KR920018888A - 로드록장치 및 웨이퍼의 반송시스템 및 웨이퍼의 위치 검출장치 - Google Patents

로드록장치 및 웨이퍼의 반송시스템 및 웨이퍼의 위치 검출장치 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

로드록장치 및 웨이퍼의 반송시스템 및 웨이퍼의 위치 검출장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 1실시예에 관계된 로드록장치를 나타낸 사시도.
제4도는 제3도에 나타낸 로드록장치에 있어서의 광학유니트의 구성을 나타낸 도면.
제5도는 제4도에 나타낸 광학유니트의 수장부와 웨이퍼와의 위치관계를 나타낸 도면.

Claims (25)

  1. 제1의 분위기와 제2의 분위기와의 사이에 배치되고, 상기 제1의 분위기로부터 반송된 웨이퍼를 수용하고, 상기 제1의 분위기와 차단된 후, 상기 제2의 분위기와 동일하거나 또는 근사한 분위기로 되고, 그후, 상기 웨이퍼를 상기 제2의 분위기로 이송하기 위하여 상기 제2의 분위기에 대하여 개방되는 로드록장치에 있어서, 로드록실과, 이 로드록실에 배치되고, 복수의 웨이퍼를 상하방향으로 간격을 두고 수납하는 수납수단과, 이 수납수단내의 복수의 웨이퍼중 하나의 웨이퍼를 유지하기 위한 유지수단과, 이 유지수단에 의하여 유지된 웨이퍼를 회전시키기 위한 회전수단과, 회전하는 상기 웨이퍼에 광을 조사함으로써 얻은 정보에 의거하여, 웨이퍼의 중심의 위치 어긋남 및 웨이퍼의 방향의 어긋남을 검출하기 위한 어긋남 검출수단과를 구비하는 로드록 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 수납수단은, 상기 웨이퍼의 둘레부의 한편쪽의 아래면을 지지하는 활모양의 인수판부재를 가지는 제1의 인수부와, 이 제1의 인수부에 대항하여 배치되고, 상기 웨이퍼의 둘레부의 다른편쪽의 아래면을 지지하는 혀모양의 인수판부재를 가지는 제2의 인수부와, 이들 제1 및 제2의 인수부를 연결하는 연결수단과를 구비하는 이 수수단을, 수직방향으로 복수단 쌓아서 배치하여 이루어진 로드록 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 수납수단을 승강시키는 승강수단을 또한 구비한 로드록 장치.
  4. 제3항에 있어서, 승강하는 상기 수납수단의 정지위치를 제어하는 수단을 또한 구비하는 로드록 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 어긋남 검출수단은, 회전하는 상기 웨이퍼에 광을 조사함으로써 얻은 광학적 정보에 의거하여 전기신호를 발생하는 광학유니트와 이 광학유니트에 접속되고, 상기 전기신호를 연산하는 연산수단을 구비하는 로드록 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 광학유니트는, 레이저광을 발하는 발광부와, 상기 회전하는 웨이퍼로부터의 레이저광을 받아, 전기적 신호로 변화하는 수광부를 구비하는 로드록 장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 수광부는, 상기 웨이퍼의 둘레부를 통과한 레이저 광을 수광하고, 그 수광량을 검출한 로드록 장치.
  8. 제5항에 있어서, 상기 수광부는, 상기 웨이퍼의 둘레부를 반사한 레이저 광을 수광하고, 그 수광량을 검출한 로드록 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 회전수단은, 상기 유지수단을 회전시키는 로드록 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 로드록실은, 비스듬히 아래쪽으로 경사한 개구면을 가지는 웨이퍼 취입구와, 이 웨이퍼 취입구를 개폐하기 위한, 수평축의 주위를 회전운동하는 회전운동부재를 구비하는 로드록 장치.
  11. 제1의 분위기와 제2의 분위기와의 사이에 배치되고, 상기 제1의 분위기로부터 반송된 웨이퍼를 수용하고, 상기 제1의 분위기와 차단된 후, 상기 제2의 분위기와 동일하거나 또는 근사한 분위기로 되고, 그후, 상기 웨이퍼를 상기 제2의 분위기로 이송하기 위하여 상기 제2의 분위기에 대하여 개방되는 로드록장치와, 이 로드록장치내의 웨이퍼를 상기 제2의 분위기의 소정위치로 반송하기 위한 반송수단과, 이 반송수단을 제어하는 제어수단과를 구비하고, 상기 로드록장치는, 로드록실과, 이 로드록실에 배치되고, 복수의 웨이퍼를 상항방향으로 간격을 두고 수납하는 수납수단과, 이 수납수단내의 복수의 웨이퍼중 하나의 웨이퍼를 유지하기 위한 유지수단과, 이 유지수단에 의하여 유지된 웨이퍼를 회전시키기 위한 회전수단과, 회전하는 상기 웨이퍼에 광을 조사함으로써 얻은 정보에 의거하여, 웨이퍼의 중심의 위치 어긋남 및 웨이퍼의 방향의 어긋남을 검출하기 위한 어긋남 검출수단과를 구비하고, 상기 제어수단은, 상기 어긋남 검출수단으로 부터의 데이터에 의거하여 상기 웨이퍼의 중심의 위치 어긋남 및 웨이퍼의 향방의 어긋남이 수정된 상태로 상기 제2의 분위기의 소정위치에 배치되도록 상기 반송수단을 제어하는 반송시스템.
  12. 제11항에 있어서, 상기 반송수단은, 상기 웨이퍼의 중심의 위치어긋남 및 웨이퍼의 향방의 어긋남을 수정하는 기능을 가지고 있고, 상기 웨이퍼의 중심의 위치어긋남 및 웨이퍼의 향방의 어긋남은, 상기 반송수단에 의한 웨이퍼의 반송중에 행하여지는 반송시스템.
  13. 제11항에 있어서, 상기 로도록실내에는, 또한 상기 웨이퍼의 중심의 위치어긋남 및 웨이퍼의 향방의 어긋남을 수정하는 수단이 배치되고 상기 웨이퍼의 중심의 위치어긋남 및 웨이퍼의 향방의 어긋남은, 상기 어긋남 수정수단에 의하여 상기 로드록실내에서 행하여지는 반송시스템.
  14. 제11항에 있어서, 상기 웨이퍼의 향방의 어긋남의 수정은, 상기 회전수단에 의한 웨이퍼의 회전에 의하여 행하여지는 반송시스템.
  15. 제11항에 있어서, 상기 웨이퍼의 향방의 어긋남의 수정은, 상기 로드록실내에 배기중에 행하여지는 반송시스템.
  16. 제11항에 있어서, 상기 어긋남 검출수단은, 회전하는 상기 웨이퍼에 광을 조사함으로써 얻은 광학적 정보에 의하거하여 전기신호를 발생하는 광학유니트와, 이 광학 유니트에 접속되고, 상기 전기신호를 연산하는 연산수단과를 구비하는 반송시스템.
  17. 제16항에 있어서, 상기 광학유니트는, 레이저광을 발하는 발광부와, 상기 회전하는 웨이퍼로 부터의 레이저 광을 받아, 전기적 신호로 변화하는 수광부를 구비하는 반송시스템.
  18. 제17항에 있어서, 상기 수광부는, 상기 웨이퍼의 둘레부를 통과한 레이저광을 수광하고, 그 수광량을 검출하는 반송시스템.
  19. 제17항에 있어서, 상기 수광부는, 상기 웨이퍼의 둘레부를 반사한 레이저광을 수광하고, 그 수광량을 검출하는 반송시스템.
  20. 제11항에 있어서, 상기 회전수단은, 상기 유지수단을 회전시키는 반송시스템.
  21. 제11항에 있어서, 상기 로드록실은, 비스듬히 아래쪽으로 경사한 개구면을 가지는 웨이퍼 취입구와 이 취입구를 개폐하기 위한 수평축의 주위를 회전운동하는 회전운동부재를 구비하는 반송시스템.
  22. 제1의 분위기와 제2의 분위기와의 사이에 배치되고, 상기 제1의 분위기로부터 반송된 웨이퍼를 수용하고, 상기 제1의 분위기와 차단된 후, 상기 제2의 분위기와 동일하거나 또는 근사한 분위기로 되고, 그후, 상기 웨이퍼를 상기 제2의 분위기로 이송하기 위하여 상기 제2의 분위기에 대하여 개방되는 제2의 로드록장치와, 이 제1의 로드록장치와 같은 구성을 가지는 제2의 로드록장치와, 이들 제1 및 제2의 로드록장치내의 웨이퍼를 상기 제2의 분위기의 소정위치로 반성하기 위한 반송수단과, 이 반송수단을 제어하는 제어수단과를 구비하고, 상기 제1 및 제2의 로드록장치는, 각각 로드록실과, 이 로드록실에 배치되고, 복수의 웨이퍼를 상하방향으로 간격을 두고 수납하는 수납수단과, 이 수납수단내의 복수의 웨이퍼중 하나의 웨이퍼를 유지하기 위한 유지수단과, 이 유지수단에 의하여 유지된 웨이퍼를 회전시키기 위한 회전수단과, 회전하는 상기 웨이퍼에 광을 조사함으로써 얻은 정보에 의거하여, 웨이퍼의 중심의 위치 어긋남 및 웨이퍼의 방향의 어긋남을 검출하기 위한 어긋남 검출수단과를 구비하고, 상기 제어수단은, 상기 어긋남 검출수단으로 부터의 데이터에 의거하여 상기 웨이퍼의 중심의 위치 어긋남 및 웨이퍼의 향방의 어긋남이 수정된 상태로 상기 제2의 분위기의 소정위치에 배치되도록 상기 반송수단을 제어하는 반송시스템.
  23. 제22항에 있어서, 상기 제1의 로드록장치로서 상기 제2의 분위기로의 반송중에, 상기 제2의 로드록장치내에서의 상기 웨이퍼의 중심의 위치어긋남 및 웨이퍼의 향방의 어긋남의 검출이 행하여지는 반송시스템.
  24. 복수의 웨이퍼를 상하방향으로 간격을 두고 수납하는 수납수단과, 이 수납수단내의 복수의 웨이퍼중 하나의 웨이퍼를 유지하기 위한 유지수단과, 이 유지수단에 의하여 유지된 웨이퍼를 회전시키기 위한 회전수단과, 회전하는 상기 웨이퍼에 광을 조사함으로써 얻은 정보에 의거하여, 웨이퍼의 중심의 위치어긋남 및 웨이퍼의 향방의 어긋남을 검출하기 위한 어긋남 검출수단과, 상기 수납수단을 상기 유지수단에 대하여 상대적으로 승강시키는 승강수단과, 상기 어긋남 검출수단에 의하여 중심의 위치어긋남 및 웨이퍼의 향방의 어긋남을 검출한 후의 웨이퍼를, 상기 유지수단으로부터 제거하고, 다른 웨이퍼를 상기 유지수단에 유지시키는 수단과를 구비하는 웨이퍼의 위치검출장치.
  25. 제24항에 있어서, 상기 유지수단은 상기 수납수단에 의하여 수납된 복수의 웨이퍼의 제일 위 또는 제일 아래의 수납된 웨이퍼를 유지하는 웨이퍼의 위치검출장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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