JP2555728Y2 - ウエハの移し替え装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、ウエハ搬出入用の開口
部を有する箱状のウエハ搬送キャリア間でウエハの移し
替えを行い、移し替え完了後の前記ウエハ搬送キャリア
をハンドラーで持ち上げ次工程へ搬送するようにしたウ
エハの移し替え装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、シリコンウエハ等の半導体基板
を製造または処理するための工程においては、例えば洗
浄液で洗浄した後のウエハを洗浄用キャリア出荷用キャ
リアに移し替える等、ウエハ搬送キャリア内に収納され
た多数のウエハを順番を変えないで別のウエハ搬送キャ
リア内に移し替える操作がおこなわれている。

【０００３】図３は、従来のウエハの移し替え装置の一
例を示す要部概略構成斜視図で、図４はその側面図、図
５はウエハの移し替え操作を模式的に示す図である。図
４および図５において、移し替え装置１のベース２上に
は、移し替え前の多数のウエハ３が収納されたウエハ搬
送キャリア４と、移し替え後のウエハ３が収納されるウ
エハ搬送キャリア５とが、それらのウエハ搬出入用の開
口部を互いに対向させた状態で配置される。そして、図
示せぬ手段によりウエハ搬送キャリア４からウエハ３が
ウエハ搬送キャリア５側に送り出されて移し替えられ
る。また、この移し替え時には、これら多数のウエハ３
が急激、かつバラバラに移動されないように、同図中の
矢印Ａ−Ｂ方向に移動するガイド部材６で案内され、か
つ定速性も持たされる。一方、ウエハ３の移し替えが完
了すると、このウエハ３が入れられたウエハ搬送キャリ
ア５は、図４中の矢印Ｃ方向に移動されて来るハンドラ
ー７で保持され、同図中の矢印Ｄ方向に持ち上げられて
次工程へ搬送され、この位置に新たな空のウエハ搬送キ
ャリア５がセットされる。また、移し替えを終えた空の
ウエハ搬送キャリア４も、別の図示せぬハンドラーによ
って搬送され、この位置に移し替え前の新たなウエハ３
を収納してなるウエハ搬送キャリア４がセットされる。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】しかしながら、ウエハ
移し替え後のウエハ搬送キャリア４の搬送について見る
と、ハンドラー７は図４中の矢印Ｃ−Ｄ方向より移動さ
れてウエハ搬送キャリア４上に当接し、このウエハ搬送
キャリア４をチャックして持ち上げるので、その持ち上
げ時には横搖れ等、不安定な動作を伴い易い。このた
め、ハンドラー７でチャックされているウエハ搬送キャ
リア４も一緒に傾き、これがウエハ搬出入用の開口部を
下向きにした傾きが生じた場合には、中のウエハ４が滑
り落ちる可能性があった。

【０００５】本考案は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、その目的はウエハ搬送キャリアがハンドラー
で持ち上げられるときに、ウエハ搬出用の開口部が下向
きとなるように傾いて中のウエハが落下するのを防止で
きるようにしたウエハの移し替え装置を提供することに
ある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本考案は、ウエハ搬出入用の開口部を有する箱状のウエ
ハ搬送キャリア間でウエハの移し替えを行い、移し替え
完了後の前記ウエハ搬送キャリアをハンドラーで持ち上
げ次工程へ搬送するようにしたウエハの移し替え装置に
おいて、前記ハンドラーで持ち上げられる前記ウエハ搬
送キャリアが前記ウエハ搬出入用の開口部を下向きにし
て傾くのを防止するための傾動防止板を、前記両ウエハ
搬送キャリアとの間で、かつ前記ウエハの搬出入動作の
邪魔にならない位置に設けたものである。

【０００７】

【作用】この構成によれば、ウエハ搬送キャリアが持ち
上げられるときに、このウエハ搬送キャリアに傾動防止
板が当接されてウエハ搬送キャリアを持ち上げ開始時に
生じ易い振動を傾動防止板により物理的に抑え、ウエハ
搬出入用の開口部が下向きになるようにウエハ搬送キャ
リアが傾くのを防止するので、ウエハ搬送キャリアの搬
送時におけるウエハの落下を確実に防ぐことができる。

【０００８】

【実施例】以下、本考案の実施例について図面を用いて
詳細に説明する。図１は本考案の一実施例に係るウエハ
の移し替え装置の要部概略構成斜視図で、図２は図１に
示した同上移し替え装置の側面図である。図１および図
２において、図３乃至図５と同一符号を付したものは図
３乃至図５と同一のものを示している。

【０００９】そして、図３および図４に示した従来の移
し替え装置１と、図１および図２に示す本実施例の移し
替え装置１０とで大きく異なる点は、ベース２上にウエ
ハ搬送キャリア４とウエハ搬送キャリア５とが配設され
る間に位置して、傾動防止板１１を設けたものである。

【００１０】さらに詳述すると、この傾動防止板１１
は、左右の支柱部１１ａ，１１ｂと、この左右の支柱部
１１ａ，１１ｂの上端間をつないだ支柱部１１ｃとで略
コ字状に形成されており、支柱部１１ａ，１１ｂの下端
を図示せぬビスでベース２上に固定して取り付けられて
いる。また、この固定された状態では、各支柱１１ａ，
１１ｂ間の寸法は各ウエハ搬送キャリア４，５の幅寸法
よりも小さく、かつ各支柱１１ａ，１１ｂ，１１ｃで囲
まれた部分の内側に形成された窓口１２の寸法はウエハ
搬送キャリア４側のウエハ３をウエハ搬送キャリア５側
に移し替える時に、支障とならない大きさに設定されて
いる。

【００１１】次に、この移し替え装置の動作について説
明する。まず、ベース２上には、移し替え前の多数のウ
エハ３が収納されたウエハ搬送キャリア４と、移し替え
後のウエハ３が収納されるウエハ搬送キャリア５とが、
傾動防止板１１を挟んで、かつそれぞれのウエハ搬送出
入用の開口部を互いに対向させ、各開口部の左右周面が
傾動防止板１１と面対向した状態で配置される。そし
て、ウエハ搬送キャリア４内のウエハ３が図示せぬ手段
によりウエハ搬送キャリア５側に送り出されて移し替え
られる。また、このとき、ウエハ搬送キャリア４がウエ
ハ搬送キャリア５側に移動しようとすると、ウエハ搬送
キャリア４が傾動防止板１１にぶつかり、その移動が阻
止される。一方、ウエハ３の移し替えが完了すると、こ
のウエハ３が入れられたウエハ搬送キャリア４は、図２
中の矢印Ｃ方向に移動して来るハンドラー７で保持さ
れ、同図中の矢印Ｄ方向に持ち上げられて次工程へ搬送
され、この位置に新たな空のウエハ搬送キャリア４がセ
ットされる。なお、ウエハ搬送キャリア４がハンドラー
７でチャックされて同図中の矢印Ｄ方向に持ち上げられ
るとき、ハンドラー７が振動してウエハ搬出入用の開口
部が下向きになるようにウエハ搬送キャリア４が傾きそ
うになると、ウエハ搬送キャリア４が傾同防止板１１に
当接して、これが抑えられ、ウエハ３の落下が防止され
る。

【００１２】したがって、この実施例の構造によれば、
従来の移し替え装置に、傾動防止板１１を取り付けるだ
けで、また従来の移し替え作業手順に何ら変更を加える
ことなく、ウエハ３の落下を防止することができる。

【００１３】

【考案の効果】以上説明したとおり、本考案に係るウエ
ハの移し替え装置によれば、ウエハ搬送キャリア持ち上
げ開始時に生じ易い振動を傾動防止板により物理的に抑
え、ウエハ搬出入用の開口部が下向きになるようにウエ
ハ搬送キャリアが傾くのを防止しているので、ウエハ搬
送キャリアの搬送時におけるウエハの落下を確実に防ぐ
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例に係るウエハの移し替え装置
の要部概略構成斜視図である。

【図２】図１に示した同上移し替え装置の側面図であ
る。

【図３】従来の移し替え装置の一例を示す要部概略構成
斜視図である。

【図４】図３に示した同上移し替え装置の側面図であ
る。

【図５】一般的なウエハ移し替え操作の一例を模式的に
示す図である。

【符号の説明】

３…ウエハ ４…ウエハ搬送キヤリア ５…ウエハ搬送キヤリア ７…ハンドラー １０…ウエハの移し替え装置 １１…傾動防止板

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエハ搬出入用の開口部を有する箱状の
   ウエハ搬送キャリア間でウエハの移し替えを行い、移し
   替え完了後の前記ウエハ搬送キャリアをハンドラーで持
   ち上げて次工程へ搬送するようにしたウエハの移し替え
   装置において、前記ハンドラーで持ち上げられる前記ウ
   エハ搬送キャリアが前記ウエハ搬出入用の開口部を下向
   きにして傾くのを防止するための傾動防止板を、前記両
   ウエハ搬送キャリアとの間で、かつ前記ウエハの搬出入
   動作の邪魔にならない位置に設けたことを特徴とするウ
   エハの移し替え装置。