JP6751636B2 - アライメント装置、同アライメント装置を備えた半導体ウエハ処理装置及びアライメント方法 - Google Patents

Description

本願の発明は、半導体ウエハ処理装置において、ウエハを処理する各種工程の前後で、ウエハの結晶方位を所定の向きに正確に合わせるために使用されるアライメント装置に関し、特に、１台のアライメント装置で、複数のウエハをアライメントすることができるようにして、装置のスループットを向上させたアライメント装置に関する。
また、本願の発明は、同アライメント装置を備えた半導体ウエハ処理装置、同アライメント装置を使用するアライメント方法にも関する。

一般に、半導体デバイスの製造工程においては、被処理基板としての半導体ウエハ（以下、ウエハという）にフォトレジストを塗布し、回路のパターンを焼き付けるパターニング工程や、様々な膜を形成する成膜工程や、ウエハ上の不要な部分や膜を除去するエッチング工程などの一連の処理工程が実施されている。

ウエハにある処理を施す場合、パターニング工程では当然であるが、他の工程でも、ウエハの結晶方位を所定の向きに保った状態で所定の処理を行うことが好ましい。このため、一般に、ウエハのエッジには、Ｕ字状又はＶ字状に切欠かれたノッチを設け、処理されるウエハのノッチの周方向位置をノッチ検出センサによって検出して、この検出データに基づき、ノッチの位置を所定の周方向の位置に合わせて位置決め（すなわち、アライメント）するアライメント装置が用いられている。このようにして、ウエハの方位を所定の向きに保持された状態の複数のウエハは、ロボットにより、次の処理工程へと搬送される。

ところで、このようなアライメント装置は、ソータと呼ばれる特殊な装置内に設置されて使用されることがある。このソータ（ソーティング装置）は、例えば、２つのロードポートと、１台もしくは２台のウエハ搬送ロボットと、１台もしくは２台のアライメント装置を備えている。各ロードポートは、複数のウエハを収容する容器（例えば、ＦＯＵＰ）の蓋を、外気の流入を遮断した状態の下で開閉する蓋開閉機構を備える。ここで、一方のロードポートには、方位が不揃いな複数のウエハを収容したＦＯＵＰが載置される。そして、他方のロードポートには、空のＦＯＵＰが載置される。ロボットは、一方のロードポートのＦＯＵＰから、方位が不揃いな複数のウエハの内の１枚（もしくは２枚）を抜き出し、アライメント装置に移載する。そして、アライメント装置がウエハの方位を所定の向きに揃え、その後、ロボットがこのウエハをアライメント装置から取り出し、待機する他方のロードポートのＦＯＵＰに移載する。この作業を繰り返すことで、一方のロードポートにおけるＦＯＵＰ内のウエハは、他方のロードポートにおけるＦＯＵＰ内に、方位が所定の向きに揃えられた状態で移し替えられる。

現在、ソータでは、アライメント装置を２台備えることがある。しかし、この場合、単純に１台増加させて、２台並べて設置するのでは、ソータのフットプリントの増加を招いて、装置のスループットを低減させてしまう。
また、アライメント装置では、ウエハの方位を正確に合わせるのに加え、ウエハに刻印されているＩＤを読み取ることもある。

ところで、ソータに、アライメント装置を２台搭載させる代わりに、１台で２枚のウエハをアライメントできるアライメント装置（以下、Ｗウエハアライメント装置という）を搭載させることが考えられる。
このアライメント装置は、１台の装置本体に対して、２台のウエハ載置台、２つのノッチ検出手段、及び２つのＩＤ読み取り手段が設けられることから、一般に、装置が複雑化すると共に、装置のコストが上昇する。

Ｗウエハアライメント装置の例として、特許文献１に記載のものがある。このものでは、ウエハを搬送するロボットが、２枚のウエハを同時に上下方向に重ねた状態でアライメント装置に移載し、アライメント装置において、２枚のウエハを同時にアライメントし、次いで、ロボットが、２枚のウエハを同時にアライメント装置から取り出すことで、アライメント時間を短くしている。

特許第５４５２１６６号公報 特許第４７２０７９０号公報

しかしながら、２枚のウエハが水平方向に横並びにされた状態でアライメントされるため、ロボットがアライメント装置に２枚のウエハを移載した後、及びロボットがアライメント装置から２枚のウエハを取り出す前に、アライメント装置は、２枚のウエハの保持姿勢を変える必要がある。その結果、装置のスループットが下がってしまう。

また、特許文献１に記載のアライメント装置では、アライメント装置からロボットがウエハを取り出す時、ロボット側でアームの位置調整が必要な構造になっている。すなわち、ロボットのアームのウエハ載置部(ハンド)の中心と、アライメント装置上のウエハの中心とが一致するように、アライメント装置で検知したウエハ中心の情報をもとに、ロボットが、ウエハ毎にアームを微調整し、ウエハを取り出す構造になっている。この微調整の時間がロスになり、装置のスループットが下がるという問題がある。

さらに、特許文献１に記載のアライメント装置では、ウエハに刻印されたＩＤを読み取る手段が明らかにされておらず、これを、別途、ウエハ１枚につき１台として、単純に装備するとなると、アライメント装置全体の大きさが大きくなり、かつ、ＩＤ読み取り装置は高価であるため、アライメント装置のコストが上昇する。

また、Ｗウエハアライメント装置の別の例として、特許文献２に記載のものがある。このものは、１台のアライメント装置で２枚のウエハをアライメントできる点、２枚のウエハをウエハ搬送ロボットで一度に搬送できる点で、特許文献１のアライメント装置と同じであるが、次の点で異なっている。

すなわち、特許文献２に記載のアライメント装置は、ウエハを載せて把持するグリップ部（ウエハ載置台に相当）を同軸上に３層有している。そして、いずれか２層のグリップ部に把持された２枚のウエハは、別々に回転されるのではなく、２枚一緒に回転され、それぞれのウエハのノッチの位置が検出されるが、検出されたノッチの位置の情報に基づいて行われる２枚のウエハのアライメントは、同時に行われるのではなく、別々に行われる。先ず、１枚目のウエハのアライメントが行われると、このウエハが取り出されて、新しい３枚目のウエハが、残りの層のグリップ部に載せられて把持される。次いで、２枚目のウエハと３枚目のウエハが一緒に回転して、２枚目のウエハのアライメントが行われる。以下、詳しい動作の説明を省略するが、このアライメント装置では、いずれか２層のグリップ部に把持された２枚のウエハは、一緒に回転され、それぞれのノッチ位置の検出が行われるが、同時にアライメントされることはない。

このように、特許文献２に記載のアライメント装置では、２枚のウエハのアライメントが同時に行われないので、この点で、装置のスループット向上の余地がなお残されている。
さらに、この装置では、ウエハのＩＤ読み取り装置が、ウエハ毎に別置となる構造であるので、装置が大型化し、装置コストが上昇するという問題もある。

本願の発明の目的は、１台のアライメント装置で、複数のウエハを同時にアライメントすることができ、複数のウエハのＩＤの読み取りもできるアライメント装置を提供することにある。また、本願の発明の目的は、装置がコンパクトで、コストが安く、装置のスループットも高く、さらに、隣り合う複数のウエハが干渉することなく、安全にアライメント及びＩＤ読み取りを行うことができるアライメント装置を提供することにある。
さらに、本願の発明の目的は、このようなアライメント装置を備えた半導体ウエハ処理装置、同アライメント装置を使用するアライメント方法を提供することにある。

前記のような課題は、本願の特許請求の範囲の各請求項に記載された次のような発明により解決される。
すなわち、その請求項１に記載された発明は、ウエハのエッジに設けられた切欠き部を、周方向における所定の位置に位置合わせするためのアライメント装置であって、前記ウエハが載置され、水平面内に並べて配置された複数の載置台と、前記載置台をそれぞれ回転させると共に、前記水平面内における所定の方向にそれぞれ移動させる複数の移動ユニットと、前記載置台に対応させて設けられ、前記載置台に載置された前記ウエハのエッジに設けられた前記切欠き部の周方向位置をそれぞれ検出する複数の切欠き部検出手段と、コントローラと、を備え、前記コントローラは、前記切欠き部検出手段により前記ウエハにおける前記切欠き部の周方向位置をそれぞれ検出し、検出された前記位置の情報に基づき、前記位置を所定の周方向における位置にそれぞれ位置合わせするために、前記載置台に載置された前記ウエハを前記移動ユニットによりそれぞれ回転させる際、ウエハ同士の干渉を防ぐべく、前記移動ユニットを介して水平面内における各載置台の位置を制御することを特徴とするアライメント装置である。

また、その請求項２に記載された発明は、前記載置台同士の中間位置に設けられるＩＤ読み取り手段を更に備え、前記コントローラは、前記載置台に載置された前記ウエハを前記移動ユニットによりそれぞれ回転させ、前記ウエハにおける前記切欠き部の周方向位置を前記切欠き部検出手段によりそれぞれ検出すると共に、ウエハ同士の干渉を防ぐべく、前記移動ユニットを介して水平面内における各載置台の位置を制御しながら、前記ウエハの周縁部に付されたＩＤを前記ＩＤ読み取り手段により読み取ることを特徴とする請求項１に記載のアライメント装置である。

また、その請求項３に記載された発明は、前記コントローラは、前記載置台に載置された前記ウエハを前記移動ユニットによりそれぞれ回転させる際、ウエハ同士の干渉を防ぐべく、前記移動ユニットを介して水平面内における各載置台の位置制御を行うインターロック手段を備えることを特徴とする請求項１に記載のアライメント装置である。

また、その請求項４に記載された発明は、前記コントローラは、前記載置台に載置された前記ウエハにおける前記ＩＤを前記ＩＤ読み取り手段によりそれぞれ読み取る際、ウエハ同士の干渉を防ぐべく、一の前記ウエハのＩＤを読み取る制御、前記移動ユニットを介して水平面内における各載置台の位置制御、及び別の前記ウエハのＩＤを読み取る制御を行うインターロック手段を備えることを特徴とする請求項２に記載のアライメント装置である。

また、その請求項５に記載された発明は、前記コントローラは、前記載置台に載置された前記ウエハにおける前記ＩＤを前記ＩＤ読み取り手段によりそれぞれ読み取る際、ウエハ同士の干渉を防ぐべく、前記移動ユニットを介して水平面内における各載置台の位置制御、及び前記ウエハの各ＩＤを時間差で交互に読み取る制御を行うインターロック手段を備えることを特徴とする請求項２に記載のアライメント装置である。

また、その請求項６に記載された発明は、請求項１ないし５のいずれかに記載のアライメント装置を備えた半導体ウエハ処理装置であって、搬送装置を更に備え、前記搬送装置は、前記アライメント装置の水平面内に並べて配置された複数の前記載置台の各々に、前記ウエハを投入及び取り出しすることができるようにされていることを特徴とする半導体ウエハ処理装置である。

また、その請求項７に記載された発明は、前記搬送装置は、ダブルアームロボットであることを特徴とする請求項６に記載の半導体ウエハ処理装置である。

また、その請求項８に記載された発明は、前述したアライメント装置を使用する、ウエハの位置合わせのためのアライメント方法であって、複数の前記ウエハを、前記水平面内に並べて配置された複数の前記載置台に対してそれぞれ搬入するウエハ搬入工程と、前記各載置台を回転させると共に、前記各載置台上の前記ウエハのエッジに設けられた前記切欠き部を検出する切欠き部検出工程と、前記各載置台を更に回転させて、前記切欠き部検出工程において検出された前記ウエハにおける前記切欠き部の位置を、所定の周方向における位置に移動させる位置合わせ工程と、前記位置合わせ工程における前記ウエハの移動の際、ウエハ同士の干渉を防ぐべく、前記各載置台の位置を制御する第１の位置制御工程と、複数の前記載置台上の前記ウエハを、外部搬出装置により前記アライメント装置の外へ取り出すべく、複数の前記載置台に対してそれぞれ搬出するウエハ搬出工程と、を含む、ことを特徴とするアライメント方法である。

また、その請求項９に記載された発明は、一の前記載置台のエリアにおける前記ウエハの搬入工程、前記ウエハの搬出工程、又は前記ウエハの前記切欠き部検出工程と、他の前記載置台のエリアにおける前記ウエハの搬入工程、前記ウエハの搬出工程、又は前記ウエハの前記切欠き部検出工程とを、連続的に又は一部重畳させて行うことを特徴とする請求項８に記載のアライメント方法である。

また、その請求項１０に記載された発明は、前記切欠き部検出工程において、前記載置台に対する前記ウエハの位置ずれ量が規定範囲外と判定されたとき、当該ウエハは、前記アライメント装置から取り出されることを特徴とする請求項８に記載のアライメント方法である。

また、その請求項１１に記載された発明は、複数の前記ウエハにそれぞれ付されたＩＤを、複数の前記載置台同士の中間位置に設けられるＩＤ読み取り手段により読み取るＩＤ読み取り工程を更に含むことを特徴とする請求項８に記載のアライメント方法である。

また、その請求項１２に記載された発明は、前記ＩＤ読み取り工程において、ウエハ同士の干渉を防ぐべく、前記各載置台の位置を制御する第２の位置制御工程を更に含むことを特徴とする請求項１１に記載のアライメント方法である。

また、その請求項１３に記載された発明は、前記ＩＤ読み取り工程において、ウエハ同士の干渉を防ぐべく、一の前記ウエハについて前記ＩＤ読み取り工程を実施している間、別の前記ウエハの前記ＩＤ読み取り手段への移動を規制し、一の前記ウエハのＩＤの読み取り終了後に、別の前記ウエハの前記ＩＤ読み取り手段への移動を可能とする第２の位置制御工程を更に含むことを特徴とする請求項１１に記載のアライメント方法である。

さらに、その請求項１４に記載された発明は、前記ＩＤ読み取り工程後、水平面内において前記載置台を、前記ウエハを取り出す取り出し位置へ移動させ、前記位置合わせ工程を行うことを特徴とする請求項１１に記載のアライメント方法である。

本願の発明によれば、複数のウエハを同時にアライメントすることができ、装置の大きさがコンパクトで、コストが安く、装置のスループットを向上させたアライメント装置が提供される。また、アライメント動作中やＩＤ読み取り動作中に、高価なウエハ同士が衝突して破損する事故を防ぐことができる。

本願の発明のアライメント装置が設置されるソータの平面図である。 本願の発明のアライメント装置の斜視図である。 同アライメント装置の基台箱体の天井板と前板と右側板とを取り除いて見た、同アライメント装置の内部の拡大斜視図である。 同アライメント装置に２枚のウエハが載置された状態の斜視図であって、１枚のウエハを想像線（２点鎖線）で示す斜視図である。 ２枚の同ウエハを受け取った直後のアライメント装置の平面図である。 １枚の同ウエハがＩＤ読み取り位置にある時のアライメント装置の平面図である。 １枚の同ウエハがウエハ取り出し位置にある時のアライメント装置の平面図である。 同アライメント装置におけるアライメント動作とＩＤ読み取り動作のフローチャートである。

本願の発明の一実施形態に係るアライメント装置を、図面を参照しつつ、詳細に説明する。
本実施形態に係るアライメント装置は、半導体ウエハ処理装置に備えられていて、この処理装置内に設けられる搬送装置（ロボット）から受け取ったウエハの位置合わせをすると共に、ウエハの周縁部に付されたＩＤの読み取りを行うための装置である。
ウエハの位置合わせは、ウエハのエッジに設けられた切欠き部（ノッチやオリフラなど）の周方向位置を、周方向における所定の位置に位置合わせすることによりなされる。

（ソータ）
このようなアライメント装置は、実際には、ソータと呼ばれる特殊な装置内に設置されて用いられる。このソータは、半導体ウエハ処理装置にウエハを搬入したり搬出したりする位置に配置される。図１に、ソータ１を平面図で示す。
ソータ１は、図１に示されるように、その前面に、２つのロードポート５ａ、５ｂが取り付けられており、その内部に、１台のウエハ搬送ロボット３と、１台のアライメント装置６とを備えている。アライメント装置６は、ソータ１の内部空間における端部（図１中では左側端部）に設置されており、ロボット３は、残りの空間内を走行してウエハ２を搬送する。ロボット３は、ダブルアーム型のロボットであり、一対のアーム４を有する。

ソータ１の内部と２台のロードポート５ａ、５ｂとの間には、蓋開閉機構がそれぞれ介設されており、複数のウエハ２を収容する容器（例えば、ＦＯＵＰ）が、これらのロードポートに載置された時、それらの容器の蓋を、外気の流入を遮断した状態の下で開く。これにより、ＦＯＵＰの内部空間及びソータ１の内部空間は、常にクリーンな作業環境に保持される。

ここで、一方のロードポート５ａに、方位が不揃いな複数のウエハ２を収容した一方のＦＯＵＰが載置されると、このＦＯＵＰは、蓋開閉機構によりその蓋が開けられる。ロボット３は、このＦＯＵＰ内から２枚のウエハ２を取り出し、これをアライメント装置６に移載する。アライメント装置６は、２枚のウエハ２の方位を所定の向きに揃えると共に、各ウエハに刻印されているＩＤを読み取る。
ここで、ウエハ２の“方位”とは、ウエハ２における結晶方位のことであるが、本実施形態においては、ウエハ２における切欠き部の“周方向位置”と同義である。また、“所定の向きに揃える”とは、この“周方向位置”を“所定の位置（基準位置）に位置付ける”ことであり、これにより、ウエハ２のアライメントは完了する。

次いで、ロボット３は、このようにして方位が所定の向きに揃えられた２枚のウエハ２をアライメント装置６から取り出し、これらウエハ２が、他方のロードポート５ｂにおける他方のＦＯＵＰに移載される。
他方のＦＯＵＰは、方位が所定の向きに揃えられたウエハ２が所定枚数収容された時点で蓋開閉機構によりその蓋が閉じられて、外部ロボットにより、次の処理工程へと搬送される。

（アライメント装置）
次に、アライメント装置６の構造を、図２ないし図４を参照して、詳しく説明する。
アライメント装置６は、その上にウエハ２ａ、２ｂ（図４参照）が載置されて、水平面内に並べて配置される２つの載置台８ａ、８ｂと、これらの載置台８ａ、８ｂをそれぞれ回転させると共に、水平面内における所定の方向にそれぞれ移動させる２つの移動ユニット７ａ、７ｂと、載置台８ａ、８ｂに対応させて設けられ、載置台８ａ、８ｂに載置されたウエハ２ａ、２ｂのエッジに設けられた切欠き部１２（図４、図５Ａ参照）の周方向位置をそれぞれ検出する２つの切欠き部検出手段９ａ、９ｂと、各ウエハ２ａ、２ｂのＩＤを読み取る１つのＩＤ読み取り手段１０と、コントローラ１４（図３参照）とを備えている。
なお、図４では、載置台８ａに載置されたウエハ２ａは、その輪郭のみが２点鎖線で描かれている。これは、ウエハ２ａと載置台８ａとの位置関係を分かり易くするためである。また、符号１５は、コントローラ１４から各種機器へ延びる配線を示す。

ここで、載置台８ａ、８ｂは、アライメント装置６の箱形基台１１の天井板１１ａに設けられた開口１１８ａ、１１８ｂから突出させて配置され、その上に載置されるウエハ２ａ、２ｂを吸着して保持する手段を内蔵している。
切欠き部検出手段９ａ、９ｂは、アライメント装置６の左右両端部に備えられ、それらのＣ字状の切欠き部（後述）の各上半部が、載置台８ａ、８ｂと同様、アライメント装置６の箱形基台１１の天井板１１ａに設けられた開口１１９ａ、１１９ｂから突出させて配置される。
ＩＤ読み取り手段１０は、２つの移動ユニット７ａ、７ｂの中間位置に備えられている。更に詳しくは、２つの移動ユニット７ａ、７ｂの中間位置であって、箱形基台１１の天井板１１ａに形成された四角い孔の直下に備えられており、その孔を通して、ウエハ２の周縁部に付されたＩＤを読み取ることができるようにされている。ここで、ウエハの周縁部とは、ウエハのエッジを含むウエハの外周縁部を指す。

（移動ユニットの詳細構造）
次に、移動ユニット７ａ、７ｂの構造を、図３を参照して、詳しく説明する。
但し、移動ユニット７ａと、移動ユニット７ｂとは、同じ構造であり、左右対称に配置されるだけである。よって、以下においては、詳細な説明は移動ユニット７ａのみについて行い、移動ユニット７ｂについての説明は省略する。
図３中、矢印Ｘ及びＹは、互いに直交する水平方向を示し、矢印Ｘは、第一の水平方向となる幅方向を示し、矢印Ｙは、第二の水平方向となる奥行き方向を示している。

移動ユニット７ａは、載置台８ａの上にウエハ２ａを載せた状態で、載置台８ａを回転させると共に、水平面内における所定の方向に載置台８ａを移動させる役割を担う載置台駆動機構であり、載置台駆動モータ２４ａと、Ｘ軸スライダ１６ａと、Ｙ軸スライダ２０ａとを備えている。

載置台駆動モータ２４ａは、Ｙ軸スライダ２０ａの下面に設けられると共に、その出力軸２４１が、Ｙ軸スライダ２０ａに形成された開口（図示せず）から突出させて設けられる。出力軸２４１の先端は、載置台８ａに連結されていて、載置台駆動モータ２４の回転により、載置台８ａが回転される。また、載置台駆動モータ２４ａは、Ｘ軸スライダ１６ａの中央に形成された開口ＯＰ１を挿通される。これによって、Ｙ軸スライダ２０ａの移動に伴い、載置台駆動モータ２４ａがＸ軸スライダ１６ａと干渉するおそれが無い。

また、Ｙ軸スライダ２０ａは、Ｘ軸スライダ１６ａの上に設置された左右一対のＹ軸リニアガイド２１ａ、２１ａの上を、Ｙ軸方向に、Ｙ軸駆動ボールねじユニット２３ａによって駆動されて摺動する。
Ｙ軸駆動ボールねじユニット２３ａは、Ｘ軸スライダ１６ａにブラケットを介して固定されていて、Ｙ軸駆動モータ２２ａの回転により、そのボールねじが螺進して、Ｙ軸スライダ２０ａが、前記のとおり、左右一対のＹ軸リニアガイド２１ａ、２１ａ上を摺動して、Ｙ軸方向へ移動するようになっている。

また、Ｘ軸スライダ１６ａは、箱形基台１１の後壁に設置された上下一対のＸ軸リニアガイド１７ａ、１７ａの上を、Ｘ軸方向に、Ｘ軸駆動ボールねじユニット１９ａによって駆動されて摺動する。
Ｘ軸駆動ボールねじユニット１９ａは、箱形基台１１の左壁に取り付け固定されていて、Ｘ軸駆動モータ１８ａの回転により、そのボールねじが螺進して、Ｘ軸スライダ１６ａが、前記のとおり、上下一対のＸ軸リニアガイド１７ａ、１７ａ上を摺動して、Ｘ軸方向へ移動するようになっている。

（移動ユニットの動作）
前記のように構成される移動ユニット７ａは、コントローラ１４により載置台駆動モータ２４ａを制御して、ウエハ２ａを載せた載置台８ａを回転させると共に、コントローラ１４によりＸ軸駆動モータ１８ａとＹ軸駆動モータ２２ａとを制御して、Ｘ軸スライダ１６ａとＹ軸スライダ２０ａとを水平面内における所定の方向に移動させる。結果として、ウエハ２ａを載せた載置台８ａが、水平面内における所定の方向に移動可能となる。

（切欠き部検出手段の詳細構造）
切欠き部検出手段９ａ、９ｂは、図３に示されるように、縦方向に長い矩形状の部品の長さ方向中央部に切欠き９１が設けられ、全体の外形状がＣ字状に設けられる。そして、切欠き部検出手段９ａ、９ｂは、この切欠き９１が対向するように配置される。載置台８ａ、８ｂに載置され、回転されるウエハ２ａ、２ｂのエッジが、この切欠き９１の部分を通過する（図４参照）。切欠き９１に臨む、切欠き部検出手段９ａ、９ｂにおける上方の部分又は下方の部分の一方に、レーザー光投射部が設けられ、他方に、レーザー光受光部が設けられる。

（切欠き部検出手段の動作）
切欠き部検出手段９ａ、９ｂは、そのレーザー光投射部から投射されたレーザー光を、切欠き９１を通過する回転するウエハ２ａ、２ｂのエッジにそれぞれ照射する。これにより、ウエハ２におけるエッジの外形状の変化が連続的に検知される。そして、エッジを通過して受光部で受光されたレーザー光の光量の変化により、エッジに設けられた切欠き部（ノッチやオリフラなど）が検知されると共に、その周方向位置が検出される。同時に、予めわかっているウエハ２ａ、２ｂの直径と、切欠き９１を回転通過するウエハ２ａ、２ｂの入射角度及び入射深さとにより、ウエハ２ａ、２ｂの各中心位置がそれぞれ検出される。

（アライメント方法）
次に、アライメント装置６にウエハ２ａ、２ｂを移載してから、アライメント装置６において、ウエハ２ａ、２ｂにおける切欠き部を検出し、ウエハ２ａ、２ｂのＩＤを読み取り、ウエハ２ａ、２ｂの位置合わせをして、最後に、アライメント装置６からウエハ２ａ、２ｂを取り出すまでのウエハのアライメント方法を、アライメント装置６の動作を追いながら、図５Ａ〜図５Ｃを参照し、図６のフローチャートに従って、工程順に詳しく説明する。
なお、図６では、ウエハ２ａを「第１のウエハ」、ウエハ２ｂを「第２のウエハ」、載置台８ａを「第１の載置台」と、それぞれ呼称している。

（ウエハ移載工程−ウエハの受け取り）
先ず、アライメント装置６に、ウエハ２ａ、２ｂが、ロボット３（図１参照）により、その載置台８ａ、８ｂに対してそれぞれ移載（投入）される（ステップＳ１）。
図５Ａは、このようにしてウエハ２ａ、２ｂがアライメント装置６に移載された直後の、同アライメント装置６の状態を示している。このようにして載置台８ａ、８ｂ上に受け取られたウエハ２ａ、２ｂは、これらの載置台が備える真空吸着手段により、それぞれ吸着保持される。
なお、図５Ａでは、載置台８ａに載置されたウエハ２ａは、載置台８ａとの位置関係を分かり易くするために、その輪郭のみが２点鎖線で描かれている。また、載置台８ｂは、図示省略されている。図５Ｂ、図５Ｃについても、同様の描画及び図示省略を行っている。

このようにして、アライメント装置６にウエハ２ａ、２ｂが載置された時、図５Ａに示されるように、ウエハ２ａを受け取った載置台８ａは、その初期位置（原点：開口１１８ａの中央）にある。これに対して、受け取られたウエハ２ａは、普通、その中心位置２ａｃが、載置台８ａの中心位置８ａｃから偏心した位置にある。
このように、２つの中心位置２ａｃ、８ａｃが偏心した状態は、ウエハ２ｂと載置台８ｂについても、同様である。

（切欠き部検出工程−ウエハの切欠き部と中心位置の検出）
次いで、このような状態の下で、アライメント装置６は、ウエハ２ａ、２ｂにおける各切欠き部１２と、各中心位置２ａｃ、２ｂｃとを検出する（ステップＳ２）。
この検出は、次のようにして行われる。すなわち、コントローラ１４が、移動ユニット７ａ、７ｂを介して載置台８ａ、８ｂを回転させ、それらの上に載置されたウエハ２ａ、２ｂを回転させる。同時に、コントローラ１４が、切欠き部検出手段９ａ、９ｂにより、それらの切欠き９１を回転して通過するウエハ２ａ、２ｂのエッジに設けられた各切欠き部１２の周方向位置と、それらのウエハの各中心位置２ａｃ、２ｂｃとを検出する。これらの検出は、２枚のウエハ２ａ、２ｂに対し、同じシーケンスで同時並行的に行われる。
ここで、ウエハ２ａ、２ｂにおける各切欠き部１２の周方向位置とは、載置台８ａ、８ｂの回転角度の原点に対する各切欠き部１２の相対位置である。また、ウエハ２ａ、２ｂの各中心位置２ａｃ、２ｂｃとは、載置台８ａ、８ｂの各中心位置８ａｃ、８ｂｃに対する相対位置である。

次いで、このようにして検出されたウエハ２ａ、２ｂの中心位置２ａｃ、２ｂｃは、それらの値が予め定められた規定値の範囲に入っているか否か判定される（ステップＳ３）。
ここで、規定値の範囲外と判定されれば、該当するウエハは、その中心位置の位置ずれ量が規定範囲外との判定であり、当該ウエハは異常とみなされ、装置の動作が停止されて、アラームが発せられる。そして、異常とみなされたウエハが装置から取り出され、ウエハ移載工程がリトライされる。
なお、このような判定および判定に基づく装置動作は、ステップＳ２の実行中に行われることもある。

（ＩＤ読み取り工程−ウエハのＩＤ読み取り）
ステップＳ３において、ウエハ２ａ、２ｂの中心位置２ａｃ、２ｂｃが予め定められた規定値の範囲に入っていると判定されれば、次いで、アライメント装置６は、ウエハ２ａ、２ｂのＩＤの読み取りを行う（ステップＳ４〜ステップＳ６）。
図５Ｂは、ウエハ２ａがＩＤ読み取り位置に移動した状態を示しており、この図を用いて、アライメント装置６が、ウエハ２ａのＩＤを読み取る動作を説明する。

（ＩＤ読み取りの準備工程）
先ず、ウエハ２ａのＩＤの読み取りを行う。このとき、ウエハ２ａをＩＤ読み取り位置に移動させる前に、コントローラ１４は、ウエハ２ｂがＩＤ読み取り位置の外にあるかどうかを判定する（ステップＳ４）。
そして、ウエハ２ｂがＩＤ読み取り位置の外にない（ＩＤ読み取り位置にある）と判定されたとき、ウエハ２ａ、２ｂ同士の干渉を防ぐべく、コントローラ１４は、ウエハ２ａをＩＤ読み取り位置に移動させるのを待機させ、ウエハ２ｂを移動させる。具体的には、コントローラ１４が、移動ユニット７ｂを介して水平面内における載置台８ｂの位置を制御し、載置台８ｂに載置されたウエハ２ｂをＩＤ読み取り位置の外へ移動させる。

なお、ウエハ２ａを一定時間待機させてもなお、ウエハ２ｂがＩＤ読み取り位置にあると判定されたときは、コントローラ１４は、アライメント装置６の動作を停止し、アラームを発する。

（ＩＤ読み取りの本工程）
このようなＩＤ読み取りの準備工程を経て、ウエハ２ｂがＩＤ読み取り位置の外にある（ＩＤ読み取り位置にない）と判定されると、次いで、コントローラ１４は、ウエハ２ａをＩＤ読み取り位置に移動させる（ステップＳ５）。
この移動は、次のようにして行われる。すなわち、コントローラ１４が、先の切欠き部検出工程で取得した、ウエハ２ａの切欠き部１２の周方向位置及びウエハ２ａの中心位置２ａｃに関するデータに基づき、移動ユニット７ａを介してＸ軸駆動モータ１８ａ、Ｙ軸駆動モータ２２ａ、載置台駆動モータ２４ａを制御する。そして、ウエハ２ａの周縁部に刻印されたＩＤの部分が、丁度、ＩＤ読み取り手段１０の真上に来るように、コントローラ１４が、載置台８ａを水平移動及び回転移動させる。これにより、ウエハ２ａのＩＤ読み取り位置への移動がなされる。ウエハのＩＤは、規格上、ウエハにおける切欠き部から所定角度離れた位置に刻印されているので、このような制御が可能である。

このようにして、ウエハ２ａがＩＤ読み取り位置に来たら、コントローラ１４は、ＩＤ読み取り手段１０により、ウエハ２ａのＩＤを読み取る（ステップＳ６）。
次いで、コントローラ１４は、ＩＤ読み取り手段１０がウエハ２ａのＩＤを読み取れたかどうかの判定を行い（ステップＳ７）、正しく読み取れなかった場合には、ＩＤの読み取りのリトライを指示する。これにより、ＩＤの読み取りを確実にしている。
また、ウエハ２ａのＩＤを正しく読み取れていたときは、コントローラ１４は、移動ユニット７ａを介して水平面内における載置台８ａの位置を制御して、ウエハ２ａを、次のウエハ取り出しのための位置へと移動させる。同時に、移動ユニット７ｂを介して水平面内における載置台８ｂの位置を制御して、ウエハ２ｂがＩＤ読み取り位置にあるように、ウエハ２ｂを移動させる。

（ウエハ同士の干渉防止インターロック−第２の位置制御）
次に、ウエハ２ａがＩＤ読み取り工程にある時、ウエハ２ａ、２ｂ同士の干渉を防ぐ手段について説明する。
前記のとおり、コントローラ１４は、ＩＤ読み取りの準備工程（ステップＳ４）において、ＩＤ読み取り位置へのウエハ２ａの移動を待機させている間に、ウエハ２ａ、２ｂ同士の干渉を防ぐべく、移動ユニット７ｂを介して水平面内における載置台８ｂの位置を制御する。これにより、コントローラ１４は、載置台８ｂに載置されたウエハ２ｂをＩＤ読み取り位置の外へ移動させる。ここで、コントローラ１４は、ウエハ２ａ、２ｂ同士の干渉を防ぐべく、移動ユニット７ａ、７ｂを介して水平面内における載置台８ａ、８ｂの位置を制御するインターロック機能を有している。
そして、本実施形態のアライメント方法は、この機能に基づくインターロック工程を含んでいる。前記した、ＩＤ読み取りの準備工程（ステップＳ４）における、ウエハ２ｂのＩＤ読み取り位置からの退避移動もまた、この機能の活用の一例である。ＩＤ読み取り工程において、この機能を活用するために特に用意された工程を、本明細書においては、「第２の位置制御工程」と呼んでいる。
なお、このインターロック機能は、ウエハ同士の干渉防止のみならず、そのシーケンスにより、ＩＤ読み取り手段１０の位置に必ず１枚のウエハが来るので、２枚のウエハのＩＤが同時に読み取られるのを防止することにも寄与する。
また、本実施形態のアライメント装置６においても、コントローラ１４に、このインターロック機能に基づくインターロック手段が実装されている。

ここで、「第２の位置制御工程」において採用されるインターロックの方法を例示して説明する。インターロックの方法には、次のような方法がある。
（１）コントローラ１４が、２枚のウエハ２ａ、２ｂ同士の干渉を防ぐべく、移動ユニット７ａ、７ｂを介して水平面内における各載置台８ａ、８ｂの位置制御を行う。
なお、コントローラ１４によるこのような制御は、コントローラ１４が、載置台８ａ、８ｂの中心位置８ａｃ、８ｂｃの履歴を記憶しているので、可能である。
（２）前記した、本実施形態において採用されていた方法であり、前記（１）の方法の具体化された例である。例えば、コントローラ１４が、２枚のウエハ２ａ、２ｂ同士の干渉を防ぐべく、一のウエハ２ａのＩＤを読み取る制御、移動ユニット７ａ、７ｂを介した水平面内における各載置台８ａ、８ｂの位置制御、及び別のウエハ２ｂのＩＤを読み取る制御を行う。これにより、コントローラ１４は、一のウエハ２ａについてＩＤ読み取り工程を実施している間、別のウエハ２ｂのＩＤ読み取り手段１０への移動を規制し、一のウエハ２ａのＩＤの読み取り終了後に、別のウエハ２ｂをＩＤ読取手段１０へ移動させることができる。
（３）コントローラ１４が、２枚のウエハ２ａ、２ｂ同士の干渉を防ぐべく、移動ユニット７ａ、７ｂを介した水平面内における載置台８ａ、８ｂの位置制御、及びウエハ７ａ、７ｂの各ＩＤを時間差で交互に読み取る制御を行う。

（位置合わせ工程、ウエハ搬出工程−ウエハ２の位置合わせと取り出し）
ステップＳ６、ステップＳ７において、ウエハ２ａのＩＤの読み取りが完了すると、次いで、コントローラ１４は、このウエハ２ａをウエハ取り出し位置へと移動させ、そこにおいて、ウエハ２ａにおける切欠き部１２の位置合わせを行う（ステップＳ８）。
図５Ｃは、ウエハ２ａがウエハ取り出し位置に移動され、ウエハ２ａの切欠き部１２の位置合わせが行われた直後の状態を示している。
ウエハ２ａのウエハ取り出し位置への移動と、ウエハ２ａの切欠き部１２の位置合わせとは、次のようにして行われる。すなわち、コントローラ１４が、先の切欠き部検出工程で取得した、ウエハ２ａにおける切欠き部１２の周方向位置及びウエハ２ａの中心位置２ａｃに関するデータに基づき、移動ユニット７ａを介してＸ軸駆動モータ１８ａ、Ｙ軸駆動モータ２２ａ、載置台駆動モータ２４ａを制御する。これにより、ウエハ２ａは、ロボット３のアーム４がウエハ２ａを取り出せる位置に移動されると共に、切欠き部１２が周方向における所定の位置に来るように回転される。
これにより、ウエハ２ａのアライメント（位置合わせ）が完了すると共に、ウエハ２ａがロボット３により取り出され、アライメント装置６の載置台８ａに対して新たなウエハを移載する準備がなされる。

（諸位置間の関係）
ここで、ウエハ２ａの位置合わせ位置と取り出し位置、載置台８ａの初期位置、「周方向における所定の位置」間の関係について、詳しく説明する。
前記のとおり、ウエハ２ａにおける切欠き部１２は、ウエハ２ａの取り出し位置に位置合わせされる。言い換えると、取り出し位置におけるウエハ２ａは、その切欠き部１２が図１におけるロボット３の側（図１中の右側）に位置され、かつ、その向きが所定の方位（図５Ｃ中のＹ方向）に揃えられる。しかも、この切欠き部１２のＸ方向における位置は、図５Ｃに示されるように、開口１１８ａの中心（図５Ａにおける載置台８ａの初期位置）と同じ位置に設定されている。このとき、載置台８ａにウエハ２ａを移載した時の双方の相対位置によっては、図５Ｃに示すように、載置台８ａの中心位置８ａｃとウエハ２ａの中心位置２ａｃとが一致しないこともある。
このウエハ２ａの取り出し位置が、ウエハ２ａのアライメントを行う時の「周方向における所定の位置」となる。

このような状態（位置と姿勢が揃えられたアライメント完了状態）で、ウエハ２ａは、ロボット３により正しく取り出されるのを待つことになる。よって、ウエハ２ａがロボット３により取り出される際には、ウエハ２ａの中心位置２ａｃと、ロボット３のアーム４のウエハ載置部の中心位置とは一致している。その結果、これら２つの中心位置を合わせるために、ロボット３がウエハ受け取り位置を微調整する必要がなく、ウエハ受け渡し時間のロスがなくなり、装置のスループットを向上させることができる。

（ウエハ同士の干渉防止インターロック−第１の位置制御）
次に、ウエハ２ａが位置合わせ工程にある時、ウエハ２ａ、２ｂ同士の干渉を防ぐ手段について説明する。
ウエハ２ａはウエハ取り出し位置に移動されながら、ウエハ２ａにおける切欠き部１２の位置合わせが行われる。このとき、前述したように、載置台８の中心位置８ａｃとウエハ２ａの中心位置２ａｃとが一致していない場合がある。この場合、載置台８ａの中心位置８ａｃは、図５Ｃに示されるように、ウエハ２ａの中心位置２ａｃからずれた位置にある。よって、ウエハ２ａは、切欠き部１２の位置合わせのために回転される時、偏心状態で回転される。
一方、ウエハ２ｂは、載置台８ｂ上にあって、ウエハ移載工程にあるか、ＩＤ読み取りの準備工程にあるか、（図示とは異なるが）ＩＤ読み取り工程にあるか、位置合わせ工程にあるか、ウエハ取り出し工程にある。場合によっては、作業の順番が狂って、切欠き部検出工程にある場合もあり得る。いずれの工程にあっても、ウエハ２ｂと載置台８ｂとが偏心状態にある場合が、ウエハ２ａと載置台８ａとの場合（図５Ａ〜図５Ｃ参照）と同様にあり得る。
よって、ウエハ２ａとウエハ２ｂのいずれか一方もしくは双方が、いずれかの処理工程のために回転される時、これらのウエハが干渉しないようにする手段を講じておくことが不可欠である。
本実施形態のアライメント方法におけるウエハの位置合わせ工程においては、このような手段として、先に述べた、コントローラ１４の「インターロック機能」が活用されている。そのために特に用意された工程を、本明細書においては、「第１の位置制御工程」と呼んでいる。

ここで、「第１の位置制御工程」において採用されるインターロックの方法は、「第２の位置制御工程」において採用されるインターロックの方法（１）と同じであり、コントローラ１４は、２枚のウエハ２ａ、２ｂ同士の干渉を防ぐべく、移動ユニット７ａ、７ｂを介して水平面内における各載置台８ａ、８ｂの位置制御を行う。

（アライメント方法における各種実施パターン）
次に、本実施形態のアライメント方法における、各種工程の組み合わせ実施の各種パターンについて説明する。
アライメント装置６に備えられ、水平面内に並べて配置された２つの載置台８ａ、８ｂは、コントローラ１４により、独立的に制御することが可能である。よって、本実施の形態に係るアライメント方法は、これらの載置台に載置されるウエハ２ａ、２ｂに対して、ＩＤ読み取り工程以外の工程で、独立的に各種の工程を実施することができる。また、本実施の形態に係るアライメント方法において、ウエハ２ａ、２ｂに対して行われた過去の工程の履歴に因っては、独立的に各種の工程を実施せざるを得ない場合もある。
本実施の形態に係るアライメント方法は、載置台８ａのエリアにおける、ウエハ２ａの移載工程、ウエハ２ａの取り出し工程、又はウエハ２ａの切欠き部検出工程と、載置台８ｂのエリアにおける、ウエハ２ｂの移載工程、ウエハ２ｂの取り出し工程、又はウエハ２ｂの切欠き部検出工程とを、連続的に又は一部重畳させて行うことが可能である。これらの工程を各種に組み合わせて実施する場合に、これらの工程を実行する機器（ロボット、切欠き部検出手段）の各動作の組み合わせに、各種のパターンがあり得る。

以下に、このような各種のパターンのうち、典型的な例を列挙して説明する。
なお、後述するパターン（３）は、本実施形態の変形例として、３つの載置台８ａ、８ｂ、８ｃが備えられる場合の例である。
パターン（１）は、載置台８ａのエリアにおける、ウエハ２ａの移載動作又はウエハ２ａの取り出し動作と、載置台８ｂのエリアにおける、載置されたウエハ２ｂにおける切欠き部１２の検出動作とを、連続的に又は一部重畳させて行うものである。
パターン（２）は、載置台８ａのエリアにおける、載置されたウエハ２ａにおける切欠き部１２の検出動作と、載置台８ｂのエリアにおける、載置されたウエハ２ｂにおける切欠き部１２の検出動作とを、連続的に又は一部重畳させて行うものである。
パターン（３）は、載置台８ａのエリアにおける、ウエハ２ａの移載動作と、載置台８ｂのエリアにおける、ウエハ２ｂの取り出し動作と、載置台８ｃのエリアにおける、載置されたウエハ２ｃにおける切欠き部１２の検出動作とを、連続的に又は一部重畳させて行うものである。

（本実施形態の効果）
本実施形態のアライメント装置６は、前記のように構成され、作動するため、次のような効果を奏することができる。
（１）本実施形態のアライメント装置６は、複数のウエハ２ａ、２ｂを同時にアライメントすることができ、また、ＩＤ読み取り手段１０を備えながら、装置の大きさがコンパクトで、コストが安く、装置のスループットが高い。
（２）本実施形態のアライメント装置６は、アライメント動作（ウエハ２ａ、２ｂにおける切欠き部１２の周方向位置検出動作及び位置合わせ動作）中やＩＤ読み取り動作中に、高価なウエハ２ａ、２ｂ同士が衝突して破損する事故を防ぐことができる。また、本実施形態のアライメント装置６は、各載置台８ａ、８ｂに載置されたウエハ２ａ、２ｂのＩＤが同時に読み取られるのを防ぐことができ、各ウエハ２ａ、２ｂの処理履歴が混乱するのを防ぐことができる。

また、本実施形態の半導体ウエハ処理装置（ソータ１を含む）は、前記のように構成され、作動するため、次のような効果を奏することができる。
本実施形態の半導体ウエハ処理装置は、前記アライメント装置６に加え、更にロボット３を備えており、該ロボット３は、アライメント装置６の水平面内に並べて配置された複数の載置台８ａ、８ｂの各々にウエハ２ａ、２ｂを投入（移載）し、かつ、取り出すことができるようにされているので、ウエハのアライメント及び受け渡しの処理速度が上がり、装置のスループットを向上させることができる。
また、ダブルアームタイプのロボット３を使用することで、ロボット３とアライメント装置６との間でウエハを受け渡しする時、一度に２枚のウエハを取り出し及び移載することができ、装置のスループットを更に向上させることができる。

さらに、本実施形態のアライメント方法は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
（１）本実施形態のアライメント方法によれば、複数のウエハ２ａ、２ｂを同時にアライメントすることができ、また、ＩＤ読み取り工程を含むため、装置の大きさがコンパクトで、コストが安く、装置のスループットが高い。
（２）本実施形態のアライメント方法によれば、アライメント動作（位置合わせ動作）中やＩＤ読み取り動作中に、高価なウエハ２ａ、２ｂ同士が衝突して破損する事故を防ぐことができる。また、本実施形態のアライメント方法によれば、各載置台８ａ、８ｂに載置されたウエハ２ａ、２ｂのＩＤが同時に読み取られるのを防ぐことができ、各ウエハ２ａ、２ｂの処理履歴が混乱するのを防ぐことができる。
（３）本実施形態のアライメント方法によれば、複数の載置台８ａ、８ｂが、ＩＤ読み取り工程以外の工程で、それぞれ他の載置台８ｂ、８ａの工程と関係なく、独立して自由に工程を実施することができる。このため、アライメント装置６へのウエハの移載、取り出しの自由度を高くすることができ、装置のスループットを更に向上させることができる。
（４）本実施形態のアライメント方法によれば、ウエハ移載工程において、何らかのトラブルにより、ウエハ２ａ、２ｂが正常でない位置に置かれた場合でも、後の工程に進んでウエハ２ａ、２同士が衝突して破損するなどの事故を防ぐことができる。
（５）本実施形態のアライメント方法によれば、ウエハ２ａ、２ｂの中心位置２ａｃ、２ｂｃとロボット３のアームのウエハ載置部(ハンド)の中心位置とが合わせられるため、ロボット３が、ウエハ受け取り位置を微調整する必要がなく、アライメント装置６とロボット３間のウエハ受け渡し時間のロスがなくなり、装置のスループットを更に向上させることができる。

（本実施形態の変形例）
本願の発明は、以上の実施形態に限定されず、その要旨を逸脱しない範囲において、種々の変形が可能である。
例えば、ＩＤ読み取り手段１０を削除し、ＩＤ読み取り工程を廃止して、アライメントを行っても良い。但し、この場合には、ＩＤ読み取り手段１０は、別の所に設置されることになる。
また、載置台を２つ（載置台８ａ、８ｂ）設けた場合を例に挙げて説明を行ったが、これに限定するものではなく、３つ以上設けても良い。この場合、増加する載置台の数に応じてＩＤ読み取り手段１０の数が増やされる。
さらに、切欠き部検出手段９ａ、９ｂとしてレーザーセンサを用いる場合を例に挙げて説明を行ったが、これに限定するものではなく、反射型センサなど、各種のセンサとされても良い。

１…ソータ、２、２ａ、２ｂ…ウエハ、２ａｃ、２ｂｃ…ウエハの中心位置、３…搬送装置（ロボット）、４…アーム、５ａ、５ｂ…ロードポート、６…アライメント装置、７ａ、７ｂ…移動ユニット、８ａ、８ｂ…載置台、８ａｃ、８ｂｃ…載置台の中心位置、９ａ、９ｂ…切欠き部検出手段、１０…ＩＤ読み取り手段、１１…箱形基台、１１ａ…天井板、１２…切欠き部、１４…コントローラ、１５…配線、１６ａ、１６ｂ…Ｘ軸スライダ、１７ａ、１７ｂ…Ｘ軸リニアガイド、１８ａ、１８ｂ…Ｘ軸駆動モータ、１９ａ、１９ｂ…Ｘ軸駆動ボールねじユニット、２０ａ、２０ｂ…Ｙ軸スライダ、２１ａ、２１ｂ…Ｙ軸リニアガイド、２２ａ、２２ｂ…Ｙ軸駆動モータ、２３ａ、２３ｂ…Ｙ軸駆動ボールねじユニット、２４ａ、２４ｂ…載置台駆動モータ、９１…切欠き、１１８ａ、１１８ｂ…開口、１１９ａ、１１９ｂ…開口、２４１…出力軸、ＯＰ１…開口。

Claims (14)

1. ウエハのエッジに設けられた切欠き部を、周方向における所定の位置に位置合わせするためのアライメント装置であって、
   前記ウエハが載置され、水平面内に並べて配置された複数の載置台と、
   前記載置台をそれぞれ回転させると共に、前記水平面内における所定の方向にそれぞれ移動させる複数の移動ユニットと、
   前記載置台に対応させて設けられ、前記載置台に載置された前記ウエハのエッジに設けられた前記切欠き部の周方向位置をそれぞれ検出する複数の切欠き部検出手段と、
   コントローラと、を備え、
   前記コントローラは、前記切欠き部検出手段により前記ウエハにおける前記切欠き部の周方向位置をそれぞれ検出し、検出された前記位置の情報に基づき、前記位置を所定の周方向における位置にそれぞれ位置合わせするために、前記載置台に載置された前記ウエハを前記移動ユニットによりそれぞれ回転させる際、ウエハ同士の干渉を防ぐべく、前記移動ユニットを介して水平面内における各載置台の位置を制御する、
   ことを特徴とするアライメント装置。
2. 前記載置台同士の中間位置に設けられるＩＤ読み取り手段を更に備え、
   前記コントローラは、前記載置台に載置された前記ウエハを前記移動ユニットによりそれぞれ回転させ、前記ウエハにおける前記切欠き部の周方向位置を前記切欠き部検出手段によりそれぞれ検出すると共に、ウエハ同士の干渉を防ぐべく、前記移動ユニットを介して水平面内における各載置台の位置を制御しながら、前記ウエハの周縁部に付されたＩＤを前記ＩＤ読み取り手段により読み取る、
   ことを特徴とする請求項１に記載のアライメント装置。
3. 前記コントローラは、前記載置台に載置された前記ウエハを前記移動ユニットによりそれぞれ回転させる際、ウエハ同士の干渉を防ぐべく、前記移動ユニットを介して水平面内における各載置台の位置制御を行うインターロック手段を備える、
   ことを特徴とする請求項１に記載のアライメント装置。
4. 前記コントローラは、前記載置台に載置された前記ウエハにおける前記ＩＤを前記ＩＤ読み取り手段によりそれぞれ読み取る際、ウエハ同士の干渉を防ぐべく、一の前記ウエハのＩＤを読み取る制御、前記移動ユニットを介して水平面内における各載置台の位置制御、及び別の前記ウエハのＩＤを読み取る制御を行うインターロック手段を備える、
   ことを特徴とする請求項２に記載のアライメント装置。
5. 前記コントローラは、前記載置台に載置された前記ウエハにおける前記ＩＤを前記ＩＤ読み取り手段によりそれぞれ読み取る際、ウエハ同士の干渉を防ぐべく、前記移動ユニットを介して水平面内における各載置台の位置制御、及び前記ウエハの各ＩＤを時間差で交互に読み取る制御を行うインターロック手段を備える、
   ことを特徴とする請求項２に記載のアライメント装置。
6. 請求項１ないし５のいずれかに記載のアライメント装置を備えた半導体ウエハ処理装置であって、
   搬送装置を更に備え、
   前記搬送装置は、前記アライメント装置の水平面内に並べて配置された複数の前記載置台の各々に、前記ウエハを投入及び取り出しすることができるようにされている、
   ことを特徴とする半導体ウエハ処理装置。
7. 前記搬送装置は、ダブルアームロボットである、
   ことを特徴とする請求項６に記載の半導体ウエハ処理装置。
8. 請求項１に記載のアライメント装置を使用する、ウエハの位置合わせのためのアライメント方法であって、
   複数の前記ウエハを、前記水平面内に並べて配置された複数の前記載置台に対してそれぞれ搬入するウエハ搬入工程と、
   前記各載置台を回転させると共に、前記各載置台上の前記ウエハのエッジに設けられた前記切欠き部を検出する切欠き部検出工程と、
   前記各載置台を更に回転させて、前記切欠き部検出工程において検出された前記ウエハにおける前記切欠き部の位置を、所定の周方向における位置に移動させる位置合わせ工程
   と、
   前記位置合わせ工程における前記ウエハの移動の際、ウエハ同士の干渉を防ぐべく、前記各載置台の位置を制御する第１の位置制御工程と、
   複数の前記載置台上の前記ウエハを、外部搬出装置により前記アライメント装置の外へ取り出すべく、複数の前記載置台に対してそれぞれ搬出するウエハ搬出工程と、を含む、
   ことを特徴とするアライメント方法。
9. 一の前記載置台のエリアにおける前記ウエハの搬入工程、前記ウエハの搬出工程、又は前記ウエハの前記切欠き部検出工程と、他の前記載置台のエリアにおける前記ウエハの搬入工程、前記ウエハの搬出工程、又は前記ウエハの前記切欠き部検出工程とを、連続的に又は一部重畳させて行う、
   ことを特徴とする請求項８に記載のアライメント方法。
10. 前記切欠き部検出工程において、前記載置台に対する前記ウエハの位置ずれ量が規定範囲外と判定されたとき、当該ウエハは、前記アライメント装置から取り出される、
    ことを特徴とする請求項８に記載のアライメント方法。
11. 複数の前記ウエハにそれぞれ付されたＩＤを、複数の前記載置台同士の中間位置に設けられるＩＤ読み取り手段により読み取るＩＤ読み取り工程を更に含む、
    ことを特徴とする請求項８に記載のアライメント方法。
12. 前記ＩＤ読み取り工程において、ウエハ同士の干渉を防ぐべく、前記各載置台の位置を制御する第２の位置制御工程を更に含む、
    ことを特徴とする請求項１１に記載のアライメント方法。
13. 前記ＩＤ読み取り工程において、ウエハ同士の干渉を防ぐべく、一の前記ウエハについて前記ＩＤ読み取り工程を実施している間、別の前記ウエハの前記ＩＤ読み取り手段への移動を規制し、一の前記ウエハのＩＤの読み取り終了後に、別の前記ウエハの前記ＩＤ読取手段への移動を可能とする第２の位置制御工程を更に含む、
    ことを特徴とする請求項１１に記載のアライメント方法。
14. 前記ＩＤ読み取り工程後、水平面内において前記載置台を、前記ウエハを取り出す取り出し位置へ移動させ、前記位置合わせ工程を行う、
    ことを特徴とする請求項１１に記載のアライメント方法。
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    

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