JP2014204017A - 被処理体の受容装置 - Google Patents
被処理体の受容装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014204017A JP2014204017A JP2013080176A JP2013080176A JP2014204017A JP 2014204017 A JP2014204017 A JP 2014204017A JP 2013080176 A JP2013080176 A JP 2013080176A JP 2013080176 A JP2013080176 A JP 2013080176A JP 2014204017 A JP2014204017 A JP 2014204017A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- processed
- semiconductor wafer
- closed space
- cooling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】半導体ウェーハの受容装置1は、真空処理室で処理を施された高温状態の半導体ウェーハWを大気圧作業室に受け渡す場合において、制御手段4が、真空状態にある閉止空間内の載置台に載置された半導体ウェーハWに向かって給気手段110より気体を導入させつつ、排気手段12より気体の導出を行わせることで、半導体ウェーハWの温度を低下させつつ閉止空間内の圧力を大気圧に向かわせるように構成される。
【選択図】図5
Description
1a,1d…壁面
2…常圧作業室(大気圧作業室)
4…制御手段
5…減圧処理室(真空処理室)
10…保持手段(載置台)
11…給気手段
12…排気手段
14a,14b…開口
16…遮断機構(遮断手段)
180…開放部
181…閉止空間
W…被処理体(半導体ウェーハ)
W1…被処理体(半導体ウェーハ)の下面
W2…被処理体(半導体ウェーハ)の上面
W3…被処理体(半導体ウェーハ)の縁部
Claims (6)
- 減圧下において被処理体に処理を行う減圧処理室と、常圧下で被処理体の搬送等の作業を行う常圧作業室との間に設けられ、これらの間で被処理体を受け渡しするために用いる被処理体の受容装置であって、
前記減圧処理室側及び前記常圧作業室側の壁面にそれぞれ設けられ、前記被処理体を通過させることのできる開口と、
これらの開口を開閉可能であり、当該開口を閉じることで閉止空間を形成する遮断機構と、
前記閉止空間の内部で被処理体を保持するための保持手段と、
前記保持手段によって保持された被処理体に向かって冷却用の気体を導入することのできる給気手段と、
前記閉止空間内の気体を外部に導出することのできる排気手段と、
前記給気手段による気体の導入と、前記排気手段による気体の導出とを制御するための制御手段とを備えており、
前記減圧処理室で処理を施された高温状態の被処理体を前記常圧作業室に受け渡す場合において、前記制御手段が、減圧状態にある閉止空間内の保持手段に保持された被処理体に向かって前記給気手段より気体を導入させつつ、前記排気手段より気体の導出を行わせることで、被処理体の温度を低下させつつ閉止空間内の圧力を常圧に向かわせるように構成されていることを特徴とする被処理体の受容装置。 - 前記制御手段が、前記閉止空間内で前記被処理体の冷却を終了するに際し、前記給気手段における気体の導入の停止に先駆けて、前記排気手段における気体の導出を停止するように構成されていることを特徴とする請求項1記載の被処理体の受容装置。
- 前記制御手段が、前記閉止空間内で前記被処理体の冷却を開始するに際し、前記給気手段における気体の導入と、前記排気手段における気体の導出とを順次実行するように構成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の被処理体の受容装置。
- 前記保持手段が前記被処理体の縁部を支持するもので、前記閉止空間内において少なくとも被処理体の上下面の中央部を開放する開放部が設けられており、前記給気手段が前記開放部内において被処理体の上下面それぞれに向かって気体を噴射するように構成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の被処理体の受容装置。
- 前記給気手段により被処理体の上面に向かって噴射する気体の圧力が、被処理体の下面に向かって噴射する気体の圧力よりも大きくなるように設定していることを特徴とする請求項4記載の被処理体の受容装置。
- 前記給気手段より前記閉止空間内に導入する気体が、前記常圧作業室側の気体と同一のものであることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の被処理体の受容装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013080176A JP2014204017A (ja) | 2013-04-08 | 2013-04-08 | 被処理体の受容装置 |
TW103112722A TW201502313A (zh) | 2013-04-08 | 2014-04-07 | 被處理體的容納裝置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013080176A JP2014204017A (ja) | 2013-04-08 | 2013-04-08 | 被処理体の受容装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014204017A true JP2014204017A (ja) | 2014-10-27 |
Family
ID=52354180
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013080176A Pending JP2014204017A (ja) | 2013-04-08 | 2013-04-08 | 被処理体の受容装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014204017A (ja) |
TW (1) | TW201502313A (ja) |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0387386A (ja) * | 1989-08-28 | 1991-04-12 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び真空処理方法 |
JPH03185806A (ja) * | 1989-12-15 | 1991-08-13 | Hitachi Ltd | 半導体ウエハ冷却方法および装置 |
JPH045822A (ja) * | 1990-04-23 | 1992-01-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ランプアニール装置および方法 |
JPH04298060A (ja) * | 1991-03-26 | 1992-10-21 | Tokyo Electron Ltd | ウエハの位置合わせ装置 |
JPH11329922A (ja) * | 1998-05-08 | 1999-11-30 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板冷却装置および基板冷却方法 |
JP2002261148A (ja) * | 2001-03-05 | 2002-09-13 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム及び被処理体の予熱方法 |
JP2006128341A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置の運転方法,基板処理装置の制御方法,基板処理装置,基板処理装置の制御を行うプログラム |
JP2006303013A (ja) * | 2005-04-18 | 2006-11-02 | Tokyo Electron Ltd | ロードロック装置及び処理方法 |
JP4288160B2 (ja) * | 2001-08-08 | 2009-07-01 | ラム リサーチ コーポレーション | 窒素パージを行うトップ通気口を有する高速サイクルチャンバ |
JP2012089591A (ja) * | 2010-10-18 | 2012-05-10 | Hitachi High-Technologies Corp | 真空処理装置及び真空処理方法 |
JP2013191782A (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-26 | Tokyo Electron Ltd | ロードロック装置 |
-
2013
- 2013-04-08 JP JP2013080176A patent/JP2014204017A/ja active Pending
-
2014
- 2014-04-07 TW TW103112722A patent/TW201502313A/zh unknown
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0387386A (ja) * | 1989-08-28 | 1991-04-12 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び真空処理方法 |
JPH03185806A (ja) * | 1989-12-15 | 1991-08-13 | Hitachi Ltd | 半導体ウエハ冷却方法および装置 |
JPH045822A (ja) * | 1990-04-23 | 1992-01-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ランプアニール装置および方法 |
JPH04298060A (ja) * | 1991-03-26 | 1992-10-21 | Tokyo Electron Ltd | ウエハの位置合わせ装置 |
JPH11329922A (ja) * | 1998-05-08 | 1999-11-30 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板冷却装置および基板冷却方法 |
JP2002261148A (ja) * | 2001-03-05 | 2002-09-13 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム及び被処理体の予熱方法 |
JP4288160B2 (ja) * | 2001-08-08 | 2009-07-01 | ラム リサーチ コーポレーション | 窒素パージを行うトップ通気口を有する高速サイクルチャンバ |
JP2006128341A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置の運転方法,基板処理装置の制御方法,基板処理装置,基板処理装置の制御を行うプログラム |
JP2006303013A (ja) * | 2005-04-18 | 2006-11-02 | Tokyo Electron Ltd | ロードロック装置及び処理方法 |
JP2012089591A (ja) * | 2010-10-18 | 2012-05-10 | Hitachi High-Technologies Corp | 真空処理装置及び真空処理方法 |
JP2013191782A (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-26 | Tokyo Electron Ltd | ロードロック装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201502313A (zh) | 2015-01-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5295399B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理方法及び基板処理装置 | |
JP6582676B2 (ja) | ロードロック装置、及び基板処理システム | |
TWI470719B (zh) | 基板處理裝置 | |
JP4634495B2 (ja) | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | |
TWI485798B (zh) | 基板處理裝置 | |
KR101524177B1 (ko) | 열처리 장치 및 열처리 방법 | |
KR101037961B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 | |
US20120043062A1 (en) | Method for cooling object to be processed, and apparatus for processing object to be processed | |
TW201712144A (zh) | 用以達成改良的流動均勻性之具有面板孔的小體積噴淋頭 | |
JP2010077508A (ja) | 成膜装置及び基板処理装置 | |
JP2018157149A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
KR102552110B1 (ko) | 처리 장치 | |
JP2012069542A (ja) | 真空処理システム | |
JP2011029441A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
TW201512412A (zh) | 磁性退火裝置(一) | |
JP2014204018A (ja) | 被処理体の冷却ユニット | |
JP2005259858A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2014204017A (ja) | 被処理体の受容装置 | |
JP3766336B2 (ja) | 減圧乾燥装置及び減圧乾燥方法 | |
JP2012138540A (ja) | 真空処理装置 | |
JP6434558B2 (ja) | 処理装置 | |
JP6823575B2 (ja) | 基板処理装置、反応管及び半導体装置の製造方法 | |
JP2018181969A (ja) | 処理装置 | |
TWI413153B (zh) | 半導體處理腔室 | |
JP2002373890A (ja) | 基板処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160308 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170124 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170324 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170530 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170726 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20171003 |