JP3913889B2 - 基板収納装置および基板収納方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば液晶表示装置を構成するガラス基板等を収納する際に用いられる基板収納装置および基板収納方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図7は従来のガラス基板等の矩形状の基板を収納する基板収納装置(以下、カセットと称する)を示す斜視図である。また、図8はカセットに収納された基板の状態を示す図、図9はカセットに収納された基板の搬出入時の状態を示す図、図10は搬送装置によりカセットへ基板を搬出入する状況を示す概略図である。図において、1はカセットを構成する外箱、2はカセットに収納される基板3を一枚ずつ互いに間隔をあけて保持するための支持部材、Dは支持部材2間のピッチ、2fは支持部材2に設けられ基板3と直接接触して支持する突起形状を有する支持座、3aは板厚の厚い基板、3bは板厚の薄い基板、4は搬送装置5において搬送する基板3を保持するハンド部である。
【0003】
図8に示すように、板厚の厚い基板3aは、支持部材2に設けられた支持座2fで支持されることによりたわみ量δ1 を有して保持され、板厚の薄い基板3bは、支持部材2に設けられた支持座2fで支持されることによりたわみ量δ3 を有して保持される。
また、図9に示すように、板厚の厚い基板3aを支持部材2に設けられた支持座2fで支持したときのたわみ量δ1 は小さいため、基板3aを搬出入するために搬送装置5のハンド部4を基板3a間に挿入して基板3aを持ち上げたとき(図9において点線で記載)に、上部に収納されている他の基板3aと接触することなく基板3aを搬出入できる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
従来のカセットに収納された基板3は自重によりたわみを生じ、比較的板厚の厚い基板3aにおいては特に問題は生じなかったが、液晶表示装置に用いられるガラス基板等は、近年の液晶表示装置の大画面化かつ薄型化傾向に伴い大型化かつ薄板化される傾向にあり、基板のたわみ量δは次の式で示されるように、
δ=k・pa4 /Eh3 δ:たわみ量
k:基板の長辺/短辺の比で決まる定数
p:等分布荷重
a:基板の短辺
E:ヤング率
h:基板の板厚
なお、たわみ式は便宜上四辺単純支持の場合を示す。
板厚の3乗に反比例するため、仮に基板の板厚が70%に薄板化されると、たわみ量は約3倍に増加する。
以上のことから、図11に示すように、板厚の薄い基板3bがカセットに収納されている場合、基板3bは板厚の三乗に反比例したたわみ量δ3 を生じ、基板3bを搬出入するために基板3b間に搬送装置(図示せず)のハンド部4を挿入して基板3bを支持部材2から持ち上げたとき(図11において点線で記載)に、ハンド部4上の基板3bと上部に収納されている他の基板3bが接触して基板3bが破損するなどの問題があった。また、カセットに収納されている上下基板3間の接触を防止するために、支持部材2間のピッチDを大きくした場合には、カセットが大型化、あるいは基板3の収納効率が低下するなどの問題があった。さらに、基板3が大きくたわんだ状態で収納されたカセットを搬送した場合、基板3の振動が増大して基板3が破損するなどの問題があった。
【0005】
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたもので、カセットに収納された基板のたわみを抑制して、収納効率を低下させることなく基板の破損を防止できると共に、板厚が異なる基板に対しても使用できる汎用性を有する基板収納装置および基板収納方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この発明に係わる基板収納装置は、基板収納用の外箱の対向する側面あるいは基板の搬出入用の開口面以外の三側面に所定の間隔で上下方向に複数の支持部材を設け、対向する側面の支持部材あるいは三側面の支持部材に跨って上記基板を保持させるようにした基板収納装置において、上記支持部材の上面には、上記外箱の側面側に形成され上記基板の面に沿った平行面と、上記平行面の反側面側端部から上記基板の中央側に向かって上記基板との間隔が大きくなるように傾斜する傾斜面とが形成され、上記平行面及び傾斜面にそれぞれ突起状の支持座を設けたものである。
また、上記各側面に設けられる支持部材は、固定板に固着され、上記固定板を上記外箱に着脱可能に装着したものである。
またこの発明に係る基板収納方法は、請求項1または請求項2記載の基板収納装置の支持部材に複数の基板を一枚ずつ互いに間隔を保持して収納し、上記基板のたわみを抑制するようにしたものである。
【0007】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
以下、この発明の一実施の形態である基板収納装置(カセット)を図について説明する。図1は本発明の実施の形態1によるカセットを示す斜視図、図2は図1のA−A線に沿った断面から見た平面図、図3は本実施の形態によるカセットに収納された基板を支持する支持部材の構造を説明するための図である。図において、1はカセットを構成する外箱、2はカセットに収納される基板3を一枚ずつ互いに間隔をあけて保持するための支持部材で、支持部材2は所定のピッチで固定板2aに固着され、複数の支持部材2が固着された固定板2aは、固定板2aに設けられた穴2bにより外箱1に設けられたネジ穴1aにネジ2cを用いて固定されている。なお、複数の支持部材2が固着された固定板2aは、収納される基板3を安定に保持できるようカセットの外箱1の相対向する一対の側面、あるいは基板3搬出入用の開口面以外の三側面の複数箇所に配設されている。2d、2eは一つの支持部材2に設けられ基板3と直接接触して支持する突起形状を有する第一の支持座と第二の支持座で、第二の支持座2eは第一の支持座2dより基板3の中央側を支持する位置に配置され、かつ第一の支持座2dと第二の支持座2eが基板3を支持する位置は段差dを有し、第二の支持座2eは第一の支持座2dより段差dだけ基板3を低い位置で支持するよう構成されている。なお、第一の支持座2dは、従来のカセットに設けられていた支持座2fと同一位置に設けられている。
【0008】
図4、図5は本実施の形態によるカセットに収納された基板の状態を示す図である。図4は従来用いられていた板厚の厚い基板3aが支持部材2により保持されている状態を示し、図5は板厚の薄い基板3bが支持部材2により保持されている状態を示している。
図4に示すように、板厚の厚い基板3aを支持部材2で保持した場合、基板3aは第一の支持座2dのみと接触して支持され、第一の支持座2dに支持された基板3aは、従来のカセットに収納されていた場合と同様に、たわみ量δ1 を有して保持される。また、図5に示すように、板厚の薄い基板3bを支持部材2で支持した場合、基板3bは段差dを有して配置された第一の支持座2dと第二の支持座2eと接触して支持され、第一の支持座2dと第二の支持座2eに支持された基板3bは、第一の支持座2dのみで支持された場合(従来のカセットに収納された場合で、図5において点線で記載)に有するたわみ量δ3 より小さいたわみ量δ2 を有して保持される。なお、たわみ量δ1 、δ2 、δ3 の寸法関係は、δ1 <δ2 《δ3 となるよう第一の支持座2dと第二の支持座2eが配置構成されている。
【0009】
本実施の形態によれば、たわみ量が小さい板厚の厚い基板3aは第一の支持座2dのみで支持され、また、たわみ量が大きい板厚の薄い基板3bは段差dを有して配置された第一の支持座2dと第二の支持座2eに支持され、第一の支持座2dと第二の支持座2eに支持された基板3bは、第一の支持座2dのみで支持された場合に有するたわみ量δ3 より小さいたわみ量δ2 を有して保持されるため、図6に示すように、板厚の薄い基板3bがカセットに複数枚収納されている場合でも、基板3bを搬出入するために搬送装置(図示せず)のハンド部4を基板3b間に挿入して基板3bを持ち上げたとき(図6において点線で記載)に、上部に収納されている他の基板3bに接触することなく基板3bを搬出入できる。
なお、この発明による支持部材2の構造は、カセットに収納された基板3の保持のみでなく、その他の状況における基板の保持にも利用できる。
【0010】
【発明の効果】
以上のように、この発明は、基板収納用の外箱の対向する側面あるいは基板の搬出入用の開口面以外の三側面に所定の間隔で上下方向に複数の支持部材を設け、対向する側面の支持部材あるいは三側面の支持部材に跨って上記基板を保持させるようにした基板収納装置において、上記支持部材の上面には、上記外箱の側面側に形成され上記基板の面に沿った平行面と、上記平行面の反側面側端部から上記基板の中央側に向かって上記基板との間隔が大きくなるように傾斜する傾斜面とが形成され、上記平行面及び傾斜面にそれぞれ突起状の支持座を設けたものであるため、基板収納装置に収納された基板のたわみ量を抑制でき、基板の収納効率を低下させることなく基板の搬出入時や搬送時の振動による基板の破損を防止することができる。なお、たわみ量の小さい板厚の厚い基板は、基板の中央側を支持する位置に配置された支持座には接触せず、従来のカセットに収納された場合と同様の状況で収納されるため、板厚の厚い基板も薄い基板も支障なく収納することができる。
また、この発明によれば、支持部材は基板収納装置の本体と着脱可能に構成されているため、支持部材の破損等、支持部材の交換が必要なときの基板収納装置のメンテナンスが短時間かつ安価で行える。
更に、この発明の収納方法によれば、板厚の薄い基板のたわみを抑制して保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1による基板収納装置を示す斜視図である。
【図2】 この発明の実施の形態1による基板収納装置を示す平面図である。
【図3】 この発明の実施の形態1による基板収納装置の支持部材の構造を説明するための図である。
【図4】 この発明の実施の形態1による基板収納装置に収納された板厚の厚い基板の状態を示す図である。
【図5】 この発明の実施の形態1による基板収納装置に収納された板厚の薄い基板の状態を示す図である。
【図6】 この発明の実施の形態1による基板収納装置に収納された板厚の薄い基板の搬出入時の状態を示す図である。
【図7】 従来のこの種基板収納装置を示す斜視図である。
【図8】 従来の基板収納装置に収納された板厚の厚い基板及び薄い基板の状態を示す図である。
【図9】 従来の基板収納装置に収納された板厚の厚い基板の搬出入時の状態を示す図である。
【図10】 搬送装置による基板収納装置への基板の搬出入の状況を示す図である。
【図11】 従来の基板収納装置に収納された板厚の薄い基板の搬出入時の状態を示す図である。
【符号の説明】
1 外箱、1a ネジ穴、2 支持部材、2a 固定板、2b 穴、
2c ネジ、2d 第一の支持座、2e 第二の支持座、3 基板、
3a 板厚の厚い基板、3b 板厚の薄い基板、4 ハンド、
δ1、δ2、δ3 たわみ量、d 段差。
Claims (3)
- 基板収納用の外箱の対向する側面あるいは基板の搬出入用の開口面以外の三側面に所定の間隔で上下方向に複数の支持部材を設け、対向する側面の支持部材あるいは三側面の支持部材に跨って上記基板を保持させるようにした基板収納装置において、上記支持部材の上面には、上記外箱の側面側に形成され上記基板の面に沿った平行面と、上記平行面の反側面側端部から上記基板の中央側に向かって上記基板との間隔が大きくなるように傾斜する傾斜面とが形成され、上記平行面及び傾斜面にそれぞれ突起状の支持座を設けたことを特徴とする基板収納装置。
- 上記各側面に設けられる支持部材は、固定板に固着され、上記固定板を上記外箱に着脱可能に装着したことを特徴とする請求項1記載の基板収納装置。
- 請求項1または請求項2記載の基板収納装置の支持部材に複数の基板を一枚ずつ互いに間隔を保持して収納し、上記基板のたわみを抑制することを特徴とする基板収納方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06368798A JP3913889B2 (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | 基板収納装置および基板収納方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06368798A JP3913889B2 (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | 基板収納装置および基板収納方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11260902A JPH11260902A (ja) | 1999-09-24 |
JP3913889B2 true JP3913889B2 (ja) | 2007-05-09 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP06368798A Expired - Fee Related JP3913889B2 (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | 基板収納装置および基板収納方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3913889B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3929364B2 (ja) * | 2002-06-26 | 2007-06-13 | エスペック株式会社 | 基板支持及び出し入れ装置 |
CN100336703C (zh) * | 2004-09-16 | 2007-09-12 | 友达光电股份有限公司 | 玻璃基板的藏运盒 |
-
1998
- 1998-03-13 JP JP06368798A patent/JP3913889B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JPH11260902A (ja) | 1999-09-24 |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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S631 | Written request for registration of reclamation of domicile |
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