JP7402947B2 - ウエハ位置決め装置 - Google Patents
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Description
(1)ウエハの左右方向の移動をある程度は拘束できるが、より正確な位置決め搬送ができない。
(2)また、位置決めの正確性を確保するために、スペーサピンでウエハを囲む内径を、ウエハ外径ぎりぎりに設定すると、クランプ動作時にスペーサピンをウエハに当ててしまうリスクが上がる。
(3)また、チャックテーブル側でのウエハの位置ずれによる真空低下を逃れるために、チャックテーブル側の吸着用ポーラス部を小さくすると、ウエハ外径のバタツキや、加工時のスラッジ水がチャックテーブル内に入り込み易くなる。このため、チャックテーブルと外部との間を電気的・機械的に連結している、ロータリジョイント要素部品の消耗が激しくなる。
A11 チャックテーブル
B11 チャックテーブル
12 ウエハ搬送機構
13 枠体
13a 上面
14 吸着部
14a 上面(載置面)
15 枢軸
16 本体部
17 保持手段
17a、17b アーム部
18 ウエハガイド手段
18a アーム部
18b 取付ブラケット
18b1 側面
18c 取付軸
18d 回動部材
18d2 ガイド面
18d3 ガイド面
18e コイルバネ(付勢手段)
19 ウエハ検出手段
20 爪部
21 係止爪
21b テーパー面
21c 垂直内面
22 クランプ位置
23 リリース位置
24 爪レベル調整機構
24a 調整ねじ
25 制御部(制御手段)
D1 外径
D2 外径
O 退避位置
G1 ウエハガイド位置
G2 ウエハガイド位置
H1、H2 ストローク
S 配置領域
m 隙間
W、W1、W2 ウエハ
Wa 外周側面
WD 外径
Xa 内側
Xb 外側
Claims (3)
- ウエハ受け渡し装置が保持するウエハを所定のテーブルに搬送してリリースする際に前記ウエハを位置決めするためのウエハ位置決め装置であって、
前記ウエハ受け渡し装置の保持部が前記ウエハを保持する際に前記ウエハと接触しない位置に配置され、前記保持部が前記ウエハを前記テーブルにリリースする際に前記ウエハと接触する位置に配置されるウエハガイド手段を備え、
前記ウエハガイド手段は、前記ウエハと接触可能に前記テーブルと略垂直となり、前記ウエハを案内する、前記異なる外径をしたウエハ毎に対応する複数のガイド面を有する、ことを特徴とするウエハ位置決め装置。 - 前記異なる外径をしたウエハ構成に対応している前記ガイド面の位置を各々記憶し、前記異なる外径をしたウエハ構成毎に前記ガイド面の回動位置を切り換え可能な制御手段をさらに備えていることを特徴とする請求項1に記載のウエハ位置決め装置。
- 前記ウエハガイド手段は、前記テーブルに対して略垂直方向に移動するとともに、
前記テーブルに対して略垂直方向に回動可能に構成されたガイド面を有し、前記ガイド面が前記テーブルと略垂直になる複数のウエハガイド位置と、前記ガイド面が前記ウエハの外周側面に接触しない退避位置と、に切り替え可能な回動部材を備え、
前記テーブルは、前記回動部材と当接可能な位置に配設され、
前記制御手段は、前記ウエハガイド位置に対応した前記ウエハガイド手段の前記テーブルまでの距離を記憶している、
ことを特徴とする請求項2に記載のウエハ位置決め装置。
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