JPS5865369U - ウエハ支持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

□・　第１図は従来の拡散ボートの斜視図、第２図は従
来の他の拡散ボートの平面図、第３図は第２図のＡ−Ａ
線断面図、第４図は本考案によるシリコンウェハの支持
装置の一実施例を示す平面図、第５図は、同上分解斜視
図、第６図はＢ−Ｂ線断面図、第７図は他の結合例を示
す断面図、第８図はさらに他の結合例を示す断面図、第
９図はシリコン棒とシリコンウニ・・支持体の結合時の
一面図、第１０図は他の実施例の分解斜視図である。 ２０．２１．２２・・・・・・シリコン棒、２１−−−
−−−突−条、２５・・・・・・柄、２６・・・・・・
すり割、２７．２８・・・・・・側枠、２９．　３０．
　３１・・・・・−取付は孔、３２・・・・・・ワッシ
ャ、３３・・・・・・シリコン支持体、３４・・・・・
・嵌込み溝、３５・・・・・・シリコンウェハを立てか
ける溝、３６・・・・・・全体のボート、３７・・・・
・・シリコンウエノ九〇

Claims (5)

【実用新案登録請求の範囲】
1. （１）少なくとも２本のシリコン棒を、互いに略水平な
   間隔をもってシリコン板からなる両側枠に取付け、前記
   シリコン棒の上面に、シリコンからなるシリコンウェハ
   支持体を設け、このシリコンウェハ支持体にシリコンウ
   ェハを立てかける溝を等間隔で多数形成してなることを
   特徴とするシリコンウェハの支持装置。
2. （２）シリコン棒とシリコン支持体を一体に形成してな
   る実用新案登録請求の範囲第１項記載のシリコンウェハ
   の支持装置。
3. （３）シリコン棒とシリコンウェハ支持体は、別体に形
   成し、かつそれぞれに設けた突条とそれに嵌合する嵌込
   み溝とで着脱自在に結合するようにした実用新案登録請
   求の範囲第１項記載のシリコンウェハの支持装置。
4. （４）シリコンウェハ支持体は、長さ方向に複数本に分
   割してシリコン棒に取付けるようにした実用新案登録請
   求の範囲第３項記載のシリコンウェハの支持装置。
5. （５）　　シリコン棒と側枠との取付けはシリコン棒の
   端部に一体に形成した柄を、側枠に穿設した取付は孔に
   挿入固定してなる実用新案登録請求の範囲第１項記載の
   シリコンウェハの支持装置。