JP2001210699A

JP2001210699A - 基板又は基板台在籍・正規位置確認装置及び確認方法

Info

Publication number: JP2001210699A
Application number: JP2000016035A
Authority: JP
Inventors: Kuniaki Horie; 邦明堀江; Kiwamu Tsukamoto; 究塚本; Hirotake Yamagishi; 博剛山岸; Yasumi Yamaguchi; 安美山口
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 2000-01-25
Filing date: 2000-01-25
Publication date: 2001-08-03

Abstract

(57)【要約】【課題】収納器の収納段に基板又は基板台が収納され
ているか否かを確認する在籍確認と、該基板又は基板台
が正規位置にあるか否かを確認する正規位置確認とがで
きる基板又は基板台在籍・正規位置確認装置及び確認方
法を提供する。【解決手段】収納された基板又は基板台の面に対して
垂直方向に移動する移動機構を具備する収納器内に収納
された基板又は基板台の在籍及び正規位置を確認する基
板又は基板台在籍・正規位置確認装置であって、収納器
１の開放部方向の基板又は基板台２の面に対して斜め或
いは同一面位置に光を使用して基板又は基板台２との距
離を計測する少なくとも１個のセンサを設置し、センサ
で該センサから収納器１内に収納された基板又は基板台
２の端部或いは周辺部までの距離を該収納器１を移動機
構で移動する時に計測し、該距離情報と収納器の移動距
離情報とから基板又は基板台の在籍及び正規位置を確認
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は収納器に設置された
基板又は基板台の在籍及び正規位置を確認する基板又は
基板台在籍・正規位置確認装置及び確認方法、更に該基
板又は基板台在籍・正規位置確認装置及び確認方法を利
用した装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハ等の基板をロボット等の搬
送手段を用いて各種処理工程に迅速正確に搬送し、基板
に処理を施すには、これら基板がそれを収容する収納器
に在籍しているか否か、在籍している場合は基板が正規
位置にあるか否かを確認しなければならない。そのため
に収納器に収納されている基板の在籍確認及び基板が正
規位置にあるかを確認するための基板又は基板台在籍・
正規位置確認装置が用いられている。

【０００３】図１は従来のこの種の基板又は基板台在籍
・正規位置確認装置の構成例を示す図である。図１にお
いて、１は基板又は基板台２を収納する収納器であり、
該収納器には図示は省略するが基板又は基板台２を載置
する複数の収納段が設けられている。該収納段に１枚ず
つ収容された基板又は基板台２は、収納器１に基板又は
基板台２を出し入れするための開放部１ａにその一部が
露出している。

【０００４】上記収納器１を載置する収納器載置台３に
は、収納器１が在籍し正規位置に載置されているか否か
を確認する収納器在籍・正規位置確認用リミットスイッ
チ４−１、４−２が設けられている。また、収納器１を
挟んで対向する位置に収納器１の各段に基板又は基板台
２が在籍するか否かを確認する基板在籍確認用透過セン
サ５−１、５−２が設けられ、更に、基板又は基板台２
が正規位置にあるか否かを確認する基板正規位置確認用
透過センサ６−１、６−２が収納器１の開放部１ａを挟
んで上下に設けられている。

【０００５】上記構成の基板又は基板台在籍・正規位置
確認装置において、例えば基板又は基板台２の在籍確認
には、基板又は基板台２と基板在籍確認用透過センサ５
−１、５−２を相対的に移動し、該基板在籍確認用透過
センサ５−１、５−２の遮光・透光により、各収納段に
基板又は基板台２が在籍か未在籍かを確認している。こ
のような基板在籍確認用透過センサ５−１、５−２は収
納器１の開放部にしか設けられないという制約がある
（収納器によっては側壁に光を透光する隙間が設けられ
ていないものもある）。また、収納器在籍・正規位置確
認用リミットスイッチ４−１、４−２、基板在籍確認用
透過センサ５−１、５−２、基板正規位置確認用透過セ
ンサ６−１、６−２というように、１用途に少なくとも
１個センサを要するという問題もある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上述の点に鑑
みてなされたもので、収納器の収納段に基板又は基板台
が収納されているか否かを確認する在籍確認と、該基板
又は基板台が正規位置にあるか否かを確認する正規位置
確認とができる基板又は基板台在籍・正規位置確認装置
及び確認方法を提供することを目的とする。

【０００７】また、本発明の他の目的は、収納器を移動
することなくセンサの回転角度を変えることで、上記基
板在籍確認と基板又は基板台が収納段内の所定位置に位
置しているか否かを確認する基板正規位置確認とを同時
に行うことができる基板又は基板台在籍・正規位置確認
装置及び確認方法を提供することにある。

【０００８】また、本発明の他の目的は、少なくとも１
個の距離センサを用いて基板在籍の確認、基板正規の位
置、収納器在籍の確認及び収納器正規位置の確認の４つ
の確認が可能な基板又は基板台在籍・正規位置確認装置
及び確認方法を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１に記載の発明は、収納された基板又は基板
台の面に対して垂直方向に相対的に移動する移動機構を
具備する収納器内に設置された基板又は基板台の在籍及
び／又は正規位置を確認する基板又は基板台在籍・正規
位置確認装置であって、収納器の開放部方向の基板又は
基板台の面に対して斜め或いは同一面位置で基板又は基
板台との距離を計測する少なくとも１個のセンサを設置
し、センサで該センサから収納器内に設置された基板又
は基板台の端部或いは周辺部までの距離を該収納器と基
板、基板台の相対的な移動時に計測し、該距離情報と収
納器と基板、基板台の相対的移動距離情報とから基板又
は基板台の在籍及び／又は正規位置を確認することを特
徴とする。なお、距離を測定するセンサには、例えば
光、レーザ等を使用したものがある。

【００１０】上記のように移動機構で例えば収納器を移
動させながら、センサで該センサから収納器内に収納さ
れた基板又は基板台の端部或いは周辺部までの距離を測
定するので、少なくとも１個のセンサがあれば、そのセ
ンサの距離測定方向を有する垂直面内での収納器内の基
板又は基板台の端部の高さを演算することで、収納器の
収納段に基板又は基板台があるか否か、また収納段への
基板又は基板台の載置状況を把握できるので、基板又は
基板台の異常載置状況をおおよそ推定できる。また、少
なくとも２個のセンサがあれば、２個のセンサの距離方
向を有する２つの垂直面内での収納器内の基板又は基板
台の端部の高さを演算することで、より正確に上記内容
を推定できる。

【００１１】また、請求項２に記載の発明は、収納器内
に設置された基板又は基板台の在籍及び正規位置を確認
する基板又は基板台の在籍・正規位置確認装置であっ
て、収納器の開放部方向の基板又は基板台の面に対して
斜め或いは収納器の開放部正面位置に基板又は基板台と
の距離を測定する少なくとも１個のセンサを設置すると
共に、該センサを回動させることにより該センサからの
信号を収納器内に設置された基板又は基板台の配列方向
に沿って移動させる回動機構を設け、センサを回動機構
で回動させることにより該センサの回動角情報と該セン
サから基板又は基板台の端部或いは周辺部までの距離情
報から基板の在籍及び／又は基板の正規位置を確認する
ことを特徴とする。なお、距離を測定するセンサには、
例えば光、レーザ等を使用したものがある。

【００１２】上記のように回動機構でセンサを回動させ
ながら、回動角情報と該センサから基板又は基板台の端
部或いは周辺部までの距離情報から基板の在籍、基板の
正規位置を確認するので、少なくとも１個のセンサがあ
れば、収納器の収納段の基板又は基板台があるか否か、
該収納段の正規位置に基板又は基板台が収納されている
か否か、収納器内の基板又は基板台の高さを確認ができ
る。

【００１３】また、請求項３に記載の発明は、請求項１
又は２に記載の基板又は基板台在籍・正規位置確認装置
を用いて基板又は基板台を収納する収納器の在籍確認及
び／又は正規位置の設置確認を行うことを特徴とする装
置にある。

【００１４】請求項１及び２に記載の基板又は基板台在
籍・正規位置確認装置は、基板又は基板台の有無及び該
基板又は基板台の正規位置への設置を確認できるのみで
はなく、該基板又は基板台を収納した収納器の有無及び
該収納器が正規位置に設置されているか否かを確認する
機能も有するので、この機能を用いて収納器の在籍及び
／又は正規位置設置を確認する装置を構成する。

【００１５】また、請求項４に記載の発明は、収納器に
設置された基板又は基板台と少なくとも１個のセンサを
該基板又は基板台面に対して垂直方向に相対的に移動
し、該センサから基板又は基板台までの距離情報の変化
により、該基板又は基板台の収納器内での正規載置及び
斜め載置、未載置、はみ出し載置、複数枚同一段載置等
の異常載置状況を把握し確認することを特徴とする基板
又は基板台の在籍・正規位置確認方法にある。

【００１６】また、請求項５に記載の発明は、収納器内
部に設置された基板又は基板台に対して少なくとも１個
のセンサを該センサから発する信号が該基板又は基板台
の配列方向に沿って移動するように回動させ、該センサ
の回動角情報と該センサから基板又は基板台の端部或い
は周辺部までの距離情報から、該基板又は基板台の収納
器内での正規載置及び斜め載置、未載置、はみ出し載
置、複数枚同一段載置等の異常載置状況を把握し確認す
ることを特徴とする。

【００１７】基板又は基板台の在籍・正規位置確認方法
を上記のように構成することにより、少なくとも１個の
センサがあれば、収納器内での基板の正規載置、斜め載
置、未載置、はみ出し載置、複数枚同一段載置を把握し
確認することができる。

【００１８】また、センサが２個あればセンサの誤差内
で上記情報をほぼ特定できるので、正確な測定が可能で
ある。しかし、センサ１個の場合でも収納器内で実際に
載置可能な範囲内でのエラー要素は判別可能である。例
えば、正規段位置内でどこに置かれているかは判別でき
ないが、斜め載置、未載置、はみ出し載置、複数枚載置
は判別できる。斜め載置とはみ出し載置を混同する場合
もあるが、エラーとしては判別できる。また、正規段位
置内での載置位置ずれも基板のずれが機械的に制限さ
れ、搬送可能な場合はセンサ１個で十分な判別となる。

【００１９】また、請求項１乃至３に記載の装置或いは
請求項４及び５に記載の方法のいずれか１つ又は２以上
を利用したことを特徴とする基板又は基板台の搬送装置
にある。

【００２０】請求項１乃至３に記載の装置或いは請求項
４及び５に記載の方法は、収納器の収納段に基板又は基
板台が在籍するか、正規位置に収納されているか確認で
きるから、基板又は基板台の存在する高さ（Ｚ方向の位
置）、位置（Ｘ、Ｙ方向の位置）を特定ができ、別途基
板搬送用治具（例えばロボットハンド）を特定した位置
に合わせて移動できるので、搬送ミスを低減できる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例を図
面に基づいて説明する。図２は本発明に係る基板又は基
板台在籍・正規位置確認装置の構成例を示す図である。
１は基板又は基板台２を収納する収納段（図示せず）を
有する収納器であり、該収納器１は例えばロードロック
室（Ｌ／Ｌ室）のような収納室１０に収容されている。
該収納室１０には収納器１を載置する収納器載置台１１
が設けられており、該収納器載置台１１は移動機構１２
で基板又は基板台２の基板面に対して垂直方向（図では
上下方向）に移動できるようになっている。

【００２２】収納室の上部又は下部には（いずれか一方
でよい）距離センサ１３又は距離センサ１５が設けられ
ており、該距離センサ１３又は距離センサ１５は光を透
光窓１４又は透光窓１６を通して収容器１内に収容され
た基板又は基板台２の面に対して斜め位置に投光するよ
うに設けられている。ここで、距離センサ１３又は距離
センサ１５の設置位置は既知であるから、移動機構１２
により収容器１の上下方向の移動距離がわかれば、その
移動距離に相当する収容段に基板又は基板台２があるか
否かを確認できる。

【００２３】即ち、ある収納段に収納された基板又は基
板台２の端部或いは周辺部に距離センサ１３又は距離セ
ンサ１５からの光ｌ₁又はｌ₂が照射される位置に収納器
１を上下方向に移動させることにより、例えば距離情報
の極値（極大値又は極小値）から、図２に示す各々基板
又は基板台２間の間隔Δｈｎがわかる。これにより、基
板又は基板台２の基準面Ｌ₀からの高さを演算｛Ｈ＝Ｈ₀
−（ｈ＋Δｈ₂）｝することができる。

【００２４】距離センサ１３又は１５は１個でも基本的
には大方用は足す。即ち、図３（ａ）に示すように、距
離センサ１３が１個の場合でも、収納器１内で実際に載
置可能な範囲内でのエラー要素は判別可能である。例え
ば、正規段位置内で基板又は基板台２がどこに置かれて
いるかは判別できないが、斜め載置、未載置、はみ出し
載置、複数枚載置は判別できる。斜め載置とはみ出し載
置を混同する場合もあるが、エラーとしては判別でき
る。また、正規段位置内での載置位置ずれも基板又は基
板台２のずれが機械的に制限され、搬送可能な場合はセ
ンサ１個で十分な判別となる。図３（ｂ）に示すように
少なくとも２個の距離センサ１３−１及び１３−２を設
けた場合は、基板又は基板台２の直径公差の範囲内でよ
り正確に該基板又は基板台２が正規位置にあるか否かも
確認できる。

【００２５】図４は本発明に係る基板又は基板台在籍・
正規位置確認装置の他の構成例を示す図である。同図に
おいて、図２と同一符号を付した部分は同一又は相当部
分を示す。基板又は基板台２を収納した収納器１は収納
室１０の所定の位置に設置され固定されており、収納室
１０の上部に設けた距離センサ１７は支軸１７ａを介し
て矢印Ａ方向に示すように回動できるようになってい
る。即ち、距離センサ１７からの光が収納器１の収納段
に収納された基板又は基板台２の配列方向（図では上下
方向）に沿って移動できるように、距離センサ１７を支
軸１７ａを介して図示しない回動機構により回動できる
ようになっている。

【００２６】上記構成の基板の在籍及び正規位置確認装
置において、距離センサ１７の設置位置（支軸１７ａの
位置）は既知であり、収納器１の固定位置、大きさ、収
納段の位置が既知であるから、各収納段の正規の位置に
基板又は基板台２が収納されていれば図４の距離ａ、ｂ
は既知であるから、距離センサ１７から基板又は基板台
２の端部又は周辺部までの正規の距離ｃはｃ＝（ａ²＋
ｂ²）^1/2となり算出できる。したがって、距離センサ１
７を支軸１７ａを中心に回動し、正規の距離ｃになる回
動角で反射光を検出できれば、基板又は基板台２が存在
し、しかも正規位置にあることを確認できる。

【００２７】この場合も距離センサの個数は図３で説明
したのと同様、基本的にはセンサ１個でも大方用は足す
が、２個だと基板直径の公差の範囲内でより正確に把握
できる。また、上記例では距離センサ１７を収納器１の
上方に位置するように設けたが、これに限定されるもの
ではなく収納器の下方に位置するように設けてもよい。

【００２８】なお、図２及び図４に示す基板の在籍及び
正規位置確認装置において、距離センサ１３、１５、１
７は収納器１の上方又は下方から光を投光するように構
成しているが、収納器１の開放部正面から投光するよう
にしてもよい。一般的に距離センサを図２及び図４に示
す収納器１の上方又は下方に設けることにより、基板又
は基板台２を収納器１から出し入れするロボットハンド
等の搬送治具が距離センサと干渉しないが、距離センサ
を収納器１の開放部正面に設置した場合は、搬送治具と
干渉する恐れがあるので、センサを移動させる機構を設
ける必要がある。

【００２９】また、上記図２及び図４に示す基板の在籍
及び正規位置確認装置を設置することにより、距離セン
サ１３又は１５或いは距離センサ１７で収納器１までの
距離、位置も検知できるから、収納室１０に収納器１が
設置されているか否か、また収納器１の形状を予め入力
しておくことで、収納器１が正規位置に配置されている
か否かを確認することもできる。即ち、収納器１の在籍
の確認及び正規位置設置の確認を行う装置も構成でき
る。従って、従来のように収納器の在籍確認、正規位置
設置確認のためのセンサを設ける必要がない。

【００３０】図５は本発明に係る基板又は基板台在籍・
正規位置確認方法を実施する装置の概略構成を示す図で
ある。本確認方法は、図示するように距離を測定するセ
ンサ１８を具備し、該センサ１８を収納器に収納された
基板又は基板台２の基板面に対して垂直方向に移動させ
ることにより、該センサ１８で距離測定する方向に最も
近い基板又は基板台２までの距離情報の変化から、基板
又は基板台２が収納器の収納段に収納されているか否
か、正規位置に載置されているか否か、斜め載置か否
か、はみ出し載置か否か、複数枚の同一収納段への載置
であるか否かを把握し、確認する方法である。

【００３１】なお、図５ではセンサ１８を基板又は基板
台２の面に対して垂直方向に移動しているが、基板又は
基板台２を収納した収納器１を移動するようにしてもよ
いことは当然である。また、センサ１８が１個の場合
は、図２及び図４の場合と同様、収納器１内で実際に載
置可能な範囲内でのエラー要素は判別可能であるが、図
３（ｂ）に示すように少なくともセンサ１８を２個とし
た場合は、基板又は基板台２の直径公差の範囲内でより
正確に該基板又は基板台２が正規位置にあるか否かも確
認できる。

【００３２】図６はセンサ１８で測定した該センサ１８
から基板又は基板台２までの距離情報例を示す図であ
る。同図において、縦軸はセンサ１８からの距離Ｌを示
し、横軸は収納室壁面位置、収納器上壁位１及び収納段
数Ｎの位置を示す。センサ１８からの距離Ｌより、距離
ＬがＬ₁₀、Ｌ₁であったら、それぞれ収納室１０の側
壁、収納器１壁面と判別し、収納段数Ｎの範囲で距離Ｌ
の変化により、基板の収納状態を判断する。

【００３３】図６では、４段目の収納段には２枚の基板
又は基板台２が収納され、７段目の収納段は未収納、１
０段、１１段目の収納段には基板又は基板台２が斜めに
収納、１３段目の収納段には基板又は基板台２が少し前
にずれて収納されていることが推定される。

【００３４】上記基板又は基板台在籍・正規位置確認装
置及び確認方法で、例えば基板が水平に収納する収納器
を上下に移動される例で考えると、下記の事項が可能と
なる。

【００３５】収納器が正規位置に載置されているか否
かの確認。

【００３６】収納器の収納段の正規位置に基板が収納
されているか否かの確認。

【００３７】収納器内の基板の高さ確認。

【００３８】また、上記及びの情報により、基板の存在する高さ（Ｚ方向の位置）、位置（Ｘ、Ｙ
方向の位置）を特定ができ（基板の直径がわかっている
ので、基板位置を基板に与えられている公差の範囲内で
特定できる）、別途基板搬送用治具（例えばロボットハ
ンド）を特定した位置に合わせてロボット等で移動でき
るので、搬送ミスを低減できる。

【００３９】また、収納器が樹脂製のカセット等の場
合、基板の収納されるＺ方向、Ｘ、Ｙ方向位置ともかな
りの幅が存在する。そのため、例えば真空装置で円型の
ハンド内に基板を収納するような搬送治具を使用する場
合、Ｘ、Ｙ方向にかなりの裕度をもった搬送治具を使用
する必要があった。そのため、搬送治具を加減速して移
動した場合、搬送治具内で基板が滑り易くパーティクル
が発生してしまう。或いは加減速が更に急である場合、
基板が搬送治具から落下してしまうことが考えられる。
しかし、本発明に係る基板又は基板台在籍・正規位置確
認装置及び確認方法によれば、基板の収納されるＺ方
向、Ｘ、Ｙ方向位置を特定できるため基板の公差分の余
裕のみを考慮して上記搬送治具の収納部サイズを決定で
きるので、急加減速をしても、搬送治具内でのすべり、
搬送治具からの落下の問題が殆どなくなった。

【００４０】図７は基板又は基板台在籍・正規位置確認
装置及び確認方法を利用する基板の真空処理装置の平面
構成を示す図である。本真空処理装置は、中央に搬送室
２０が配置され、該搬送室２０の回りに基板を収納する
収納器３４を収容するロードロック（Ｌ／Ｌ）室２１、
２２、基板又は基板台を複数枚載置できる基板台載置室
２３、基板に処理を施す真空処理室２４、２５、２６が
配置されている。

【００４１】ロードロック室２１、２２はいずれも収納
器３４を昇降させる昇降機構が設けられ、基板台載置室
２３にも基板台を昇降させる昇降機構が設けられてい
る。また、搬送室２０とロードロック（Ｌ／Ｌ）室２
１、２２の間、搬送室２０と基板台載置室２３の間、搬
送室２０と処理室２４、２５、２６の間にはそれぞれゲ
ート２７、２８、２９、３０、３１、３２が配置されて
いる。搬送室２０の内部にはロボット３３が配置されて
いる。

【００４２】上記構成の真空処理装置において、搬送室
２０のロボット３３はそのハンドにより、基板台載置室
２３から基板台を１枚ずつピックアップして処理室２
４、２５、２６の所定位置に搬入し、設置する。続いて
ロボット３３はそのハンドにより、ロードロック（Ｌ／
Ｌ）室２１、２２から１枚ずつ基板をピックアップし、
処理室２４、２５、２６内に搬入し、前記設置した基板
台に該基板を載置し、所定の真空処理をおこなう。ま
た、真空処理の終了した基板はロボット３３のハンドに
よりピックアップされ、ロードロック（Ｌ／Ｌ）室２
１、２２内の収納器３４内に収納する。

【００４３】また、基板台は所定枚数の基板が真空処理
されると、反応性生物等の付着量が所定量以上となるか
ら、洗浄等のためロボット３３のハンドによりピックア
ップされ、基板台載置室２３に搬送され、その収納段に
収納される。

【００４４】ロードロック室２１、２２の上部外壁には
距離センサ３３−１、３３−２が設置され、収納器３
４、３４に収納されている基板との距離等を昇降機構で
収納器３４を昇降させながら計測しておく、搬送室２０
のロボットは距離センサ３３−１、３３−２で測定した
基板と距離情報、即ち基板の位置情報に従い、基板の搬
出が可能となる。基板台載置室２３の上部外壁にも距離
センサ３３−１、３３−２が設置されており、上記と同
様の操作により距離センサ３３−１、３３−２と基板台
との距離を測定できるようになっている。従って、上記
と同様、距離センサ３３−１、３３−２で測定した基板
との距離情報に従い、基板の搬出が可能となる。

【００４５】図７に示す基板の真空処理装置ではロード
ロック室２１、２２及び基板台載置室２３に図２に示す
基板又は基板台在籍・正規位置確認装置の距離センサを
設置し、収納器又は基板台を昇降させてセンサと基板又
は基板台間の距離を測定する例を示したが、これに限定
されるものではなく、収納器に収納された基板又は基板
台載置室２３に載置された基板台に対して距離センサを
昇降させるようにしてもよい。また、図４に示すように
回動しながら基板又は基板台との距離を測定する距離セ
ンサでもよい。また、図５に示すように、該センサで測
定する基板までの距離情報の変化から基板の位置を把握
する方法でもよい。

【００４６】また、本発明に係る基板又は基板台在籍・
正規位置確認装置及び確認方法は、真空処理装置に限ら
ず、基板搬送装置等の基板を取り扱う装置に広く利用で
きる。

【００４７】なお、距離センサ１３、１５、１８として
は、光を利用したもの又はレーザビームを利用したもの
等を用いる。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように各請求項に記載の発
明によれば下記のような優れた効果が期待できる。

【００４９】請求項１に記載の発明によれば、移動機構
で収納器を移動させながら、センサで該センサから収納
器内に収納された基板又は基板台の端部或いは周辺部ま
での距離を測定するので、少なくとも１個のセンサがあ
れば、収納器の収納段の基板又は基板台があるか否か、
又少なくとも２個のセンサがあれば該収納段の正規位置
に基板又は基板台が収納されているか否か、収納器内の
基板又は基板台の高さを演算することにより確認ができ
る。

【００５０】請求項２に記載の発明によれば、回動機構
でセンサを回動させながら、回動角度情報と該センサか
ら基板又は基板台の端部或いは周辺部までの距離情報か
ら基板の在籍、基板の正規位置を確認するので、少なく
とも１個のセンサがあれば、収納器の収納段の基板又は
基板台があるか否か、該収納段の正規位置に基板又は基
板台が収納されているか否か、収納器内の基板又は基板
台の高さを確認ができる。

【００５１】また、請求項３に記載の発明によれば、請
求項１及び２に記載の基板又は基板台在籍・正規位置確
認装置は、基板又は基板台の有無及び該基板又は基板台
の正規位置への設置を確認するのみではなく、該基板又
は基板台を収納した収納器の有無及び該収納器が正規位
置に設置されているか否かを確認する機能も有するの
で、この機能を用いて収納器の在籍及び／又は正規位置
設置を確認することができる。

【００５２】また、請求項４及び５に記載の発明によれ
ば、少なくとも１個のセンサがあれば、収納器内での基
板の正規載置、斜め載置、未載置、はみ出し載置、複数
枚同一段載置を把握し確認することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の基板又は基板台在籍・正規位置確認装置
の構成例を示す図である。

【図２】本発明に係る基板又は基板台在籍・正規位置確
認装置の構成例を示す図である。

【図３】センサと基板又は基板台との関係を示す図で、
同図（ａ）はセンサが１個の場合、同図（ｂ）はセンサ
が２個の場合を示す図である。

【図４】本発明に係る基板又は基板台在籍・正規位置確
認装置の構成例を示す図である。

【図５】本発明に係る基板台在籍・正規位置確認方法を
実施する装置の概略構成を示す図である。

【図６】本発明に係る基板台在籍・正規位置確認方法の
距離情報と基板収納段数の関係を示す図である。

【図７】本発明に係る基板又は基板台在籍・正規位置確
認装置及び確認方法を利用する真空処理装置の構成例を
示す図である。

【符号の説明】

１収納器２基板又は基板台１０収納室１１収納器載置台１２移動機構１３距離センサ１４透光窓１５距離センサ１６透光窓１７距離センサ１８センサ２０搬送室２１ロードロック室２２ロードロック室２３基板台載置室２４処理室２５処理室２６処理室２７〜３２ゲート３３ロボット３４基板収納器３５基板台収納器

フロントページの続き (72)発明者山岸博剛東京都大田区羽田旭町11番１号株式会社荏原製作所内 (72)発明者山口安美東京都大田区羽田旭町11番１号株式会社荏原製作所内Ｆターム(参考） 2F069 AA01 AA83 AA93 BB15 CC07 DD12 GG04 GG07 GG12 GG14 GG71 HH09 JJ10 MM23 MM34 5F031 CA02 DA01 DA13 FA01 FA03 FA07 FA11 FA12 GA24 GA25 GA45 JA06 JA13 JA14 JA17 JA22 JA25 JA32 MA04 MA21

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】収納された基板又は基板台の面に対して
垂直方向に相対的に移動する移動機構を具備する収納器
内に設置された基板又は基板台の在籍及び／又は正規位
置を確認する基板又は基板台在籍・正規位置確認装置で
あって、前記収納器の開放部方向の基板又は基板台の面に対して
斜め或いは同一面位置で基板又は基板台との距離を計測
する少なくとも１個のセンサを設置し、前記センサで該センサから収納器内に設置された基板又
は基板台の端部或いは周辺部までの距離を該収納器と基
板、基板台の相対的な移動時に計測し、該距離情報と前
記収納器と基板、基板台の相対的移動距離情報とから基
板又は基板台の在籍及び／又は正規位置を確認すること
を特徴とする基板又は基板台在籍・正規位置確認装置。
【請求項２】収納器内に設置された基板又は基板台の
在籍及び正規位置を確認する基板又は基板台の在籍・正
規位置確認装置であって、前記収納器の開放部方向の基板又は基板台の面に対して
斜め或いは収納器の開放部正面位置に基板又は基板台と
の距離を測定する少なくとも１個のセンサを設置すると
共に、該センサを回動させることにより該センサからの
信号を前記収納器内に設置された基板又は基板台の配列
方向に沿って移動させる回動機構を設け、前記センサを前記回動機構で回動させることにより該セ
ンサの回動角情報と該センサから基板又は基板台の端部
或いは周辺部までの距離情報から基板の在籍及び／又は
基板の正規位置を確認することを特徴とする基板又は基
板台の在籍・正規位置確認装置。
【請求項３】請求項１又は２に記載の基板又は基板台
の在籍・正規位置確認装置を用いて基板又は基板台を収
納する収納器の在籍確認及び／又は正規位置の設置確認
を行うことを特徴とする装置。
【請求項４】収納器に設置された基板又は基板台と少
なくとも１個のセンサを該基板又は基板台面に対して垂
直方向に相対的に移動し、該センサから基板又は基板台
までの距離情報の変化により、該基板又は基板台の前記
収納器内での正規載置及び斜め載置、未載置、はみ出し
載置、複数枚同一段載置等の異常載置状況を把握し確認
することを特徴とする基板又は基板台の在籍・正規位置
確認方法。
【請求項５】収納器内部に設置された基板又は基板台
に対して少なくとも１個のセンサを該センサから発する
信号が該基板又は基板台の配列方向に沿って移動するよ
うに回動させ、該センサの回動角情報と該センサから基
板又は基板台の端部或いは周辺部までの距離情報から、
該基板又は基板台の収納器内での正規載置及び斜め載
置、未載置、はみ出し載置、複数枚同一段載置等の異常
載置状況を把握し確認することを特徴とする基板又は基
板台の在籍・正規位置確認方法。