CN114175467A - 旋转致动器 - Google Patents

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Abstract

旋转致动器(1)具备PWB马达(2)和波动齿轮减速器(3)。PWB马达(2)是轴向间隙型的马达。PWB马达(2)的马达转子(24)具备：转子圆盘，其同轴地固定于中空马达轴(22)；以及转子磁铁，其固定于该转子圆盘。马达定子(23)由印刷配线板构成，并具备：绝缘基板(26)；以及马达线圈(27)，利用形成于该绝缘基板(26)的印刷配线对其进行限定。与使用SPM马达等的现有旋转致动器相比，能够缩短轴长，并能够增大其中空直径。

Description

旋转致动器
技术领域
本发明涉及一种具备波动齿轮减速器及马达的旋转致动器。
背景技术
作为具备波动齿轮减速器和马达的旋转致动器，公知例如专利文献1、2中提出的中空型的旋转致动器。关于上述专利特文献1、2所记载的中空型的旋转致动器，中空型的马达与中空型的波动齿轮减速器同轴地连结，中空部以在轴线方向上将致动器中心部贯通的方式延伸。作为旋转致动器的马达而一般使用SPM马达(Surface Permanent MagnetMotor)。SPM马达是：永磁体粘贴于在中空马达轴的外周面安装的转子的外周面而成的旋转磁场形式的同步马达。
图7是表示具备波动齿轮减速器和SPM马达的中空型的旋转致动器的说明图。旋转致动器400具备：SPM马达410；以及与该SPM马达410同轴地连结的波动齿轮减速器450。在SPM马达410附设有编码器460。SPM马达410具备：中空马达轴411；马达转子420，其同轴地固定于中空马达轴411的外周；以及马达定子430，其同轴地包围马达转子420。另外，在马达转子420及马达定子430的侧方配置有马达配线基板440。
马达转子420具备：圆环状的转子磁轭421，其固定于中空马达轴411的外周；多个磁铁422，它们粘贴于转子磁轭421的外周面。马达定子430具备：圆环状的定子铁芯431，其由电磁钢板的层叠体构成；多个凸极432，它们沿着定子铁芯431的内周面以恒定的角度间隔而形成；以及定子线圈433，其由配置于各凸极432的绕组构成。各定子线圈433由绝缘件434覆盖。各相(例如，U、V、W的三相)绕组通过焊接而与马达配线基板440连接。另外，从外部引入的马达动力线413通过焊接接线而安装于马达配线基板440。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：国际公开第2010/089796号
专利文献2：日本特开2001－304382号公报
发明内容
具备波动齿轮减速器和马达的旋转致动器例如作为动力单元而组装于工业用机器人等装置。根据装置的小型化等观点，期望轴长较短的旋转致动器、轴长较短且中空直径较大的旋转致动器。
另外，如上所述，用于旋转致动器的SPM马达具备：马达定子，其对多个凸极分别实施绕线而形成绕组并且对各绕组实施绝缘而构成，所述多个凸极形成于由电磁钢板的层叠体构成的定子铁芯的内周面；以及马达转子，其将磁铁粘贴于环状的转子磁轭的外周面而构成。SPM马达的部件件数相对较多，组装工序数量较多，制造成本也较高。另外，需要使用形状复杂的绝缘件而实现各凸极的绕组的绝缘。此外，由于针对马达定子使用电磁钢板，所以产生齿槽转矩。
另外，关于SPM马达，在作为电磁钢板的层叠体的定子铁芯的各凸极的外周实施绕线而形成绕组。针对各凸极的整列卷绕并不简单，提高绕组占空系数也不简单。此外，在针对各凸极的绕组作业之后，需要进行各相绕组的接线作业。例如，在U、V、W三相绕组的接线作业时，导线覆膜剥离处理、焊接接线等手工作业较多，需要熟练的经验。确保焊接的品质也不简单。此外，动力线与绕组直接连接，所以，若动力线破损，则需要针对每个马达进行更换。
本发明的目的在于提供一种具备波动齿轮减速器和马达、且轴长较短的旋转致动器。另外，本发明的目的在于提供一种轴长较短且中空直径较大、并具备波动齿轮减速器和马达的中空型的旋转致动器。
本发明涉及一种旋转致动器，其具备：马达；以及波动齿轮减速器，其以使得马达的输出旋转减速并输出的方式与该马达连结，作为马达而使用轴向间隙型的马达，该轴向间隙型的马达具备：马达轴；以及马达转子和马达定子，它们在马达轴的中心轴线的方向上以恒定的间隔而对置。马达转子具备：转子圆盘，其同轴地固定于马达轴；以及转子磁铁，其固定于该转子圆盘。另外，马达定子具备：绝缘基板；以及马达线圈，利用在该绝缘基板的表面或内部形成的印刷配线对其进行限定。
另外，本发明的中空型的旋转致动器在上述结构的基础上，作为马达轴而使用以在中心轴线的方向上将马达的中心部分贯通的方式延伸的中空马达轴。另外，波动齿轮减速器具备：以在中心轴线的方向上将该波动齿轮减速器贯通的方式延伸的减速器中空部，减速器中空部与中空马达轴的中空部同轴地连通。
在本发明的旋转致动器的马达中，由印刷配线板(PWB：Printed wiring board)构成马达定子，该印刷配线板具备：绝缘基板；以及马达线圈，利用在该绝缘基板的表面或内部形成的印刷配线对其进行限定。以下，将该结构的马达称为PWB马达。与使用径向间隙型的SPM马达的现有旋转致动器相比，使用轴向间隙型的PWB马达的本发明的旋转致动器能够缩短轴长，另外，还能够增大中空直径。
附图说明
图1是表示应用了本发明的实施方式1所涉及的中空型的旋转致动器的纵剖视图。
图2是表示图1的PWB马达的主视图及立体图。
图3是表示PWB马达的另一例的立体图及分解立体图。
图4是表示应用了本发明的实施方式2所涉及的中空型的旋转致动器的纵剖视图。
图5是表示2轴旋转致动器的一例的纵剖视图。
图6是表示2轴旋转致动器的另一例的纵剖视图。
图7是表示现有的中空型的旋转致动器的说明图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式所涉及的旋转致动器进行说明。此外，以下说明的意图并非将本发明限定为实施方式。
(实施方式1)
图1是表示本发明的实施方式1所涉及的中空型的旋转致动器的概要纵剖视图。旋转致动器1具备：PWB马达2；波动齿轮减速器3，其以使得该PWB马达2输出的旋转减速并输出的方式与PWB马达2连结；以及旋转编码器4，其对PWB马达2的旋转进行检测。
PWB马达2是轴向间隙型的马达，具备筒状的壳体21，在壳体21的内部配置有中空马达轴22、马达定子23及马达转子24。中空马达轴22借助轴承而以旋转自如的状态同轴地配置于壳体21的内部。中空马达轴22以在中心轴线1a的方向上将PWB马达2的中心部分贯通的方式延伸。马达定子23及马达转子24以同轴地包围中空马达轴22的状态而在中空马达轴22的中心轴线1a的方向上以恒定的间隔平行地对置。
在中空马达轴22的后侧的轴端部22a配置有旋转编码器4。旋转编码器4由在壳体21的后侧开口端安装的编码器罩41遮盖。中空马达轴22的后端将编码器罩41的中心部分贯通，中空马达轴22的中空部22b向后方开口。中空马达轴22的另一方的前侧的轴端部22c以旋转自如的状态将其与波动齿轮减速器3之间的壳体分隔壁25贯通，并向波动齿轮减速器3的那侧延伸。
波动齿轮减速器3具备刚性的内齿齿轮31、挠性的外齿齿轮32及波动发生器33。在本例中，外齿齿轮32是礼帽形状的外齿齿轮，并固定于壳体21。外齿齿轮32与内齿齿轮31借助轴承34而被保持为相对旋转自如的状态。波动发生器33是旋转输入要素，并具备：刚性插塞33a，其同轴地固定于中空马达轴22的前侧的轴端部22c的外周面；以及波动轴承33b，其与上述刚性插塞33a的椭圆状外周面嵌合。外齿齿轮32的形成有外齿32a的部分因波动发生器33而挠曲成椭圆状。由此，在椭圆形状的长轴两端的位置处，外齿32a与内齿齿轮31的内齿31a啮合。
内齿齿轮31是减速旋转输出要素，圆盘状的输出轴35同轴地固定于内齿齿轮31。输出轴35的中心孔35a与中空马达轴22的中空部22b同轴地连通。由中空马达轴22的轴端部22c的中空部分和中心孔35a形成以将波动齿轮减速器3的中心部分贯通的方式延伸的减速器中空部。即，在旋转致动器1形成有：以在中心轴线1a的方向上将旋转致动器1的中心部分贯通的方式延伸并在两端开口的中空部。
图2(a)是表示PWB马达2的概要主视图，图2(b)是表示PWB马达2的概要立体图。参照图1、图2进行说明，PWB马达2的马达定子23具备：绝缘基板26，其具备中心孔，中空马达轴22以旋转自如的状态贯通该中心孔；以及马达线圈27(无芯线圈)，利用由形成于该绝缘基板26的铜箔构成的线圈绕组图案对其进行限定。绝缘基板26固定于壳体21。在本例中，马达线圈27在绝缘基板26的表面以中心轴线1a为中心并以等角度间隔而排列。例如，形成U、V、W各相的12个马达线圈27沿圆周方向排列。马达线圈27的排列形式、排列个数、形状等并不限定于图示的例子。
马达转子24具备：恒定厚度的转子圆盘28，其同轴地固定于中空马达轴22；以及转子磁铁29，其安装于该转子圆盘28。转子磁铁29以中心轴线1a为中心并以等角度间隔而排列。在本例中，在转子圆盘28沿圆周方向以等角度间隔而形成有8个圆形的磁铁嵌入孔28a。在各磁铁嵌入孔28a嵌入有厚度大于转子圆盘28的圆盘形状的转子磁铁29。此外，转子磁铁29的排列形式、排列个数并不限定于图示的例子。另外，转子磁铁29的形状并不限定于圆盘形状，也可以是四边形等。此外，安装方法也可以采用粘接、压入等各种方法。
马达定子23的马达线圈27与马达转子24的转子磁铁29在中心轴线1a的方向上以恒定的间隙而对置。由此构成马达磁路。另外，通过形成于壳体21的配线孔而配置马达动力线5。马达动力线5与搭载于绝缘基板26的连接器6连接，并借助连接器6而与形成于绝缘基板26的接线图案(未图示)连接。
如以上说明，本实施方式的旋转致动器1采用轴向间隙型的PWB马达2。PWB马达2构成为包括：马达定子23，其构成为具备形成有线圈绕组图案的绝缘基板26；以及马达转子24，其构成为具备安装有转子磁铁29的转子圆盘28。与采用径向间隙型的SPM马达的现有旋转致动器相比，能够缩短轴长，另外，还能够增大其中空直径。
另外，与一般使用的SPM马达相比，部件件数、组装工序数量较少，从而还能够降低制造成本。为了实现各凸极的绕组的绝缘而无需使用形状复杂的绝缘件。此外，由于针对马达定子不使用电磁钢板，所以，还不存在产生齿槽转矩的忧虑。
此外，关于PWB马达2，只要在绝缘基板的表面或内部形成由铜箔构成的绕组图案即可，所以，能够简单地形成高精度的绕组图案，还能够提高绕组占空系数。另外，无需绕组的焊接接线作业等手工作业。此外，动力线与绕组图案的连接能够借助搭载于绝缘基板的连接器而形成。由此，能够避免动力线的破损对绝缘基板及绕组图案造成影响。
图3是表示PWB马达2的另一例的概要立体图及概要分解立体图。关于这些附图所示的PWB马达2A，隔着同轴地安装于中空马达轴22的马达转子24A而在中心轴线1a的方向的两侧配置有马达定子23A、23B。马达定子23A、23B的构造与上述马达定子23的构造相同，隔着马达转子24A而对称地配置。另外，马达转子24A的构造也与上述马达转子24的构造相同。使用2个马达定子23A、23B而能够提高马达输出。
(实施方式2)
图4是表示实施方式2所涉及的扁平/中空型的旋转致动器的概要纵剖视图。旋转致动器100具备：PWB马达120；杯型的波动齿轮减速器130；圆环状的输出轴140；以及旋转编码器150，其对PWB马达120的旋转进行检测。旋转编码器150配置于：圆筒状的壳体160的致动器后方(中心轴线100a的方向的一侧)的那侧的端部(后端)。从壳体160的后端朝致动器前方将PWB马达120及波动齿轮减速器130组装于壳体160的内部，在壳体160的前端配置有输出轴140。借助交叉滚子轴承170并利用壳体160而将输出轴140支承为旋转自如的状态。
PWB马达120是轴向间隙型的中空马达，并具备：中空马达轴122；马达转子124，其组装于中空马达轴122；以及马达定子123，其组装于壳体160。关于中空马达轴122，中心轴线100a的方向上的前侧部分为小径轴部分122a，后侧部分为大径轴部分122b。在小径轴部分122a的后端一体形成有向半径方向的外侧扩展的转子圆盘122c，大径轴部分122b的前端同轴地连结固定于该转子圆盘122c。马达转子124具备转子磁铁124a，该转子磁铁124a安装于转子圆盘122c的大径轴部分122b外周侧的部位。马达定子123从中心轴线100a的方向的后侧隔着微小间隙而与转子磁铁124a对置。
在中空马达轴122的大径轴部分122b的后侧的轴端部组装有旋转编码器150。旋转编码器150由在壳体160的后侧开口端安装的编码器罩151遮盖。作为中空马达轴122的中空部的马达中空部125从编码器罩151的中心开口部152向后方开口。在编码器罩151的中心开口缘安装有油封153。关于马达中空部125，中心轴线100a的方向上的后侧为大径中空部，前侧为小径中空部。
波动齿轮减速器130具备：中空输入轴131，其一体形成于中空马达轴122的前侧的小径轴部分122a；波动发生器132，其组装于中空输入轴131的外周面；挠性的外齿齿轮133，其形成为杯形；以及圆环状的刚性的内齿齿轮134，其一体形成于壳体160的内周面。在内齿齿轮134的马达侧的端面形成有圆盘状的分隔板部分161。利用分隔板部分161而将PWB马达120与波动齿轮减速器130之间分隔开。利用安装于分隔板部分161内周缘部的轴承162而将中空输入轴131的与中空马达轴122连结的部位支承为旋转自如的状态。
外齿齿轮133具备：圆筒状主体部133a，其能够在半径方向上挠曲；圆盘状的隔膜133b，其从圆筒状主体部133a的后端朝半径方向的内侧延伸；刚性的圆环状的凸起133c，其连续地一体形成于隔膜的内周缘；以及外齿133d，其形成于圆筒状主体部133a的开口端侧的外周面部分。外齿齿轮133是减速旋转输出要素，外齿齿轮133的刚性的凸起133c同轴地连结固定于输出轴140。在本例中，输出轴140一体形成于交叉滚子轴承170的内圈171。交叉滚子轴承170的外圈172连结固定于壳体160。
在外齿齿轮133的形成有外齿133d的部分的内侧配置有波动发生器132。波动发生器132具备：椭圆状轮廓的插塞部分132a，其一体形成于中空输入轴131的外周面；以及波动轴承132b，其安装于该插塞部分132a的椭圆状外周面。外齿齿轮133的形成有外齿133d的部分因波动发生器132而挠曲成椭圆状。由此，外齿133d在椭圆形状的长轴两端的位置处与内齿齿轮134的内齿134a啮合。
中空输入轴131的前端部分延伸至外齿齿轮133的凸起133c的附近。在凸起133c同轴地固定有圆环状的轴承支承件135。利用安装于轴承支承件135的轴承136而将中空输入轴131的前端部分支承为旋转自如的状态。由凸起133c的中空部、轴承支承件135的中空部及中空输入轴131的中空部形成将波动齿轮减速器130的中心部分贯通的减速器中空部137。减速器中空部137与马达中空部125同轴地连通。由马达中空部125和减速器中空部137形成以在中心轴线100a的方向上将旋转致动器100贯通的方式延伸的致动器中空部。
在该结构的旋转致动器100中，PWB马达120的中空马达轴122的旋转经由中空输入轴131而传递至波动发生器132。若波动发生器132旋转，则外齿齿轮133相对于内齿齿轮134的啮合位置在圆周方向上移动。在两齿轮133、134之间产生与两齿轮133、134的齿数差相应的相对旋转。内齿齿轮134是一体形成于壳体160的固定侧部件，所以，外齿齿轮133进行旋转。外齿齿轮133的旋转从输出轴140输出。
PWB马达120构成为与图2所示的PWB马达2相同。PWB马达120的马达定子123具备：绝缘基板123a，其具备中心孔，中空马达轴122的大径轴部分122b以旋转自如的状态贯通该中心孔；以及马达线圈(未图示)，利用由形成于该绝缘基板123a的铜箔构成的线圈绕组图案对其进行限定。绝缘基板123a固定于壳体160。马达线圈在绝缘基板123a的表面以中心轴线100a为中心并以等角度间隔而排列。例如，形成U、V、W各相的12个马达线圈沿圆周方向排列。马达线圈的排列形式、排列个数、形状等并不限定于图示的例子。
马达转子124具备安装于恒定厚度的转子圆盘122c的转子磁铁124a，该转子圆盘122c一体形成于中空马达轴122的小径轴部分122a。转子磁铁124a以中心轴线100a为中心并以等角度间隔而排列。例如，在转子圆盘122c沿圆周方向以等角度间隔而形成有8个圆形的磁铁嵌入孔122d。在各磁铁嵌入孔122d嵌入有厚度大于转子圆盘122c的圆盘形状的转子磁铁124a。此外，转子磁铁124a的排列形式、排列个数并不限定于图示的例子。另外，转子磁铁124a的形状并不限定于圆盘形状，也可以是四边形等。此外，安装方法也可以采用粘接、压入等各种方法。
马达定子123的马达线圈(未图示)与马达转子124的转子磁铁124a在中心轴线100a的方向上以恒定的间隙而对置。由此构成马达磁路。另外，通过形成于壳体160的配线孔而配置马达动力线180。马达动力线180与搭载于绝缘基板123a的连接器190连接，并借助连接器190而与形成于绝缘基板123a的接线图案(未图示)连接。此外，作为PWB马达120，还可以使用图3所示的结构的马达。
如以上说明，旋转致动器100采用轴向间隙型的PWB马达120。与采用径向间隙型的SPM马达的现有旋转致动器相比，能够缩短轴长，另外，还能够增大其中空直径。特别是能够使马达中空部125形成为大径。另外，与一般使用的SPM马达相比，部件件数、组装工序数量较少，从而还能够降低制造成本。为了实现各凸极的绕组的绝缘而无需使用形状复杂的绝缘件。此外，由于针对马达定子并未使用电磁钢板，所以，还不存在产生齿槽转矩的忧虑。
此外，关于PWB马达120，只要在绝缘基板123a的表面或内部形成由铜箔构成的绕组图案即可，所以，能够简单地形成高精度的绕组图案，还能够提高绕组占空系数。另外，无需绕组的焊接接线作业等手工作业。此外，动力线与绕组图案的连接能够借助搭载于绝缘基板123a的连接器190而形成。由此，能够避免动力线的破损对绝缘基板123a及绕组图案造成影响。
(多轴旋转致动器)
如前面叙述的那样，在旋转致动器100中，PWB马达120是轴向间隙型的马达，无需使构成部件在径向上排列，所以，容易增大马达中空部125的中空直径。例如，容易将在后端开口的马达中空部125的大径中空部的中空直径设定为：比配置于前端的输出轴140的前端部分的外径尺寸更大的尺寸。若这样设定尺寸，则能够将旋转致动器100在轴线方向上同轴地连结而构成多轴的旋转致动器。
图5是表示将同一尺寸及同一结构的旋转致动器100(1)、100(2)在轴线方向上连结而成的结构的2轴旋转致动器200的概要纵剖视图。前段的旋转致动器100(1)及后段的旋转致动器100(2)形成为与上述旋转致动器100相同的尺寸、相同的构造，所以，省略对它们的构造的说明。将后段的旋转致动器100(2)的输出轴140(2)的前端部分以旋转自如的状态同轴地插入于在前段的旋转致动器100(1)的后端开口的马达中空部125(1)。在该状态下，将双方的旋转致动器100(1)、100(2)连结固定。利用安装于编码器罩151的油封153(1)对限定马达中空部125(1)的后端部分的编码器罩151(1)的中心开口部152(1)的内周缘部、与后段的输出轴140(2)的外周面之间进行密封。
通过将同一尺寸的旋转致动器100(1)、100(2)同轴地连结，能够将前段的输出轴140(1)与后段的输出轴140(2)配置于同轴上。同样地，通过将3台以上的同一尺寸的旋转致动器100同轴地连结而能够构成多轴旋转致动器。
关于2轴旋转致动器200或多轴旋转致动器，形成有以将其中心贯通的方式延伸的内径较大的中空部。该中空部可以用作使多根配线、配管穿过的空间。另外，可以用作设置滚珠丝杠等动力传递部件的空间。此外，还可以用作激光等的光路。
图6是表示将不同尺寸、同一结构的旋转致动器100(1)、100(3)在轴线方向上连结而成的结构的2轴旋转致动器300的概要纵剖视图。旋转致动器100(1)形成为与上述的旋转致动器100相同的尺寸、相同的结构。旋转致动器100(3)虽然形成为与旋转致动器100相同的结构，但是尺寸比旋转致动器100小一圈。在本例中，旋转致动器100(3)的壳体160(3)的外径尺寸设定为：比旋转致动器100(1)的马达中空部125(1)的后侧的大径中空部的内径尺寸更小的尺寸。另外，旋转致动器100(3)的输出轴140(3)的前端部分的外径尺寸设定为：比旋转致动器100(1)的马达中空部125(1)的前侧的小径中空部的内径尺寸更小的尺寸。
如图6所示，将后侧的尺寸较小的旋转致动器100(3)从前侧的尺寸较大的旋转致动器100(1)的马达中空部125(1)的后端开口部侧以同轴状态而插入。在该状态下，将双方的旋转致动器100(1)、100(3)的壳体彼此连结。另外，利用油封153(1)对双方的旋转致动器100(1)、100(3)之间进行密封。由此，能够构成轴长较短的2轴旋转致动器300。

Claims (5)

1.一种旋转致动器，其具备：马达；以及波动齿轮减速器，其以使得该马达的输出旋转减速并输出的方式与所述马达连结，
其特征在于，
所述马达是轴向间隙型的马达，并具备：马达轴；以及马达转子和马达定子，它们在所述马达轴的中心轴线的方向上以恒定的间隔而对置，
所述马达转子具备：转子圆盘，其同轴地固定于所述马达轴；以及转子磁铁，其固定于该转子圆盘，
所述马达定子具备：绝缘基板；以及马达线圈，利用在该绝缘基板的表面或内部形成的印刷配线而对其进行限定。
2.根据权利要求1所述的旋转致动器，其特征在于，
所述马达轴是以在所述中心轴线的方向上将该马达的中心部分贯通的方式延伸的中空马达轴，
由所述中空马达轴的中空部形成马达中空部，
所述波动齿轮减速器具备：以在所述中心轴线的方向上将该波动齿轮减速器贯通的方式延伸的减速器中空部，
所述减速器中空部与所述马达中空部以同轴状态而连通，
所述减速器中空部在所述中心轴线的方向的一侧即致动器前方开口，
所述马达中空部在所述中心轴线的方向的另一侧即致动器后方开口。
3.根据权利要求2所述的旋转致动器，其特征在于，
所述波动齿轮减速器具备：刚性的内齿齿轮；挠性的外齿齿轮，其同轴地配置于该内齿齿轮的内侧；波动发生器，其以使得该外齿齿轮挠曲成椭圆形而相对于所述内齿齿轮在局部啮合的方式安装于所述外齿齿轮的内侧；中空输入轴，其与所述中空马达轴一体旋转；以及中空输出轴，其将减速旋转输出，
所述波动发生器具备：刚性插塞，其具有椭圆状外周面；以及波动轴承，其安装于所述椭圆状外周面与所述外齿齿轮之间，
所述刚性插塞同轴地固定于所述中空输入轴的外周面、或者一体形成于所述外周面，
所述内齿齿轮和所述外齿齿轮中的一方为固定侧部件，另一方为旋转侧部件，
所述中空输出轴同轴地连结固定于所述旋转侧部件。
4.根据权利要求3所述的旋转致动器，其特征在于，
所述中空输出轴配置于所述致动器的前方的端部，
以能够将所述中空输出轴从所述致动器的后方侧插入于所述马达中空部的方式，设定所述马达中空部的内径尺寸及所述中空输出轴的外径尺寸。
5.根据权利要求4所述的旋转致动器，其特征在于，
所述旋转致动器具备：筒状的壳体；以及轴承，其用于将所述外齿齿轮以相对于所述内齿齿轮而相对旋转自如的状态支承于所述内齿齿轮，
在所述壳体的内部组装有所述马达及所述波动齿轮减速器，
所述内齿齿轮是一体形成于所述壳体或者固定于所述壳体的所述固定侧部件，
所述外齿齿轮是所述旋转侧部件，并具备：圆筒状主体部；隔膜，其从该圆筒状主体部的一体朝半径方向的内侧延伸；以及圆环状的凸起，其以与所述隔膜的内周缘连续的方式而形成，
所述凸起同轴地连结固定于所述中空输出轴，
借助所述轴承并利用所述壳体而将所述中空输出轴支承为旋转自如的状态。
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