KR920001472A - 주사장치 - Google Patents

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KR920001472A
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프레데릭 얀 스미트
엔. 브이. 필립스 글로아이람펜파브리켄
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Abstract

내용 없음

Description

주사장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 회전가능한 미러(mirror)를 포함하는 본 발명에 따르는 주사장치부분의 종단면도.
제2도는 제1도의 라인 Ⅱ-Ⅱ에서 얻어진 단면도.
제3도는 제1도에 도시된 주사장치 및 구동 유니트 부분의 사시도.

Claims (14)

  1. 주사장치는 주사될 표면에서 방사비임을 명령 및 겨냥하는 회전가능한 미러를 포함하고, 구동 유니트는 회전축 주위가 회전가능하도록 지지되고 미러를 이동하는 회전자부분을 포함하며, 상기 회전자 부분은 원통형, 특히 디스크형으로 적어도 회전자부분의 회전구동을 제공하도록 회전자 몸체상에 작용하는 전자가 구동력을 발생하고, 회전자 몸체의 자계내에 연장하는 코일로 된 고정적인 고정자 부분과 부분적으로 영구-자기 회전자 몸체를 포함하는 주사장치에 있어서, 구동유니트의 고정자 부분은 회전가능한 회전자 부분을 고정자 부분에 대해 전자기적으로 지지하도록 회전자 몸체상에 작용하는 전자기 베어링 힘을 발생하고, 회전자 몸체의 자계내에 배치된 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 주사장치.
  2. 제1항에 있어서, 주사장치는 신호에 따라서 전자기 베어링 힘을 발생하는 코일을 선택적으로 구동하도록 제공된 매트릭스 회로와, 신호를 발생하고 미러의 위치 및 방위를 측정하는 적어도 하나의 검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 전자기 베어링 힘을 발생하는 코일은 편 코일이며 회전자 부분의 회전축을 따라 보이는 라인에 정렬된 적어도 두개의 편 코일을 각각 포함하는 편 코일의 세트, 회전자 몸체에서 원주방향으로 나란히 보이는 편 코일의 세트에 정렬되어 있는 것을 특징으로 하는 주사장치.
  4. 제3항에 잇어서, 편코일의 세트수는 적어도 넷인 것을 특징으로 하는 주사장치.
  5. 제1항, 제2항, 3항 또는 4항에 있어서, 구동 유니트의 회전자 부분은 배타적으로 전자기적으로 유지되는 것을 특징으로 하는 주사장치.
  6. 회전자 몸체는 적어도 부분적으로 축상의 영구 자화를 나타내며, 전자기 구동력을 발생시키는 코일은 구동 유니트의 회전자 부분은 회전축을 가로질러 방향지원진 평면에 배치되는 제1항, 제2항, 3항 또는 4항 또는 5항에 있어서, 회전자 몸체는 비-자가 부분 또는 회전자 몸체의 나머지의 방향과 반대인 자화방향을 갖는 자기부분을 포함하며, 상기 부분은 전자기 구동력을 발생하는 코일과 대향하여 놓여있고, 상기 부분은 회전자몸체의 원주표면으로 부터 방사상으로 거리가 떨어져 있고, 상기 부분은 접선방향으로 경계지며 회전자 몸체에서 축상으로 연장하는 것을 특징으로 하는 주사장치.
  7. 제6항에 있어서, 비-자기 부분은 회전자 몸체에 축상으로 연장하는 규칙적으로 간격진 홀에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 주사장치.
  8. 회전자 몸체는 적어도 부분적으로 축상의 영구자화를 나타내며, 전자기 구동력을 발생시키는 코일은 구동 유니트의 회전자 부분의 회전축을 가로질러 방향 지원진 평면에 배치되는 제1항, 제2항, 3항 ,4항 또는 5항에 있어서, 회전자 몸체는 전자기 구동력을 발생시키며 회전자 몸체의 원주 표면을 접속하는 코일에 대향하여 위치된 비-자기부분을 포함하며, 상기 부분은 접선 방향으로 경계지며 회전자 몸체에서 축상으로 연장하는 것을 특징으로 하는 주사장치.
  9. 전자기구동력을 발생하는 코일은 구동 유니트의 회전자 부분으 회전축을 가로질러 방향지워진 평면에 배치되고, 회전자 몸체는 자화의 반대방향을 갖는 제1및 제2자기 부분을 포함하며, 상기 부분은 전자기 구동력을 발생하는 코일에 대향하여 위치되고, 그것은 회전자 몸체의 원주표면을 접속하고, 접선방향으로 경계지며 회전자 몸체에서 축상으로 연장하며, 제1자기 부분은 원주표면의 원주길이의 제1부분을 원주 길이의 제1부분을 함께 형성하며, 제2자기 부분은 회전자 몸체의 원주표면의 원주길이의 제2부분을 함께 형성하는 제1항, 2항, 3항, 4항 또는 5항에 있어서, 원주길이의 제1부분은 회전자 몸체의 원주표면에 원주길이의 제2부분과 같지 않은 것을 특징으로 하는 주사장치.
  10. 제1항 내지 10항에 있어서, 회전자 몸체는 한 조각의 물질로 제조되는 것을 특징으로 하는 주사장치.
  11. 제1항, 2항, 3항, 4항 또는 5항에 있어서, 적어도 다수의 코일이 전자기 베이링 힘을 발생시키는 코일과 전자기 구동력을 발생시키는 코일로서의 기능을 하는 결합 코일로서 구성되는 것을 특징으로 하는 주사장치.
  12. 전항 중 어느 한항에 있어서, 적어도 구동유니트의 미러 및 미러-이동 회전자 부분이 정렬되어 있는 진공실이 제공되는 것을 특징으로 하는 주사장치.
  13. 제1항 또는 제3항 내지 12항중 어느 한항에 청구된 바와 같은 주사장치에 사용하는 구동 유니트.
  14. 제6항 내지 10항중 어느 한항에 청구된 바와 같은 주사장치의 구동 유니트에 사용하는 회전자 몸체.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019910008997A 1990-06-01 1991-05-31 주사 장치 KR100245961B1 (ko)

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NL9001260 1990-06-01

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