JPH07106396A - 昇降装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、半導体ウエハを収納する容器を容易
に昇降台に載置することができる昇降装置を実現する。 【構成】昇降装置１の昇降台２に、昇降台２を所定角度
傾斜させる回動手段７、８、９を設ける。半導体ウエハ
を収納する容器を昇降台２に載置するとき、回動手段
７、８、９によつて昇降台２を所定角度作業者側に傾斜
させる。これにより、作業者は容器の搬出入口を斜め上
方に向けて昇降台２に容易に載置することができるの
で、容器を昇降台２に載置するときにウエハが容器から
飛び出してしまうことが極めて少なくなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【目次】以下の順序で本発明を説明する。 産業上の利用分野 従来の技術（図４〜図６） 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段（図１） 作用（図１） 実施例（図１〜図３） 発明の効果

【０００２】

【産業上の利用分野】本発明は昇降装置に関し、例えば
レジスト灰化装置で使用される昇降装置に適用して好適
なものである。

【０００３】

【従来の技術】従来、半導体ウエハ上のレジストを除去
する装置にレジスト灰化装置がある。レジスト灰化装置
はウエハ上のレジストを気相中で除去する装置であり、
一般に図４に示すような構成を有する。すなわちレジス
ト灰化装置２０は、エレベータ装置を２台収容するエレ
ベータ収容ボツクス２１と、ウエハを収納する石英ボー
ド２２を収容した石英ボード収容ボツクス２３とから構
成されている。

【０００４】エレベータ収容ボツクス２１はほぼ直方体
のボツクスである。ボツクス２１の高さは作業者の視線
の高さ（人によつて異なるが）とほぼ同じであり、作業
者がウエハキヤリアをエレベータに載せるためにボツク
ス２１には上面が設けられていない。またエレベータ収
容ボツクス２１の正面の上側斜面にはボツクス２１内部
を観察するための長方形状の窓２４が設けられている。

【０００５】石英ボード収容ボツクス２３は所定の高さ
を有する直方体でなるボツクスであり、石英ボード２２
を収容している。またボツクス２３の１つの面のほぼ中
央には、ウエハキヤリアからウエハを搬出して石英ボー
ド２２に搬入するロボツト２５が設置されている。従つ
てロボツト２５が設けられている面にはロボツト２５が
ウエハを搬出入するための開口が設けられている。ここ
で窓２４が設けられている面の反対側の面が、ロボツト
２５が設置されている面と接している。

【０００６】石英ボード２２は初期化状態では石英ボー
ド収容ボツクス２３の底面に設置され、ロボツト２５が
ウエハキヤリアから搬出したウエハを石英ボード２２の
最上段から順次収納していくごとに上昇するようになさ
れている。

【０００７】エレベータ収容ボツクス２１に収容されて
いるエレベータ装置２６を図５に示す。エレベータ装置
２６はウエハキヤリアを載せるエレベータステージ２７
と、エレベータステージ２７を上下に駆動させる駆動部
２８と、直方体でなり、駆動部２８を支持する台座２９
とから構成されている。

【０００８】直方体でなる駆動部２８は台座２９の平面
上に配設されている。駆動部２８の１つの面には、ほぼ
Ｌ字状でなる２つの支持部材３０が上下動するための所
定の長さの２つの溝３１が設けられている。支持部材３
０の一端は溝３１から延びており、支持部材３０の他端
は図６に示すようにエレベータステージ２７の底面に接
合している。従つて支持部材３０を上下動させることに
よりエレベータステージ２７を上下動させることができ
る。

【０００９】エレベータステージ２７は所定の厚さを有
するほぼ正方形状のウエハキヤリア支持台である。エレ
ベータステージ２７の四隅には所定の厚さを有するＬ字
形の位置決めブロツク３２が設けられ、またエレベータ
ステージ２７の中央には所定の厚さを有するほぼ直方体
状の位置決めブロツク３３が設けられている。すなわち
これらの位置決めブロツク３２及び３３は、エレベータ
ステージ２７にウエハキヤリアを載せたときにウエハキ
ヤリアをエレベータステージ２７に固定するための部材
である。

【００１０】ここでウエハキヤリアは25枚のウエハを収
納することができる直方体のボツクスであり、ウエハを
搬出入するための搬出入口はウエハキヤリアの側面に設
けられている。従つてウエハは地面に対して水平に置か
れていることになる。

【００１１】これとは反対にエレベータステージ２７が
最上部に上昇したときの状態、すなわちエレベータステ
ージ２７の初期化状態の位置を図６に示す。エレベータ
ステージ２７が初期化状態にあるときの位置は、エレベ
ータ収容ボツクス２１の上面の位置と、ロボツト２５が
設置されている位置とほぼ同じ高さにある。

【００１２】以上のことより理解できるように、ロボツ
ト２５は固定された位置に設置されているので、ウエハ
を石英ボードに搬入する場合、ウエハキヤリアからウエ
ハを搬出して石英ボード２２に搬入するごとにエレベー
タステージ２７は初期化状態の位置から下降し、石英ボ
ード２２は初期化状態の位置から上昇することになる。

【００１３】このような構成において、エレベータ収容
ボツクス２１内に設置された２つのエレベータ２６のエ
レベータステージ２７を最上部の位置（すなわち初期化
状態の位置）にセツトし、ウエハキヤリアをエレベータ
ステージ２７に載せる。

【００１４】次にロボツト２５を作動させて第１のエレ
ベータに載せられているウエハキヤリアの最下段に収納
されているウエハを石英ボード２２の最上段に搬入す
る。続いて第２のエレベータに載せられているウエハキ
ヤリアの最下段に収納されているウエハを石英ボード２
２に搬入する。このように合計50枚のウエハを第１のエ
レベータ及び第２のエレベータから交互に石英ボード２
２に搬入する。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】ところがエレベータス
テージ２７の初期化状態の位置は作業者の視線位置の高
さとほぼ同じ位置になり作業者の視線とほぼ水平になつ
てしまうので、ウエハキヤリアをエレベータステージ２
７に設置しにくいという問題があつた。すなわちエレベ
ータステージ２７の上面が作業者の視線位置とほぼ水平
になるためエレベータステージ２７の上面がよく見えず
ウエハキヤリアをエレベータステージ２７に載せにく
い。従つてウエハキヤリアをエレベータステージ２７に
設置するときにウエハキヤリアが斜めになつてウエハキ
ヤリア内からウエハが飛び出てしまうことがある。

【００１６】またウエハキヤリアからウエハが飛び出し
ていることに気づかずにウエハを石英ボード２２に搬出
しようとすると、ロボツト２５がウエハを搬出するとき
にウエハがウエハキヤリアを引つかけてウエハキヤリア
を倒してしまう問題があつた。

【００１７】さらにウエハがウエハキヤリアから飛び出
た状態で作業を継続するとエレベータステージ２７が下
降するときに、この飛び出したウエハがどこかにぶつか
つて破損するという問題があつた。

【００１８】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、ウエハキヤリアを容易に載せることができるように
した昇降装置を提案しようとするものである。

【００１９】

【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、半導体ウエハを収納する容器が載
置される昇降台２を所定の高さに昇降させる昇降装置１
において、所定の厚さを有する正方形状の部材でなる昇
降台２に回動手段７、８、９を設け、容器を昇降台２に
載置するとき、昇降台２を回動手段７、８、９によつて
作業者側に所定角度傾斜させるようにする。

【００２０】

【作用】昇降装置１の昇降台２に、当該昇降台２を所定
角度傾斜させる回動手段７、８、９を設ける。半導体ウ
エハを収納する容器を昇降台２に載置するとき、回動手
段７、８、９によつて昇降台２を作業者側に傾斜させ
る。これにより、作業者は容器の搬出入口を斜め上方に
向けて昇降台２に容易に載置することができるので、容
器を昇降台２に載置するときに容器からウエハが飛び出
してしまうことが格段的に少なくなる。

【００２１】

【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。

【００２２】図１において、１は全体としてエレベータ
装置を示し、エレベータステージ２を初期化状態の位置
（すなわちエレベータステージ２が最上部に上昇したと
きの位置）にセツトした後エレベータステージ２を作業
者側に傾斜させてウエハキヤリアをエレベータステージ
２に設置する。その後エレベータステージ２を地面に対
して水平状態に戻して石英ボード収容ボツクスの所定の
位置に配設されたロボツトによつてウエハキヤリア内か
らウエハを搬出し、搬出したウエハを、石英ボード収容
ボツクス内に設置された石英ボードに搬入する。

【００２３】エレベータ装置１はウエハキヤリアを載せ
るエレベータステージ２と、エレベータステージ２を上
下に駆動させる駆動部３と、直方体でなり、駆動部３を
支持する台座４とから構成されている。

【００２４】台座４の平面上には直方体でなる駆動部３
が配設されている。駆動部３の１つの面には、ほぼＬ字
状でなる２つの支持部材５が上下動するための所定の長
さの２つの溝６が設けられている。支持部材５の一端は
溝６から延びており、支持部材５の他端はエレベータス
テージ２の底面に接合している。従つて支持部材５を上
下動させることによりエレベータステージ２を上下動さ
せることができる。

【００２５】また駆動部３に設けられた２つの溝６の中
間位置に、駆動部３と直交する方向に、駆動部３側から
順に、回転軸７を駆動するモータ８と回転軸７とが直列
に配設されている。回転軸７には２つの歯山が設けられ
ており、この２つの歯山は、以下に述べるようにエレベ
ータステージ２の底面に設けられた２つの歯車９の歯と
互いにかみ合うような位置に設けられている。従つて回
転軸７を回転させることによりエレベータステージ２を
傾斜させることができる。

【００２６】エレベータステージ２は所定の厚さを有す
るほぼ正方形状のウエハキヤリア支持台である。エレベ
ータステージ２の四隅には所定の厚さを有するＬ字形の
位置決めブロツク１０が設けられ、またエレベータステ
ージ２の中央には所定の厚さを有するほぼ直方体状の位
置決めブロツク１１が設けられている。すなわちこれら
の位置決めブロツク１０及び１１は、エレベータステー
ジ２にウエハキヤリアを載せたときにウエハキヤリアを
エレベータステージ２に固定するための部材である。

【００２７】また図１に示すようにエレベータステージ
２の底面には、円弧状の台座の円周上に形成された２つ
の歯車９が回転軸７と直交するように配設されている。
歯車９には歯山の他に２つの突起部１２及び１３が所定
の間隔を置いて設けられ、これらの突起部１２及び１３
を検出するフラグセンサ１４が駆動部３からから延びる
部材の先端に設けられている。フラグセンサ１４はエレ
ベータステージ２が初期化状態の位置にセツトされると
同時にオンされる。

【００２８】図２に示すようにフラグセンサ１４が突起
部１２を検出すると（すなわちフラグセンサ１４の前に
突起部１２がきたとき）、回転軸７は自動的に停止す
る。このときエレベータステージ２が地面に対してなす
角度は０°、すなわちエレベータステージ２は地面に対
して水平の状態で停止する。また図３に示すようにフラ
グセンサ１４が突起部１３を検出すると（すなわちフラ
グセンサ１４の前に突起部１３がきたとき）、回転軸７
は自動的に停止する。このときエレベータステージ２は
ウエハキヤリア１５のウエハ搬出入口が持ち上がる方向
に30°傾斜した位置で停止するようになされている。

【００２９】ここで図２に示すようにフラグセンサ１４
の前に突起部１２があるときは、エレベータステージ２
は水平状態でロツクされているのでウエハ搬出入口側に
エレベータステージ２が傾斜することはない。同様に図
３に示すようにフラグセンサ１４の前に突起部１３があ
るときは、エレベータステージ２はウエハ搬出入口が持
ち上がる方向に30°傾斜した状態でロツクされているの
でこれ以上傾斜することはない。

【００３０】またウエハキヤリア１５をエレベータステ
ージ２に載せてエレベータステージ２を傾斜させたとき
にウエハ搬出入口が載置される側のエレベータステージ
２の縁の中央部に投光センサ１６（発光ダイオード）を
配設すると共に、投光センサ１６と対向する位置であ
り、かつウエハキヤリアの上面より上方位置に、投光セ
ンサ１６から送られる光を受ける受光センサ１７（フオ
トデイテクタ）を配設する。受光センサ１７を支持する
棒状の部材は駆動部３から延びている。

【００３１】ここで投光センサの側面１６Ａとウエハ搬
出入口面と受光センサの側面１７Ａとは一直線上にあ
る。従つてウエハがウエハキヤリア１５から少しでも飛
び出していたらこれを検出することができる。

【００３２】図２に示すように、投光センサ１６は、エ
レベータステージ２にウエハキヤリア１５を載せたとき
受光センサ１７に光を送出するようになされており、ウ
エハキヤリア１５からウエハが飛び出しているか否かを
判定する。すなわちエレベータステージ２にウエハキヤ
リア１５を載せたとき、受光センサ１７が投光センサ１
６から射出された光の一部だけを検出するとき又は投光
センサ１６からの光を全く検出できないときは、光の一
部又は全てがウエハによつて遮断されていることになる
ので、ウエハキヤリア１５からウエハが飛び出している
と判定することができる。従つて作業を中断し、ウエハ
をウエハキヤリア１５に再度セツトし直す。

【００３３】また投光センサ１６から射出された光の全
てを受光センサ１７が完全に検出したときは、ウエハキ
ヤリア１５からウエハが飛び出していないことになるの
で作業は継続して実行される。

【００３４】以上の構成において、図４に示すレジスト
灰化装置２０のエレベータ収容ボツクス２１内にエレベ
ータ装置１を２台設置して、エレベータステージ２を最
上部の位置（初期化状態の位置）にセツトする。エレベ
ータステージ２が初期化状態の位置にセツトされると同
時にフラグセンサ１４がオンし、モータ８を駆動させる
ことにより回転軸７をウエハ搬出入側に回転させてエレ
ベータステージ２を作業者側（すなわちウエハ搬出入口
とは正反対の方向）に傾斜させる。フラグセンサ１４が
突起部１３を検出すると回転軸７が自動的に停止し、図
３に示すようにエレベータステージ２は作業者側に約30
°傾斜した状態で停止する。このとき作業者はエレベー
タステージの上面（すなわちウエハキヤリアを載せる
面）を容易に見ることができる。

【００３５】次に作業者は、ウエハ搬出入口側が作業者
側とは正反対の側（すなわち投光センサ１６が配設され
ている側）に向くようにウエハキヤリア１５をエレベー
タステージ２に載せる。ここでエレベータステージ２は
作業者側に傾斜しているので、作業者はウエハキヤリア
１５をエレベータステージ２に容易に載せることができ
る。しかもウエハ搬出入口側が持ち上がることになるの
でウエハがウエハキヤリア１５から飛び出すことはな
い。

【００３６】ウエハキヤリア１５をエレベータステージ
２に載せた後、回転軸７を作業者側に回転させる。フラ
グセンサ１４が突起部１２を検出すると回転軸が自動的
に停止し、エレベータステージ２は地面に対して水平に
なつた状態で停止する。

【００３７】その後投光センサ１６から受光センサ１７
に向けて光を送出することにより、ウエハキヤリア１５
からウエハが飛び出していないかを検査する。受光セン
サ１７が光を全て検出している場合はウエハキヤリア１
５からウエハが飛び出していないことになるので、作業
を継続する。受光センサ１７が光を全て検出していない
場合はウエハキヤリア１５からウエハが飛び出している
ことになるので、ウエハをウエハキヤリア１５に再度セ
ツトし直す必要がある。

【００３８】その後ロボツトを作動させてウエハキヤリ
ア１５の最上段に収納されたウエハから最下段に収納さ
れたウエハまで順次石英ボード２２に搬入する。

【００３９】以上の構成によれば、ウエハキヤリア１５
をエレベータステージ２に載せるとき、フラグセンサ１
４を作動させてエレベータステージ２を作業者側に30°
傾斜させたことにより、ウエハ搬出入口を斜め上方に向
けてエレベータステージ２にウエハキヤリア１５を容易
に載せることができるので、ウエハキヤリア１５からウ
エハが飛び出す可能性が格段的に低下する。

【００４０】またエレベータステージ２にウエハキヤリ
ア１５を載せたときや、エレベータステージ２を地面に
対して水平状態に戻すときにウエハキヤリア１５からウ
エハが飛び出しても、投光センサ１６及び受光センサ１
７によつてこれを事前に検出し得るので、ウエハの飛出
しによる作業の中断がほとんど無くなり作業効率が向上
すると共に、ウエハを損傷させたり、ウエハキヤリア１
５を倒す危険性も低下する。

【００４１】なお上述の実施例においては、エレベータ
ステージ２を作業者側に30°傾斜させる場合について述
べたが、本発明はこれに限らず、作業者によつて身長が
異なるので、作業者に応じてエレベータステージ２の傾
斜角度を変えるようにしてもよい。

【００４２】また上述の実施例においては、受光センサ
１７を駆動部３から延びる部材の先端に設けて、投光セ
ンサ１６と対向する位置であり、かつウエハキヤリア１
５の上面より上方位置に設置する場合について述べた
が、本発明はこれに限らず、受光センサ１７をエレベー
タステージ２から延びる部材の先端に設けて投光センサ
１７と対向する位置であり、かつウエハキヤリア１５の
上面より上方位置に設置することにより、エレベータス
テージ２が傾斜している状態でもウエハキヤリア１５か
らのウエハの飛出しを検出できるようにしてもよい。

【００４３】また上述の実施例においては、フラグセン
サ１４を、駆動部３から延びる棒状の部材の先端に配設
する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、突
起部１２及び１３を検出できればフラグセンサ１４を支
持する部材を他のどこに設けてもよい。

【００４４】さらに上述の実施例においては、レジスト
灰化装置２０で使用するエレベータ装置の場合について
述べたが、本発明はこれに限らず、レジストを塗布して
現像するコータデベロツパ等のエレベータ装置を使用す
る装置であればはどのような装置に適用してもよい。

【００４５】

【発明の効果】上述のように本発明によれば、昇降装置
の昇降台に回動手段を配設し、半導体ウエハを収納する
容器を昇降台に載置するとき、回動手段によつて昇降台
を所定角度作業者側に傾斜させることにより、容器を簡
易かつ確実に昇降台に載置することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例におけるエレベータ装置の斜
視図である。

【図２】本発明の一実施例におけるエレベータ装置に設
けられたエレベータステージが水平状態（傾斜角度０
°）にあるときのウエハキヤリアの状態を示す略線図で
ある。

【図３】本発明の一実施例におけるエレベータ装置に設
けられたエレベータステージが傾斜（傾斜角度30°）し
たときのウエハキヤリアの状態を示す略線図である。

【図４】レジスト灰化装置の構成を示す斜視図である。

【図５】従来のエレベータ装置の斜視図である。

【図６】従来のエレベータ装置の側面図である。

【符号の説明】

１、２６……エレベータ装置、２、２７……エレベータ
ステージ、３、２８……駆動部、４、２９……台座、
５、３０……支持部材、６、３１……溝、７……回転
軸、８……モータ、９……歯車、１０、１１、３２、３
３……位置決めブロツク、１２、１３……突起部、１４
……フラグセンサ、１５……ウエハキヤリア、１６……
投光センサ、１７……受光センサ、２０……灰化装置、
２１……エレベータ収容ボツクス、２２……石英ボー
ド、２３……石英ボード収容ボツクス、２４……窓、２
５……ロボツト。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体ウエハを収納する容器が載置される
   昇降台を所定の高さに昇降させる昇降装置において、 所定の厚さを有する正方形状の部材でなる上記昇降台に
   回動手段を具え、 上記容器を上記昇降台に載置するとき、上記昇降台を上
   記回動手段によつて作業者側に所定角度傾斜させること
   を特徴とする昇降装置。
2. 【請求項２】上記昇降台は、 当該昇降台の底面に配設された円弧状の台座の円周上に
   形成された歯車と、 上記歯車の歯とかみ合う歯を有する回転手段と、 上記回転手段に配設され、上記回転手段を駆動させるモ
   ータ手段とを具えることを特徴とする請求項１に記載の
   昇降装置。
3. 【請求項３】上記歯車に、上記昇降台の第１の傾斜角及
   び第２の傾斜角を設定する第１の凸部及び第２の凸部を
   所定の間隔で配設すると共に、 上記第１の凸部及び上記第２の凸部を検出する検出手段
   を配設し、 上記検出手段が上記第１の凸部を検出すると上記回転手
   段が停止して、上記昇降台が上記第１の傾斜角で停止
   し、 上記検出手段が上記第２の凸部を検出すると上記回転手
   段が停止して、上記昇降台が上記第２の傾斜角で停止す
   ることを特徴とする請求項２に記載の昇降装置。
4. 【請求項４】上記容器は、上記昇降台の平面と平行に半
   導体ウエハを搬出入する搬出入口を有し、 上記搬出入口は、上記容器を上記昇降台に載置して上記
   昇降台を傾斜させたとき上記搬出入口が持ち上がるよう
   な向きに載置され、 上記容器を上記昇降台に載置して上記昇降台を傾斜させ
   たときに上記搬出入口が載置される側の上記昇降台の縁
   の中央部に発光手段を配設し、 上記発光手段と対向する位置であり、かつ上記容器の上
   面より上方位置に、上記発光手段から送られる光を受け
   る受光手段を配設し、 上記受光手段が上記発光手段から射出された光の一部だ
   けを検出したとき又は上記受光手段が上記発光手段から
   の光を全く検出できないときは、上記半導体ウエハが上
   記容器から飛び出していると判定して作業を停止し、 上記受光手段が上記発光手段から射出された光を全て検
   出したときは、上記半導体ウエハが上記容器から飛び出
   していないと判定して作業を継続することを特徴とする
   請求項１に記載の昇降装置。