JPH11260902A - 基板収納装置および基板収納方法 - Google Patents
基板収納装置および基板収納方法Info
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- JPH11260902A JPH11260902A JP10063687A JP6368798A JPH11260902A JP H11260902 A JPH11260902 A JP H11260902A JP 10063687 A JP10063687 A JP 10063687A JP 6368798 A JP6368798 A JP 6368798A JP H11260902 A JPH11260902 A JP H11260902A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板収納装置に収納された基板のたわみを抑
制して、収納効率を低下させることなく基板の破損を防
止できると共に、板厚が異なる基板に対しても使用でき
る汎用性を有する基板収納装置および基板収納方法を提
供する。 【解決手段】 基板収納装置に収納される基板３を保持
する支持部材２に、直接基板３を支持する支持座を一つ
の支持部材２に複数個設け、かつ基板３の中央側を支持
する位置に配置された第二の支持座２ｅは基板３の外側
を支持する位置に配置された第一の支持座２ｄより基板
３を段差ｄだけ低い位置で支持するよう構成する。
制して、収納効率を低下させることなく基板の破損を防
止できると共に、板厚が異なる基板に対しても使用でき
る汎用性を有する基板収納装置および基板収納方法を提
供する。 【解決手段】 基板収納装置に収納される基板３を保持
する支持部材２に、直接基板３を支持する支持座を一つ
の支持部材２に複数個設け、かつ基板３の中央側を支持
する位置に配置された第二の支持座２ｅは基板３の外側
を支持する位置に配置された第一の支持座２ｄより基板
３を段差ｄだけ低い位置で支持するよう構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば液晶表示
装置を構成するガラス基板等を収納する際に用いられる
基板収納装置および基板収納方法に関するものである。
装置を構成するガラス基板等を収納する際に用いられる
基板収納装置および基板収納方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図７は従来のガラス基板等の矩形状の基
板を収納する基板収納装置（以下、カセットと称する）
を示す斜視図である。また、図８はカセットに収納され
た基板の状態を示す図、図９はカセットに収納された基
板の搬出入時の状態を示す図、図１０は搬送装置により
カセットへ基板を搬出入する状況を示す概略図である。
図において、１はカセットを構成する外箱、２はカセッ
トに収納される基板３を一枚ずつ互いに間隔をあけて保
持するための支持部材、Ｄは支持部材２間のピッチ、２
ｆは支持部材２に設けられ基板３と直接接触して支持す
る突起形状を有する支持座、３ａは板厚の厚い基板、３
ｂは板厚の薄い基板、４は搬送装置５において搬送する
基板３を保持するハンド部である。
板を収納する基板収納装置（以下、カセットと称する）
を示す斜視図である。また、図８はカセットに収納され
た基板の状態を示す図、図９はカセットに収納された基
板の搬出入時の状態を示す図、図１０は搬送装置により
カセットへ基板を搬出入する状況を示す概略図である。
図において、１はカセットを構成する外箱、２はカセッ
トに収納される基板３を一枚ずつ互いに間隔をあけて保
持するための支持部材、Ｄは支持部材２間のピッチ、２
ｆは支持部材２に設けられ基板３と直接接触して支持す
る突起形状を有する支持座、３ａは板厚の厚い基板、３
ｂは板厚の薄い基板、４は搬送装置５において搬送する
基板３を保持するハンド部である。
【０００３】図８に示すように、板厚の厚い基板３ａ
は、支持部材２に設けられた支持座２ｆで支持されるこ
とによりたわみ量δ1 を有して保持され、板厚の薄い基
板３ｂは、支持部材２に設けられた支持座２ｆで支持さ
れることによりたわみ量δ3 を有して保持される。ま
た、図９に示すように、板厚の厚い基板３ａを支持部材
２に設けられた支持座２ｆで支持したときのたわみ量δ
1 は小さいため、基板３ａを搬出入するために搬送装置
５のハンド部４を基板３ａ間に挿入して基板３ａを持ち
上げたとき（図９において点線で記載）に、上部に収納
されている他の基板３ａと接触することなく基板３ａを
搬出入できる。
は、支持部材２に設けられた支持座２ｆで支持されるこ
とによりたわみ量δ1 を有して保持され、板厚の薄い基
板３ｂは、支持部材２に設けられた支持座２ｆで支持さ
れることによりたわみ量δ3 を有して保持される。ま
た、図９に示すように、板厚の厚い基板３ａを支持部材
２に設けられた支持座２ｆで支持したときのたわみ量δ
1 は小さいため、基板３ａを搬出入するために搬送装置
５のハンド部４を基板３ａ間に挿入して基板３ａを持ち
上げたとき（図９において点線で記載）に、上部に収納
されている他の基板３ａと接触することなく基板３ａを
搬出入できる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のカセットに収納
された基板３は自重によりたわみを生じ、比較的板厚の
厚い基板３ａにおいては特に問題は生じなかったが、液
晶表示装置に用いられるガラス基板等は、近年の液晶表
示装置の大画面化かつ薄型化傾向に伴い大型化かつ薄板
化される傾向にあり、基板のたわみ量δは次の式で示さ
れるように、 δ＝ｋ・ｐａ4 ／Ｅｈ3 δ：たわみ量 ｋ：基板の長辺／短辺の比で決まる定数 ｐ：等分布荷重 ａ：基板の短辺 Ｅ：ヤング率 ｈ：基板の板厚 なお、たわみ式は便宜上四辺単純支持の場合を示す。板
厚の３乗に反比例するため、仮に基板の板厚が７０％に
薄板化されると、たわみ量は約３倍に増加する。以上の
ことから、図１１に示すように、板厚の薄い基板３ｂが
カセットに収納されている場合、基板３ｂは板厚の三乗
に反比例したたわみ量δ3 を生じ、基板３ｂを搬出入す
るために基板３ｂ間に搬送装置（図示せず）のハンド部
４を挿入して基板３ｂを支持部材２から持ち上げたとき
（図１１において点線で記載）に、ハンド部４上の基板
３ｂと上部に収納されている他の基板３ｂが接触して基
板３ｂが破損するなどの問題があった。また、カセット
に収納されている上下基板３間の接触を防止するため
に、支持部材２間のピッチＤを大きくした場合には、カ
セットが大型化、あるいは基板３の収納効率が低下する
などの問題があった。さらに、基板３が大きくたわんだ
状態で収納されたカセットを搬送した場合、基板３の振
動が増大して基板３が破損するなどの問題があった。
された基板３は自重によりたわみを生じ、比較的板厚の
厚い基板３ａにおいては特に問題は生じなかったが、液
晶表示装置に用いられるガラス基板等は、近年の液晶表
示装置の大画面化かつ薄型化傾向に伴い大型化かつ薄板
化される傾向にあり、基板のたわみ量δは次の式で示さ
れるように、 δ＝ｋ・ｐａ4 ／Ｅｈ3 δ：たわみ量 ｋ：基板の長辺／短辺の比で決まる定数 ｐ：等分布荷重 ａ：基板の短辺 Ｅ：ヤング率 ｈ：基板の板厚 なお、たわみ式は便宜上四辺単純支持の場合を示す。板
厚の３乗に反比例するため、仮に基板の板厚が７０％に
薄板化されると、たわみ量は約３倍に増加する。以上の
ことから、図１１に示すように、板厚の薄い基板３ｂが
カセットに収納されている場合、基板３ｂは板厚の三乗
に反比例したたわみ量δ3 を生じ、基板３ｂを搬出入す
るために基板３ｂ間に搬送装置（図示せず）のハンド部
４を挿入して基板３ｂを支持部材２から持ち上げたとき
（図１１において点線で記載）に、ハンド部４上の基板
３ｂと上部に収納されている他の基板３ｂが接触して基
板３ｂが破損するなどの問題があった。また、カセット
に収納されている上下基板３間の接触を防止するため
に、支持部材２間のピッチＤを大きくした場合には、カ
セットが大型化、あるいは基板３の収納効率が低下する
などの問題があった。さらに、基板３が大きくたわんだ
状態で収納されたカセットを搬送した場合、基板３の振
動が増大して基板３が破損するなどの問題があった。
【０００５】この発明は、上記のような問題点を解決す
るためになされたもので、カセットに収納された基板の
たわみを抑制して、収納効率を低下させることなく基板
の破損を防止できると共に、板厚が異なる基板に対して
も使用できる汎用性を有する基板収納装置および基板収
納方法を提供することを目的とする。
るためになされたもので、カセットに収納された基板の
たわみを抑制して、収納効率を低下させることなく基板
の破損を防止できると共に、板厚が異なる基板に対して
も使用できる汎用性を有する基板収納装置および基板収
納方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係わる基板収
納装置は、複数の基板を一枚ずつ互いに間隔をあけて収
納する基板収納装置において、基板を保持するための複
数の支持部材と、各支持部材上に段差を有して配設され
た複数の突起部を備え、各支持部材上に配設された複数
の突起部が基板と接触して基板を支持するよう構成され
ているものである。また、支持部材は、基板収納装置の
外箱の一対の相対向する側面、あるいは基板搬出入用の
開口面以外の三側面の複数箇所に配設されているもので
ある。また、突起部の段差は、基板収納装置に収納され
た基板の中央側を支持する突起部が、基板の外側を支持
する突起部より、基板を低い位置で支持するよう構成さ
れているものである。さらに、支持部材は、基板収納装
置を構成する外箱と着脱できるように構成されているも
のである。またこの発明に係わる基板収納方法は、複数
の基板を一枚ずつ互いに間隔をあけて収納する基板収納
方法において、基板を保持するための支持部材上に段差
を有して配設された複数の突起部により基板のたわみを
抑制して保持するものである。
納装置は、複数の基板を一枚ずつ互いに間隔をあけて収
納する基板収納装置において、基板を保持するための複
数の支持部材と、各支持部材上に段差を有して配設され
た複数の突起部を備え、各支持部材上に配設された複数
の突起部が基板と接触して基板を支持するよう構成され
ているものである。また、支持部材は、基板収納装置の
外箱の一対の相対向する側面、あるいは基板搬出入用の
開口面以外の三側面の複数箇所に配設されているもので
ある。また、突起部の段差は、基板収納装置に収納され
た基板の中央側を支持する突起部が、基板の外側を支持
する突起部より、基板を低い位置で支持するよう構成さ
れているものである。さらに、支持部材は、基板収納装
置を構成する外箱と着脱できるように構成されているも
のである。またこの発明に係わる基板収納方法は、複数
の基板を一枚ずつ互いに間隔をあけて収納する基板収納
方法において、基板を保持するための支持部材上に段差
を有して配設された複数の突起部により基板のたわみを
抑制して保持するものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】実施の形態１．以下、この発明の
一実施の形態である基板収納装置（カセット）を図につ
いて説明する。図１は本発明の実施の形態１によるカセ
ットを示す斜視図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿った断面
から見た平面図、図３は本実施の形態によるカセットに
収納された基板を支持する支持部材の構造を説明するた
めの図である。図において、１はカセットを構成する外
箱、２はカセットに収納される基板３を一枚ずつ互いに
間隔をあけて保持するための支持部材で、支持部材２は
所定のピッチで固定板２ａに固着され、複数の支持部材
２が固着された固定板２ａは、固定板２ａに設けられた
穴２ｂにより外箱１に設けられたネジ穴１ａにネジ２ｃ
を用いて固定されている。なお、複数の支持部材２が固
着された固定板２ａは、収納される基板３を安定に保持
できるようカセットの外箱１の相対向する一対の側面、
あるいは基板３搬出入用の開口面以外の三側面の複数箇
所に配設されている。２ｄ、２ｅは一つの支持部材２に
設けられ基板３と直接接触して支持する突起形状を有す
る第一の支持座と第二の支持座で、第二の支持座２ｅは
第一の支持座２ｄより基板３の中央側を支持する位置に
配置され、かつ第一の支持座２ｄと第二の支持座２ｅが
基板３を支持する位置は段差ｄを有し、第二の支持座２
ｅは第一の支持座２ｄより段差ｄだけ基板３を低い位置
で支持するよう構成されている。なお、第一の支持座２
ｄは、従来のカセットに設けられていた支持座２ｆと同
一位置に設けられている。
一実施の形態である基板収納装置（カセット）を図につ
いて説明する。図１は本発明の実施の形態１によるカセ
ットを示す斜視図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿った断面
から見た平面図、図３は本実施の形態によるカセットに
収納された基板を支持する支持部材の構造を説明するた
めの図である。図において、１はカセットを構成する外
箱、２はカセットに収納される基板３を一枚ずつ互いに
間隔をあけて保持するための支持部材で、支持部材２は
所定のピッチで固定板２ａに固着され、複数の支持部材
２が固着された固定板２ａは、固定板２ａに設けられた
穴２ｂにより外箱１に設けられたネジ穴１ａにネジ２ｃ
を用いて固定されている。なお、複数の支持部材２が固
着された固定板２ａは、収納される基板３を安定に保持
できるようカセットの外箱１の相対向する一対の側面、
あるいは基板３搬出入用の開口面以外の三側面の複数箇
所に配設されている。２ｄ、２ｅは一つの支持部材２に
設けられ基板３と直接接触して支持する突起形状を有す
る第一の支持座と第二の支持座で、第二の支持座２ｅは
第一の支持座２ｄより基板３の中央側を支持する位置に
配置され、かつ第一の支持座２ｄと第二の支持座２ｅが
基板３を支持する位置は段差ｄを有し、第二の支持座２
ｅは第一の支持座２ｄより段差ｄだけ基板３を低い位置
で支持するよう構成されている。なお、第一の支持座２
ｄは、従来のカセットに設けられていた支持座２ｆと同
一位置に設けられている。
【０００８】図４、図５は本実施の形態によるカセット
に収納された基板の状態を示す図である。図４は従来用
いられていた板厚の厚い基板３ａが支持部材２により保
持されている状態を示し、図５は板厚の薄い基板３ｂが
支持部材２により保持されている状態を示している。図
４に示すように、板厚の厚い基板３ａを支持部材２で保
持した場合、基板３ａは第一の支持座２ｄのみと接触し
て支持され、第一の支持座２ｄに支持された基板３ａ
は、従来のカセットに収納されていた場合と同様に、た
わみ量δ1 を有して保持される。また、図５に示すよう
に、板厚の薄い基板３ｂを支持部材２で支持した場合、
基板３ｂは段差ｄを有して配置された第一の支持座２ｄ
と第二の支持座２ｅと接触して支持され、第一の支持座
２ｄと第二の支持座２ｅに支持された基板３ｂは、第一
の支持座２ｄのみで支持された場合（従来のカセットに
収納された場合で、図５において点線で記載）に有する
たわみ量δ3 より小さいたわみ量δ2 を有して保持され
る。なお、たわみ量δ1 、δ2 、δ3 の寸法関係は、δ
1 ＜δ2 《δ3 となるよう第一の支持座２ｄと第二の支
持座２ｅが配置構成されている。
に収納された基板の状態を示す図である。図４は従来用
いられていた板厚の厚い基板３ａが支持部材２により保
持されている状態を示し、図５は板厚の薄い基板３ｂが
支持部材２により保持されている状態を示している。図
４に示すように、板厚の厚い基板３ａを支持部材２で保
持した場合、基板３ａは第一の支持座２ｄのみと接触し
て支持され、第一の支持座２ｄに支持された基板３ａ
は、従来のカセットに収納されていた場合と同様に、た
わみ量δ1 を有して保持される。また、図５に示すよう
に、板厚の薄い基板３ｂを支持部材２で支持した場合、
基板３ｂは段差ｄを有して配置された第一の支持座２ｄ
と第二の支持座２ｅと接触して支持され、第一の支持座
２ｄと第二の支持座２ｅに支持された基板３ｂは、第一
の支持座２ｄのみで支持された場合（従来のカセットに
収納された場合で、図５において点線で記載）に有する
たわみ量δ3 より小さいたわみ量δ2 を有して保持され
る。なお、たわみ量δ1 、δ2 、δ3 の寸法関係は、δ
1 ＜δ2 《δ3 となるよう第一の支持座２ｄと第二の支
持座２ｅが配置構成されている。
【０００９】本実施の形態によれば、たわみ量が小さい
板厚の厚い基板３ａは第一の支持座２ｄのみで支持さ
れ、また、たわみ量が大きい板厚の薄い基板３ｂは段差
ｄを有して配置された第一の支持座２ｄと第二の支持座
２ｅに支持され、第一の支持座２ｄと第二の支持座２ｅ
に支持された基板３ｂは、第一の支持座２ｄのみで支持
された場合に有するたわみ量δ3 より小さいたわみ量δ
2 を有して保持されるため、図６に示すように、板厚の
薄い基板３ｂがカセットに複数枚収納されている場合で
も、基板３ｂを搬出入するために搬送装置（図示せず）
のハンド部４を基板３ｂ間に挿入して基板３ｂを持ち上
げたとき（図６において点線で記載）に、上部に収納さ
れている他の基板３ｂに接触することなく基板３ｂを搬
出入できる。なお、この発明による支持部材２の構造
は、カセットに収納された基板３の保持のみでなく、そ
の他の状況における基板の保持にも利用できる。
板厚の厚い基板３ａは第一の支持座２ｄのみで支持さ
れ、また、たわみ量が大きい板厚の薄い基板３ｂは段差
ｄを有して配置された第一の支持座２ｄと第二の支持座
２ｅに支持され、第一の支持座２ｄと第二の支持座２ｅ
に支持された基板３ｂは、第一の支持座２ｄのみで支持
された場合に有するたわみ量δ3 より小さいたわみ量δ
2 を有して保持されるため、図６に示すように、板厚の
薄い基板３ｂがカセットに複数枚収納されている場合で
も、基板３ｂを搬出入するために搬送装置（図示せず）
のハンド部４を基板３ｂ間に挿入して基板３ｂを持ち上
げたとき（図６において点線で記載）に、上部に収納さ
れている他の基板３ｂに接触することなく基板３ｂを搬
出入できる。なお、この発明による支持部材２の構造
は、カセットに収納された基板３の保持のみでなく、そ
の他の状況における基板の保持にも利用できる。
【００１０】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、基板
収納装置に収納される基板を一枚ずつ互いに間隔をあけ
て保持するための支持部材に、直接基板を支持する支持
座を一つの支持部材に複数個設け、かつ基板の中央側を
支持する位置に配置された支持座は基板の外側を支持す
る位置に配置された支持座より基板を低い位置で支持す
るよう構成することにより、基板収納装置に収納された
基板のたわみ量を抑制でき、基板の収納効率を低下させ
ることなく基板の搬出入時や搬送時の振動による基板の
破損を防止することができる。なお、たわみ量の小さい
板厚の厚い基板は、基板の中央側を支持する位置に配置
された支持座には接触せず、従来のカセットに収納され
た場合と同様の状況で収納されるため、板厚の厚い基板
も薄い基板も支障なく収納することができる。また、請
求項４に係る発明によれば、支持部材は基板収納装置の
本体と着脱可能に構成されているため、支持部材の破損
等、支持部材の交換が必要なときの基板収納装置のメン
テナンスが短時間かつ安価で行える。また、請求項５に
係る発明によれば、板厚の薄い基板のたわみを抑制して
保持することができる。
収納装置に収納される基板を一枚ずつ互いに間隔をあけ
て保持するための支持部材に、直接基板を支持する支持
座を一つの支持部材に複数個設け、かつ基板の中央側を
支持する位置に配置された支持座は基板の外側を支持す
る位置に配置された支持座より基板を低い位置で支持す
るよう構成することにより、基板収納装置に収納された
基板のたわみ量を抑制でき、基板の収納効率を低下させ
ることなく基板の搬出入時や搬送時の振動による基板の
破損を防止することができる。なお、たわみ量の小さい
板厚の厚い基板は、基板の中央側を支持する位置に配置
された支持座には接触せず、従来のカセットに収納され
た場合と同様の状況で収納されるため、板厚の厚い基板
も薄い基板も支障なく収納することができる。また、請
求項４に係る発明によれば、支持部材は基板収納装置の
本体と着脱可能に構成されているため、支持部材の破損
等、支持部材の交換が必要なときの基板収納装置のメン
テナンスが短時間かつ安価で行える。また、請求項５に
係る発明によれば、板厚の薄い基板のたわみを抑制して
保持することができる。
【図１】 この発明の実施の形態１による基板収納装置
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図２】 この発明の実施の形態１による基板収納装置
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図３】 この発明の実施の形態１による基板収納装置
の支持部材の構造を説明するための図である。
の支持部材の構造を説明するための図である。
【図４】 この発明の実施の形態１による基板収納装置
に収納された板厚の厚い基板の状態を示す図である。
に収納された板厚の厚い基板の状態を示す図である。
【図５】 この発明の実施の形態１による基板収納装置
に収納された板厚の薄い基板の状態を示す図である。
に収納された板厚の薄い基板の状態を示す図である。
【図６】 この発明の実施の形態１による基板収納装置
に収納された板厚の薄い基板の搬出入時の状態を示す図
である。
に収納された板厚の薄い基板の搬出入時の状態を示す図
である。
【図７】 従来のこの種基板収納装置を示す斜視図であ
る。
る。
【図８】 従来の基板収納装置に収納された板厚の厚い
基板及び薄い基板の状態を示す図である。
基板及び薄い基板の状態を示す図である。
【図９】 従来の基板収納装置に収納された板厚の厚い
基板の搬出入時の状態を示す図である。
基板の搬出入時の状態を示す図である。
【図１０】 搬送装置による基板収納装置への基板の搬
出入の状況を示す図である。
出入の状況を示す図である。
【図１１】 従来の基板収納装置に収納された板厚の薄
い基板の搬出入時の状態を示す図である。
い基板の搬出入時の状態を示す図である。
１ 外箱、１ａ ネジ穴、２ 支持部材、２ａ 固定
板、２ｂ 穴、２ｃ ネジ、２ｄ 第一の支持座、２ｅ
第二の支持座、３ 基板、３ａ 板厚の厚い基板、３
ｂ 板厚の薄い基板、４ ハンド、δ1、δ2、δ3 たわ
み量、ｄ 段差。
板、２ｂ 穴、２ｃ ネジ、２ｄ 第一の支持座、２ｅ
第二の支持座、３ 基板、３ａ 板厚の厚い基板、３
ｂ 板厚の薄い基板、４ ハンド、δ1、δ2、δ3 たわ
み量、ｄ 段差。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉田 和夫 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 生田 美和 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 複数の基板を一枚ずつ互いに間隔をあけ
て収納する基板収納装置において、 上記基板を保持するための複数の支持部材と、 上記各支持部材上に段差を有して配設された複数の突起
部を備え、 上記各支持部材上に配設された上記複数の突起部が上記
基板と接触して上記基板を支持するよう構成されている
ことを特徴とする基板収納装置。 - 【請求項２】 支持部材は、基板収納装置の外箱の一対
の相対向する側面、あるいは基板搬出入用の開口面以外
の三側面の複数箇所に配設されていることを特徴とする
請求項１記載の基板収納装置。 - 【請求項３】 突起部の段差は、基板収納装置に収納さ
れた基板の中央側を支持する上記突起部が、上記基板の
外側を支持する上記突起部より、上記基板を低い位置で
支持するよう構成されていることを特徴とする請求項１
または請求項２記載の基板収納装置。 - 【請求項４】 支持部材は、基板収納装置を構成する外
箱と着脱できるように構成されていることを特徴とする
請求項１〜請求項３のいずれか一項記載の基板収納装
置。 - 【請求項５】 複数の基板を一枚ずつ互いに間隔をあけ
て収納する基板収納方法において、 上記基板を保持するための支持部材上に段差を有して配
設された複数の突起部により上記基板のたわみを抑制し
て保持することを特徴とする基板収納方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06368798A JP3913889B2 (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | 基板収納装置および基板収納方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06368798A JP3913889B2 (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | 基板収納装置および基板収納方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11260902A true JPH11260902A (ja) | 1999-09-24 |
| JP3913889B2 JP3913889B2 (ja) | 2007-05-09 |
Family
ID=13236547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06368798A Expired - Fee Related JP3913889B2 (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | 基板収納装置および基板収納方法 |
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| JP (1) | JP3913889B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004026426A (ja) * | 2002-06-26 | 2004-01-29 | Espec Corp | 基板支持構造とその積載装置及びロボットハンド |
| CN100336703C (zh) * | 2004-09-16 | 2007-09-12 | 友达光电股份有限公司 | 玻璃基板的藏运盒 |
-
1998
- 1998-03-13 JP JP06368798A patent/JP3913889B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3913889B2 (ja) | 2007-05-09 |
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