JPS6268232U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6268232U JPS6268232U JP15855185U JP15855185U JPS6268232U JP S6268232 U JPS6268232 U JP S6268232U JP 15855185 U JP15855185 U JP 15855185U JP 15855185 U JP15855185 U JP 15855185U JP S6268232 U JPS6268232 U JP S6268232U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- basket body
- basket
- wafer
- wafer processing
- wafer holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例の平面図、第２図
は、同実施例の正面図、第３図は、同実施例の側
面図、第４図は、係合部を示す説明図、第５図は
、ウエハ処理用バスケツトに加わるストレスの分
布を示す説明図である。 １……バスケツト本体、２……壁板、３……ウ
エハ保持溝、３ａ……湾曲面、４……ウエハ、５
……突起、６……棒状体、７……係合穴、８……
係合突起。
は、同実施例の正面図、第３図は、同実施例の側
面図、第４図は、係合部を示す説明図、第５図は
、ウエハ処理用バスケツトに加わるストレスの分
布を示す説明図である。 １……バスケツト本体、２……壁板、３……ウ
エハ保持溝、３ａ……湾曲面、４……ウエハ、５
……突起、６……棒状体、７……係合穴、８……
係合突起。
Claims (1)
- 上部及び下部を開口した略箱形のバスケツト本
体と、該バスケツト本体の相対向する一組の壁板
に夫々相対応しながら所定間隔で多数個形成され
たウエハ保持溝とを具備するウエハ処理用バスケ
ツトにおいて、ウエハ保持溝の底面をバスケツト
本体の内部側に凹部が臨む湾曲面にしたことを特
徴とするウエハ処理用バスケツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15855185U JPS6268232U (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15855185U JPS6268232U (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6268232U true JPS6268232U (ja) | 1987-04-28 |
Family
ID=31082146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15855185U Pending JPS6268232U (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6268232U (ja) |
-
1985
- 1985-10-18 JP JP15855185U patent/JPS6268232U/ja active Pending