1상부 아암은 상기 상부 샤프트에 고정되며, 상기 제2상부 아암은 상부하부 샤프트에 회전 가능하게 장착되며, 상기 제1포어아암은 상기 하부 샤프트에 고정되며, 상기 제2포어아암은 상기 상부 샤프트에 회전가능하게 장착되며, 상기 포어아암쌍에 피벗회전 가능하게 결합되는 유지수단과, 상기 유지수단을 연장위치와 수축위치 사이에서 이동시키기 워하여 120°보다 큰 값부터 180°를 포함하는 값까지의 범위로 일정한 각도를 통해 회전하도록 상기 상부 아암중의 적어도 하나를 구동시킬 수 있는 구동수단으로서, 상기 구동수단은 구멍과 상기 구멍위에 장착된 캡형성 관형 부재를 구비하며 제1드라이브 하우징 및 제2드라이브 하우징을 포함하는 진공 인클로져와, 베어링들에 의하여 상기 제1드라이브 하우징 위에 그리고 그 내측에 장착되는 외측 샤프트와, 상기 외측 샤프트 내부에 그리고 상기 외측 샤프트와 동심으로 형성되며 상기 제2드라이브 하우징 위에 그리고 그 내측에 장착되는 내측 샤프트와, 상기 외측 샤프트에 장작되는 제1로터와, 상기 내축 샤프트에 장착되는 제2로터와, 상기 제1드라이브 하우징 위에 그리고 그 외측에 장착되는 제1스테이터와, 상기 제2드라이브 하우징 위에 그리고 그 외측에 장작되는 제2스테이터와, 상기 외측 샤프트를 상기 내측 샤프트에 대해 지지하는 파일럿 베어링과, 상기 스테이터들의 각각이 각각의 로터에 대하여 상기 로터에 회전운동을 가할 수 있도록 적당한 전자기장을 부여하도록 하는 수단을 포함하는 구동수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 진공챔버 내부의 장치에 회전운동을 부여하기 위한 장치에 있어서, 비자성 재료로 이루어지며, 길이방향 샤프트를 가지는 내진공성 관형 케이싱과, 상기 샤프트를 따라 상기 케이싱의 내측에 회전가능하게 장착되며, 상부에 장착되는 자성 재료로 된 제1디스크를 구비하는 제1샤프트와, 상기 제1샤프트를 중심으로 상기 케이싱내측에 회전가능하게 장착되고, 상기 제2샤프트의 외측으로 상부에 장착되는 자성 재료로 된 제2디스크를 구비하며 관형으로 된 제2샤프트와, 상기 케이싱 외측에 장착되며 상기 제1디스크에서 자기장을 발생시키도록 된 제1코일과, 상기 케이싱 회축에 장착되며 상기 제2디스크에서 자기장을 발생시키도록 제2코일로 구성되며, 적어도 상기 제1코일은 상기 제1샤프트를 회전시키기 위하여 제1회전 필드 패턴(field pattern)을 발생시키도록 되어 있으며, 상기 제1디스크는 상기 제1회전 필드 패턴에 의하여 회전되도록 하는 패턴으로 자화되는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제2코일은 상기 제2샤프트를 회전시키기 위한 제2회전 필드 패턴을 발생시키도록 되어 있으며, 상기 제2디스크는 상기 제2회전 필드 패턴에 의하여 회전되도록 하는 패턴으로 자화되는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 제1샤프트는 상부에 장착되는 자성재료로 된 제3디스크를 구비하고, 상기 제2샤프트는 상기 제3디스크에 인접하여 상부에 장착되는 자성 재료로 된 제4디스크를 구비하며, 상기 케이싱은 상기 제2디스크에 인접하여 상기 케이싱 내측으로 상부에 장착되는 자성재료로 된 제5디스크를 구비하되, 상기 제1코일은 상기 제2샤프트를 상기 제1샤프트에 결합하는 브레이크 작용(braking action)을 위해 상기 제2디스크 및 상기 제5디스크를 함께 가압(pressing)하는 필드 패턴을 발생시키도록 되어 있으며, 또한 상기 장치는 상기 케이싱 외측에 장착되고 상기 제2샤프트를 상기 케이싱에 결합시키는 브레이크 작용을 위해 상기 제3디스크 및 상기 제4디스크를 함께 가압하는 자기장을 상기 제3디스크 및 제4디스크에 발생시키도록 된 제3코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제4항에 있어서, 상기 케이싱 위에 그리고 그 내부에 감지 메카니즘이 지지되고, 상기 제1샤프트에 디스크가 고정되되, 상기 디스크는 상기 감지 메카니즘을 활성화시키도록 된 코드화 패턴을 가지는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 케이싱 위에 그리고 그 내부에 제2감지 메카니즘이 지지되고, 상기 제2샤프트 위에 제2디스크가 고정되되, 상기 디스크는 상기 제2감지 메카니즘을 활성화시키도록 된 코드화 패턴을 가지는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 케이싱 위에 그리고 그 내부에 광방출 다이오드 그리고 판독 헤드가 지지되고, 상기 제1샤프트에 디스크가 고정되되, 상기 디스크는 상기 광방출 다이오드와 상기 판독 헤드 사이를 통과하도톡 된 불투명 부위들의 코드화 패턴을 가지는 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 제8항에 있어서, 상기 케이싱 위에 그리고 그 내부에 광방출 다이오드 그리고 제2판독 헤드가 지지되고, 상기 제2샤프트에 제2디스크가 고정되되, 상기 디스크는 상기 광방츨 다이오드와 상기 판독 헤드 사이를 통과하도록 된 불투명 부위들의 코드화 패턴을 가지는 것을 특징으로 하는 장치.
  11. 제1항에 있어서, 상기 전자기장은 상기 샤프트들 중의 하나 또는 둘 모두에 장착되는 적어도 하나 또는그 이상의 엔코더들로부터 유도되는 것을 특징으로 하는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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