JP2505476Y2 - 基板収納カセット載置台 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は、半導体ウエハなどの基板を多段に収納する
基板収納カセットから、搬送アームによって基板を搬出
する際に、前記カセットを載置するための基板収納カセ
ット載置台に関する。

〈従来の技術〉 一般に基板収納カセットは、基板を多段に収納するた
めの多数の溝が内面に形成された側壁部材が対向配置さ
れ、両側壁部材間の距離を一定に保つための補強部材と
して、両側壁部材の上部および下部にカセット連結部材
が架設された構造になっている。このような基板収納カ
セットの各溝に、半導体ウエハなどの基板が水平状態に
収納される。基板収納カセットから基板を取り出すとき
には、この基板収納カセットをカセット載置台の所定位
置に載置し、この状態で、偏平な搬送アームがカセット
内の所要の基板下部に差し入れられる。そして、搬送ア
ームを若干上昇させることによって、基板をアーム上に
移載して、この基板を吸着保持した後に、前記アームを
カセットから退出させることによって、所要の基板がカ
セットから取り出される。

このカセット内の最下段の基板を取り出す場合、基板
下面とカセット下部の連結部材との間隙が狭いため、最
下段の場合のみ搬送アームの挿入位置を他の段より若干
上にすることにより対応している。

〈考案が解決しようとする課題〉 しかしながら、このような構成を有する従来例の場合
には、次のような問題点がある。

第３図を参照する。同図は、基板Ｗが多段に収納され
た基板収納カセット10を基板載置台20に載置した状態を
示した部分正面図である。

基板載置台20において、符号11は、基板Ｗを載置する
ための多数の溝12が内面に形成された側壁部材であり、
両側壁部材11の下部に補強用のカセット連結部材13が架
設されている。

このような基板収納カセット10に搬送アーム30を差し
入れて基板Ｗを基板収納カセット10から取り出す場合、
カセット内の最下段の基板Ｗ′とカセット連結部材13と
の間隔ｌが、他の基板間の間隔ｍに比較して小さいため
に、この間隔ｌ内に搬送アーム30を差し入れる際に厳し
い位置精度が要求されるという問題点がある。

特に、カセット連結部材13が上方に反っている場合
や、最下段の基板Ｗ′の載置位置、溝形状、オリエンテ
ーションフラットの位置等の関係で、基板Ｗ′が前側に
傾斜して収納されている場合には、搬送アーム30を差し
入れるための間隔ｌが一層狭くなるので、ときには搬送
アーム30が基板Ｗ′やカセット連結部材13に接触して、
基板Ｗ′や搬送アーム30がカセットにこすれたり、破損
するという事態もあった。

一方、カセット連結部材13は側壁部材11の中央部に架
け渡されているので、搬送アーム30をカセット連結部材
13の手前で停止させて、基板Ｗ′の下面を吸着保持する
ことも考えられるが、そうすると基板Ｗ′は、その中心
よりも手前側で搬送アーム30に保持されることになるた
め、重量バランスが崩れて基板Ｗ′が搬送アーム30から
脱落するおそれが生じる。

本考案は、このような事情に鑑みてなされたものであ
って、搬送アームを最下段の基板やカセット連結部材と
干渉させることなく、基板収納カセット内に差し入れ
て、最下段の基板を確実にカセット内から取り出すこと
ができる、基板収納カセット載置台を提供することを目
的としている。

〈課題を解決するための手段〉 本考案は、このような目的を達成するために、次のよ
うな構成をとる。

即ち、本考案は、基板を多段に収納した基板収納カセ
ットから搬送アームを用いて基板を取り出すために、前
記基板収納カセットが載置される基板収納カセット載置
台に、前記基板収納カセット内の最下段の基板を、最下
段の基板下面とカセット連結部材上面の間隙を前記搬送
アームの厚み以上に確保するための突出体を配設したも
のである。

〈作用〉 本考案の作用は次のとおりである。

本考案に係る基板収納カセット載置台に基板収納カセ
ットが載置されると、カセット内の最下段の基板が、基
板収納カセット載置台に配設された突出体によって若干
持ち上げられ、基板が前側に傾斜している場合でも、基
板は水平に支持される。その結果、最下段の基板と、基
板収納カセットの下部のカセット連結部材との間隔が拡
がるので、搬送アームを挿入する十分なスペースが確保
される。

〈実施例〉 以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。

第１図は本考案に係る基板収納カセット載置台の一実
施例を示す外観斜視図、第２図はその作用説明図であ
る。

第１図に示した基板収納カセット10が載置される基板
載置台20には、基板収納カセット10を位置決めするため
の機構が備えられている。具体的には、基板収納カセッ
ト10の下方のカセット連結部材13に嵌合して基板収納カ
セット10の前後の位置決めを行う一対の位置決め部材21
と、基板収納カセット10の側壁部材11の下部外面に当接
して、基板収納カセット10の左右の位置決めを行う一対
の位置決めピン22で構成されている。

これらの位置決め機構の他に、載置された基板収納カ
セット10の最下段の基板を若干持ち上げて水平に支持
し、最下段の基板下面とカセット連結部材上面の間隙を
搬送アームの厚み以上に確保するための突出体としての
３本のピン23が、基板載置台20に立設されている。

このような基板載置台20に、基板を収納した基板収納
カセット10が載置されると、第２図に示すように、基板
収納カセット10の最下段の基板Ｗ′が、基板載置台20に
立設された３本のピン23によって若干持ち上げられて水
平に支持され、基板Ｗ′とカセット連結部材13との間隔
ｌ′は、もとの収納位置の間隔ｌよりも拡がる。したが
って、図示しない機構によって基板載置台20あるいは搬
送アーム30を昇降させて、搬送アーム30と基板収納カセ
ット10との相対的な位置合わせを行った後、上記間隔
ｌ′内に搬送アーム30を無理なく差し入れることがで
き、搬送アーム30が基板Ｗ′やカセット連結部材13に干
渉することもない。

なお、上述した実施例では、ピン23を基板載置台20に
固定設置したが、適宜な機構によってピン23を昇降自在
に構成し、搬送アーム30で基板収納カセット10の最下段
の基板Ｗ′を取り出す際に、ピン23を上昇させて、基板
Ｗ′を持ち上げるようにしてもよい。

また、基板を持ち上げるための突出体としては、基板
の裏面汚染を防止する観点から、実施例のようなピン23
であることが好ましいが、ブロック状の部材で構成して
もよい。

〈考案の効果〉 以上の説明から明らかなように、本考案によれば、基
板収納カセット載置台に配備した突出体によって、載置
された基板収納カセットの最下段の基板を若干持ち上げ
て水平に支持し、前記基板と基板収納カセットの下部の
カセット連結部材との間隔を拡げているので、高い位置
決め精度を要しないで、搬送アームを最下段の基板やカ
セット連結部材と干渉させることなく基板収納カセット
内に差し入れて、最下段の基板を確実にカセット内から
取り出すことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本考案の一実施例に係り、第１図
は基板収納カセット載置台の外観斜視図、第２図はその
作用説明図である。 第３図は従来例の問題点の説明に供する図である。 10……基板収納カセット、13……カセット連結部材 20……基板載置台、23……ピン（突出体） 30……搬送アーム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 福冨 義光 京都府京都市伏見区羽束師古川町322番 地 大日本スクリーン製造株式会社洛西 工場内 (72)考案者 東 昭弘 京都府京都市伏見区羽束師古川町322番 地 大日本スクリーン製造株式会社洛西 工場内

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】基板を多段に収納した基板収納カセットか
   ら搬送アームを用いて基板を取り出すために、前記基板
   収納カセットが載置される基板収納カセット載置台に、
   前記基板収納カセット内の最下段の基板を、最下段基板
   下面とカセット連結部材上面の間隙を前記搬送アームの
   厚み以上に確保するための突出体を配設したことを特徴
   とする基板収納カセット載置台。