JP5670645B2 - ウエハ移載装置 - Google Patents

Description

本発明は、ウエハ移載装置及びかかるウエハ移載装置を用いたウエハ移載方法に関する。

従来から、シリコン等の半導体からなるウエハ上に化学気相成長（ＣＶＤ：Chemical Vapor Deposition）法等の成膜方法を用いて半導体膜及び層間絶縁膜等の種々の薄膜が形成されていた。

例えば、ウエハ上にＰＳＧ（Phospho Silicate Glass）又はＢＰＳＧ（Boron Phosphorus Silicon Glass）等の層間絶縁膜を成膜するために使用される連続式常圧気相成長装置においては、ウエハを連続的に搬送するための搬送手段を有する。かかる搬送手段は環状のチェーン又はベルト等の線状体を有し、当該線状体にはＳｉＣ等からなるトレイが多数取り付けられている。更に、当該トレイには、ウエハに対応する大きさ及び形状を有するザグリ部（凹部）が設けられている。これらの構造によって、かかる搬送手段は、ザグリ部でウエハを保持しつつウエハを連続的に搬送することができる。より具体的には、線状体が回動すると、トレイ上に載置されたウエハを連続的に反応室内に送り込むこと、及び反応室内のウエハを反応室外に送り出すことができる。反応室内においては、ウエハが加熱され、且つ、ウエハの上面に向けて反応ガスが噴射されることにより、ウエハの上面に層間絶縁膜が成膜される。また、ウエハがザグリ部内に載置されることから、搬送途中での載置状態が乱れず、安定した搬送を行うことができる。これにより、ウエハ上に一定の品質の層間絶縁膜を常に成膜することができる。

また、ＣＶＤ装置等の成膜装置を用いて薄膜を形成するために、ウエハ移載装置を用いて薄膜形成前のウエハを成膜装置に移載していた。例えば、上述した連続式常圧気相成長装置を用いる場合には、成膜前のウエハをベルトコンベア、ウエハボート等の搬送手段やストアレッジ手段によって、連続式常圧気相成長装置の搬送手段近傍の移載地点にまで搬送する。当該移載地点に搬送された後、ウエハチャック等のウエハ把持手段を有する移載装置によってウエハをピックアップし、上述したトレイ上に形成されたザグリ部に載置する。

一方、層間絶縁膜が成膜されたウエハは、反応室から搬出された後、上述した移載地点とは別の移載地点において、ウエハチャック等のウエハ把持手段を有する別の移載装置により、トレイ上からピックアップされる。ピックアップされたウエハは、ベルトコンベア、ウエハボート等の他の搬送手段やストアレッジ手段に移載される。

上述したような移載装置を使用することにより、ＩＣ又はＬＳＩ等の半導体装置等を形成する製造ライン上の任意の箇所に成膜工程を配置することができ、製造ラインの構成、配置及び設計の自由度を向上することができた。

しかしながら、従来のウエハ移載装置においては、ウエハをトレイのザグリ部内に載置する時に、ウエハを自由落下させていたために、ウエハが揺らいでしまい、ウエハをザグリ部内に正確に載置することができなかった。これは、ウエハが非常に薄く且つウエハが自由落下する際にウエハとザグリ部との間に空気が存在することで、ウエハが空気抵抗を受けるからである。

このようにウエハが揺れてしまうと、ウエハがザグリ部の側面に衝突したり、ウエハがザグリ部又はトレイからはみ出してしまう。ウエハがザグリ部の側面に衝突すると、ＣＶＤによりザグリ部の側面に堆積していた堆積物がウエハ上に付着する。当該異物が付着した状態でＣＶＤが行われると、最終的に製造される半導体素子の欠陥に繋がる問題があった。また、ウエハがザグリ部又はトレイからはみ出した状態でＣＶＤが行われると、層間絶縁膜の異常成膜、搬送手段の運転停止、搬送手段及び反応室等の破損に繋がる問題があった。

このような問題を解決する方法として、ウエハを上方から下方に向けて押えつつウエハをザグリ部に載置する方法がある。例えば、特許文献１には、ウエハ移載時においてウエハを押える棒を有するウエハ搬送装置が記載されている。

特開２００２−１４１３９０号公報

しかしながら、ウエハを上方から下方に向けてウエハを抑えた場合でも、線状体がウエハの落下方向に対して垂直な方向に移動しているため、ウエハをザグリ部に正確に載置するができなに場合もある。また、空気抵抗によるウエハの揺らぎが大きいと、ウエハが押え棒からずれてしまい、ウエハをザグリ部に正確に載置できないこともある。更に、ウエハが押え棒からずれた状態でザグリ部に到達すると、ウエハがザグリ部底面に対して斜めに載置されて、押え棒の押圧によりウエハが破損するおそれがある。かかる破損は、最終的に製造される半導体素子の欠陥に繋がってしまう。

本発明は、以上の如き事情に鑑みてなされたものであり、ウエハを正確に移載することによってウエハの破損を防止することができるウエハ移載装置及びウエハ移載方法を提供する。

上述した課題を解決するために、本発明のウエハ移載装置は、ウエハを所定の載置位置に移載するウエハ移載装置であって、前記ウエハを保持するウエハチャック部と、前記ウエハチャック部の下方に配され、前記ウエハの直径よりも大なる開口部を有し前記ウエハチャック部のチャッキングアームを開いて前記ウエハを前記ウエハチャック部から落下させ載置する際の前記ウエハの落下方向における前記所定の載置位置に前記ウエハを案内する案内部材を備えるウエハガイド部と、前記ウエハチャック部及び前記ウエハガイド部を保持する本体部と、を有することを特徴とする。

本発明のウエハ移載装置によれば、ウエハを載置する際において、落下するウエハを所定の載置位置に案内する案内部材を設けることによってウエハが所望の載置位置に正確に載置される。これにより、ウエハ移載時におけるウエハの破損を防止することができる。

（ａ）は実施例１に係るウエハ移載装置の側面図あり、（ｂ）は実施例１に係るウエハ移載装置の平面図である。 （ａ）は図１（ａ）とは異なる状態を示すウエハ移載装置の側面図であり、（ｂ）は図２（ａ）の状態の平面図である。 （ａ）はウエハを載置する状態を示すウエハ移載装置の側面図であり、（ｂ）は図３（ａ）の状態の平面図であり、（ｃ）は図３（ｂ）の矢印３Ｃに沿った断面図である。 実施例１に係るウエハ移載装置を用いてウエハをチャッキングする方法を説明するための概略図である。 図４のチャッキングアーム部分における拡大図である。 連続式常圧気相成長装置の概略図である。 実施例１に係るウエハ移載装置を用いてウエハを載置する方法を説明するための概略図平面図である。 実施例１に係るウエハ移載装置を用いてウエハを載置する方法を説明するための概略図側面図である。 実施例１に係るウエハ移載装置を用いてウエハを載置する際のウエハの動きを説明するための平面図及び断面図である。 ウエハガイド部の変形例を示す平面図である。 実施例２に係るウエハ移載装置の側面図であり、（ｂ）は図１１（ａ）の状態の平面図であり、（ｃ）は図１１（ｂ）の矢印１１Ｃに沿った断面図である。 実施例２に係るウエハ移載装置を用いてウエハを載置する際のウエハの動きを説明するための断面図である。 実施例３に係るウエハ移載装置の側面図であり、（ｂ）は図１３（ａ）の状態の平面図であり、（ｃ）は図１３（ｂ）の矢印１３Ｃに沿った断面図である。 実施例３に係るウエハ移載装置を用いてウエハを載置する際のウエハの動きを説明するための断面図である。

以下、本発明の実施例について添付図面を参照しつつ詳細に説明する。

先ず、図１、図２及び図３を参照しつつ実施例１に係るウエハ移載装置の構造について説明する。図１（ａ）は実施例１に係るウエハ移載装置の側面図あり、図１（ｂ）は実施例１に係るウエハ移載装置の平面図である。図２（ａ）は図１（ａ）とは異なる状態を示すウエハ移載装置の側面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）の状態の平面図である。図３（ａ）はウエハを載置する状態を示すウエハ移載装置の側面図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）の状態の平面図であり、図３（ｃ）は図３（ｂ）の矢印３Ｃに沿った断面図である。

図１（ａ）、（ｂ）に示されているように、ウエハ移載装置１０は、本体部１１、ウエハチャック部１２、ウエハガイド部１３を有している。ウエハチャック部１２は、本体部１１に一端が可動自在に保持された支持体１２Ａ、ウエハをチャッキングするチャッキングアーム１２Ｂ及び支持体１２Ａとチャッキングアーム１２Ｂとを連結する連結部１２Ｃから構成されている。チャッキングアーム１２Ｂの形状は円弧状であり、２つのチャッキングアーム１２Ｂで１組となっており、当該１組のチャッキングアーム１２Ｂによってウエハの外縁部分を保持してウエハをチャッキングする。ウエハガイド部１３は、本体部１１に一端が保持された支持体１３Ａ、ウエハの直径よりも大きい開口を有するガイドリング（案内部材）１３Ｂ、支持体１３Ａとガイドリング１３Ｂとを連結する連結部１３Ｃから構成されている。本体部１１には略Ｌ字状の搬送レール１１Ａが設けられており、ウエハチャック部１２は搬送レール１１Ａに沿って自在にその位置を変更することができる。具体的には、水平方向（矢印１Ａで示す）及び垂直方向（矢印１Ｂで示す）において自在にその位置を変更できる。すなわち、支持体１２Ａの一端が搬送レール１１Ａに沿って移動できるように保持されている。また、支持体１２Ａは、搬送レール１１Ａによって保持された支持体１２Ａの一端を中心軸として矢印１Ｃの方向に回動自在である。

なお、図１においてはチャッキングアーム１２Ｂは４つであり、２枚のウエハを同時にチャッキングできるようになっていが、成膜装置等に応じて同時にチャッキングできるウエハの数量は適宜変更できる。すなわち、チャッキングアーム１２Ｂは４つに限られることはない。また、同時にチャッキングできるウエハ数量に応じて、ガイドリング１３Ｂの数量も変わる。

次に、図１（ａ）、（ｂ）、図２及び図３参照しつつウエハチャック部１２の移動及び回転について説明する。図１（ａ）、（ｂ）に示されて状態は、ウエハをチャッキングする状態を示している。なお、ウエハをチャッキングする場合には、連結部１２Ｃが移動し、１組のチャッキングアーム１２Ｂの間隔が広がることによってウエハをチャッキングすることができる。図２は、図１によって示された状態からウエハチャック部１２が矢印１Ｃに沿って９０度回転した状態を示している。すなわち、図２の状態においては、支持体１２Ａと支持体１３Ａとが平行に位置する。ウエハ搬送装置１０の状態が、チャッキング可能な状態（図１）から図２の状態に移行することにより、ウエハチャック部１２を垂直方向１Ｂ及び水平方向１Ａに沿って移動させることができる。

図３は、ウエハチャック部１２が図２の状態から垂直方向１Ｂ及び水平方向１Ａに沿って移動した後の状態であって、ウエハをトレイに載置する状態を示している。図３（ａ）に示されているように、ウエハチャック部１２とウエハガイド部１３とは垂直方向１Ｂにおいて平行に配置されている。この時、チャッキングアーム１２Ｂの底部とガイドリング１３Ｂの上面部とが対向するように配置される。図３（ｃ）に示されているように、チャッキングアーム１２Ｂは、側壁部３１及び底部３２から構成されている。チャッキング時において、ウエハＷは２つのチャッキングアーム１２Ｂの底部３２上に位置する。また、底部３２は、側壁部３１との接続部分からウエハＷの中心に向かって徐々にその厚さが減少するような傾斜を有している。すなわち、図３（ｃ）における底部３２の断面形状は三角形である。図３に示された状態から連結部１２Ｃが支持体１２Ａに沿って移動し、１組のチャッキングアーム１２Ｂの間隔が広がることにより、ウエハＷがガイドリング１３Ｂに向けて自由落下する。

ウエハ搬送装置１０は、図３示された状態から水平方向１Ａ及び垂直方向１Ｂに沿ってウエハチャック部１２が移動し、更にウエハチャック部１２が９０度回転することより、ウエハをチャッキングする状態（図１参照）に移行する。

次に、図４及び図５を参照しつつウエハ移載装置１０によるウエハのチャッキングについて説明する。図４は、成膜前のウエハを搬送するウエハ搬送装置４０とウエハ移載装置１０との関係を示す概略図である。また、図５は、ウエハをチャッキングする際におけるチャッキングアーム１２Ｂ部分の拡大図である。

図４に示されているように、ウエハ搬送装置４０は、ウエハＷを搬送する搬送ベルト４１、スプロケット等の回動輪４２、回動輪４２を回転せしめる駆動モータ４３、駆動モータ４３の回転を回動輪４２に伝える伝動ベルト４４、及び成膜前のウエハＷを複数枚収納することができるウエハ収納部４５から構成されている。ウエハＷのチャッキング時において、ウエハ移載装置１０は搬送ベルト４１の上方に位置し、チャッキングアーム１２Ｂの底部３２と搬送ベルト４１とは、同じ高さに位置する。なお、図４において、ウエハガイド部１３は図面の便宜上のために省略している。

ウエハ収納部４５は、ウエハＷを１枚ずつ保持することができる棚部を有しており、棚部によって複数のウエハＷを互いに離間し、且つ積層された状態で収納することができる。ウエハ収納部４５に収納されたウエハＷは、最下位に位置するウエハＷから順次搬出され、搬送ベルト４１の動きに沿ってウエハ移載装置１０に向けて搬送される。

図５（ａ）に示されているように、搬送ベルト４１を２つのチャッキングアーム１２Ｂによって挟むようにウエハ移載装置１０が配置されると、連結部１２Ｃが支持体１２Ａに沿って移動する。具体的には、連結部１２Ｃの間隔が広がるように移動する。これによりチャッキングアーム１２Ｂは、搬送ベルト４１から離れる方向（矢印５Ａ、５Ｂ）に移動する（すなわち、チャッキングアーム１２Ｂが開く）。ウエハＷが搬送ベルト４１に沿ってさらに移動し、ウエハチャック位置に到達すると（図５（ｂ））、連結部１２Ｃが支持体１２Ａに沿って再び移動する。具体的には、連結部１２Ｃの間隔が小さくなるように移動する。これによりチャッキングアーム１２Ｂは搬送ベルト４１に近づく方向（矢印５Ｃ、５Ｄ）に移動する（すなわち、チャッキングアーム１２Ｂが閉じる）。チャッキングアーム１２Ｂが閉じた状態に戻ることによってウエハＷをチャッキングすることができる。

次に、図６乃至図９を参照しつつ、ウエハ移載装置１０を用いて化学気相成長（ＣＶＤ：Chemical Vapor Deposition）装置にウエハを載置する方法を説明する。図６は、ウエハ移載装置１０、常温ＣＶＤ装置６０及びウエハ搬出装置７０の位置関係を示した概略図である。図７は、ウエハ移載装置１０とウエハＷ用のトレイとの位置関係を示した平面図である。図８は、ウエハＷを載置するまでのウエハ移載装置１０を動きを説明するための側面図である。図９はウエハＷの移載におけるウエハＷの動きを説明するための平面図及び断面図である。

図６に示されているように、常温ＣＶＤ装置６０は、ウエハＷを搬送する搬送ベルト６１、スプロケット等の回動輪６２、回動輪６２を回転せしめる駆動モータ６３、駆動モータ６３の回転を回動輪６２に伝える伝動ベルト６４、成膜を行う反応室６５、及び搬送ベルト６１を介して反応室６５に対向する位置に設けられたヒータ６６から構成されている。また、図６及び図７に示されているように、搬送ベルト６１には、トレイホルダ６７が取付けられ、更にトレイホルダ６７上にはウエハＷが載置されるトレイ６８が取付けられている。トレイ６８にはウエハＷが載置されるザグリ部（凹部）６８Ａが形成されており、ザグリ部６８Ａの内部にウエハＷが載置される。なお、図６においては、図面上の便宜のために、トレイホルダ６７及びトレイ６８が１０個のみ図示されているが、本来は搬送ベルト６１上に連続してトレイホルダ６７及びトレイ６８が配置されている。

また、ウエハ搬出装置７０は、本体部７０Ａ、ウエハＷを吸着しつつ搬出するベルヌーイチャック７０Ｂ、及び本体部７０Ａとベルヌーイチャック７０Ｂとを連結する連結部７０Ｃから構成されている。また、連結部７０Ｃの一端は、本体部７０Ａに対して上下方向に移動自在であり、且つ、当該一端を中心に回転自在に固定されている。このような構成により、ウエハＷの吸着時においては、連結部７０Ｂが下方に移動することでベルヌーイチャック７０ＢをウエハＷまで近づける。一方、ウエハＷを吸着した後においては、連結部７０Ｂが上方に移動し、更に、本体部７０Ａに固定された一端を中心軸として連結部７０Ｃが回転し、ウエハＷを搬出する。

ウエハ移載装置１０及びウエハ搬出装置７０は、反応室６５を挟んで対向するように搬送ベルト６１の上方に配置される。ウエハ移載装置１０には、ウエハ移載装置１０の配置位置を自在に変更することができる位置調整部７１が接続されている。より具体的には、位置調整部７１は、ウエハ移載装置１０を水平方向６Ａ及び垂直方向６Ｂに自在に移動することができる。位置調整部７１は、ウエハ移載装置の位置を調整する制御部７１Ａと、実際にウエハ移載装置１０の位置を変更する駆動機構を備えた位置変更部７１Ｂとから構成されている。

上述した構成により、回動輪６２が駆動モータ６３によって回転させられると、搬送ベルト６１が移動する。ウエハ移載装置１０によって載置されたウエハＷは、トレイ６８に載置された状態で反応室６５の内部に順次送り込まれる。ウエハＷの上面は、反応室６５内を搬送される間に、反応室６５の下方に位置するヒータ６６によって加熱され、且つ、反応室６５内に設けられたガス吹き出しヘッド６５Ａから噴出された反応ガスに曝される。これにより、ウエハＷの上面には層間絶縁膜が形成される。反応室６５から送り出されたウエハＷは、ウエハ搬出装置７０によって常圧ＣＶＤ装置６０から搬出される。なお、ヒータ６６の熱は、トレイホルダ６７及びトレイ６８を伝導してウエハＷに伝達される。

次に、図７、図８及び図９を参照しつつ、ウエハ移載装置１０の動き及びウエハＷの移載方法を説明する。

先ず、図７及び図８に示されているように、ウエハ移載装置１０は、位置調整部７１によって初期位置８Ａに配置される。かかる状態においては、ホルダ６８と支持体１２Ａとが平行となり、チャッキングされたウエハＷの位置とザグリ部６８Ａ位置とが、Ｙ軸方向において一致している。

次に、位置調整部７１によってウエハ移載装置１０がＸ軸方向（搬送ベルト６１と平行な方向）に沿って移動し、第１停止位置８Ｂに到達する。更に、位置調整部７１によってウエハ移載装置１０がＺ軸方向に沿って下方に移動し、第２停止位置８Ｃに到達する。このとき、ガイドリング１３Ｂの底部は、トレイ６８のザグリ部６８Ａの内部に位置する。かかる状態におけるウエハＷの近傍の拡大平面図を図９（ａ）に示す。また、図９（ａ）における矢印９Ｂ（破線示す）に沿った断面図を図９（ｂ）に示す。続いて、ウエハ移載装置１０が、位置調整部７１の動作制御により、搬送ベルト６１の搬送速度と同期してＸ軸方向に沿って移動する。

その後、ウエハ移載装置１０がウエハＷの載置位置に到達すると、連結部１２Ｃが移動することによって１組のチャッキングアーム１２Ｂの間隔が広がり、チャッキングアーム１２Ｂが開いた状態になる（図９（ｃ））。チャッキングアーム１２Ｂが開いた状態になると、ウエハＷがガイドリング１３Ｂの内側面に沿って自由落下する（図９（ｄ））。この時、ウエハＷが空気抵抗によって揺らいだとしても、ウエハＷはガイドリング１３Ｂの内側面に衝突するものの、ザグリ部６８Ａの側面への衝突及びザグリ部６８Ａの外部へのウエハＷの飛び出しを防止することができる。また、ウエハ移載装置１０と搬送ベルト６１とが同期しているため、ウエハ移載装置１０を停止した状態でウエハＷを載置する場合よりもより正確にウエハＷを載置することができる。更には、ガイドリング１３Ｂとザグリ部６８Ａの側面の衝突を防止することができ、ウエハＷへの堆積物の付着及びトレイ６８のずれを防止することができる。

次に、ガイドリング１３Ｂの変形例について図１０を参照しつつ説明する。ガイドリング１３Ｂは、ウエハＷがガイド内部から外部に飛び出さなければ、ウエハＷの側面全体を込むような形状でなくてもよい。例えば、図１０（ａ）に示されているように、略Ｃ字形のガイド板１３Ｄを用いてもよい。また、図１０（ｂ）に示されているように、２つの円弧板１３Ｅを固定部１３Ｆの両端に固定したガイドを用いてもよい。いずれの場合においても、ウエハＷがガイド内部から外部に飛び出すことがないため、ウエハＷをザグリ部６８Ａ内に正確に載置することができる。

以上のように、本発明のウエハ移載装置によれば、ウエハＷを載置する際において、落下するウエハＷの周囲を囲むウエハガイド部１３を設けることにより、ウエハガイド部１３のガイドリング１３Ｂの開口を経由してウエハＷが所望の載置位置に正確に載置される。これにより、ウエハ移載時におけるウエＷの破損を防止することができる。

次に、実施例２に係るウエハ移載装置１００を図１１及び図１２を参照しつつ説明する。図１１（ａ）はウエハを載置する状態を示すウエハ移載装置１００の側面図であり、図１３（ｂ）は図１１（ａ）の状態の平面図であり、図１１（ｃ）は図１１（ｂ）のや矢印１１Ｃに沿った断面図である。図１２はウエハＷの載置時におけるウエハ移載装置１００の部分断面図である。

本体部１１、ウエハチャック部１２及びウエハガイド部１３の構造は実施例１とほぼ同一である。従って、ウエハチャック部１２は、搬送レール１１Ａに沿って（すなわち、水平方向１Ａ及び垂直方向１ｂにおいて）移動自在である。異なる部分は、本体部１１にウエハ押圧部１１０が取付けられている。図１１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示されているように、ウエハ押圧部１１０は、支持体１１０Ａ、押圧爪１１０Ｂ、接続部１１０Ｃ、及び可動部１１０Ｄから構成されている。より具体的には、支持体１１０Ａはその一部が本体部１１に固定されている。接続部１１０Ｃは３つの押圧爪１１０Ｂを接続する部材であって、その平面形状は略Ｖ字型である。接続部１１０ＣのＶ字形状の頂点部分は可動部１１０Ｄに固定されている。可動部１１０Ｄの一端には接続部１１０Ｃが固定され、他端は支持体１１０Ａに保持されている。支持体１１０Ａには可動部１１０Ｄの一部を収納可能とする開口部１１０Ｅが設けられており、可動部１１０Ｄは開口部１１０Ｅ内を垂直方向１Ｂに沿って移動することができる。すなわち、可動部１１０Ｄは、支持体１１０Ａに対して移動自在に保持されている。

また、図１１（ｃ）に示されているように、押圧爪１１０Ｂの側面はチャッキングアーム１２Ｂ及びガイドリング１３Ｂの側面よりも内側（ウエハＷの中心に近い位置）に配置されている。押圧爪１１０Ｂの底部は外側に下がる傾斜を有しており、ウエハＷの外縁のみを押圧しやすい構造になっている。

次に、図１２を参照しつつウエハＷの載置方法を説明する。なお、図８に示された初期位置８Ａ〜第２停止位置８Ｃまでのフローは実施例１と同一である。第２停止位置８Ｃに到達した状態における断面図を図１２（ａ）に示す。

ウエハ移載装置１００が第２停止位置に到達すると、可動部１１０Ｄが下方に移動し、ウエハＷの外縁に押圧爪１１０Ｂが接触する（図１２（ｂ））。その後、実施例１と同様に、位置調整部７１の動作制御によって搬送ベルト６１の搬送速度と同期してＸ軸方向に沿って移動する。

更に、連結部１２Ｃが移動することによって１組のチャッキングアーム１２Ｂの間隔が広がり、チャッキングアーム１２Ｂが開いた状態になる（図１２（ｃ））。チャッキングアーム１２Ｂが開いた状態になると、可動部１１０ＤがウエハＷの自由落下の速度よりも速い速度で下方に移動する。これにより、押圧爪１１０ＢによってウエハＷは下方に向けて押圧された状態で落下し、ザグリ部６８Ａに載置される（図１２（ｄ））。ウエハＷがザグリ部６８Ａに載置される直前に、可動部１１０Ｄの下方への移動が止まるため、ザグリ部６８Ａと押圧爪１１０ＢとによってウエハＷが挟まれるもののウエハＷに損傷が生じることはない。なお、可動部１１０Ｄの当該動作の停止タイミングは、ウエハＷの厚さを考慮して予め算出される。

このようにウエア押圧部１１０を用いてウエハＷを載置することにより、ウエハＷをザグリ部６８Ａの所定の位置に載置することが容易になる。また、押圧爪１１０Ｂによる押圧位置がウエハＷの外縁からずれた場合であっても、ウエハＷがガイドリング１３Ｂの側面に沿って落下するため、ウエハＷがザグリ部６８Ａから飛び出ることもない。

次に、実施例３に係るウエハ移載装置２００を図１３及び図１４を参照しつつ説明する。図１３（ａ）はウエハを載置する状態を示すウエハ移載装置２００の側面図であり、図１３（ｂ）は図１１（ａ）の状態の平面図であり、図１３（ｃ）は図１３（ｂ）のや矢印１３Ｃに沿った断面図である。図１４はウエハの載置時におけるウエハ移載装置２００の部分断面図である。

本体部１１及びウエハチャック部１２の構造は実施例２と同一である。従って、ウエハチャック部１２は、搬送レール１１Ａに沿って（すなわち、水平方向１Ａ及び垂直方向１ｂにおいて）移動自在である。実施例２と異なる部分は、ウエハガイド部１３がないことである。

次に、図１４を参照しつつウエハＷの載置方法を説明する。なお、図８に示された初期位置８Ａ〜第２停止位置８Ｃまでのフローは実施例１と同一である。第２停止位置８Ｃに到達した状態における断面図を図１４（ａ）に示す。

ウエハ移載装置２００が第２停止位置に到達すると、可動部１１０Ｄが下方に移動し、ウエハＷの外縁に押圧爪１１０Ｂが接触する（図１４（ｂ））。その後、実施例１と同様に、位置調整部７１の動作制御によって搬送ベルト６１の搬送速度と同期してＸ軸方向に沿って移動する。

更に、連結部１２Ｃが移動することによって１組のチャッキングアーム１２Ｂの間隔が広がり、チャッキングアーム１２Ｂが開いた状態になる（図１４（ｃ））。チャッキングアーム１２Ｂが開いた状態になると、可動部１１０ＤがウエハＷの自由落下の速度よりも速い速度で下方に移動する。これにより、押圧爪１１０ＢによってウエハＷは下方に向けて押圧された状態で落下し、ザグリ部６８Ａに載置される（図１４（ｄ））。ウエハＷがザグリ部６８Ａに載置される直前に、可動部１１０Ｄの下方への移動が止まるため、ザグリ部６８Ａと押圧爪１１０ＢとによってウエハＷが挟まれるもののウエハＷに損傷が生じることはない。なお、可動部１１０Ｄの当該動作の停止タイミングは、ウエハＷの厚さを考慮して予め算出される。

このようにウエア押圧部１１０を用いてウエハＷを載置することにより、ウエハＷをザグリ部６８Ａの所定の位置に載置することが容易になる。また、ウエハ移載装置２００が搬送ベルト６１の搬送速度と同期してＸ軸方向に沿って移動するため、ウエハ移載装置２００が停止した状態でウエハＷを載置する場合よりも、ザグリ部６８Ａ内に正確にウエハＷを載置することができる。

１０ ウエハ移載装置
１１ 本体部
１２ ウエハチャック部
１２Ａ 支持体
１２Ｂ チャッキングアーム
１２Ｃ 連結部
１３ ウエハガイド部
１３Ａ 支持体
１３Ｂ ガイドリング（案内部材）
１３Ｃ 連結部
Ｗ ウエハ

Claims (5)

1. ウエハを所定の載置位置に移載するウエハ移載装置であって、
   前記ウエハを保持するウエハチャック部と、
   前記ウエハチャック部の下方に配され、前記ウエハの直径よりも大なる開口部を有し前記ウエハチャック部のチャッキングアームを開いて前記ウエハを前記ウエハチャック部から落下させ載置する際の前記ウエハの落下方向における前記所定の載置位置に前記ウエハを案内する案内部材を備えるウエハガイド部と、
   前記ウエハチャック部及び前記ウエハガイド部を保持する本体部と、を有することを特徴とするウエハ移載装置。
2. 前記所定の載置位置の移送に同期して前記本体部を移動させる移動手段を更に有することを特徴とする請求項１に記載のウエハ移載装置。
3. 前記ウエハチャック部の上方に設けられ、前記ウエハを前記ウエハの落下方向に押圧するウエハ押圧部を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハ移載装置。
4. 前記ウエハチャック部の上方に設けられ、前記ウエハを前記ウエハの落下方向に押圧するウエハ押圧部を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハ移載装置。
5. 前記ウエハ押圧部は、前記ウエハの落下速度よりも速い速度で前記ウエハの落下方向に移動することを特徴とする請求項３又は４に記載のウエハ移載装置。

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