JP2011233773A - ウエハ移載装置及びウエハ移載方法 - Google Patents
ウエハ移載装置及びウエハ移載方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】ウエハを保持するウエハチャック部と、ウエハを所定の載置位置に案内する案内部材を備えるウエハガイド部と、ウエハチャック部によって保持されたウエハと案内部材とがウエハの落下方向において対向するように、ウエハチャック部及びウエハガイド部を保持する本体部と、を有することを特徴とするウエハ移載装置。
【選択図】図1
Description
11 本体部
12 ウエハチャック部
12A 支持体
12B チャッキングアーム
12C 連結部
13 ウエハガイド部
13A 支持体
13B ガイドリング(案内部材)
13C 連結部
W ウエハ
Claims (8)
- ウエハを所定の載置位置に移載するウエハ移載装置であって、
前記ウエハを保持するウエハチャック部と、
前記ウエハを前記所定の載置位置に案内する案内部材を備えるウエハガイド部と、
前記ウエハチャック部によって保持された前記ウエハと前記案内部材とが前記ウエハの落下方向において対向するように、前記ウエハチャック部及び前記ウエハガイド部を保持する本体部と、を有することを特徴とするウエハ移載装置。 - 前記所定の載置位置の移送に同期して前記本体部を移動させる移動手段を更に有することを特徴とする請求項1に記載のウエハ移載装置。
- 前記ウエハチャック部の上方に設けられ、前記ウエハを前記ウエハの落下方向に押圧するウエハ押圧部を有することを特徴とする請求項1又は2に記載のウエハ移載装置。
- 前記ウエハ押圧部は、前記ウエハの外縁部分を押圧することを特徴とする請求項3に記載のウエハ移載装置。
- 前記ウエハ押圧部は、前記ウエハの落下速度よりも速い速度で前記ウエハの落下方向に移動することを特徴とする請求項3又は4に記載のウエハ移載装置。
- ウエハを所定の載置位置に移載するウエハ移載方法であって、
前記ウエハを保持しつつ前記所定の載置位置の上方に前記ウエハを移動する移動ステップと、
前記ウエハを開放して前記所定の載置位置に載置する載置ステップと、を有し、
前記載置ステップは前記ウエハをガイドしつつ前記所定の載置位置に載置することを特徴とするウエハ移載方法。 - 前記載置ステップにおいて前記所定の載置位置の移送に同期させて前記ウエハを移動させつつ載置することを特徴とする請求項5に記載のウエハ移載方法。
- 前記載置ステップにおいて前記ウエハの落下方向に対して押圧しつつ載置することを特徴とする請求項6又は7に記載のウエハ移載方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020088072A (ja) * | 2018-11-20 | 2020-06-04 | 株式会社東京精密 | ウエハ受け渡し装置 |
JP2020088071A (ja) * | 2018-11-20 | 2020-06-04 | 株式会社東京精密 | ウエハ受け渡し装置 |
CN115394698A (zh) * | 2022-10-27 | 2022-11-25 | 泓浒(苏州)半导体科技有限公司 | 晶圆传送机械臂及晶圆传送方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000174108A (ja) * | 1998-12-07 | 2000-06-23 | Shibuya Kogyo Co Ltd | ワーク把持装置 |
JP2002141390A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-05-17 | Oki Electric Ind Co Ltd | ウェハ移載装置 |
-
2010
- 2010-04-28 JP JP2010103933A patent/JP5670645B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000174108A (ja) * | 1998-12-07 | 2000-06-23 | Shibuya Kogyo Co Ltd | ワーク把持装置 |
JP2002141390A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-05-17 | Oki Electric Ind Co Ltd | ウェハ移載装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020088072A (ja) * | 2018-11-20 | 2020-06-04 | 株式会社東京精密 | ウエハ受け渡し装置 |
JP2020088071A (ja) * | 2018-11-20 | 2020-06-04 | 株式会社東京精密 | ウエハ受け渡し装置 |
JP7148374B2 (ja) | 2018-11-20 | 2022-10-05 | 株式会社東京精密 | ウエハ受け渡し装置 |
JP7148373B2 (ja) | 2018-11-20 | 2022-10-05 | 株式会社東京精密 | ウエハ受け渡し装置 |
CN115394698A (zh) * | 2022-10-27 | 2022-11-25 | 泓浒(苏州)半导体科技有限公司 | 晶圆传送机械臂及晶圆传送方法 |
CN115394698B (zh) * | 2022-10-27 | 2022-12-23 | 泓浒(苏州)半导体科技有限公司 | 晶圆传送机械臂及晶圆传送方法 |
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