JP2020517104A5 - - Google Patents

Description

図６及び図７を参照すると、第１のエッジ把持要素３４及び第２のエッジ把持要素３６を使用してワークピース（図示せず）を積載するために、アライナの方に移動するロボットブレード（図６）が示される。図６では、アーム３２が、３２’及び３２’’として一点鎖線で示され、これらは、ロボットブレード６０が第１のエッジ把持要素３４及び第２のエッジ把持要素３６によって保持されるワークピースを積載することができる第１の回転位置又は第１の回転位置の範囲を示す。図７は、ロボットブレード６０が第１のエッジ把持要素３４又は第２のエッジ把持要素３６からの干渉なしにワークピースを積載することができる回転位置を提供する、矢印７２及び７４により示される回転位置の範囲を示す。ゾーン７１及び７３は、ロボットブレード６０が第１のエッジ把持要素３４及び第２のエッジ把持要素３６のいずれかと接触し、したがって、第１のエッジ把持要素３４又は第２のエッジ把持要素３６がロボットブレード６０に干渉しワークピースの積載を妨げることになるだろうゾーンとして図７に示される。単に例として、基板が第１のエッジ把持要素３４及び第２のエッジ把持要素３６に積載されるときに、アーム３２が０度のホーム位置から１３５度〜２２５度の位置にある可能性はないが、これは、ロボットブレードが第１のエッジ把持要素３４又は第２のエッジ把持要素によって停止又は干渉されることになるからである。しかしながら、アーム３２が２２５度から３１５度（又は４５度から１３５度）の間にあるとき、ロボットブレードは第１の位置にあり、ロボットブレードは干渉なくワークピースを積載することができる。この例示的な実施形態で提示される位置は限定的なものではなく、ゾーン７１及びゾーン７３を画定するために他の位置が選択されてもよいことに留意されたい。

基板アライナ装置は、ブロック２０５に示されるようにノッチの位置合わせを実行する。次に、コントローラは信号を送信し、シャフトの位置をチェックして、アームが半径方向の位置にあることを確認し、これにより、ブロック２０６に示すように、ワークピースアライナ装置からウエハを取り外すことができる。アームが、ロボットブレードと第１のエッジ把持要素３４及び第２のエッジ把持要素３６がロボットブレードに干渉しない第１の位置にある場合、ブロック２０８に示すように、ロボットブレードが延びてウエハを取り上げ、ブロック２１０に示すように、ロボットブレードが後退する。しかし、ブロック２０５でノッチの位置合わせが実行され、かつシャフト／アームの位置が「悪い」とみなされた後に、コントローラが信号を送信し、ワークピースアライナ装置がチャックを回転させてデッドゾーンをクリアする。

Claims (15)

1. Ｘ−Ｙ平面に延びる第１の端及び第２の端を有するアームを含むアライナチャックと、
   ワークピースをそのエッジで保持するために離間している、前記第１の端の第１のエッジ把持要素及び前記第２の端の第２のエッジ把持要素と、
   前記アームの中央領域に位置する中央ワークピースハンドリング要素であって、前記中央ワークピースハンドリング要素が前記第１のエッジ把持要素及び前記第２のエッジ把持要素よりもＺ方向に高く延びるように、前記Ｚ方向に高さを有する中央ワークピースハンドリング要素と
   を含むワークピースアライナ装置。
2. 前記装置が、前記ワークピースを前記アームから持ち上げるための別個のワークピースリフティング機構を含まない、請求項１に記載のワークピースアライナ装置。
3. 前記第１のエッジ把持要素及び前記第２のエッジ把持要素が、平らな中実のワークピース又は中央開口部を内部に有する平らなワークピースのいずれかを保持するように構成される、請求項２に記載のワークピースアライナ装置。
4. 前記中央ワークピースハンドリング要素が、平らな中実のワークピースを保持するように構成されるが、中央開口部を内部に有する平らなワークピースを保持するようには構成されない、請求項３に記載のワークピースアライナ装置。
5. 前記中央ワークピースハンドリング要素が平らな中実のワークピースを保持しているとき、前記平らな中実のワークピースが、前記第１のエッジ把持要素及び前記第２のエッジ把持要素に接触しない、請求項４に記載のワークピースアライナ装置。
6. 前記アームの回転を制御するコントローラを更に含む、請求項５に記載のワークピースアライナ装置。
7. 前記コントローラは、ロボットブレードが前記第１のエッジ把持要素及び前記第２のエッジ把持要素によって保持される前記ワークピースを積載することができる第１の位置まで前記アームを回転させるように構成される、請求項６に記載のワークピースアライナ装置。
8. 前記コントローラは、前記第１のエッジ把持要素及び前記第２のエッジ把持要素が、前記ロボットブレードと干渉するだろう第２の位置にあるとき、前記ロボットブレードが前記ワークピースを積載するのを防ぐように構成される、請求項７に記載のワークピースアライナ装置。
9. 前記第１の位置及び前記第２の位置を記憶するメモリを更に含む、請求項８に記載のワークピースアライナ装置。
10. アライナ装置でワークピースを処理する方法であって、
    ロボットブレード上のワークピースを移動し、前記ロボットブレードを、第１の端及び前記第１の端の反対側の第２の端を有するアームを含むアライナチャックに向かって移動することであって、前記第１の端の第１のエッジ把持要素及び前記第２の端の第２のエッジ把持要素が前記ワークピースをそのエッジで保持するために離間しており、前記アームが、前記ワークピースの前記アライナチャックへの積載を許可する第１の半径方向の位置から前記ワークピースの前記アライナチャックへの積載を許可しない第２の半径方向の位置へと移動可能である、ロボットブレード上のワークピースを移動し、ロボットブレードを、第１の端及び第１の端の反対側の第２の端を有するアームを含むアライナチャックに向かって移動することと、
    前記アームが前記第１の半径方向の位置にあるか前記第２の半径方向の位置にあるかを確認することと、
    前記アームが前記第１の半径方向の位置にあるときに、前記アライナチャックに前記ワークピースを積載することと
    を含む方法。
11. 前記アライナチャックに前記ワークピースを積載した後に前記アームを回転させて、前記ワークピースを位置合わせすることを更に含む、請求項１０に記載の方法。
12. 前記アームが前記第２の半径方向の位置にあるときに、前記ロボットブレードが前記アライナチャックに前記ワークピースを積載するのを防ぐことを更に含む、請求項１０に記載の方法。
13. 前記アームが前記第１の半径方向の位置に入るまで前記アームを回転させ、次いで前記アームが前記第１の半径方向の位置にあるときに、前記アライナチャックに前記ワークピースを積載することを更に含む、請求項１０に記載の方法。
14. 前記ワークピースを位置合わせすること
    を更に含む、請求項１３に記載の方法。
15. 前記ワークピースがキャリア上のＥＵＶレチクルブランクである、請求項１４に記載の方法。